MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original VANNE DU GAZ DE PRESSURISATION Cher Client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvel accessoire Pfeiffer Vacuum vous donnera entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. En capitalisant sur notre expertise, nous avons développé une multitude de compétences qui contribuent à la sécurité et à l’efficacité de mise en œuvre de nos produits. Nous sommes convaincus que notre produit sera à la hauteur de vos attentes : une solution efficace et fonctionnelle pour votre application, sans perturber votre activité. Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Pour toute question ou suggestion, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de. Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/16 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.2 Variantes 1.3 Public visé 1.4 Conventions 1.4.1 Instructions dans le texte 1.4.2 Abréviations 4 4 4 4 4 4 5 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Utilisation conforme 2.3 Utilisations non conformes prévisibles 6 6 6 6 3 Description du produit 3.1 Limite de fourniture 3.2 Description fonctionnelle 7 7 7 4 Installation 8 5 Accessoires 11 6 Caractéristiques techniques et dimensions 6.1 Fiche technique 6.2 Dimensions 12 12 13 Déclaration de conformité UE 14 Déclaration de Conformité UK 15 3/16 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.2 Variantes Numéro de commande Champ de sélection PM Z01 310 Vanne de gaz de balayage, blindée pour HiPace 30/60/80 avec TC 110 PM Z01 311 Vanne de la purge de gaz, blindée pour HiPace 300 avec TC 110/120 PM Z01 312 Vanne de purge de gaz neutre, blindée pour HiPace 300 avec TC 400 et TM 700, TCP 350 PM Z01 313 Vanne de purge de gaz neutre, blindée pour version HiPace 400/700/800 P avec TC 400 et HiPace 1200-2300 avec TC 1200 PM Z01 314 Vanne de gaz de balayage, blindée pour HiPace 1200–2300 avec TC 1200 PM Z01 322 Vanne de gaz de pressurisation, blindée pour HiPace 2800–3400 avec TC 1200 PM Z01 323 Vanne de gaz de pressurisation, blindée pour HiPace 2800–3400 avec TC 1200 Tab. 1: 1.3 Versions de vanne de la purge de gaz Public visé Ce manuel de l’utilisateur est destiné aux personnes qui ● installent, ● utilisent. Les actions présentées dans ce document s’adressent uniquement aux personnes ayant suivi une formation technique convenable (niveau expert) ou une formation équivalente de Pfeiffer Vacuum. 1.4 Conventions 1.4.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 4/16 A propos de ce manuel 1.4.2 Abréviations DN Diamètre nominal comme désignation de grandeur ISO Bride : Raccord conforme aux normes ISO 1609 et 2861 DEL Diode électroluminescente M8 Connecteur à filetage M8 M12 Connecteur à filetage M12 TC Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de pompe turbomoléculaire) TCP Unité de commande électronique externe de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) avec alimentation en courant TM Unité de commande électronique de pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) et contrôleur de palier magnétique WAF largeur sur pans Tab. 2: Abréviations utilisées dans ce document 5/16 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Utilisation conforme ► Utiliser la vanne du gaz de pressurisation uniquement pour l’admission régulable de gaz inertes vers les pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum compatibles. ► Utiliser la vanne du gaz de pressurisation pour protéger la pompe de l’entrée de gaz corrosifs. 2.3 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● Raccordement sur des pompes à vide et des unités non conçues dans ce but selon leur manuel de l’utilisateur ● Raccordement sur des unités avec des pièces nues sous tension 6/16 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Limite de fourniture Pièces incluses dans la fourniture : ● ● ● ● 3.2 Vanne du gaz de pressurisation 1 joint annulaire Filtre Manuel de l’utilisateur Description fonctionnelle La purge de gaz neutre sert à protéger la pompe à vide dans les procédés poussiéreux ou à débit de gaz excessif. La purge de gaz neutre empêche la pénétration de substances dommageables dans l’espace du moteur et du palier. La vanne de la purge de gaz Pfeiffer Vacuum alimente une pompe à vide par un débit constant à commande électrique. 1 14 2 3 4 13 12 5 11 Fig. 1: 1 2 3 4 5 6 7 10 9 7 8 6 Présentation de la vanne de la purge de gaz Pfeiffer Vacuum Fiche de connexion M8 Témoin de contrôle à diode électroluminescente Câble de commande Fiche de connexion M12 Filtre (fourni à la livraison) Bouchon fileté Adaptateur côté admission de gaz 8 9 10 11 12 13 14 Siège de vanne Vanne magnétique Corps du filtre avec capillarités Sortie de gaz Bouchon de protection Joint annulaire Connecteur d’alimentation électrique 7/16 Installation 4 Installation AVIS Risque de dégâts causés par des gaz pompés non filtrés La pénétration de gaz non filtrés à l’admission d’une pompe à vide peut provoquer une contamination particulaire. Il existe un risque de détérioration, voire de destruction de composants de la pompe à vide. ► Installer des filtres convenables de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum en amont de l’admission de gaz avant d’utiliser l’air ambiant ou tout autre gaz non purifié. Préconisation d’utilisation ● Pfeiffer Vacuum recommande d’utiliser le gaz d'étanchéité à au moins 50 % du débit maximal de gaz de la pompe à vide. ● La pression d'entrée admissible du gaz d'étanchéité est de 1 500 hPa absolue. 1 3 4 9 5 11 10 Fig. 2: Exemple : Raccordement de la vanne de la purge de gaz M8 aux unités de commande électronique TC 110, TC 120 1 2 3 4 5 6 8/16 2 8 Vis d’arrêt Joint annulaire Raccord de la purge de gaz neutre Pompe turbomoléculaire Câble de raccordement avec connexion d’accessoire Ligne de commande 7 6 7 8 9 10 11 Raccordement multifonction Unité de commande électronique Bouchon de protection Vanne de la purge de gaz Bouchon fileté Installation 1 2 10 Fig. 3: 1 2 3 4 5 3 4 9 8 6 7 8 9 10 Bouchon fileté Vis d’arrêt Joint annulaire Raccord de la purge de gaz neutre Unité de commande électronique 1 10 1 2 3 4 5 7 Exemple : Raccordement de la vanne de la purge de gaz M12 aux unités de commande électronique TCP 350, TC 400 et TM 700 Raccordement des accessoires Pompe turbomoléculaire Ligne de commande Bouchon de protection Vanne de la purge de gaz Fig. 4: 6 5 2 9 3 8 7 4 6 5 Exemple : Raccordement de la vanne de la purge de gaz M12 aux unités de commande électronique TC 1200, TCP 1200 Pompe turbomoléculaire Raccord de la purge de gaz neutre Joint annulaire Vis d’arrêt Bouchon fileté 6 7 8 9 10 Vanne de la purge de gaz Bouchon de protection Ligne de commande Raccordement des accessoires Unité de commande électronique Outils nécessaires ● Clé hexagonale, ouverture de clé 17 mm ● Clé dynamométrique calibrée (couple de serrage ≤ 1,6) Installation de la vanne de la purge de gaz 1. Sur la pompe turbomoléculaire, dévissez le bouchon fileté et son joint annulaire du raccord de la purge de gaz neutre. 2. Vissez la vanne de la purge de gaz, joint annulaire du côté de la sortie, dans le raccord de purge de gaz neutre de la pompe turbomoléculaire. – Couple de serrage : 5 Nm. 9/16 Installation Raccordement de la vanne de la purge de gaz Le raccordement électrique de la vanne de la purge de gaz dépend du type de connexion de l’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire. ► Configurez la sortie d’accessoire pour la purge de gaz neutre via les interfaces de votre unité de commande électronique. ► TC 110, TC 120, TCP 350, TCP 1200 : Branchez la fiche de connexion du câble de commande à l’unité de commande électronique à l’aide d’un adaptateur ou d'un câble de raccordement convenable. ► TC 400, TM 700, TC 1200 : Branchez la fiche de connexion du câble de commande directement à la prise d’accessoire de l’unité de commande électronique. Alimentation en gaz de pressurisation 1. Visser le filtre (inclus dans la fourniture) à la main du côté entrée de vanne si le gaz de pressurisation est l’air ambiant sec. 2. Alternative : Raccorder une arrivée de gaz inerte (p. ex. azote) côté entrée. 3. Si nécessaire, utiliser un adaptateur de raccordement de la gamme d’accessoires Pfeiffer Vacuum (hors fourniture). 10/16 Accessoires 5 Accessoires Description Référence de commande Bride à filetage de tuyauterie, DN 16 ISO-KF, G 1/8" PM 016 780 -T Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,02 mm, FKM DN 16 ISO-KF PF 117 216 -T Tab. 3: Accessoires en option 11/16 Caractéristiques techniques et dimensions 6 Caractéristiques techniques et dimensions 6.1 Fiche technique Débit de gaz Le débit de gaz augmente en fonction de la pression d’admission. mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 Pa m /s 10 1 592 7,5 9,87 sccm 1.69 · 10-2 1.69 · 10-3 1 1,27 · 10-2 1.67 · 10-2 Torr l/s 1,33 0,133 78,9 1 1,32 atm cm3/s 1,01 0,101 59,8 0,76 1 mbar l/s 3 Tab. 4: Tableau de conversion : unités de débit de gaz Champ de sélection Vanne de gaz de balayage, blindée pour HiPace 30/60/80 avec TC 110 Vanne de la purge de gaz, blindée pour HiPace 300 avec TC 110/120 Vanne de purge de gaz neutre, blindée pour HiPace 300 avec TC 400 et TM 700, TCP 350 Vanne de purge de gaz neutre, blindée pour version HiPace 400/700/800 P avec TC 400 et HiPace 1200-2300 avec TC 1200 Vanne de gaz de balayage, blindée pour HiPace 1200– 2300 avec TC 1200 Vanne de gaz de pressurisation, blindée pour HiPace 2800–3400 avec TC 1200 Vanne de gaz de pressurisation, blindée pour HiPace 2800–3400 avec TC 1200 Numéro de commande PM Z01 310 PM Z01 311 PM Z01 312 PM Z01 313 PM Z01 314 PM Z01 322 PM Z01 323 Flux de gaz à pression atmosphérique 7,5 – 9,5 sccm (0 °C) 12,5 – 15 sccm (0 °C) 12,5 – 15 sccm (0 °C) 17,5 – 20 sccm (0 °C) 22 – 27 sccm (0 °C) 45 – 60 sccm (0 °C) 17,5 – 20 sccm (0 °C) Pression max. à l'aspiration 1 500 hPa (absolue) 1 500 hPa (absolue) 1 500 hPa (absolue) 1 500 hPa (absolue) 1 500 hPa (absolue) 1 500 hPa (absolue) 1 500 hPa (absolue) Filetage G 1/8'' G 1/8'' G 1/8'' G 1/8'' G 1/8'' G 1/8'' G 1/8'' Bride de raccordement (sortie) G 1/8" G 1/8" G 1/8" G 1/8" G 1/8" G 1/8" G 1/8" Raccordement électrique M8 M8 M12 M12 M12 M12 M12 Tension de commande 24 V DC 24 V DC 24 V DC 24 V DC 24 V DC 24 V DC 24 V DC Puissance absorbée 2W 2W 2W 2W 2W 2W 2W Poids 161 g 161 g 0,17 kg 0,17 kg 0,17 kg 185 g 185 g Tab. 5: 12/16 Fiche technique des vannes de la purge de gaz Pfeiffer Vacuum Caractéristiques techniques et dimensions Dimensions G1/8" 2 65.5 SW13 50.7 39.7 SW17 M8 G1/8" 89.7 7 96.7 Vanne de la purge de gaz avec câble de raccordement M8 2 G1/8" 65.5 M12 SW17 SW13 50.7 Fig. 5: 39.7 6.2 G1/8" 89.7 7 96.7 Fig. 6: Vanne de la purge de gaz avec câble de raccordement M12 Dimensions en mm 13/16 Déclaration de conformité UE Déclaration pour produit(s) du type : Vanne de la purge de gaz Pompes turbomoléculaires HiPace Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN 61000-3-2 : 2019 DIN EN 61000-3-3 : 2020 DIN EN 61326-1 : 2018 DIN VDE 0580 : 2011 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-07-19 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Vanne de la purge de gaz Pompes turbomoléculaires HiPace Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Normes et spécifications appliquées: EN IEC 61000-3-2: 2019 EN IEC 61000-3-3: 2013 EN IEC 61326-1: 2021 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-07-17 *PT0229* ed. H - Date 2405 - P/N:PT0229BFR ">
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