MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original HICUBE ECO Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau groupe de pompage turbomoléculaire est conçue pour vous aider par ses performances, son parfait fonctionnement, sans interférer avec votre application. Le nom Pfeiffer Vacuum est synonyme de technologie du vide de haute qualité, d’une gamme étendue et complète de produits de qualité supérieure et d’un service clients qui se distingue par son excellence. Forts de cette expertise, nous avons acquis une multitude de compétences contribuant à une implémentation efficace et sécurisée de notre produit. Sachant que tout arrêt de production est pénalisant, nous espérons vous offrir une solution efficace et fiable pour le fonctionnement continu de votre application. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail info@pfeiffer-vacuum.de. Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de nos produits à l'adresse Download Center sur notre site internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/66 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 7 7 7 7 7 7 7 8 8 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations incorrectes envisageables 10 10 10 14 14 15 15 3 Description du produit 3.1 Identification du produit 3.2 Contenu de la livraison 3.3 Fonction 3.3.1 Interface de commande 3.3.2 Entraînement 3.3.3 Refroidissement 16 16 17 17 18 18 18 4 Transport et stockage 4.1 Transport du groupe de pompage 4.2 Protection pour le transport 4.3 Stockage du groupe de pompage 19 19 20 20 5 Installation 5.1 Préparatifs pour l'installation 5.2 Configuration du groupe de pompage 5.3 Ancrage du groupe de pompage 5.4 Raccordement côté vide élevé 5.4.1 Conception de la contre-bride 5.4.2 Utilisation d'accessoires pour la connexion de vide secondaire 5.4.3 Raccordement externe de la pompe turbo 5.4.4 Installation d'une bride ISO-KF 5.4.5 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K 5.4.6 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-F 5.4.7 Fixation d'une bride CF sur CF-F 5.5 Raccordement côté refoulement 5.6 Modification du DCU pour une utilisation à distance 5.7 Accessoires de raccordement pour le groupe de pompage 5.8 Dépose du verrouillage de transport 5.9 Mise à la terre du groupe de pompage 5.10 Raccordement de l’alimentation électrique 21 21 21 22 23 23 24 25 25 25 26 28 29 30 32 32 33 33 6 Utilisation 6.1 Mise en service 6.2 Démarrage du groupe de pompage turbo 6.3 Fonctionnement normal 6.4 Fonctionnement avec lest d'air (ne concerne que MVP 015-2) 6.5 Surveillance des opérations 35 35 36 36 37 38 3/66 Table des matières 6.5.1 Affichage LED du mode de fonctionnement 6.5.2 Surveillance de la température Mise hors circuit et mise à l'air 6.6.1 Arrêt du groupe de pompage turbo 6.6.2 Mise à l'air 38 39 39 39 39 7 Maintenance 7.1 Informations générales sur la maintenance 7.2 Intervalles de maintenance et responsabilités 7.3 Remplacement des fusibles secteur 7.4 Dépose de composants pour la maintenance 7.4.1 Suppression des raccordements électriques 7.4.2 Déposer la pompe turbo du groupe de pompage 41 41 41 41 42 43 43 8 Mise hors service 8.1 Mise hors service pendant une période prolongée 8.2 Remise en service 8.3 Mise au rebut de la pompe à vide 45 45 45 45 9 Dysfonctionnements 9.1 Généralités 9.2 Dépannage 9.3 Codes d’erreur 47 47 48 48 10 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 53 11 Accessoires 55 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités 12.2 Caractéristiques techniques 12.3 Schémas cotés 56 56 56 61 Déclaration de conformité 64 6.6 4/66 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Tab. 22: Tab. 23: Tab. 24: Tab. 25: Autocollants sur le produit......................................................................................... 8 Abréviations utilisées dans le document................................................................... 9 Limites d'utilisation des groupes de pompage turbo............................................... 15 Options de combinaison de composants de groupe de pompage.......................... 17 Conditions requise pour le raccordement de vide secondaire sur site....................23 Modification de la vitesse de pompage avec pare-éclats ou écran protecteur........24 Ajustage usine des paramètres clés à la livraison.................................................. 36 Description des fonctions des touches du DCU...................................................... 37 Affichage LED et signification sur le DCU............................................................... 38 Paramètres d’usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo............... 40 Raccordements d'accessoires préréglés................................................................ 42 Dépannage..............................................................................................................48 Messages d’avertissement et d’erreur lors de l’utilisation du DCU......................... 49 Messages d’avertissement et d’erreur pour l’unité d'entraînement électronique de pompe turbo............................................................................................................ 52 Messages d’avertissement et d’erreur pour l’unité d'entraînement électronique de pompe à membrane MVP 015................................................................................ 52 Tableau de conversion : unités de pression............................................................56 Tableau de conversion : unités de débit de gaz......................................................56 Caractéristiques techniques HiCube 30 Eco, DN 40 ISO-KF..................................57 Caractéristiques techniques HiCube 30 Eco, DN 63 CF-F..................................... 57 Caractéristiques techniques HiCube 30 Eco, DN 63 ISO-KF..................................58 Caractéristiques techniques HiCube 80 Eco, DN 40 ISO-KF..................................58 Caractéristiques techniques HiCube 80 Eco, DN 63 CF-F..................................... 59 Caractéristiques techniques HiCube 80 Eco, DN 63 ISO-KF..................................59 Caractéristiques techniques HiCube 300 Eco, DN 100 CF-F................................. 60 Caractéristiques techniques HiCube 300 Eco, DN 100 ISO-KF..............................61 5/66 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: Fig. 15: Fig. 16: Fig. 17: Fig. 18: Fig. 19: Fig. 20: Fig. 21: Fig. 22: Fig. 23: Fig. 24: Fig. 25: Fig. 26: Fig. 27: Fig. 28: Fig. 29: 6/66 Position des autocollants sur le produit...................................................................... 9 Vue d'ensemble : Combinaisons de pompe turbo et de pompe de secours............ 16 Exemple, combinaisons de produits, vue d'ensemble..............................................17 Panneau de commande DCU...................................................................................18 Transport manuel du groupe de pompage turbo...................................................... 19 Ancrage du HiCube 300 Eco avec des sangles....................................................... 22 Raccord à bride ISO-KF à ISO-KF........................................................................... 25 Raccord à bride ISO-K à ISO-F, boulons-agrafes à tête bombée............................ 26 Raccord à bride CF-F, vis à tête hexagonale et trous traversants........................... 28 Raccord à bride CF-F, goujons et trous taraudés.................................................... 28 Raccord à bride CF-F, goujons et trous traversants.................................................29 Exemple de raccord de refoulement de la pompe de secours................................. 30 Déposer le DCU du groupe de pompage................................................................. 31 Raccordement du DCU en tant que commande à distance..................................... 31 Verrouillage de transport pour pompe de secours................................................... 32 Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre..............................................33 Connecteur d'alimentation électrique et interrupteur principal du HiCube Eco........ 34 Exemple : Écran DCU pour un second ensemble de paramètres............................37 Remplacement des fusibles secteur.........................................................................42 Raccordements électriques...................................................................................... 43 Démontage de la pompe turbo................................................................................. 43 Dimensions du HiCube 30 Eco, DN 40 ISO-KF....................................................... 61 Dimensions du HiCube 30 Eco, DN 63 CF-F........................................................... 61 Dimensions du HiCube 30 Eco, DN 63 ISO-K..........................................................62 Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 40 ISO-KF....................................................... 62 Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 63 CF-F........................................................... 62 Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 63 ISO-K..........................................................62 Dimensions du HiCube 300 Eco, DN 100 CF-F....................................................... 63 Dimensions du HiCube 300 Eco, DN 100 ISO-K......................................................63 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.1.1 1.1.2 Documents applicables HiCube Eco Manuel de l’utilisateur Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Manuel de l'utilisateur de chaque composant voir la description du produit Variantes Ce manuel concerne les groupes de pompage turbo en ligne HiCube Eco : ● HiCube 30 Eco ● HiCube 80 Eco ● HiCube 300 Eco 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● du transport, ● de l'installation, ● de la commande et de l'utilisation, ● de la mise hors service, ● de la maintenance et du nettoyage, ● du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 7/66 A propos de ce manuel 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. Remarque Conseil 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification. Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve à l'arrière du logement du groupe de pompage. D-35614 Asslar Mod. HiCube 80 Eco P/N PM S74 100 00 S/N - - - - - - - Fuse T 2 A H 250 VAC Input 100-240 V +/-10 % 2.00 A 50/60 Hz Mass 12.5 kg Made in Germany 2018/06 TÜV Rheinland C VOR INBETRIEBNAHME TRANSPORTSICHERUNG LÖSEN BEFORE USE UNFASTEN THE TRANSPORT PROTECTION warranty seal US Protection pour le transport Cet autocollant indique que le verrouillage de transport de la pompe de secours doit être débloqué avant la mise en service. Joint de fermeture Le produit est scellé en départ d’usine. L’endommagement ou la suppression du joint de fermeture entraîne l’annulation de la garantie. Classe de protection Cet autocollant décrit la classe de protection 1 du produit. Le positionnement indique la position de la connexion de terre. Avertissement tension électrique Cet autocollant avertit du risque d'électrocution lors d'interventions avec le boîtier ouvert. Le débranchement de la prise secteur est obligatoire Cet autocollant indique que la prise secteur doit être débranchée de l'appareil avant toute opération d'installation et de maintenance. Tab. 1: 8/66 Autocollants sur le produit A propos de ce manuel 1 2,3 4 5 6 7 Fig. 1: 1.3.4 Position des autocollants sur le produit 1 Autocollant verrouillage de transport 5 Autocollant verrouillage de transport 2 Joint de fermeture (pompe à vide) 6 Plaque signalétique 3 Autocollant de mise à la terre (pompe à vide) 7 Plaque indiquant que le débranchement de la prise secteur est obligatoire 4 Plaque d'avertissement de tension électrique (ensemble d'alimentation électrique) Abréviations Abréviation Signification dans le document Bride CF : Raccord à fermeture métallique conforme à la norme ISO 3669 d Mesure du diamètre (en mm) DCU Display Control Unit (unité de commande et d’affichage de Pfeiffer Vacuum). DN Diamètre nominal (en tant que désignation de grandeur) f Mesure de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz) HV Bride de vide secondaire, côté vide secondaire Bride ISO : Raccord conforme aux normes ISO 1609 et 2861 Écran LC : affichage à cristaux liquides (LCD) LED Diode électroluminescente MVP Pompe à vide à membrane PE Conducteur de terre (terre de protection) [P:xxx] Paramètres de commande de l’unité d’entraînement électronique. Inscrits en gras sous la forme d'un nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte dénomination. Exemple : [P:312] Version logicielle T Température (en °C) TC Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) TPS Alimentation (alimentation électrique turbine) X3 Connecteur D-Sub à 15 broches sur l'unité d'entraînement électronique de la pompe turbo Tab. 2: Abréviations utilisées dans le document 9/66 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, quatre niveaux de risques et un niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la norme EN ISO 12100 Section 5. Dans la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. Risques lors du transport AVERTISSEMENT Danger de blessures graves en cas de chute d’objets La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses. ► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit. ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. 10/66 Sécurité Risques lors de l’installation AVERTISSEMENT Danger de mort par choc électrique en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils connectés au secteur peuvent être sous tension. Il existe un risque de mort par électrocution par contact avec des composants sous tension. ► Gardez toujours la connexion secteur librement accessible afin de pouvoir se déconnecter à tout moment. AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique dû à une installation mal effectuée L'appareil utilise une tension d'alimentation électrique qui est dangereuse en cas de contact. Une situation potentiellement fatale peut survenir en cas de contact avec l'appareil si l'installation a été mal effectuée ou exécutée de façon non sécurisée. ► Vérifier que le système a été intégré en toute sécurité dans un circuit de sécurité de secours. ► Il est interdit de modifier l'appareil sans autorisation. AVERTISSEMENT Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la bride de vide élevé L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages lors de la prochaine utilisation. ► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé. ► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé. ► Porter des gants de protection pendant l'installation. ► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées. ► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique. ► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de vide ouverte). AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur de vibration en cas de dysfonctionnement Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants. ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. 11/66 Sécurité ATTENTION Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive Une conduite de refoulement défectueuse ou insuffisante peut entraîner une situation dangereuse, comme une hausse de la pression de refoulement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels. ► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture. ► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter. ► Contrôler régulièrement le fonctionnement correct de la conduite de refoulement. Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Danger de mort par intoxication à la sortie de gaz de traitement toxique sans conduite d'échappement Le groupe de pompage turbo permet aux gaz d'échappement et aux vapeurs de s'échapper sans encombre dans l'atmosphère dans des conditions normales d'utilisation. Risque de blessure et danger de mort par intoxication lors des processus employant des fluides toxiques. ► Respectez les instructions correspondantes lors de la manipulation de substances toxiques. ► Évacuez les gaz de traitement toxiques en toute sécurité par le biais d'une conduite d'échappement. ATTENTION Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive Une conduite de refoulement défectueuse ou insuffisante peut entraîner une situation dangereuse, comme une hausse de la pression de refoulement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels. ► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture. ► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter. ► Contrôler régulièrement le fonctionnement correct de la conduite de refoulement. Risques pendant la maintenance AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien L'appareil n'est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la pompe turbo est à l'arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Avant tout travail, mettre hors circuit l'interrupteur secteur. ► Attendre que la pompe turbo soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0). ► Débrancher la prise secteur de l'appareil. ► Sécuriser l'appareil contre tout redémarrage intempestif. 12/66 Sécurité AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Risques en cas de dysfonctionnement AVERTISSEMENT Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbo en cas de défaut Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. Si la pompe turbo n'est pas correctement fixée, elle peut être arrachée. L'énergie ainsi libérée pourrait propulser la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de grave blessure, voire de mort, et de dommages considérables de l'équipement. ► Les instructions d'installation de cette pompe turbo doivent être respectées. ► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées. ► Utiliser uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur de vibration en cas de dysfonctionnement Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants. ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. 13/66 Sécurité 2.3 Mesures de sécurité Obligation d'information sur les dangers possibles Le détenteur ou l'utilisateur du produit est dans l'obligation d'informer chaque personne des dangers encourus avec ce produit. Chaque personne en charge de l'installation, du fonctionnement ou de la réparation du produit, doit lire, comprendre et respecter les parties de ce document dédiées à la sécurité. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respecter toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôler régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► N’exposer aucune partie du corps au vide. ► Toujours assurer un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne jamais débrancher les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respecter les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Avant de travailler sur le raccord de vide secondaire, attendre que le rotor se soit complètement arrêté (vitesse de rotation f =0). ► L'appareil ne doit jamais être mis en route lorsque le raccord de vide secondaire est ouvert. ► Tenir les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70°C). ► Ne jamais remplir ou faire fonctionner l’appareil avec des produits de nettoyage ou leurs résidus. ► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité. ► Consulter la classe de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. 2.4 14/66 Limites d’utilisation du produit Paramètre Valeur limite Emplacement de l’installation protégé des intempéries (espace intérieur) Pression atmosphérique 750 hPa à 1060 hPa Altitude de l’installation max. 2000 m Humidité rel. de l’air max. 80 %, à T < 31 °C jusqu’à max. 50 % à T < 40 °C Classe de protection I Catégorie de surtension II Classe de protection autorisée IP20 Niveau de contamination 2 Température ambiante 5 à 35 °C avec refroidissement par air 5 à 40 °C avec refroidissement à eau Champ magnétique environnant admissible en fonction de la pompe turbo utilisée Sécurité Paramètre Valeur limite Rayonnement thermique maximum en fonction de la pompe turbo utilisée Température maximum admissible du rotor de la pompe turbo 90 °C Tab. 3: Limites d'utilisation des groupes de pompage turbo Remarques sur les conditions ambiantes Les températures ambiantes admissibles spécifiées s'appliquent au fonctionnement de la pompe turbo à la pression de secours maximum admissible ou avec un débit de gaz maximum, en fonction du type de refroidissement. La pompe est intrinsèquement sûre grâce à la surveillance redondante de la température. ● La réduction de la pression de secours ou du débit de gaz permet d'utiliser la pompe turbo à des températures plus élevées. ● Si la température de fonctionnement maximum admissible de la pompe turbo est dépassée, l'unité d’entraînement électronique va d'abord réduire la vitesse d'entraînement, puis la mettre hors circuit si nécessaire. 2.5 Utilisation conforme ● Le groupe de pompage turbo n'est utilisé que pour la création de vide. ● Le groupe de pompage turbo n'est utilisé que pour l'extraction de gaz secs et inertes. ● Le groupe de pompage turbo n'est destiné qu'à un usage dans des espaces intérieurs clos. ● Le groupe de pompage turbo est conçu pour une utilisation sur table. 2.6 Utilisations incorrectes envisageables Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme abusive, en particulier : ● Raccordement de l'alimentation électrique sans installation correcte ● Installation d'un équipement de fixation non spécifique ● Pompage de substances explosives ● Pompage de substances corrosives ● Pompage de vapeurs de condensation ● Pompage de liquides ● Pompage de poussière ● Fonctionnement avec un débit de gaz élevé inadmissible ● Fonctionnement avec une pression de vide préliminaire inadmissible ● Utilisation avec un rayonnement thermique excessivement élevé ● Fonctionnement avec des champs magnétiques d'intensité élevée et inadmissible ● Fonctionnement dans un mode gaz incorrect ● Mise à l'air avec un débit de mise à l'air élevé et inadmissible ● Utilisation pour la production de pression ● Utilisation dans des zones à radiation ionisante ● Fonctionnement dans des zones explosives ● Utilisation dans des systèmes où des charges et des vibrations ponctuelles ou des forces périodiques agissent sur l'appareil ● Création de conditions de fonctionnement dangereuses en raison d'un réglage par défaut sur l'unité d’entraînement électronique qui est contraire au processus ● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions 15/66 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.tuvdotcom.com avec l'ID de société 000021320. HiPace 300 HiPace 80 MVP 015-2 Fig. 2: HiPace 30 MVP 015-4 MVP 030-3 Vue d'ensemble : Combinaisons de pompe turbo et de pompe de secours Caractéristique HiCube Eco Taille de bride HV DN 40/DN 63 DN 100 HiPace 30 16/66 PT 0510 BN HiPace 80 pompe turbo Manuel de l’utilisateur PT 0208 BN HiPace 300 PT 0202 BN HiPace 300 H PT 0509 BN Unité d’entraînement électronique TC 110 TC 110 TC 110 PT 0204 BN Pompe à membrane MVP 015‑2 MVP 015‑4 MVP 030‑3 MVP 015‑2 MVP 015‑4 MVP 030‑3 (MVP 015‑2) MVP 015‑4 MVP 030‑3 PU 0070 BN PU 0070 BN PU 0065 BN Alimentation électrique TPS embarqué, 24 V CC TPS embarqué, 24 V CC TPS embarqué, 24 V CC Module de commande DCU 002 DCU 002 DCU 002 PT 0250 BN Refroidissement par air oui oui oui PT 0500 BN Description du produit Caractéristique HiCube Eco Taille de bride HV optionnel optionnel optionnel PT 0228 BN Chauffage du boîtier 1) non disponible Optionnel, avec bride CF uniquement Optionnel, avec bride CF uniquement PT 0233 BN Options de combinaison de composants de groupe de pompage Contenu de la livraison ● ● ● ● ● 3.3 DN 100 Vanne de mise à l'air Tab. 4: 3.2 DN 40/DN 63 Manuel de l’utilisateur Groupe de pompage turbo HiCube Eco Cache de protection de la bride de vide secondaire Câble de rallonge pour accessoires M12 sur M12, 3 m Câble d'alimentation électrique, spécifique au pays Manuel de l'utilisateur pour le groupe de pompage turbo et chacun des composants Fonction Les groupes de pompage turbo sont des pompes entièrement automatiques prêtes au raccordement. Une station de pompage turbo consiste en une pompe à vide portable ou mobile, avec une pompe turbo et une pompe de secours spécialement adaptée. 15 1 2 3 14 4 13 5 12 6 11 10 Fig. 3: 9 8 7 Exemple, combinaisons de produits, vue d'ensemble 1 Corps de pompe 9 DCU 002, module d'affichage et de commande 2 Pompe turbo HiPace 80, DN 63 ISO-K 10 Crochets de fixation (HiCube 300 Eco uniquement) 3 Unité d’entraînement électronique TC 110 11 Protection pour le transport 4 Câble de raccordement 12 Pompe de secours MVP 030-3, pompe à membrane 5 Prise de terre 13 Poignée encastrée 6 Pompe de secours MVP 015-2, pompe à membrane 14 Pompe turbo HiPace 300, DN 100 CF-F 1) Refroidissement par eau requis 17/66 Description du produit 3.3.1 7 Interrupteur principal 15 8 Fiche de connexion électrique Refroidissement par air Interface de commande Le module d'affichage et de commande intégré DCU 002 sert au contrôle et à la surveillance du groupe de pompage turbo. En option, le DCU peut être utilisé comme commande à distance, en retirant son boîtier et en utilisant un câble de rallonge. DCU 1 2 3 4 Fig. 4: 3.3.2 Panneau de commande DCU 1 Écran LC, éclairé 3 Affichage à LED 2 Icônes d'état 4 Touches de commande Entraînement ● Unité d'entraînement électronique sur la pompe turbo ● Unité d'entraînement électronique sur la pompe de secours 3.3.3 Refroidissement ● Refroidissement par air ● Refroidissement par eau (option) À des températures excessivement élevées, l'unité d'entraînement électronique réduit automatiquement la puissance d'entraînement. 18/66 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du groupe de pompage AVERTISSEMENT Danger de blessures graves en cas de chute d’objets La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses. ► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit. ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Consignes pour un transport sécurisé ► Prendre connaissance du poids indiqué sur l'emballage. – Utiliser un équipement de transport si nécessaire (chariot élévateur). ► Transporter le produit dans son emballage d'origine. ► Le produit doit toujours être déplacé en position verticale et sur la surface la plus plane possible. ► Le produit doit toujours être placé sur une surface plane aux dimensions adéquates. 1 2 3 Fig. 5: Transport manuel du groupe de pompage turbo 1 Cache de protection 2 Poignée encastrée 3 Empreinte Consignes pour un transport sécurisé sans emballage Pour un transport sans emballage, les groupes de pompage turbo HiCube Eco sont munis de poignées encastrées sur les côtés du cadre du logement. 1. Observer le poids spécifié sur la plaque signalétique. 2. Lever le groupe de pompage turbo en saisissant les deux poignées encastrées avec les mains. 3. Le groupe de pompage turbo doit toujours être transporté en position verticale, avec sa surface d'appui orientée vers le bas. 4. Le groupe de pompage turbo doit toujours être placé, de façon sécurisée, sur une surface plane aux dimensions adéquates. 19/66 Transport et stockage 4.2 Protection pour le transport Les pompes de secours des groupes de pompage turbo en ligne HiCube sont protégées contre les dommages pouvant survenir pendant le transport. Manipulation du verrouillage de transport 1. Ne libérer le verrouillage de transport de la pompe de secours qu'immédiatement avant la mise en service sur le lieu d'installation. 2. Suivre les instructions d'installation (voir chapitre « Dépose du verrouillage de transport », page 32). 4.3 Stockage du groupe de pompage Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. 1. Fermer toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d'origine. 2. Fermer tous les autres raccords (refoulement, par exemple) à l'aide des capuchons de protection correspondants. 3. Le groupe de pompage turbo doit être stocké dans les conditions de limite indiquées. 4. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placer le groupe de pompage turbo et un produit dessiccant dans un sac en plastique hermétique. 20/66 Installation 5 Installation L'installation de la turbopompe et sa fixation sont d'une importance primordiale. Le rotor de la pompe turbomoléculaire tourne à grande vitesse. En pratique, il n’est pas exclu que le rotor entre en contact avec le stator (par ex. en cas de pénétration de corps étrangers dans la bride de vide élevé). En l’espace de quelques fractions de secondes, l'énergie cinétique libérée agit sur le boîtier et sur l'ancrage de la pompe turbomoléculaire. Des calculs et des tests approfondis effectués selon la norme ISO 27892 garantissent la protection de la pompe turbomoléculaire contre la démolition (destruction des pales du rotor) et l'éclatement (rupture de l’arbre du rotor). Les résultats expérimentaux et théoriques se traduisent par des mesures de sécurité et des recommandations à suivre pour une fixation conforme et sûre de la pompe turbomoléculaire. 5.1 Préparatifs pour l'installation AVERTISSEMENT Danger de mort par choc électrique en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils connectés au secteur peuvent être sous tension. Il existe un risque de mort par électrocution par contact avec des composants sous tension. ► Gardez toujours la connexion secteur librement accessible afin de pouvoir se déconnecter à tout moment. Remarques générales pour l’installation des composants de vide ► L’emplacement de l’installation doit être choisi de façon à permettre à tout moment d'accéder au produit et aux conduites d'alimentation. ► Les conditions ambiantes de la zone d'utilisation doivent être observées. ► L'assemblage doit être effectué en veillant à une propreté maximale. ► Pendant l’installation, les composants de brides doivent être parfaitement dégraissés, dépoussiérés et secs. 5.2 Configuration du groupe de pompage AVERTISSEMENT Risque de coupure lié aux pièces coupantes en mouvement, accessibles par l'ouverture de la bride de vide élevé L'ouverture de la bride de vide élevé permet le contact avec des pièces aux arêtes vives. Une rotation manuelle du rotor rend la situation encore plus dangereuse : il y a un risque de coupure et de sectionnement de membres (p ex. extrémités des doigts). Les cheveux et les vêtements amples risquent d’être entraînés. Toute chute d’objet dans la pompe turbomoléculaire provoque des dommages lors de la prochaine utilisation. ► L’obturateur d'origine ne doit être retiré qu’au moment de la connexion de la bride de vide élevé. ► Ne jamais approcher les mains de l'intérieur de la bride de vide élevé. ► Porter des gants de protection pendant l'installation. ► Ne jamais démarrer la pompe turbomoléculaire lorsque les brides de vide ne sont pas raccordées. ► L'installation mécanique doit être achevée avant de procéder à l'installation électrique. ► Empêcher l'accès à la bride de vide élevé de la pompe du côté de l'opérateur (p. ex. chambre de vide ouverte). Procédure 1. Respecter une distance minimum de 50 cm avec les limites latérales et appareils adjacents. 2. Respecter une distance minimum de 10 cm avec les bords de table exposés. 3. Vérifier que les options de refroidissement sont suffisantes pour le groupe de pompage. 21/66 Installation 4. Installer des blindages appropriés si les champs magnétiques environnants excèdent les niveaux admissibles. 5. Si un chauffage de boîtier ou un refroidissement par eau est utilisé, s'assurer que la température au niveau de la bride de raccordement à la chambre de vide n'excède pas 120 °C. 6. Installer le blindage approprié de façon à ce que le rayonnement thermique ne dépasse pas les valeurs admissibles lorsque des températures élevées sont générées en raison du procédé. 5.3 Ancrage du groupe de pompage (ne s'applique qu'au HiCube 300 Eco) En cas de blocage soudain du rotor de la pompe turbo, le couple qui résulte doit être absorbé via le cadre du groupe de pompage par la fixation fournie par le client. Afin de sécuriser le groupe de pompage HiCube 300 Eco et les systèmes associés, il est essentiel d'ancrer le groupe de pompage. 1 2 Fig. 6: 1 Sangles Ancrage du HiCube 300 Eco avec des sangles 2 Crochets de montage Accessoires requis ● 2 x sangles de longueur et de capacité de charge adéquates ; environ 3 cm de largeur ● Points de fixation sur place pour les sangles Fixation du HiCube 300 Eco pour éviter la torsion 1. Toujours fixer le groupe de pompage HiCube 300 Eco aux deux crochets de montage avec les sangles. 2. Positionner les sangles perpendiculairement à l'ouverture des crochets de montage, c.à-d. à l'inverse du sens de rotation de la pompe turbo. 3. S'assurer que les sangles sont correctement montées et tendues. S'assurer que la boucle de sangle est dans l'ouverture du crochet de montage. 4. Fixer les sangles sur le lieu désigné par le client de manière à ce qu'elles puissent supporter des charges pouvant atteindre 2 000 N par point de fixation. 22/66 Installation 5.4 Raccordement côté vide élevé 5.4.1 Conception de la contre-bride AVIS Risque d'endommagement lié à une conception incorrecte de la contre-bride Une irrégularité de la contre-bride côté opérateur soumet le corps de la pompe à vide à de fortes contraintes, même lorsque la fixation a été correctement effectuée. Cela risque de provoquer une fuite ou d'affecter négativement les caractéristiques de fonctionnement. ► Les tolérances de forme de la contre-bride doivent être respectées. ► Respecter les divergences maximales de planéité sur toute la surface. Pièces de superstructure La responsabilité de l'installation des pièces verticales de la superstructure sur le raccord de vide secondaire incombe à la société d'exploitation. La capacité de charge de la bride de vide secondaire est spécifique à la pompe turbo utilisée. Le poids total des pièces de la superstructure ne doit pas excéder les valeurs maximum spécifiées. En cas de blocage soudain du rotor, les couples générés par le système et la bride de vide secondaire doivent être absorbés. Les éléments d'installation pour pompe turbo ont été spécialement conçus par Pfeiffer Vacuum. Groupe de pompage turbo Couple appliqué2) Pièces de superstructure3) Planéité Résistance à la traction4) Profondeur de vissage 5) Champ magnétique6) Apport de chaleur7) HiCube 30 Eco 500 Nm 50 kg ± 0,05 mm 170 N/mm2 2,5 x d 3,0 mT 1,2 W HiCube 80 Eco 620 Nm 3,3 mT 0,9 W HiCube 300 Eco 2000 Nm 5,5 mT 2,4 W 270 N/mm2 Tab. 5: 1,5 x d Conditions requise pour le raccordement de vide secondaire sur site ► Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccord de vide secondaire de la pompe turbo. 2) Couple maximum produit en cas d'éclatement : Le couple théorique calculé en cas d'éclatement (rupture de l'arbre du rotor) conformément à la norme ISO 27892 n'a pas été atteint pendant les tests expérimentaux. 3) Poids total admissible des pièces de superstructure sur le groupe de pompage 4) Résistance à la traction du matériau de contre-bride dans toutes les conditions de fonctionnement, conformément à la profondeur de vissage 5) Profondeur de vissage des vis de fixation dans la contre-bride 6) Champ magnétique admissible maximal autour du groupe de pompage 7) Absorption de chaleur admissible maximale dans le groupe de pompage 23/66 Installation 5.4.2 Utilisation d'accessoires pour la connexion de vide secondaire Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés se trouvent en ligne. ● Les accessoires suivants ne sont pas inclus dans la livraison. Utilisation d'un bouclier pare-éclats ou d'un écran protecteur Les anneaux de centrage Pfeiffer Vacuum avec bouclier pare-éclats ou écran protecteur dans la bride de vide secondaire protègent la pompe turbo contre les corps étrangers provenant de la chambre de vide. Le débit volumétrique de la pompe est réduit conformément aux valeurs de conductance de débit et à la taille de la bride de vide secondaire. Réduction de la vitesse de pompage en % pour le type de gaz Taille de bride H2 He N2 Ar Bouclier pare-éclats DN 40 6 9 17 18 Bouclier pare-éclats DN 63 3 6 15 16 Écran protecteur DN 63 1 1 4 4 Bouclier pareéclats DN 100 5 7 24 24 Écran protecteur DN 100 2 2 10 8 Tab. 6: Modification de la vitesse de pompage avec pare-éclats ou écran protecteur ► Pour les brides ISO, utiliser des anneaux de centrage avec un écran protecteur ou un pare-éclats. ► Pour les brides CF, il convient de toujours insérer un écran protecteur ou un pare-éclats dans la bride de vide secondaire avec les pattes de serrage orientées vers le rotor. Utilisation d'amortisseurs de vibrations Les amortisseurs de vibrations Pfeiffer Vacuum sont destinés aux installations sensibles aux vibrations. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur de vibration en cas de dysfonctionnement Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants. 1. Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. 2. Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. 1. Seul un amortisseur de vibrations à passage vertical peut être installé. 2. Toujours prendre en compte la résistance de débit. 3. Fixer la pompe turbo à la bride de vide secondaire. 4. Respecter la fixation des brides ISO-K (voir chapitre « Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K », page 25) et (voir chapitre « Installation d'une bride ISO-K sur ISO-F », page 26). 24/66 Installation 5.4.3 Raccordement externe de la pompe turbo En fonction de la configuration, la pompe turbo peut être utilisée indépendamment du groupe de pompage. Démontage de la pompe turbo Veuillez consulter les descriptions concernant la dépose d'une pompe turbo du groupe de pompage (voir chapitre « Dépose de composants pour la maintenance », page 42). Procédure 1. Suivre les instructions d'installation de la pompe turbo indiquées dans le manuel de l'utilisateur concerné pour chaque composant. 2. Utiliser un kit câble PM 071 477 -T (3 m) de la gamme d'accessoires de Pfeiffer Vacuum. – D'autres longueurs sont disponibles sur demande. 3. Prolonger la conduite de vide préliminaire et le câble de commande. 5.4.4 Installation d'une bride ISO-KF Raccords à bride ISO Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K, une torsion peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même avec une installation correctement exécutée. ● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride. Outillage nécessaire ● Clé Allen ● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6) Fig. 7: Raccord à bride ISO-KF à ISO-KF Utilisation d'un collier de serrage 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Fixer le raccord de vide secondaire sur la pompe turbo et le collier de serrage sur la contre-bride. 3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo. 4. Serrer les vis du collier de serrage de manière uniforme. – Couple de serrage : 3,7 Nm. 5.4.5 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-K Raccords à bride ISO Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K, une torsion peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même avec une installation correctement exécutée. ● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride. 25/66 Installation Outillage nécessaire ● Clé, WAF 15 ● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6) Fig. 8: Raccord à bride ISO-K à ISO-F, boulons-agrafes à tête bombée Raccordement avec boulon-agrafe à tête bombée 1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréé Pfeiffer Vacuum. 2. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure. 3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo. 4. Serrer les boulons-agrafes à tête bombée en croix en 3 étapes. – Couple de serrage : 5, 15, 25 ± 2 Nm 5.4.6 Installation d'une bride ISO-K sur ISO-F Les types de raccordement pour l'installation de la bride ISO-K avec une bride ISO-F sont : ● « Griffes et trous taraudés » ● « Vis à tête hexagonale et trous taraudés » ● « Goujons et trous taraudés » ● « Goujons filetés et trous traversants » Raccords à bride ISO Pour le raccordement des brides dans une configuration ISO-KF ou ISO-K, une torsion peut se produire en cas de blocage soudain du rotor, même avec une installation correctement exécutée. ● Cette situation n'entraîne toutefois aucun risque pour l'étanchéité du raccord à bride. Raccordement des griffes et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Raccorder la bride conformément au schéma, à l'aide des composants du kit de montage. 3. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo. 4. Serrer les griffes en 3 étapes, par paires opposées. – Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm 26/66 Installation 1.5 × d Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous taraudés 2.5 × d 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo. 3. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbo. 4. Fixer la pompe turbo sur la contre-bride conformément au schéma, à l'aide de la bride à chapeau, du circlip et de l'anneau de centrage. 5. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo. 6. Visser les vis à tête hexagonale dans les trous taraudés. – Observer la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur de vissage. 7. Serrer les vis à tête hexagonale 3 étapes, par paires opposées. – Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm Raccordement des goujons et des trous taraudés 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bride. – Observer la résistance à la traction minimale du matériau de bride et la profondeur de vissage. 3. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo. 4. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbo. 5. Fixer la pompe turbo sur la contre-bride conformément au schéma, à l'aide de la bride à chapeau, du circlip et de l'anneau de centrage. 6. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo. 7. Serrer les écrous en 3 étapes, par paires opposées. – Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm Raccordement des goujons et des trous traversants 1. Utiliser exclusivement des kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum pour le raccordement. 2. Placer la bride à chapeau au-dessus de la bride de vide secondaire sur la pompe turbo. 27/66 Installation 3. Insérer le circlip dans la gorge latérale sur la bride de vide secondaire de la pompe turbo. 4. Fixer la pompe turbo sur la contre-bride conformément au schéma, à l'aide de la bride à chapeau, du circlip et de l'anneau de centrage. 5. Utiliser tous les composants prescrits pour la pompe turbo. 6. Serrer les écrous en 3 étapes, par paires opposées. 7. Couple de serrage : 5, 10, 16 ± 1 Nm 5.4.7 Fixation d'une bride CF sur CF-F Les types de raccordement pour l'installation de la bride CF avec une bride CF sont : ● « Vis à tête hexagonale et trous traversants » ● « Goujons avec trous taraudés » ● « Goujons avec trous traversants » AVIS Des fuites peuvent se produire en raison d'une installation incorrecte des brides CF Le manque de propreté lors de la manipulation des brides CF et des joints de cuivre entraîne des fuites et peut entraîner une dégradation de fonctionnement. ► Toujours porter des gants adéquats avant de toucher ou d'installer tout composant. ► Ne monter que des joints secs et dépourvus de graisse. ► Corriger les surfaces endommagées et les bords coupés. ► Remplacer les composants endommagés. Outillage nécessaire ● Clé hexagonale (13 WAF) ● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6) Fig. 9: Raccord à bride CF-F, vis à tête hexagonale et trous traversants Raccordement des vis à tête hexagonale et des trous traversants 1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbo. 3. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse. 4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure. 5. Serrer complètement les raccords vissés. – Couple de serrage : 22 ± 2 Nm 6. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il convient de vérifier le couple. Fig. 10: 28/66 Raccord à bride CF-F, goujons et trous taraudés Installation Raccordement des goujons et des trous taraudés 1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Visser le nombre requis de goujons avec l'extrémité la plus courte dans les trous de la contre-bride. 3. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbo. 4. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse. 5. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure. 6. Serrer complètement les raccords vissés. – Couple de serrage : 22 ± 2 Nm 7. Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer les vis, il convient de vérifier le couple. Fig. 11: Raccord à bride CF-F, goujons et trous traversants Raccordement des goujons et des trous traversants 1. Pour le raccordement de la pompe turbo, utiliser uniquement les kits de montage agréés Pfeiffer Vacuum. 2. Si utilisés : Insérez l'écran protecteur ou le pare-éclats en orientant les pattes vers le bas dans la bride de vide secondaire de la pompe turbo. 3. Placer le joint parfaitement dans la partie creuse. 4. Raccorder la bride aux composants du kit de montage conformément à la figure. 5. Serrer complètement les raccords vissés. – Couple de serrage : 22 ± 2 Nm Étant donné que l'afflux de matériau d'étanchéité peut entraîner le besoin de resserrer 6. les vis, il convient de vérifier le couple. 5.5 Raccordement côté refoulement AVERTISSEMENT Danger de mort par intoxication à la sortie de gaz de traitement toxique sans conduite d'échappement Le groupe de pompage turbo permet aux gaz d'échappement et aux vapeurs de s'échapper sans encombre dans l'atmosphère dans des conditions normales d'utilisation. Risque de blessure et danger de mort par intoxication lors des processus employant des fluides toxiques. ► Respectez les instructions correspondantes lors de la manipulation de substances toxiques. ► Évacuez les gaz de traitement toxiques en toute sécurité par le biais d'une conduite d'échappement. 29/66 Installation ATTENTION Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive Une conduite de refoulement défectueuse ou insuffisante peut entraîner une situation dangereuse, comme une hausse de la pression de refoulement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels. ► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture. ► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter. ► Contrôler régulièrement le fonctionnement correct de la conduite de refoulement. 1 2 (G1/8”) Fig. 12: 1 Exemple de raccord de refoulement de la pompe de secours Pompe à membrane 2 Silencieux de refoulement (fourni à la livraison) Procédure 1. Choisir une conduite de refoulement de section droite au moins égale à la taille du raccord de refoulement. 2. Dévisser le silencieux de refoulement de la pompe de secours. 3. Installer la canalisation de refoulement à un niveau inférieur à celui de la pompe pour éviter le retour des condensats dans la pompe. Séparateur des condensats Nous recommandons l'installation d'un séparateur de condensat avec écoulement de condensat placé au point le plus bas de la conduite de refoulement. 5.6 Modification du DCU pour une utilisation à distance Au besoin, le module d'affichage et de commande peut servir de commande à distance, après modification. Avant toute intervention, toujours débrancher l'appareil de l'alimentation secteur 1. Arrêter l'appareil. 2. Attendre que tous les composants soient complètement immobilisés. 3. Mettre hors circuit l'interrupteur principal. 4. Débrancher le câble d'alimentation de l'appareil. 30/66 Installation 2 1 3 Fig. 13: Déposer le DCU du groupe de pompage 1 Vis à collet avec manchon de fixation 3 2 DCU 002, module d'affichage et de commande Câble de commande avec prise de raccordement M12 Dépose du DCU 1. Desserrer les 4 vis à collet des coins de l'écran DCU. 2. Stocker le manchon de fixation en un lieu sûr. 3. Déposer le DCU du logement du groupe de pompage. – Noter la longueur du câble de commande. 4. Dévisser la fiche de connexion du câble de commande M12 du DCU. Câble fourni à la livraison D'autres longueurs de câble sont disponibles sur demande, parmi les accessoires Pfeiffer Vacuum. PM 061 270 -X RS-485 2 1 Fig. 14: 1 Raccordement du DCU en tant que commande à distance Câble de rallonge 2 Câble de commande avec prise de raccordement M12 Raccordement du DCU en tant que commande à distance 1. Visser le câble d'interface fourni à la livraison dans le raccord RS-485 du DCU. 2. Utiliser un accouplement PM 061 270 -X. 3. Brancher le câble d'interface à l'accouplement puis au câble de commande du groupe de pompage. 31/66 Installation 5.7 Accessoires de raccordement pour le groupe de pompage Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits. ● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés se trouvent en ligne. ● Les accessoires suivants ne sont pas inclus dans la livraison. Raccordement d'accessoires pour l'unité d'entraînement électronique TC 110 ● L'utilisation d'accessoires Pfeiffer Vacuum via l'unité d'entraînement électronique TC 110 n'est possible qu'avec un câble de raccordement et/ou un adaptateur correspondant sur la connexion multifonctions X3. ● Configuration de la sortie d'accessoire requise par RS-485, à l'aide des équipements d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum ou d'un ordinateur. ● Des instructions détaillées sont également disponibles dans le manuel de l'utilisateur de l'« Unité d'entraînement électronique TC | 110 ». Paramètres d’usine Tous les raccords d'accessoires de pompe turbo sont préconfigurés en usine. Toute confusion entraînera des dysfonctionnements ou une défaillance fonctionnelle. 1. Prière de noter la configuration initiale du produit. 2. Noter les connexions de câble et les paramètres avant d'effectuer toute modification. Utilisation d'accessoires supplémentaires 1. Observer la configuration des connexions et des câbles de commande présents. 2. Utiliser le module d'affichage et de commande Pfeiffer Vacuum DCU 002. 5.8 Dépose du verrouillage de transport Tous les groupes de pompage turbo en ligne HiCube Eco sont équipés d'un verrouillage de transport pour les pompes à vide primaire. La pompe à vide primaire est fixée en diagonale sur la plaque de base du groupe de pompage, avec des écrous et des vis à tête cylindrique, sur 2 rails à ressort. 1 Fig. 15: 1 Verrouillage de transport pour pompe de secours Écrou à six pans de verrouillage de transport Outillage nécessaire ● Clé hexagonale (13 WAF) 32/66 Installation Procédure 1. Faire tourner l'écrou à six pans de verrouillage de transport vers le haut, jusqu'en butée. 2. Libérer également le verrouillage de transport de l'autre côté. 5.9 Mise à la terre du groupe de pompage Fig. 16: Exemple : Raccordement du câble de mise à la terre Accessoires requis ● Vis M4 × 8 ● Rondelle anti-vibration M4, si nécessaire ● Câble de mise à la terre approprié fiche M4 Procédure 1. Utiliser un câble de mise à la terre approprié pour faire diverger les interférences applicatives. 2. Acheminer le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur. 3. Utiliser la prise de terre de la pompe turbo (filet femelle M4). 5.10 Raccordement de l’alimentation électrique AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique dû à une installation mal effectuée L'appareil utilise une tension d'alimentation électrique qui est dangereuse en cas de contact. Une situation potentiellement fatale peut survenir en cas de contact avec l'appareil si l'installation a été mal effectuée ou exécutée de façon non sécurisée. ► Vérifier que le système a été intégré en toute sécurité dans un circuit de sécurité de secours. ► Il est interdit de modifier l'appareil sans autorisation. AVERTISSEMENT Danger de mort par choc électrique en cas de dysfonctionnement En cas de dysfonctionnement, les appareils connectés au secteur peuvent être sous tension. Il existe un risque de mort par électrocution par contact avec des composants sous tension. ► Gardez toujours la connexion secteur librement accessible afin de pouvoir se déconnecter à tout moment. 33/66 Installation Fig. 17: 1 Connecteur d'alimentation électrique et interrupteur principal du HiCube Eco Prise secteur 2 Câble d'alimentation électrique spécifique à chaque pays (fourni à la livraison) Mise sous tension du HiCube Eco 1. Veiller à ce que l'interrupteur principal soit désactivé avant d'effectuer le raccordement. 2. Toujours assurer un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). 3. Brancher le câble d'alimentation fourni à la livraison à la fiche de connexion située sur le côté du logement du groupe de pompage. 4. Brancher le câble à l'alimentation électrique côté client. 34/66 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Mise en service Les réglages et variables fonctionnelles essentielles sont programmés en usine sous forme de paramètres dans les unités d'entraînement électroniques des pompes à vide. Chaque paramètre dispose d’un nombre à trois chiffres et d’une description. Ces paramètres sont accessibles grâce aux panneaux d’affichage et de commande Pfeiffer Vacuum et, en externe, via l’interface RS-485, en utilisant le protocole Pfeiffer Vacuum. Pour les deux ensembles de paramètres, le DCU sert d'interface utilisateur. Le HiCube Eco contrôle deux ensembles indépendants de paramètres, un pour la pompe turbo et un pour la pompe à vide primaire. Les paramètres de la pompe à vide primaire sont présentés par ordre hiérarchique sur l'écran et marqués d'un symbole. Paramètre Nom Désignation Option [P:001] Chauffage Chauffage sans chauffage avec chauffage Groupe de pompage HiCube 30 Eco 80 Eco 300 Eco 0 0 non disponible 1 1 [P:012] EnableVent Activer les évents 1 1 1 [P:019] Cfg DO2 Configuration sortie DO2 22 = veille pompe de secours 22 = veille pompe de secours 22 = veille pompe de secours [P:023] MotorPump Moteur de pompe 1 1 1 [P:024] Cfg DO1 Configuration sortie DO1 15 = état pompe 15 = état pompe 15 = état pompe [P:025] OpMode Mode de fonctionnement de la pompe de secours 1 = mode par intermittence 1 = mode par intermittence 1 = mode par intermittence [P:035] Cfg Acc A1 Raccordement A1, configuration accessoires Refroidissement par air 4 = ventilateur (thermorégulé) 4 = ventilateur (thermorégulé) 4 = ventilateur (thermorégulé) Refroidissement à eau 2 = chauffage 2 = chauffage 2 = chauffage 1 = vanne de mise à l'air, normalement fermée 1 = vanne de mise à l'air, normalement fermée 1 = vanne de mise à l'air, normalement fermée pour MVP 015-2 90 % 90 % 90 % pour MVP 015-4 100 % 100 % 100 % pour MVP 030 100 % 100 % 100 % 25 W 25 W 45 W | MVP 015 52 W | MVP 030 [P:036] Cfg Acc B1 Raccordement B1, configuration accessoires [P:708] PwrSVal Erreur, consommation électrique [P:710] Swoff BKP Pompe de secours inférieure au seuil en mode par intermittence 35/66 Utilisation Paramètre Nom Désignation [P:711] SwOn BKP [P:794] [P:795] [P : 030] [P : 717] Option Groupe de pompage HiCube 30 Eco 80 Eco 300 Eco Pompe de secours, supérieure au seuil en mode par intermittence 40 W 40 W 55 W | MVP 015 62 W | MVP 030 Ensemble param Ensemble de paramètres 1 = avancé 1 = avancé 1 = avancé Servicelin Vue ligne service 309 = vitesse réelle 309 = vitesse réelle 309 = vitesse réelle Mode valve Configuration lest d’air pour MVP 015 0 = auto 0 = auto 0 = auto StdbySVal Vitesse de rotation par défaut en veille pour MVP 015 66 % 66 % 66 % Tab. 7: Ajustage usine des paramètres clés à la livraison AVIS Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo. ► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique. ► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (> 80). Mise en service du groupe de pompage turbo 1. S'assurer que le blocage de transport a été libéré. 2. Le cas échéant, respecter l'alimentation et le débit d'eau de refroidissement. 3. Le cas échéant, respecter l'alimentation et le débit de gaz de protection. 4. Alimenter le produit en électricité. 6.2 Démarrage du groupe de pompage turbo Établissement de l'alimentation électrique ► Utiliser l'interrupteur secteur pour établir l'alimentation électrique. Après sa mise en marche, le DCU exécute un auto-test ainsi qu'un contrôle des instruments connectés. La durée de l'auto-test, représentée par une barre de progression sur l'affichage, est d'environ 20 secondes. Mise en service du groupe de pompage ► Démarrer le groupe de pompage turbo. 6.3 Fonctionnement normal Utilisation du DCU ► Lors de l'utilisation du module d'affichage et de commande DCU 002 Pfeiffer Vacuum, prière de se référer au manuel de l'utilisation fourni à la livraison. 36/66 Utilisation Touche Paramètre | usage Description correspond à Groupe de pompage ON/OFF (MARCHE/ARRÊT) : [010] = 0 ou 1 Tous les composants sont mis en/hors service en fonction de leur configuration Validation d'erreur (Initialisation) : Initialise les messages d'erreur actifs, si leur cause a été corrigée. [308] --> [309] Navigation en avant dans l'ensemble de paramètres [309] --> [308] Navigation en arrière dans l'ensemble de paramètres Pression simultanée Mode d'édition : Permet le réglage des options de paramètre La flèche - - - > indique l'option sélectionnée sur l'affichage Nouvelle pression si- Mode de sélection : Permet de valider la sélection multanée effectuée (« modification confirmée » apparaît) Tab. 8: 6.4 Description des fonctions des touches du DCU Fonctionnement avec lest d'air (ne concerne que MVP 015-2) La vapeur ou l'humidité provenant de la condensation des substances pompées dans la pompe de secours a un impact sur le débit. L'injection d'un lest d'air améliore (réduit) le volume de condensation. Le groupe de pompage atteint le vide final spécifié plus rapidement. ● Les pompes de secours MVP 015-4 et MVP 030-3 ont une tolérance suffisamment élevée à la vapeur d'eau et n'ont donc pas de soupape à lest d'air. ● La pompe de secours MVP 015-2 est équipée d'une soupape à lest d'air électronique. ● Les paramètres de fonctionnement de la soupape à lest d'air automatique sont réglés en usine pour une utilisation normale. Lest d’air Le groupe de pompage turbo HiCube Eco, avec pompe à membrane MVP 015-2 servant de pompe de secours, est équipé d'une fonction de lest d'air automatique. Si toutefois un retard dans le temps d'accélération se produit encore, en raison de la condensation dans la zone de vide préliminaire, l'ouverture manuelle de la soupape à lest d'air est recommandée. Dans ce cas, l'actionnement manuel de la soupape à lest d'air signifie qu'elle est commandée avec les touches de fonction du DCU. Fig. 18: Exemple : Écran DCU pour un second ensemble de paramètres Ouverture manuelle de la soupape à lest d'air 1. Ouvrir l'ensemble de paramètres avancés, si nécessaire (voir chapitre « Fonctionnement normal », page 36). 37/66 Utilisation 2. Arrêter le groupe de pompage turbo. 3. Naviguer parmi l'intégralité du premier ensemble de paramètres puis directement dans le second ensemble de paramètres, jusqu'au paramètre [030] : Mode valve. 4. Appuyer simultanément sur les deux touches pour ouvrir le mode Édition. 5. Sélectionner l'option "2" = ouvrir. 6. Appuyer simultanément sur les deux touches pour confirmer la sélection et quitter le mode Édition. Injection de lest d’air 1. Démarrer le groupe de pompage turbo. 2. Faire fonctionner le groupe de pompage turbo avec la soupape à lest d'air ouverte. – Durée de fonctionnement : environ 15 à 30 minutes. Réglage de la fonction de lest d'air sur automatique 1. Arrêter le groupe de pompage turbo. 2. Naviguer parmi l'intégralité du premier ensemble de paramètres puis directement dans le second ensemble de paramètres, jusqu'au paramètre [030] : Mode valve. 3. Appuyer simultanément sur les deux touches pour ouvrir le mode Édition. 4. Sélectionner l'option "0" = auto. 5. Appuyer simultanément sur les deux touches pour confirmer la sélection et quitter le mode Édition. 6. Démarrer le groupe de pompage turbo. 6.5 Surveillance des opérations 6.5.1 Affichage LED du mode de fonctionnement Les LED sur le panneau avant du DCU indiquent l'état de fonctionnement de base. LED Vert Rouge Symbole État LED Signification Désactivé sans courant Activé, clignotant « Station de pompage DÉSACTIVÉE », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min Activé, clignotement inverse « Station de pompage ACTIVÉE », vitesse de rotation prescrite non atteinte Activé, éclairé en continu « Station de pompage ACTIVÉE », vitesse de rotation prescrite atteinte Activé, clignotant « Station de pompage DÉSACTIVÉE », vitesse de rotation > 60 tr/min Désactivé pas d'erreur, pas d'avertissement Activé, clignotant Avertissement Activé, éclairé en continu Défaillance Tab. 9: 38/66 Écran Affichage LED et signification sur le DCU Utilisation 6.5.2 Surveillance de la température Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent d’amener les pompes à vide dans un état sécurisé. Selon le type de pompe, les seuils de température pour les messages d’avertissement et de dysfonctionnement sont mémorisés inchangés dans l’unité d’entraînement électronique. À titre d'information, différentes demandes d’état sont préparées dans l’ensemble de paramètres. ● Dans les cas où la température du moteur n'est pas admissible ou si la température du boîtier est anormalement élevée, la puissance d'entraînement de la pompe turbo est réduite. La vitesse de rotation du moteur pourrait alors chuter sous la valeur de consigne de point de commutation, entraînant l'arrêt de la pompe turbo. ● Si la température de la pompe de secours atteint une valeur non admissible (> 75 °C), la vitesse de rotation du moteur est réduite à sa valeur nominale afin d'éviter une surchauffe. Après refroidissement (< 72 °C), la pompe de secours se remet à tourner à la vitesse de consigne. 6.6 Mise hors circuit et mise à l'air Recommandation Purger la pompe turbo après son arrêt. Cette opération permet d'éviter le reflux des particules dans le système de vide depuis la zone de vide préliminaire. 6.6.1 Arrêt du groupe de pompage turbo Procédure ► Arrêter le groupe de pompage turbo. – Les composants s'arrêtent en fonction de leur configuration. Le groupe de pompage reste prêt à l'emploi. ► Couper l'alimentation électrique à l'aide de l'interrupteur principal. 6.6.2 Mise à l'air AVIS Endommagement de la pompe turbo lié à une augmentation rapide et inadmissible de la pression pendant la mise à l'air L'augmentation rapide d'une pression élevée est inadmissible et soumet le rotor et le palier magnétique de la pompe turbo à une contrainte significative. Lors de la mise à l'air de très petits volumes dans la chambre de vide ou la pompe turbo, il existe un risque d'augmentation incontrôlable de la pression. La pompe turbo peut être endommagée mécaniquement ou détruite. ► La vitesse maximum d'augmentation de la pression de 15 hPa/s ne doit pas être dépassée. ► La mise à l'air manuelle et non contrôlée de très petits volumes est à éviter. ► Utiliser une vanne de mise à l'air de la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum si nécessaire. Mise à l'air manuelle La mise à l'air manuelle décrit la procédure standard de mise à l'air de la station pompe turbo. 1. Vérifier que le système de vide est à l'arrêt. 2. Dévisser d'un tour au maximum la vis noire de mise à l'air sur la pompe turbo. 3. Attendre l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide. 4. Revisser la vis de mise à l'air. 39/66 Utilisation Utilisation d'une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum La vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum est un accessoire optionnel à installer sur la pompe turbo. La vanne de mise à l'air est normalement fermée. Elle est commandée par l'intermédiaire de l'unité d’entraînement électronique de la pompe turbo et la configuration des paramètres [P: 012] et [P:030]. En cas de panne de courant, la pompe turbo génère suffisamment d'énergie pendant sa phase d'arrêt progressif pour initier une mise à l'air correcte. Lorsque le courant revient, la mise à l'air est interrompue. ► Mettre la pompe turbo hors circuit. – Le processus de mise à l'air démarre automatiquement. Vitesse de mise à l'air [P:720] Durée de mise à l'air [P:721] Durée de mise à l'air en cas de panne de courant 50 % de la vitesse nominale 3 600 s Tab. 10: 3 600 s Paramètres d’usine pour la mise à l'air retardée dans les pompes turbo Informations générales sur la mise à l'air rapide Pfeiffer Vacuum recommande la mise à l'air de grands volumes en 2 étapes. 1. Utiliser une vanne de mise à l'air Pfeiffer Vacuum pour la pompe turbo. Alternativement, la section transversale de la vanne doit correspondre à la taille du récipient et au taux maximal de mise à l'air. 2. Mettre à l'air le système de vide avec une augmentation de pression maximale de 15 hPa/s pendant 20 secondes. 3. Mettre ensuite à l'air avec une deuxième vanne de mise à l'air de taille quelconque, par exemple directement sur la chambre de vide. 4. Attendre l'équilibrage de la pression avec la pression atmosphérique dans le système de vide. 40/66 Maintenance 7 Maintenance 7.1 Informations générales sur la maintenance AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien L'appareil n'est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la pompe turbo est à l'arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Avant tout travail, mettre hors circuit l'interrupteur secteur. ► Attendre que la pompe turbo soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0). ► Débrancher la prise secteur de l'appareil. ► Sécuriser l'appareil contre tout redémarrage intempestif. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 7.2 Intervalles de maintenance et responsabilités Instructions pour l'exécution de la maintenance 1. Effectuer la maintenance requise sur les composants du groupe de pompage, conformément aux instructions fournies dans chaque manuel de l'utilisateur. 2. Nettoyer l'extérieur du groupe de pompage turbo avec un chiffon non pelucheux et un peu d'alcool isopropylique. 3. En cas de charges extrêmes ou de processus avec des fluides contaminés, consulter Pfeiffer Vacuum Service pour déterminer des intervalles de maintenance plus courts. 4. Pour toutes les autres opérations de nettoyage, maintenance ou réparation, contacter le centre Pfeiffer Vacuum Service adéquat. 7.3 Remplacement des fusibles secteur AVERTISSEMENT Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien L'appareil n'est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la pompe turbo est à l'arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension. ► Avant tout travail, mettre hors circuit l'interrupteur secteur. ► Attendre que la pompe turbo soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0). ► Débrancher la prise secteur de l'appareil. ► Sécuriser l'appareil contre tout redémarrage intempestif. Problème avec l'appareil ou le système Un fusible défectueux indique généralement un problème dans l'appareil ou le système. Si après le remplacement, le fusible neuf grille également, contacter le centre Pfeiffer Vacuum Service le plus proche. 41/66 Maintenance 1 2 3 4 Fig. 19: Remplacement des fusibles secteur 1 Interrupteur principal 3 Fusibles 2 Porte-fusibles 4 Prise secteur Remplacement des fusibles défectueux Pièces détachées requises ● 2 x fusibles, 5 x 20 (T 2 A H 250 V CA) 1. Arrêter le groupe de pompage. 2. Débrancher le câble d'alimentation de la prise secteur. 3. Ouvrir le porte-fusibles situé au-dessus de la prise secteur. 4. Remplacer les fusibles défectueux. 5. Fermer le porte-fusibles. 6. Remettre en service le groupe de pompage. 7.4 Dépose de composants pour la maintenance La maintenance assurée par le client sur les composants du groupe de pompage peut nécessiter la dépose du cadre du groupe de pompage. AVIS Dysfonctionnement dû à une modification de la configuration de raccordement Les raccordements du groupe de pompage sont préconfigurés en usine. Une interversion des raccordements des lignes de commande du connecteur peut entraîner un dysfonctionnement ou une défaillance du groupe de pompage. ► Lors de la dépose des composants, il convient de noter leur emplacement/disposition en prévision du remontage. ► Noter les valeurs de consigne importantes et la configuration des accessoires du DCU avant de démonter le groupe de pompage ou des composants. Raccordement à X3 Accessoire préréglé Acc. A1 Refroidissement par air Acc. B1 Vanne de mise à l'air DO1 Pompe à vide primaire (MVP 30-3 uniquement) Tab. 11: 42/66 Raccordements d'accessoires préréglés Maintenance 7.4.1 Suppression des raccordements électriques Avant toute intervention, toujours débrancher l'appareil de l'alimentation secteur 1. Arrêter l'appareil. 2. Attendre que tous les composants soient complètement immobilisés. 3. Mettre hors circuit l'interrupteur principal. 4. Débrancher le câble d'alimentation de l'appareil. 1 2 5 3 4 Fig. 20: Raccordements électriques 1 Connexion multifonctions « X3 » 4 Câble d'alimentation électrique 2 Fiche de câble de connexion 5 Interrupteur principal 3 Câble de commande accessoire Procédure 1. Débrancher la fiche de la connexion multifonctions sur l'unité d'entraînement électronique de pompe turbo. 2. Débrancher et retirer les lignes de commande accessoire de la fiche de connexion. 7.4.2 Déposer la pompe turbo du groupe de pompage 2 1 3 5 4 Fig. 21: Démontage de la pompe turbo 1 Pompe turbo, complète 4 Conduite de vide préliminaire 2 Vis de fixation avec rondelle 5 Plaque de montage 3 Raccord de vide préliminaire 43/66 Maintenance Outillage nécessaire ● Clé Allen ● Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6) Procédure 1. Desserrer et déposer la conduite de vide préliminaire de la pompe turbo. 2. Veiller à ne pas tordre ou endommager le flexible de vide préliminaire. 3. Dévisser les 4 vis de fixation et les rondelles de la plaque de montage. – Couple de serrage des vis de fixation pour le remontage : 10 Nm. 4. Déposer la pompe turbo et la plaque de montage du cadre. Entretien pompe turbo L'ouverture dans la plaque de montage facilite l'accès pour les opérations de maintenance sur la pompe turbo (remplacement du réservoir de lubrifiant, par exemple). 44/66 Mise hors service 8 Mise hors service 8.1 Mise hors service pendant une période prolongée Procédure 1. Si nécessaire, retirer le groupe de pompage du système de vide. 2. Au besoin, remplacer le réservoir de fluide d'exploitation de la pompe turbo. 3. Fermer toutes les ouvertures de bride avec les capuchons de protection d'origine. 4. Le groupe de pompage doit être stocké en intérieur, à une température comprise entre -10 °c et +40 °C. 5. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placer le groupe de pompage et un produit dessiccant dans un sac en plastique hermétique. 8.2 Remise en service AVIS Risque d'endommagement de la pompe turbo lié au vieillissement du fluide d’exploitation après la remise en service La durée de conservation du fluide d’exploitation de la pompe turbo est limitée. Le vieillissement du fluide d’exploitation peut entraîner la défaillance du roulement à billes et endommager la pompe turbo. ► Respecter les intervalles de remplacement du fluide d’exploitation : ● après 2 ans au maximum sans fonctionnement, ● après 4 ans au maximum en combinant périodes de fonctionnement et d'arrêt. ► Respecter les instructions de maintenance et informer le service Pfeiffer Vacuum. Procédure de remise en service du groupe de pompage 1. Contrôler le groupe de pompage à la recherche de tout signe de contamination et de moisissure. 2. Nettoyer l'extérieur du groupe de pompage turbo avec un chiffon non pelucheux et un peu d'alcool isopropylique. 3. Si nécessaire, demander au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer entièrement le groupe de pompage. 4. Si nécessaire, demander au service Pfeiffer Vacuum de nettoyer entièrement les composants du groupe de pompage. 5. Installer le groupe de pompage conformément à ces instructions (voir chapitre « Installation », page 21). 6. Remettre en service le groupe de pompage conformément à ces instructions (voir chapitre « Mise en service », page 35). 8.3 Mise au rebut de la pompe à vide AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 45/66 Mise hors service Procédure ► Toutes les substances doivent être mises au rebut conformément aux réglementations locales. 46/66 Dysfonctionnements 9 Dysfonctionnements 9.1 Généralités AVERTISSEMENT Danger de mort lié à l'éjection de composants de la pompe turbo en cas de défaut Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. Si la pompe turbo n'est pas correctement fixée, elle peut être arrachée. L'énergie ainsi libérée pourrait propulser la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de grave blessure, voire de mort, et de dommages considérables de l'équipement. ► Les instructions d'installation de cette pompe turbo doivent être respectées. ► Les exigences de stabilité et de structure de la contre-bride doivent être observées. ► Utiliser uniquement les accessoires d'origine ou des matériaux de fixation agréés par Pfeiffer Vacuum pour l'installation. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la rupture et à la projection de la pompe turbo avec le compensateur de vibration en cas de dysfonctionnement Un blocage soudain du rotor génère des couples hautement destructeurs conformément à la norme ISO 27892. L'utilisation d'un compensateur de vibration entraînerait probablement la rupture et la projection de la pompe turbo en fonctionnement. L'énergie ainsi libérée pourrait projeter la pompe turbo ou des fragments de l'intérieur de celle-ci dans l'espace environnant. Des gaz potentiellement dangereux pourraient être libérés. Il y a un risque de très graves blessures, voire de mort, et de dommages matériels très importants. ► Des mesures de sécurité sur site pour la compensation des couples doivent être prises. ► Avant d'installer un compensateur de vibration, vous devez d'abord contacter Pfeiffer Vacuum. Les dysfonctionnements du groupe de pompage sont généralement causés par des pannes sur les composants individuels. Les LED sur la pompe turbo et sur la pompe à vide primaire indiquent l'état de fonctionnement de chaque appareil. ● Le module d'affichage et de commande DCU indique l'état de fonctionnement de base du groupe de pompage (voir chapitre « Affichage LED du mode de fonctionnement », page 38). ● Le DCU indique les dysfonctionnements du système par l'émission d'un code d'erreur sur l'écran. 47/66 Dysfonctionnements 9.2 Dépannage Problème Causes possibles Remède Le groupe de pompage ne démarre pas. Aucune LED sur le DCU n'est allumée. ● L'alimentation électrique a été coupée 1. Vérifier les conduites d'alimentation du groupe de pompage. 2. Vérifier la tension de sortie 24 V CC au niveau de la connexion « DC out » du pack d'alimentation électrique intégré. 3. Vérifier les contacts des fiches sur le pack d'alimentation électrique. 4. Vérifier le câble de connexion entre le pack d'alimentation électrique, la pompe de secours et la pompe turbo. ● Tension de service incorrecte 1. Noter les spécifications de la plaque signalétique. 2. Alimenter avec la tension de service correcte. ● Pas de tension de service 1. Connecter la tension de service ● Unité d’entraînement électronique défectueuse 1. Remplacer l'unité d'entraînement électronique conformément au manuel de l'utilisateur de la pompe turbo. 2. Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ● Condensats dans la pompe de secours 1. MVP 015-2 uniquement : ouvrir la soupape à lest d'air de la pompe de secours (voir chapitre « Fonctionnement avec lest d'air (ne concerne que MVP 015-2) », page 37). ● Soupape de lest d’air ouverte 1. MVP 015-2 uniquement : fermer la soupape à lest d'air de la pompe de secours (voir chapitre « Fonctionnement avec lest d'air (ne concerne que MVP 015-2) », page 37). Le groupe de pompage n'atteint pas sa pression finale. Tab. 12: 9.3 Dépannage Codes d’erreur Une erreur (** Error E––– **) entraîne toujours l'arrêt des appareils périphériques connectés. Les avertissements (* Warning F––– *) sont uniquement indiqués et n'entraînent pas l'arrêt de composants. Gestion des messages d'erreur sur le HiCube Eco 1. Commencer par supprimer la cause de l'erreur. 2. Valider le message d'erreur en appuyant sur la touche . 48/66 Dysfonctionnements Affichage dans le DCU Problème Causes possibles Remède * Warning F110 * Manomètre ● Manomètre défaillant ● Connexion au manomètre perdue lors du fonctionnement ● Contrôler le branchement des câbles ● Effectuer un redémarrage avec le manomètre connecté ● Remplacer complètement le manomètre ** Error E040 ** Défaut matériel ● RAM externe défaillante ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ** Error E042 ** Défaut matériel ● Somme de contrôle EPROM incorrecte ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ** Error E043 ** Défaut matériel ● Erreur d’écriture EPROM ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ** Error E090 ** Erreur appareil interne ● RAM pas suffisamment grande ● DCU connecté à une unité d’entraînement électronique incorrecte ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ● Connecter le DCU à la bonne unité d’entraînement électronique ** Error E698 ** Erreur de communication ● L’unité d’entraînement électronique ne répond pas ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. Tab. 13: 2 Messages d’avertissement et d’erreur lors de l’utilisation du DCU Écran Problème Causes possibles Remède E001 vitesse excessive ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0 E002 Surtension ● Ensemble d’alimentation électrique inapproprié utilisé ● Contrôler le type d’ensemble d’alimentation électrique ● Contrôler la tension de secteur E006 Erreur de démarrage ● Seuil de temps de démarrage réglé trop bas ● Débit de gaz dans le récipient suite à des fuites ou vannes ouvertes ● Toujours en-dessous du point de commutation de contrôle de vitesse, le temps de démarrage s’écoule ● Ajuster le temps de démarrage aux conditions du processus ● Contrôler les fuites ou les vannes fermées dans la chambre de vide ● Ajuster le point de commutation de vitesse de rotation E007 Fluide d’exploitation bas ● Fluide d’exploitation bas ● Vérifier le fluide d’exploitation ● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0 E008 Connexion, unité d’entraînement électronique pompe défaillante ● Connexion à la pompe défaillante ● Contrôler les raccordements ● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0 E010 Erreur appareil interne ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0 49/66 Dysfonctionnements Écran Problème Causes possibles Remède E021 L'unité d’entraînement électronique ne détecte pas la pompe ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0 E043 Erreur de configuration interne ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. E044 Température excessive, électronique ● Refroidissement défaillant ● Améliorer le refroidissement ● Contrôler les conditions de fonctionnement E045 Température excessive, moteur ● Refroidissement défaillant ● Améliorer le refroidissement ● Contrôler les conditions de fonctionnement E046 Erreur d’initialisation interne ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. E091 Erreur appareil interne ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. E092 Panneau de connexion inconnu ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. E093 Évaluation de la température du moteur défaillante ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. E094 Évaluation de la température de l’électronique défaillante ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. E098 Erreur de communication interne ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. E107 Erreur groupée étage final ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0 E108 Mesure de la vitesse de rotation défaillante ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0 E109 Logiciel non publié ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. E110 Évaluation du fluide d'exploitation défaillante ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0 E111 Erreur de communication, pompe à liquide de refroidissement ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0 E112 Erreur de groupe, pompe à liquide de refroidissement ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0 E114 Évaluation de la température de l’étage final défaillante ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. E117 Température excessive, partie inférieure de la pompe ● Refroidissement défaillant ● Améliorer le refroidissement ● Contrôler les conditions de fonctionnement E118 Température excessive, étage final ● Refroidissement défaillant ● Améliorer le refroidissement ● Contrôler les conditions de fonctionnement E119 Température excessive, palier ● Refroidissement défaillant ● Améliorer le refroidissement ● Contrôler les conditions de fonctionnement 50/66 Dysfonctionnements Écran Problème Causes possibles Remède E143 Température excessive, pompe à liquide d'exploitation ● Refroidissement défaillant ● Améliorer le refroidissement ● Contrôler les conditions de fonctionnement ● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0 E777 Vitesse de rotation nominale non confirmée ● Vitesse de rotation nominale non confirmée après le remplacement de l’unité d’entraînement électronique ● Confirmer la vitesse de rotation nominale avec [P:777] ● Valider uniquement à la vitesse de rotation f = 0 F001 Temps de montée en température TMS expiré ● Minuterie interne de surveillance de montée en température dépassée ● Contrôler les conditions de fonctionnement F003 Sonde de température de circuit de chauffage TMS ● La température TMS n'est pas dans la plage admissible, entre +5 °C et 85 °C ● Contrôler les conditions de fonctionnement ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. F007 Sous-tension/panne de courant ● Panne de secteur ● Contrôler l’alimentation de secteur F018 Conflit de primauté de fonctionnement ● Groupe de pompage mis en marche avec [P:010] alors que l’entrée E74 « start/stop » est à l’arrêt (ouverte) ● Mettre le poste de pompage en marche via E74 ● Mettre le poste de pompage à l’arrêt via [P:010]. F021 Signal de verrouillage invalide ● Le signal de la surveillance du signal de verrouillage se trouve en-dehors de la plage valide ● Contrôler les connexions de la surveillance du gaz de pressurisation ● Contrôler les options de paramètre des sorties accessoires F034 Débit de gaz de pressurisation bas ● Signal de la surveillance du gaz de pressurisation valide mais en-dessous du seuil réglé [P:791] ● Contrôler et corriger l’alimentation en gaz de pressurisation ● Contrôler les conditions de fonctionnement F045 Température élevée du moteur ● Refroidissement défaillant ● Améliorer le refroidissement ● Contrôler les conditions de fonctionnement F076 Température élevée de l’électronique ● Refroidissement défaillant ● Améliorer le refroidissement ● Contrôler les conditions de fonctionnement F097 Informations de pompe invalides ● Données de pompe défaillantes ● La validation rétablit les paramètres usine F098 Informations de pompe incomplètes ● Connexion à la pompe défaillante ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. F100 Vitesse de rotation augmentée à la valeur minimale ● Spécifications autorisées pour la vitesse de rotation ou le mode standby incorrectes ● Contrôler [P:707] ou [P:717] ● Consulter la plage de vitesse de rotation valide dans la fiche technique de la turbopompe F115 Évaluation de la température de la partie inférieure de la pompe défaillante ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. 51/66 Dysfonctionnements Écran Problème Causes possibles Remède F116 Évaluation de la température du palier défaillante ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. F117 Température élevée de la partie inférieure de la pompe ● Refroidissement défaillant ● Améliorer le refroidissement ● Contrôler les conditions de fonctionnement F118 Température élevée de l’étage final ● Refroidissement défaillant ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ● Contrôler les conditions de fonctionnement F119 Température élevée du palier ● Refroidissement défaillant ● Améliorer le refroidissement ● Contrôler les conditions de fonctionnement F143 Température de pompe à liquide d'exploitation élevée ● Refroidissement défaillant ● Améliorer le refroidissement ● Contrôler les conditions de fonctionnement F168 Temporisation importante ● Vitesse d’augmentation de pression trop importante, vitesse de ventilation trop élevé ● Contrôler et ajuster la vitesse de ventilation spécifique à la pompe Tab. 14: Messages d’avertissement et d’erreur pour l’unité d'entraînement électronique de pompe turbo Écran Problème Causes possibles Remède E042 Logiciel incompatible Erreurs de somme de contrôle ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. E091 Équipement inconnu ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. E098 Erreur interne de communication entre la carte interface et l'entraînement ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. E117 Température excessive pompe E173 Dépassement de la capacité de la pompe ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. E174 Pompe bloquée ● Contacter Pfeiffer Vacuum Service. ● Refroidissement défaillant ● Améliorer le refroidissement ● Contrôler les conditions de fonctionnement Tab. 15: Messages d’avertissement et d’erreur pour l’unité d'entraînement électronique de pompe à membrane MVP 015 52/66 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 10 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous proposons un service de premier choix Une longue durée de vie des composants de vide et dans le même temps des temps d'arrêt réduits : telles sont vos attentes claires. Nous répondons à vos exigences avec des produits performants et un excellent service. Nous nous efforçons constamment de perfectionner notre coeur de métier, le service pour les composants du vide. Et notre service est loin d'être terminé une fois que vous avez acheté un produit de Pfeiffer Vacuum. Bien souvent, il ne fait que commencer avec la qualité éprouvée Pfeiffer Vacuum, bien sûr ! Dans le monde entier, nos commerciaux et nos spécialistes du SAV sont là pour vous aider avec professionnalisme. Pfeiffer Vacuum propose une formule complète, depuis la pièce de rechange d'origine jusqu'au contrat de service. Adressez-vous à Pfeiffer Vacuum Service Qu'il s'agisse d'interventions préventives sur place par nos techniciens SAV, de l'échange rapide par des produits de remplacement ou de la réparation dans un Centre de service près de chez vous – différentes possibilités s'offrent à vous pour assurer une disponibilité optimale de vos appareils. Vous trouverez des renseignements détaillés ainsi que nos coordonnées sur notre page d'accueil à la rubrique Pfeiffer Vacuum Service. Vous pourrez obtenir des conseils pour la solution optimale auprès de votre Interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour le bon déroulement et la rapidité du processus de service après-vente, nous vous recommandons de procéder comme suit : 1. Téléchargez les modèles de formulaires actuels. ─ ─ ─ ANFORDERUNG SERVICE Déclarations concernant les demandes de service Demande de service Déclaration de contamination a. Démontez et gardez tous les accessoires (composants externes à l'appareil, vanne, filtre pare-éclats, etc. ). b. Vidangez les fluides d'exploitation et lubrifiants, le cas échéant. c. Vidangez le liquide de refroidissement, le cas échéant. 2. Remplissez la demande de service et la déclaration de contamination. 3. Envoyez les formulaires par e-mail, par fax ou par courrier au Centre de service de votre région. 4. Vous recevez une réponse de Pfeiffer Vacuum. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG Envoi de produits contaminés Les produits contaminés (contamination microbiologique, substances explosives ou radioactives) sont systématiquement refusés. Sur les produits contaminés ou en l'absence de déclaration concernant la contamination, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant d'engager la maintenance. De plus, selon le produit et le niveau de contamination, des frais supplémentaires de décontamination pourront être demandés. 53/66 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 5. Préparez le produit pour le transport conformément aux dispositions de la déclaration concernant la contamination. a) Neutralisez la pompe avec de l'azote ou de l'air sec. b) Obturez toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l'air. c) Scellez le produit dans un film de protection adéquat. d) Emballez le produit uniquement dans un contenant de transport solide et adéquat. e) Respectez les conditions de transport applicables. 6. Apposez la déclaration de contamination à l'extérieur de l'emballage. 7. Expédiez ensuite votre produit vers le Centre de service de votre région. 8. Vous recevez une réponse/un devis de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les commandes de SAV, nos conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos conditions de réparation et de maintenance concernant les appareils et composants de vide s'appliquent. 54/66 Accessoires 11 Accessoires Recommandation Veuillez vous référer à la liste d'accessoires pour chaque composant dans leur manuel de l'utilisateur respectif ou en ligne sur pfeiffer-vacuum.de. 55/66 Caractéristiques techniques et dimensions 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Généralités Cette section décrit les bases des données techniques des pompe turbo Pfeiffer Vacuum. Caractéristiques techniques Les valeurs maximum se rapportent exclusivement à l'entrée en tant que charge simple. ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ● ISO 27892 2010 : « Technique du vide - Pompes turbomoléculaires - Mesure du couple d'arrêt rapide » ● ISO 21360 2007 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes à vide - Description générale » ● ISO 5302 2003 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes de vide » ● Pression ultime avec dôme de test après 48 h ● Débit de gaz avec refroidissement à eau ; pompe de secours = pompe à palettes rotative (10 m3/h) ● Consommation d’eau de refroidissement à débit maximum de gaz, température de l’eau de refroidissement 25 °C ● Taux de fuite intégral avec une concentration de 100 % d'hélium, durée de mesure 10 s ● Niveau de pression acoustique à une distance = 1 m de la pompe à vide mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 100 1 0,1 0,75 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 1 · 105 1,000 100 750 Pa 0,01 1 · 10-5 1 0,01 1 · 10-3 7.5 · 10-3 hPa 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 133,32 1,33 0,133 1 -3 1,33 · 10 -3 1 Pa = 1 N/m2 Tab. 16: Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 592 7,5 10 3 Pa m /s sccm 1.69 · 10 Torr l/s 3 atm cm /s Tab. 17: mbar l/s 1 -2 1.69 · 10 -3 1 1,27 · 10 9,87 -2 1.67 · 10-2 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 12.2 Caractéristiques techniques Classification de type HiCube 30 Eco HiCube 30 Eco HiCube 30 Eco Bride de raccordement (entrée) DN 40 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 ISO-KF Bride de raccordement (sortie) G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux 56/66 Caractéristiques techniques et dimensions Pompe Turbomoléculaire HiPace 30 HiPace 30 HiPace 30 Pompe à vide primaire MVP 015-2 MVP 015-4 MVP 030-3 Pression limite < 1 · 10 hPa < 1 · 10 hPa < 1 · 10-7 hPa Débit pour N2 22 l/s 22 l/s 22 l/s Débit de la pompe primaire à 50 Hz 1 m³/h 0,75 m³/h 1,8 m³/h Temps de pompage enceinte d'un volume de 1l 56 s 84 s 15 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 10 l 560 s 836 s 145 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 100 l 5595 s 8358 s 1451 s Raccordement secteur: tension 100 – 240 V 100 – 240 V 100 – 240 V Raccordement secteur: fréquence (plage) 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz Type de refroidissement, standard Air Air Air Humidité relative de l'air 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, Poids 11,7 kg 13,4 kg 13,3 kg -7 Tab. 18: -7 Caractéristiques techniques HiCube 30 Eco, DN 40 ISO-KF Classification de type HiCube 30 Eco HiCube 30 Eco HiCube 30 Eco Bride de raccordement (entrée) DN 63 CF-F DN 63 CF-F DN 63 CF-F Bride de raccordement (sortie) G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux Pompe Turbomoléculaire HiPace 30 HiPace 30 HiPace 30 Pompe à vide primaire MVP 015-2 MVP 015-4 MVP 030-3 Pression limite < 1 · 10-8 hPa < 1 · 10-8 hPa < 1 · 10-8 hPa Débit pour N2 32 l/s 32 l/s 32 l/s Débit de la pompe primaire à 50 Hz 1 m³/h 0,75 m³/h 1,8 m³/h Temps de pompage enceinte d'un volume de 1l 56 s 84 s 15 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 10 l 560 s 836 s 145 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 100 l 5595 s 8358 s 1451 s Raccordement secteur: tension 100 – 240 V 100 – 240 V 100 – 240 V Raccordement secteur: fréquence (plage) 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz Type de refroidissement, standard Air Air Air Humidité relative de l'air 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, Poids 12,9 kg 14,6 kg 14,5 kg Tab. 19: Caractéristiques techniques HiCube 30 Eco, DN 63 CF-F Classification de type HiCube 30 Eco HiCube 30 Eco HiCube 30 Eco Bride de raccordement (entrée) DN 63 ISO-K DN 63 ISO-K DN 63 ISO-K Bride de raccordement (sortie) G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux Pompe Turbomoléculaire HiPace 30 HiPace 30 HiPace 30 57/66 Caractéristiques techniques et dimensions Pompe à vide primaire MVP 015-2 MVP 015-4 MVP 030-3 Pression limite < 1 · 10 hPa < 1 · 10 hPa < 1 · 10-7 hPa Débit pour N2 32 l/s 32 l/s 32 l/s Débit de la pompe primaire à 50 Hz 1 m³/h 0,75 m³/h 1,8 m³/h Temps de pompage enceinte d'un volume de 1l 56 s 84 s 15 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 10 l 560 s 836 s 145 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 100 l 5595 s 8358 s 1451 s Raccordement secteur: tension 100 – 240 V 100 – 240 V 100 – 240 V Raccordement secteur: fréquence (plage) 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz Type de refroidissement, standard Air Air Air Humidité relative de l'air 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, Poids 11,7 kg 13,4 kg 13,3 kg -7 Tab. 20: -7 Caractéristiques techniques HiCube 30 Eco, DN 63 ISO-KF Classification de type HiCube 80 Eco HiCube 80 Eco HiCube 80 Eco Bride de raccordement (entrée) DN 40 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 ISO-KF Bride de raccordement (sortie) G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux Pompe Turbomoléculaire HiPace 80 HiPace 80 HiPace 80 Pompe à vide primaire MVP 015-2 MVP 015-4 MVP 030-3 Pression limite < 1 · 10 hPa < 1 · 10 hPa < 1 · 10-7 hPa Débit pour N2 35 l/s 35 l/s 35 l/s Débit de la pompe primaire à 50 Hz 1 m³/h 0,75 m³/h 1,8 m³/h Temps de pompage enceinte d'un volume de 1l 56 s 83 s 14 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 10 l 557 s 834 s 143 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 100 l 5572 s 8335 s 1428 s Raccordement secteur: tension 100 – 240 V 100 – 240 V 100 – 240 V Raccordement secteur: fréquence (plage) 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz Type de refroidissement, standard Air Air Air Humidité relative de l'air 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, Poids 12,1 kg 13,8 kg 13,7 kg -7 Tab. 21: -7 Caractéristiques techniques HiCube 80 Eco, DN 40 ISO-KF Classification de type HiCube 80 Eco HiCube 80 Eco HiCube 80 Eco Bride de raccordement (entrée) DN 63 CF-F DN 63 CF-F DN 63 CF-F Bride de raccordement (sortie) G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux Pompe Turbomoléculaire HiPace 80 HiPace 80 HiPace 80 Pompe à vide primaire MVP 015-2 MVP 015-4 MVP 030-3 Pression limite < 1 · 10-8 hPa < 1 · 10-8 hPa < 1 · 10-8 hPa 58/66 Caractéristiques techniques et dimensions Débit pour N2 67 l/s 67 l/s 67 l/s Débit de la pompe primaire à 50 Hz 1 m³/h 0,75 m³/h 1,8 m³/h Temps de pompage enceinte d'un volume de 1l 56 s 83 s 14 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 10 l 557 s 834 s 143 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 100 l 5572 s 8335 s 1428 s Raccordement secteur: tension 100 – 240 V 100 – 240 V 100 – 240 V Raccordement secteur: fréquence (plage) 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz Type de refroidissement, standard Air Air Air Humidité relative de l'air 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, Poids 13,5 kg 15,2 kg 15,1 kg Tab. 22: Caractéristiques techniques HiCube 80 Eco, DN 63 CF-F Classification de type HiCube 80 Eco HiCube 80 Eco HiCube 80 Eco Bride de raccordement (entrée) DN 63 ISO-K DN 63 ISO-K DN 63 ISO-K Bride de raccordement (sortie) G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux Pompe Turbomoléculaire HiPace 80 HiPace 80 HiPace 80 Pompe à vide primaire MVP 015-2 MVP 015-4 MVP 030-3 Pression limite < 1 · 10-7 hPa < 1 · 10-7 hPa < 1 · 10-7 hPa Débit pour N2 67 l/s 67 l/s 67 l/s Débit de la pompe primaire à 50 Hz 1 m³/h 0,75 m³/h 1,8 m³/h Temps de pompage enceinte d'un volume de 1l 56 s 83 s 14 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 10 l 557 s 834 s 143 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 100 l 5572 s 8335 s 1428 s Raccordement secteur: tension 100 – 240 V 100 – 240 V 100 – 240 V Raccordement secteur: fréquence (plage) 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz Type de refroidissement, standard Air Air Air Humidité relative de l'air 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, Poids 12,1 kg 13,8 kg 13,7 kg Tab. 23: Caractéristiques techniques HiCube 80 Eco, DN 63 ISO-KF Classification de type HiCube 300 Eco HiCube 300 Eco HiCube 300 Eco HiCube 300 Eco HiCube 300 Eco HiCube 300 Eco Bride de raccordement (entrée) DN 100 CF-F DN 100 CFF DN 100 CF-F DN 100 CFF DN 100 CFF DN 100 CFF Bride de raccordement (sortie) G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux Pompe Turbomoléculaire HiPace 300 HiPace 300 HiPace 300 HiPace 300 H HiPace 300 H HiPace 300 H Pompe à vide primaire MVP 015-2 MVP 015-4 MVP 030-3 MVP 015-2 MVP 015-4 MVP 030-3 59/66 Caractéristiques techniques et dimensions Pression limite < 1 · 10-8 hPa < 1 · 10-8 hPa < 1 · 10-8 hPa < 1 · 10-10 hPa < 1 · 10-10 hPa < 1 · 10-10 hPa Débit pour N2 260 l/s 260 l/s 260 l/s 260 l/s 260 l/s 260 l/s Débit de la pompe primaire à 50 Hz 1 m³/h 0,75 m³/h 1,8 m³/h 1 m³/h 0,75 m³/h 1,8 m³/h Temps de pompage enceinte d'un volume de 1 l 55 s 83 s 14 s 55 s 83 s 14 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 10 l 553 s 830 s 138 s 553 s 830 s 138 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 100 l 5532 s 8295 s 1382 s 5532 s 8295 s 1382 s Raccordement secteur: tension 100 – 240 V 100 – 240 V 100 – 240 V 100 – 240 V 100 – 240 V 100 – 240 V Raccordement secteur: fréquence (plage) 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz Type de refroidissement, standard Air Air Air Air Air Air Humidité relative de l'air 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, Poids 17,9 kg 19,6 kg 19,5 kg 17,9 kg 19,6 kg 19,5 kg Tab. 24: Caractéristiques techniques HiCube 300 Eco, DN 100 CF-F Classification de type HiCube 300 Eco HiCube 300 Eco HiCube 300 Eco HiCube 300 Eco HiCube 300 Eco HiCube 300 Eco Bride de raccordement (entrée) DN 100 ISO-K DN 100 ISO-K DN 100 ISO-K DN 100 ISO-K DN 100 ISOK DN 100 ISO-K Bride de raccordement (sortie) G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux G 1/8" + silencieux Pompe Turbomoléculaire HiPace 300 HiPace 300 HiPace 300 HiPace 300 H HiPace 300 H HiPace 300 H Pompe à vide primaire MVP 015-2 MVP 015-4 MVP 030-3 MVP 015-2 MVP 015-4 MVP 030-3 Pression limite < 1 · 10 hPa Débit pour N2 260 l/s 260 l/s 260 l/s 260 l/s 260 l/s 260 l/s Débit de la pompe primaire à 50 Hz 1 m³/h 0,75 m³/h 1,8 m³/h 1 m³/h 0,75 m³/h 1,8 m³/h Temps de pompage enceinte d'un volume de 1 l 55 s 83 s 14 s 55 s 83 s 14 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 10 l 553 s 830 s 138 s 553 s 830 s 138 s Temps de pompage enceinte d'un volume de 100 l 5532 s 8295 s 1382 s 5532 s 8295 s 1382 s Raccordement secteur: tension 100 – 240 V 100 – 240 V 100 – 240 V 100 – 240 V 100 – 240 V 100 – 240 V 60/66 -7 < 1 · 10 hPa -7 < 1 · 10 hPa -7 < 1 · 10 hPa -10 < 1 · 10 hPa -10 < 1 · 10-10 hPa Caractéristiques techniques et dimensions Raccordement secteur: fréquence (plage) 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz 50/60 Hz Type de refroidissement, standard Air Air Air Air Air Air Humidité relative de l'air 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, 5 – 85 %, Poids 15,9 kg 17,6 kg 17,5 kg 15,9 kg 17,6 kg 17,5 kg Tab. 25: 12.3 Caractéristiques techniques HiCube 300 Eco, DN 100 ISO-KF Schémas cotés Toutes les cotes sont indiquées en millimètres Fig. 22: Dimensions du HiCube 30 Eco, DN 40 ISO-KF Fig. 23: Dimensions du HiCube 30 Eco, DN 63 CF-F 61/66 Caractéristiques techniques et dimensions 62/66 Fig. 24: Dimensions du HiCube 30 Eco, DN 63 ISO-K Fig. 25: Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 40 ISO-KF Fig. 26: Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 63 CF-F Fig. 27: Dimensions du HiCube 80 Eco, DN 63 ISO-K Caractéristiques techniques et dimensions Fig. 28: Dimensions du HiCube 300 Eco, DN 100 CF-F Fig. 29: Dimensions du HiCube 300 Eco, DN 100 ISO-K 63/66 Déclaration de conformité Par la présente, nous déclarons que le produit cité ci-dessous est conforme à toutes les dispositions des directives UE suivantes : ● Machines 006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) ● Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE ● Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses 2011/65/UE La personne en charge de la compilation des documents techniques est M. Helmut Bernhardt, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Aßlar. Groupe de pompage turbo HiCube Eco Normes harmonisées et normes et spécifications nationales qui ont été appliquées : DIN EN ISO 12100:2011 DIN EN 1012-2:2011 DIN EN 61000-3-2:2014 DIN EN 61000-3-3:2014 DIN EN 61010-1:2010 DIN EN 61326-1:2013 DIN EN 62061:2013 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Dr Ulrich von Hülsen) Directeur Asslar, 2016-09-10 65/66 *PT0553* ed. D - Date 1901 - P/N:PT0553BFR ">
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