Pfeiffer TPR 010/TPR 017/TPR 018 Manuel utilisateur

Responsabilité et garantie
MANUEL DE L'UTILISATEUR
TPG 300
TPG 500
PT R02 250
TPG 300
TPG 500
VWS 120
PT R02 251
–
TPG 010
TPG 031
PT R02 271
TPR 010 … 018
–
TPG 010 A
TPG 031 A
Étendue de livraison
• 1× jauge
Jauge Pirani
• 1× manuel d'utilisateur en allemand
• 1× manuel d'utilisateur en anglais
• 1× manuel d'utilisateur en français
• 1× certificat d'essai (uniquement PT R15 014)
Étuvage
TPR 010
TPR 017, TPR 018
Filament
TPR 010 6), TPR 018
TPR 017
Stockage
• utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation
prévue
• modifie ce produit d'une façon quelconque
• utilise le produit avec des accessoires non répertoriés
dans la documentation du produit correspondante.
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés
incombe au détenteur.
Les pannes du produit dues à des impuretés, ainsi que les
pièces d'usure (p. ex. filaments), sont exclues de la garantie.
Caractéristiques techniques
Principe de mesure
Gamme de mesure
(air, O2, CO, N2)
Précision TPR 010
conductance thermique selon
Pirani
8×10-4 … 1000 hPa
DANGER
Indications concernant la prévention de dommages corporels de toute nature.
AVERTISSEMENT
Indications concernant la prévention de dégradations de
l'environnement et d'importants dégâts matériels.
Attention
Validité
Ce document est valable pour les produits avec les numéros
de référence :
TPR 010
Indications relatives à une manipulation ou un usage corrects. Le non-respect des instructions peut provoquer des
disfonctionnements ou des dégâts matériels mineurs.
(Filament en W)
PT R02 270
PT R02 250
PT R02 251
PT R02 271
modèle standard
modèle plus ancien 1)
modèle plus ancien 1)
modèle plus ancien 1)
TPR 017
TPR 018
(Filament en Ni)
(DN 10 ISO-KF)
(DN 10 ISO-KF)
(DN 10 ISO-KF)
(DN 10 ISO-KF)
Remarque
Qualification du personnel
(Filament en W)
PT R13 270A
PT R13 271A
PT R15 010A (DN 16 ISO-KF)
PT R15 011A (DN 16 CF-F)
PT R15 014A (DN 40 CF-F)
Le numéro de référence (P/N) figure sur la plaque signalétique.
Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications
techniques sans préavis.
Toutes dimensions en mm.
Utilisation prévue
Les jauges Pirani TPR 010, TPR 017 et TPR 018 servent à la
mesure du vide des gaz dans la gamme des pressions de
5×10-4 … 1000 hPa.
Elles ne doivent pas être employées pour la mesure de gaz
facilement inflammables ou combustibles mélangés à un
oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique) dans les limites
explosives.
Elles doivent être exploitées avec un appareil de mesure et
de commande TPG 300 / TPG500 de la société Pfeiffer
Vacuum.
Personnel qualifié
Les travaux décrits dans ce document ne peuvent être
effectués que par des personnes ayant une formation
technique appropriée et l'expérience nécessaire ou ayant
été formés en conséquence par le détenteur du produit.
Indications concernant la sécurité
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes aux gaz utilisés.
• Considérer les réactions possibles entre les matériaux du
produit et les gaz de procédés.
8
65.5
≈±20% de la valeur mesurée
2
Vapeur
10–2 d'eau
8
6
4
La position d'installation n'est pas imposée, mais
pour empêcher que les particules et condensats
n'entrent dans la chambre de mesure, il est
préférable d'installer la jauge horizontalement ou
debout.
–3
10–3 2
4 6 10–2 2
4 6 10–1 2
4 6 100 2
4 6 101 2
4 6
102
peff (hPa)
Bride ISO-KF
peff = C × pression indiquée
0.8
1.4
1.7
2.4
3.0
Type de gaz
Facteur de
conversion C
H2
air, O2, CO, N2
CO2
vapeur d'eau
fréon 12
0.5
1.0
0.9
0.5
0.7
Joint avec anneau de
centrage
≈±35% de la valeur mesurée
Élément de serrage
dans la gamme 1×10-2 … 100 hPa
≈±2% de la valeur mesurée
dans la gamme 1×10-2 … 100 hPa
Installation
DANGER
≈±5% de la valeur mesurée
Bride CF-F
Kit de vis à tête hexagonale
DN 16 CF:
DN 40 CF:
M4×20 (6 pc.)
M6×35 (6 pc.)
Surpression dans le système à vide >100 kPa
Si des éléments de serrage sont ouverts lorsque
il règne une surpression dans le système à vide,
des composants peuvent être projetés et causer
des blessures. Des gaz peuvent également
s'échapper et avoir des effets nuisibles pour la
santé.
Ne pas ouvrir les éléments de serrage lorsqu'il
règne une surpression dans le système à vide.
Utiliser des éléments de serrage convenables
pour la surpression.
dans la gamme 1×10-2 … 100 hPa
AlMgSi
FPM
bronze fritté
W / Ni
Poids
TPR 010
TPR 017, TPR 018
Bride de raccordement ISO-KF
Raccordement au vide
DN 16 CF-F
DN 40 CF-F
≈0.14 kg
≤1.2 kg
Al2O3
W / Ni
Joint
Bride de
raccordement CF-F
Raccordement électrique
Mettre la commande hors circuit avant de réaliser
ou de couper une connexion vers le produit.
Relier la jauge à l'appareil de mesure à l'aide d'un câble de
mesure (→ "Accessoires").
TPR 010 (PT R02 270, PT R02 271)
R1: Filament
R2: Compensateur thermique
DANGER
≤900 kPa (gaz inertes)
en fonction de l'appareil de
mesure
Mmise à la masse
Les produits incorrectement mis à la masse
peuvent être extrêmement dangereux en cas
d'un défaut.
La jauge doit être connectée directement à l'enceinte à vide mise à la masse. Le raccordement
doit répondre aux exigences d'une connexion de
protection selon la norme EN 61010 :
• Les raccords à vide CF satisfont à ces
exigences.
2)
3)
4)
5)
6)
PT R02 250, PT R02 251, PT R02 271 : +10 … +50 °C
Avec câble de mesure à haute résistance thermique :
0 … +120 °C
Avec PKG 100, TPG 100 : +10 … +50 °C
Avec câble de mesure à haute résistance thermique ou sans
câble
PT R02 251, PT R02 271 : +300 °C
Garder le
protecteur
DANGER
Surpression dans le système à vide >250 kPa
Les anneaux d'étanchéité en élastomère (p. ex.
joints toriques) des brides KF ne peuvent pas
résister à de telles pressions. Des gaz peuvent
donc s'échapper et avoir des effets nuisibles
pour la santé.
Utiliser des joints toriques pourvus d'un anneau
de centrage extérieur.
acier inoxydable
Résistance au rayonnement
TPR 010
–
TPR 017, TPR 018
1×106 Gy
Surpression TPR 010
Longueur du câble
jauge -appareil de
mesure
8
6
4
DN 16 ISO-KF
dans la gamme 1×10-2 … 100 hPa
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions appropriées concernant toute intervention.
Tenir également compte des dispositions de précaution figurant dans ce document.
Communiquer les indications concernant la sécurité aux
autres utilisateurs.
Les modèles plus anciens sont uniquement disponibles comme
pièces de rechange pour l'exploitation des anciens appareils
de mesure qui ne sont plus en vente.
140
dans la gamme 1×10 … 100 hPa
Al2O3
Ni / Ni
2
10–1
He
Ne
Ar
Kr
Xe
TPR 017, TPR 018
-2
acier inoxydable
Zone sensible à la pollution
Si le produit ou des parties du produit sont touchés avec les mains nues le taux de dégazage
est augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches
et utiliser des outils propres.
Type de Facteur de
gaz
conversion C
DN 10 ISO-KF
≈±10% de la valeur mesurée
A t t e n t io n
Xe
8
6
4
Facteurs de conversion pour la gamme des pressions
inférieure à 1 hPa
• Considérer des réactions possibles des gaz de procédés
à la chaleur générée par le produit (p. ex. explosions).
• Se renseigner avant le début de l'intervention sur une
éventuelle contamination. Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation d'éléments contaminés.
1)
Matériaux TPR 010
Paroi intérieure de la
chambre de mesure,
bride
Passage électrique
Filtre à pores
Filament / support
Matériaux TPR 017
Paroi intérieure de la
chambre de mesure,
bride, diaphragme
Passage électrique
Filament / support
Matériaux TPR 018
Paroi intérieure de la
chambre de mesure,
bride, diaphragme
Passage électrique
Filament / support
CO2
Ar
Freon 12
Kr
2
7.5
jusqu'à un facteur 2 de la
valeur mesurée
dans la gamme ≤10-2 hPa
TPR 017
Gamme
d'indication 10-2 hPa)
8
6
4
10
19
jusqu'à un facteur 2 de la
valeur mesurée
Précision TPR 018
À température ambiante
et avec un câble de
<20m
À une température de
0 … +70 °C et avec
toutes les longueurs de
câble spécifiées
Dans la plage de
température spécifiée et
avec les longueurs de
câble spécifiées
Répétabilité avec air
TPR 010, TPR 018
Air
O2
CO
N2
Composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
2
ø50
Explication des signes
≤80 à températures ≤+31 °C,
diminuant à 50 à +40 °C
en espaces clos, altitude max.
2000 m NN
indifférente
IP 40
110
dans la gamme 1×10-1 … 10 hPa
Sécurité
H2 He Ne
8
6
4
100
Dimensions [mm]
TPR 010
≈±20% de la valeur mesurée
Les indications figurant sur la plaque signalétique du produit
sont nécessaires pour toutes communications à Pfeiffer
Vacuum. Reporter ces indications ci-dessous.
102
2
–40 … +80 °C
Position de montage
Protection TPR 010
A t t e n t io n
Pression indiquée (jauge ajustée pour l'air)
p (hPa)
101
Température ambiante +130 °C
Température ambiante +70 °C
Utilisation
dans la gamme ≥100 hPa
Identification du produit
+100 °C
+250 °C 5)
Humidité relative
ø9.5
BG 5976 BFR / B (2024-04)
Traduction du manuel de l'utilisateur
TPG 035
TPG 060
TPG 070
TPG 100
PKG 020
PKG 100
• n'observe pas les indications figurant dans ce document
Dépendance du type de gaz
ø17
PT R02 250
PT R13 xxx
PT R15 xxx
IMG 300
Circuit en pont à
compensation automatique
TPG 300
TPG 500
Circuit en
pont
simple
PT R02 270
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une
tierce personne
0 … +70°C 2)
0 … +80 °C 3)
0 … +120°C 4) (avec TPG 300,
TPG 500)
ø14
ø32
Appareil de mesure et de
commande
nouveau
ancien
Températures admissibles
Service
TPR 010
TPR 017
TPR 018
ø31
Modèles plus anciens
R1
1
R2
5
2
NTC
4
3
2
1
5
4
• Pour les brides KF il faudra utiliser un collier
de serrage conducteur.
(2024-04)
TPR 010 (PT R02 250, PT R02 251)
Le boîtier de la jauge est relié à la masse au moyen du câble
de mesure de l'appareil de mesure.
R1
8
R2
NTC
Composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention
sur une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés.
1
7
2
6
3
4
1
2
3
4
8
Repère rouge
NTC
1
3
4
2
 Nettoyer ou remplacer le filtre (TPR 010) (→ "Pièces
4
1
3
2
A t t e n t io n
Fonctionnement
La jauge est prête au service dès son installation.
Lors de la première mise en service, nous recommandons d'ajuster la jauge (→ Manuel de
l'utilisateur de l'appareil de mesure employé).
Si le diaphragme est démonté de la tubulure de raccordement afin d'atteindre des temps de réaction très courts avec
les jauges TPR 017 et TPR 018, impérativement éviter tout
changement brusque de pression afin de ne pas détruire le
filament : Lentement purger le système à vide.
La sensibilité du filament en nickel de la jauge TPR 017 n'est
pas identique à celle du filament en tungstène des jauges
TPR 010 et TPR 018. Les appareils de mesure qui sont
construits pour les jauges à filament en tungstène doivent
être adaptés en vue d'une exploitation avec la jauge
TPR 017.
Les câbles de mesure influencent la précision de
mesure. En cas d'utilisation de câbles >20 m, un
ajustement de la jauge avec le câble de mesure
employé est vivement recommandé (→ Manuel de
l'utilisateur de l'appareil de mesure).
Ajustement de la jauge
La jauge a été étalonnée en usine. Un nouvel ajustement est
requis pour la plupart des applications. Cela permet de
corriger les erreurs de mesure résultant de la dispersion
exemplaire, la température et l'influence de la longueur du
câble de mesure. Cet ajustement doit être réalisé conformément au manuel de l'utilisateur de l'appareil de mesure
employé.
Ajuster la jauge aux conditions ambiantes régnant pendant
son service normal et dans sa position de montage
habituelle.
Dépendance du type de gaz
Le signal de mesure dépend du type de gaz. La valeur
mesurée correspond à l'air, à l'oxygène (O2), au monoxyde
de carbone (CO) et à l'azote (N2). Pour d'autres gaz, la
pression peut être déterminée par une conversion
(→ "Caractéristiques techniques" et manuel de l'utilisateur de
l'appareil de mesure employé).
Dans la gamme de pression inférieure à 1 hPa, cela peut
être réalisé en saisissant le facteur de calibrage
correspondant sur l'appareil de mesure Pfeiffer Vacuum
(→ Manuel de l'utilisateur de l'appareil de mesure employé).
 Remettre la jauge à la pression atmosphérique.
 Mettre la jauge hors circuit.
 Débrancher le câble de mesure.
Numéro de
référence
Câble de mesure
TPR 010, 3 m 80 °C
TPR 010, 6 m 80 °C
TPR 017, 3 m 80 °C
TPR 017, 6 m 80 °C
TPR 018, 3 m 80 °C
TPR 018, 6 m 80 °C
Stockage
Composant à vide
Le stockage inadéquat du produit peut
augmenter le taux de dégazage et/ou
occasionner des dommages mécaniques.
Couvrir les raccords à vide du produit avec des
capots de protection ou des feuilles d'aluminium
exempt de graisse et respecter la température
de stockage admissible (→ "Caractéristiques
techniques").
Diaphragme
 Nettoyer la jauge.
Produits de nettoyage
Les produits de nettoyage peuvent nuire à
la santé et à l'environnement.
En cas d'utilisation de produits de
nettoyage, observer les prescriptions
essentielles et prendre les précautions
appropriées concernant leur manipulation
et élimination. Considérer les réactions
possibles avec les matériaux du produit.
• après le nettoyage
Daniel Sälzer
Président
• Composants contaminés
Décontaminer les composants contaminés (par des
substances radioactives, toxiques, corrosives ou microbiologiques) conformément à la réglementation nationale,
les trier en fonction de leurs matériaux et les éliminer.
Déclaration de conformité UKCA
• Composants non contaminés
Trier ces composants en fonction de leurs matériaux et
les récupérer.
Nous, Pfeiffer Vacuum, confirmons par la
présente que les produits suivants sont
conformes aux directives suivantes :
Retour du produit
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
mbar
bar
Pa
hPa
1
1×103
0.01
1
10
1×10-3
1
1×10-5
1×10-3
0.01
100
1×105
1
100
1×103
1
0.1
0.75
1×103 100
750
0.01 1×10-3 7.5×10-3
1
0.1
0.75
10
1
7.5
1.332 1.332×10
-3
kPa
133.32 1.3332 0.1332
1
Déclaration UE de conformité
Nous, Pfeiffer Vacuum, confirmons par la
présente que les produits suivants sont
conformes aux directives suivantes :
Transport de produits contaminés
Les produits contaminés (par des substances
radioactives, toxiques, caustiques ou microbiologiques) peuvent nuire à la santé et polluer
l'environnement.
Les produits qui nous sont envoyés seront dans
la mesure du possible exempts de substances
nocives. Observer les prescriptions de transport
des pays et entreprises de transport concernés.
Inclure une "Déclaration de contamination"
remplie *).
• 2014/35/EU, Der. L 96/357, 29.3.2014
(Directive Basse Tension ; Directive relative
aux équipements électriques destinés à être
utilisés dans certaines limites de tension)
• 2014/30/EU, Der. L 96/79, 29.3.2014
(Directive CEM ; Directive compatibilité
électromagnétique)
• 2011/65/EU, Der. L 174/88, 1.7.2011
(Directive RoHS ; Directive relative à la
restriction de l'utilisation de certaines
substances dangereuses dans les
équipements électriques et électroniques)
* Formulaire disponible sur www.pfeiffer-vacuum.com
)
TPR 018).
(Ordonnance sur la compatibilité
électromagnétique 2016)
• S.I. 2012/3032, 12.2012
(Ordonnance sur la restriction de l'utilisation de
certaines substances dangereuses dans les
appareils électriques et électroniques 2012)
Torr
mm HG
1 Pa = 1 N/m2
AVERTISSEMENT
• Rincer plusieurs fois la chambre de mesure et le
filtre à l'aide d'alcool afin d'éliminer tous les résidus
de solvant.
• Sécher à ≈70 °C.
• S.I. 2016/1091, 11.2016
Table de conversion des unités de
pression
Produits
TPR 010 … 018
(Pour utilisation avec TPG 500)
Normes
Normes harmonisées, normes internationales et nationales
ainsi que spécifications :
• Remplir la chambre de mesure avec un solvant puis
laisser agir pendant une durée suffisante ; répéter le
cas échéant.
 Monter le filtre (TPR 010) ou le diaphragme (TPR 017,
• encrassement
Tri des composants
Après le démontage du produit, trier ses composants selon
les critères suivants :
DANGER
• Verser le solvant.
• vieillissement
Asslar, 2024-04-10
(Règlement de 2016 sur les appareils
électriques (sécurité))
A t t e n t io n
protecteur.
Une compensation sur l'appareil de mesure peut s'avérer
nécessaire dans les cas suivants :
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar
• S.I. 2016/1101, 11.2016
… ou nettoyer le diaphragme (TPR 017, TPR 018).
 Séparer la jauge du système à vide et installer le
Les pannes du produit dues à des impuretés, ainsi
que les pièces d'usure (p. ex. filaments), sont
exclues de la garantie.
PT 548 402-T
PT 548 403-T
PT 548 308-T
PT 548 309-T
PT 548 308-T
PT 548 309-T
Fabricant / Signature
Filtre
Mettre la commande hors circuit avant de
réaliser ou de couper une connexion vers le
produit.
Maintenance, Réparation
B 4161 2003 G
Accessoires
Zone sensible à la pollution
Si le produit ou des parties du produit sont touchés avec les mains nues le taux de dégazage
est augmenté.
Porter des gants propres, exempts de peluches
et utiliser des outils propres.
R1: Filament
R2: Compensateur thermique
Substances polluantes
Certains produits ou leurs éléments (composants mécaniques ou électriques, fluides etc.)
peuvent polluer l'environnement.
Eliminer les substances polluantes conformément à la réglementation locale.
Numéro de
référence
Filtre
(Exigences CEM pour les équipements électriques de mesure,
de contrôle, de régulation et de laboratoire)
AVERTISSEMENT
Pièces de rechange
de rechange") …
A t t e n t io n
Raccords vus de
lextérieur
R2
Condition préalable : Jauge démontée.
Composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
TPR 017, TPR 018
R1
Zone sensible à la pollution
Les impuretés provoquent des erreurs ou
défauts.
Porter des gants propres, exempts de peluches
et utiliser des outils propres.
DANGER
R1: Filament
R2: Compensateur thermique
• EN 61326-1:2013, groupe 1, classe A
A t t e n t io n
Démontage
En absence de confirmation univoque que le produit est
"exempt de substances nocives", le produit est décontaminé
aux frais du client.
En absence d'une "Déclaration de contamination" dûment
remplie, le produit est renvoyé à l'expéditeur à ses frais.
Produits
TPR 010 … 018
(Pour utilisation avec TPG 500)
• EN 61000-3-2:2014, classe A
(CEM : courants harmoniques)
• EN 61000-3-3:2013
(CEM : Limitation des changements de tension, des
fluctuations de tension et du scintillement)
• EN 61000-6-1:2007
(CEM : immunité aux interférences pour les zones
résidentielles et commerciales)
• EN 61000-6-2:2005
(CEM : immunité aux interférences pour les zones
industrielles)
• EN 61000-6-4:2007 + A1:2011
(CEM : émissions parasites pour les zones industrielles)
• EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
(Règles de sécurité pour les équipements électriques de
mesure, de contrôle, de régulation et de laboratoire)
• EN 61010-2-030:2010
(Règles de sécurité pour les équipements électriques de
mesure, de contrôle, de régulation et de laboratoire)
• EN 61326-1:2013, groupe 1, classe A
(Exigences CEM pour les équipements électriques de mesure,
de contrôle, de régulation et de laboratoire)
Fabricant / Signature
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar
Nettoyage
DANGER
Composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention
sur une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés.
Normes
Dépannage
Défaut
Cause possible
Solution
La jauge indique
des pressions trop
élevées
Jauge encrassée
Les petits écarts
peuvent être
compensés en
réalisant une
compensation
ultérieure sur
l'appareil de
mesure
Nettoyer la jauge
A t t e n t io n
Composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
L'affichage ne
fonctionne pas
Filtre encrassé
(TPR 010)
Nettoyer ou
remplacer le filtre
Filament cassé
(un filament intact
comporte une
résistance de
≈100 Ω)
Remplacer la
jauge
Câble de mesure
défectueux,
interrompu ou
court-circuité
Réparer ou
remplacer le câble
de mesure
Asslar, 2024-04-10
Normes harmonisées, normes internationales et nationales
ainsi que spécifications :
Recyclage
• EN 61000-3-2:2014, classe A
DANGER
Composants contaminés
Les composants contaminés peuvent nuire à la
santé et polluer l'environnement.
Se renseigner avant le début de l'intervention
sur une éventuelle contamination. Observer les
prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes à la manipulation de composants contaminés.
(CEM : courants harmoniques)
• EN 61000-3-3:2013
(CEM : Limitation des changements de tension, des
fluctuations de tension et du scintillement)
Daniel Sälzer
Président
• EN 61000-6-1:2007
(CEM : immunité aux interférences pour les zones
résidentielles et commerciales)
• EN 61000-6-2:2005
(CEM : immunité aux interférences pour les zones
industrielles)
• EN 61000-6-4:2007 + A1:2011
(CEM : émissions parasites pour les zones industrielles)
• EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019
(Règles de sécurité pour les équipements électriques de
mesure, de contrôle, de régulation et de laboratoire)
• EN 61010-2-030:2010
(Règles de sécurité pour les équipements électriques de
mesure, de contrôle, de régulation et de laboratoire)
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