A PASSION FOR PERFECTION Sécurité Caractéristiques techniques Explication des signes Personnel qualifié Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être effectués que par des personnes ayant une formation technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant été formés en conséquence par le détenteur du produit. DANGER IKR 060 Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature. Températures admissibles Stockage –40 °C … +150 °C (sans câble) +5 °C … +80 °C (avec câble normal) +5 °C … +150 °C (avec câble à haute résistance thermique) ≤80% à température jusqu'à +31 °C, diminuant à 50% à +40 °C en espaces clos, altitude max. 2000 m Service Humidité relative Utilisation -10 -3 Gamme de mesure (air, N2) Dépendance du type de gaz 1×10 Protection Surpression IP 40 ≤900 kPa (absolue) limitée aux gaz inertes et aux températures <55 °C … 5×10 hPa → Annexe Jauge à cathode froide avec joint métallique AVERTISSEMENT BG 5032 BFR / A (2013-11) Manuel de l'utilisateur Indications concernant la prévention de dégradations de l'environnement et d'importants dégâts matériels. Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs. Identification du produit Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous. Remarque Indications concernant la sécurité Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar Typ: No: F-No: • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes aux gaz utilisés. Tension de service (dans la chambre de mesure) Courant de service (dans la chambre de mesure) • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées concernant toute intervention. Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document. • Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés. Maintenance Raccordement au vide Après l'application de la tension la jauge est prête à fonctionner. Les pannes du produit dues à des impuretés sont exclues de la garantie. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. DANGER Avec les raccords de vide KF à bagues d'étanchéité en élastomère (p. ex. joints toriques) et en présence d'une surpression >250 kPa, la bague d'étanchéité doit être équipée d'un anneau de centrage externe. En présence de surpressions >100 kPa, employer un élément de serrage pouvant uniquement être ouvert et fermé à l'aide d'un outil (p. ex. anneau de serrage muni d'un collier de serrage). Si la jauge IKR 060 peut entrer en contact avec des particules chargées (plasma, faisceau ionique, etc.), assurez-vous qu'elle soit raccordée au moyen d'une liaison galvanique à la chambre à vide mise à la terre. En tel cas, employez toujours des anneaux de centrage et des éléments de serrage métalliques conducteurs. Dépendance du type de gaz Retard à l'allumage Après leur mise en marche, les jauges à cathode froide présentent un retard à l'allumage. Ce dernier augmente en présence de basses pressions et s'élève à : 1×10-7 hPa ≈ 0.1 minute 1×10-8 hPa ≈ 1 minute 1×10-9 hPa ≈ 5 minutes 1×10-10 hPa ≈ 20 minutes Outillage requis • Clé pour vis à six pans creux de 3 ≤3.3 kV En cas d'utilisation de raccords de vide CF, il peut s'avérer avantageux de temporairement enlever l'unité magnétique (→ Section suivante). Les jauges à cathode froide sont sensibles à l'encrassement. Le degré d'encrassement et ainsi la précision de mesure dépendent des facteurs suivants : • Pince pour circlip ≤700 µA La position de montage n'est pas imposée mais les particules ne doivent pas pénétrer dans la chambre de mesure (espace nécessaire → Caractéristiques techniques). • de la pression à l'intérieur de la chambre à vide SHV Câble coaxial Longueur du câble entre la jauge et l'appareil de mesure • des impuretés contenues dans la chambre à vide (vapeurs, particules des processus industriels, etc.) Matériaux au contact du vide Raccordement au vide Chambre de mesure Isolation de traversée Joints internes Anode Dispositifs d'allumage Volume interne • de la durée de service Activez la jauge uniquement en présence de pressions <10-2 hPa afin d'éviter un encrassement trop important. Si la jauge est souvent exploitée dans la gamme de pression comprise entre 3×10-5 hPa et 1×10-2 hPa, employez des cartes de mesure avec lesquelles le courant de mesure est limité au maximum à 100 µA (→ Manuel de l'utilisateur des cartes de mesure pour l'appareil TPG 300). acier inoxydable (1.4306) acier inoxydable (1.4306) céramique (Al2O3) Ag Mo acier inoxydable (1.4310) Du point de vue de la technique de mesure, un encrassement se traduit généralement par une indication de pressions trop basses. En présence d'un encrassement important, le système devient instable. Des couches peuvent se décoller de la chambre de mesure et provoquer un court-circuit. En fonction des conditions d'utilisation, les intervalles de nettoyage peuvent varier entre quelques jours et plusieurs années. Chambre à vide ≈20 cm³ Utilisation prévue Les jauges à cathode froide servent à la mesure du vide dans la gamme des pressions de 1×10-10 … 5×10-3 hPa. Elles doivent être exploitées avec un appareil de mesure et de commande TPG 300 de la société Pfeiffer Vacuum. Principe de fonctionnement La relation entre la pression et le signal de mesure est logarithmique sur toute la gamme de mesure. Les jauges fonctionnent avec un circuit de mesure à ionisation à cathode froide selon le principe du magnétron inverse). 92 • Clé pour vis à six pans creux de 1.5 • n'observe pas les indications figurant dans ce document • utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue • Clé à fourche de 7 Marche à suivre (→ Figure 1, page suivante) Size 7 Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une tierce personne Dévisser la vis à tête hexagonale (3) de l'unité magnétique (4) puis retirer l'unité magnétique. 850 g (DN 40 CF-F) 600 g (DN 40 ISO-KF) En raison de l'exposition à la force magnétique et de la tendance à se coincer, la séparation de l'unité magnétique et de la chambre de mesure (7) n'est pas facile. Raccorder la jauge au système de vide. Mettre en place l'unité magnétique puis la bloquer à l'aide de la vis à tête hexagonale (3). • modifie ce produit d'une façon quelconque • utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit correspondante. La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur. Les pannes du produit dues à des impuretés sont exclues de la garantie. • Outil de montage pour dispositif d'allumage • Alcool industriel Démontage de la jauge Condition préalable • Jauge démontée Marche à suivre Dévisser la vis à tête hexagonale (3) de l'unité magnétique (4) puis retirer l'unité magnétique. En raison de l'exposition à la force magnétique et de la tendance à se coincer, la séparation de l'unité magnétique et de la chambre de mesure (7) n'est pas facile. Pour des raisons liées aux tolérances, réinstaller la même unité magnétique en cas de nouveau montage. Desserrer 2 vis à six pans creux (1a) puis retirer la Démontage fiche coaxiale (2a). Outillage requis Communiquer les indications concernant la sécurité aux autres utilisateurs. Responsabilité et garantie • Pincette chambre de mesure (7). Pour des raisons liées aux tolérances, réinstaller la même unité magnétique en cas de nouveau montage. DANGER : champs magnétiques Les champs magnétiques puissants peuvent perturber ou gêner le fonctionnement des appareils électroniques, p. ex. des stimulateurs cardiaques. Poids • Chiffon de polissage (grain 400) ou Scotch-Brite Retirer le circlip (5) et l'embout polaire (6) de la ø 63.5 Observer une distance de sécurité de ≥10 cm entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ou empêcher toute perturbation émanant de champs magnétiques puissants en installant des blindages adéquats. • Clé à fourche de 7 (→ Figure 1, page suivante) (Uniquement pour le raccord de vide CF) max. 100 m (6 m en cas d'utilisation de la limite inférieure de la gamme de mesure, → Manuel de l'utilisateur de l'appareil de mesure Pfeiffer Vacuum) 97.5 Ce document est valable pour les produits avec les numéros de référence : PT R18 751 (DN 40 CF-F) PT R18 753 (DN 40 ISO-KF) Le numéro de référence (No) figure sur la plaque signalétique. Nettoyage de la jauge / montage de pièces de rechange Les pannes du produit dues à des impuretés sont exclues de la garantie. Dimensions [mm] Validité DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Encrassement Démontage de l'unité magnétique Raccordement électrique Fiche Type DANGER DANGER La valeur mesurée dépend du type de gaz. L'affichage s'applique à l'air sec, à l'azote (N2,), à l'oxygène (O2) et au monoxyde de carbone (CO). Pour d'autres types de gaz, procéder à la conversion ou au réglage du facteur de conversion sur l'appareil de mesure Pfeiffer Vacuum (→ Annexe). • du courant de mesure • Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit (→ Caractéristiques techniques) et les gaz de procédés. • Considérer des réactions possibles des gaz de procédés à la chaleur générée par le produit (p. ex. explosions). Fonctionnement 109 rad Résistance au rayonnement Attention Installation Raccordement électrique DANGER DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. Retirer les 4 (ou 2) vis à six pans creux (8), y compris les rondelles d'arrêt (8a), au dos de la chambre de mesure (7). Retirer successivement avec la diligence requise l'élément de serrage (9), la rondelle (10b), l'anode complète (10), le joint métallique (11) et l'anneau de centrage (12). Les pièces peuvent maintenant être nettoyées ou remplacées séparément (→ Section suivante). En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. Marche à suivre Mettre la jauge hors circuit. Détacher le câble de raccordement. Démonter la jauge de la chambre à vide. • Raccorder la jauge à la chambre à vide mise à la terre. • Raccorder la jauge à l'appareil de mesure Pfeiffer Vacuum (→ Manuel de l'utilisateur de la carte de mesure employée). Recouvrez le raccord de vide à l'aide du couvercle de protection correspondant. bg5032bf r / a Source : Allemand BG 5032 BDE / A (2013-11) (2013-11) Installer la fiche coaxiale (2a) sur la chambre de Nettoyage Marche à suivre DANGER En cas d'utilisation de produits de nettoyage, observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions appropriées concernant leur manipulation et élimination. mesure (7) puis serrer à fond les deux vis à six pans creux (1a). Mettre en place l'unité magnétique (4) puis la bloquer à l'aide de la vis (3). Dépannage Retour du produit Défaut Cause possible Solution Les valeurs de pression indiquées par la jauge sont trop basses Jauge encrassée Nettoyer la jauge Figure 1 : Nettoyer la chambre de mesure et l'embout polaire : Polir les parois intérieures de la chambre de mesure et l'embout polaire à l'aide d'un chiffon de polissage. Attention Uniquement traiter la surface d'étanchéité de manière concentrique. Pièces de rechange Les commandes de pièces de rechange doivent toujours comprendre : • toutes les indications figurant sur la plaque signalétique • description et numéro de référence selon la liste des pièces de rechange Rincer la chambre de mesure et l'embout polaire avec de l'alcool industriel. Sécher ces deux éléments. Nettoyer ou remplacer l'anode (10) : Démonter l'ancien dispositif d'allumage (10a) par exemple à l'aide d'une pincette. Polir la broche de l'anode à l'aide du chiffon de polissage. Attention Repère → Figure 1 Kit de maintenance Joint, HNV100 9×1.6 Anneau de centrage Dispositif d'allumage Rondelle Kit de réparation Anode complète Rondelle Joint, HNV100 9×1.6 Anneau de centrage Dispositif d'allumage No de référence BN 846 241-T (11) (12) (10a) (10b) Annexe Dépendance du type de gaz DANGER AVERTISSEMENT Pression indiquée (jauge ajustée pour l'air) DANGER : composants contaminés Les composants contaminés peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Se renseigner avant le début de l'intervention sur une éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés. AVERTISSEMENT : transport de produits contaminés Les produits contaminés (par des substances radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer l'environnement. Les produits qui nous sont envoyés seront dans la mesure du possible exempts de substances nocives. Observer les prescriptions de transport des pays et entreprises de transport concernés. Inclure une "Déclaration de contamination" remplie *). nouvelle) en la centrant parallèlement à l'axe de l'outil dans le dispositif d'allumage puis l'insérer de ≈15 mm. Le positionnement définitif doit uniquement être réalisé après le montage de l'anode. Xe Kr 2 10–3 8 6 4 2 10–4 2 AVERTISSEMENT 10–5 AVERTISSEMENT : substances polluantes Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.) peuvent polluer l'environnement. Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale. *) Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com En absence de confirmation univoque que le produit est "exempt de substances nocives", le produit est décontaminé aux frais du client. En absence d'une "Confirmation de contamination" dûment remplie, le produit est renvoyé à l'expéditeur à ses frais. • Composants contaminés Décontaminer les composants contaminés (par des substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale, les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer. • Composants non contaminés Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et les récupérer. Table de conversion des unités de pression mbar bar Pa hPa kPa 100 1×105 1 100 1×103 1 0.1 0.75 1×103 100 750 -3 0.01 1×10 7.5×10-3 1 0.1 0.75 10 1 7.5 l'outil de montage. Enfoncer avec précaution l'anode (nettoyée ou Air O2 CO Ar N2 H2 Ne He 4 4 Ne pas plier l'anode. Ne pas traiter la céramique à l'aide d'un moyen mécanique. Rincer l'anode avec de l'alcool industriel. Sécher l'anode. Insérer le nouveau dispositif d'allumage (10a) dans p (hPa) 8 6 Tri des composants Après le démontage du produit, trier ses composants selon les critères suivants : BN 846 240-T (10) (10b) (11) (12) (10a) Recyclage mbar bar Pa hPa kPa Torr mm HG 1 1×103 0.01 1 10 -3 1×10 1 1×10-5 1×10-3 0.01 1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332 1 Pa = 1 N/m Torr mm HG 8 6 4 2 10–6 8 6 4 2 10–7 10–7 2 4 6 10–6 2 4 6 10–5 2 4 6 10–4 2 4 6 10–3 2 4 6 10–2 peff (hPa) Dans la gamme au-dessous de 10-5 hPa l'indication est linéaire. Pour d'autres gaz que l'air, la pression peut être déterminée par une simple conversion : peff = C × pression indiquée où Type de gaz C Air (N2, O2, CO) Xe Kr Ar H2 Ne He 1.0 0.4 0.5 0.8 2.4 4.1 5.9 Les facteurs de conversion indiqués sont des valeurs moyennes. On rencontre souvent des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure précise est alors uniquement possible à l'aide d' un instrument de mesure à pression partielle, p. ex. à l'aide d'un spectromètre de masse quadripolaire Pfeiffer Vacuum. 1 2 Assemblage de la jauge Marche à suivre Insérer le joint métallique neuf (11) avec l'anneau de centrage (12) dans la chambre de mesure (7) en veillant à bien les centrer. La surface d'étanchéité, le joint et la céramique doivent être propres (→ Figure 1). Insérer avec précaution l'anode (10), y compris le dispositif d'allumage (10a), à l'intérieur de la chambre de mesure. Installer avec précaution l'élément de serrage (9), avec la rondelle (10b), sur la chambre de mesure (7) puis le serrer à fond de manière homogène à l'aide des vis (8), y compris les rondelles d'arrêt (8a). Positionnement du dispositif d'allumage (10a) : Emboîter l'outil de montage pour le dispositif d'allumage sur la broche de l'anode puis l'insérer à fond. Souffler les particules à l'intérieur de la chambre de mesure (7) à l'aide d'azote sec (et en tenant le raccord de vide de la chambre de mesure vers le bas). Insérer l'embout polaire (6) jusqu'à la butée mécanique dans la chambre de mesure (→ Figure 1). Mettre en place le circlip (5) sur l'embout polaire. Réaliser un contrôle visuel afin de s'assurer que la broche de l'anode soit centrée par rapport au trou de l'embout polaire (excentricité admissible ≤ 0.5 mm). Si possible, réaliser un test d'étanchéité (taux de fuite <10–9 hPa l/s). Berliner Straße 43 D–35614 Asslar Allemagne Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-1202 info@pfeiffer-vacuum.de www.pfeiffer-vacuum.com ">
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