MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
TCP 350 PN
Unité de commande électronique
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe
turbomoléculaire est conçue pour vous aider par ses performances, son parfait
fonctionnement, sans interférer avec votre application. Le nom Pfeiffer Vacuum est
synonyme de technologie du vide de haute qualité, d’une gamme étendue et complète de
produits de qualité supérieure et d’un service clients qui se distingue par son excellence.
Forts de cette expertise, nous avons acquis une multitude de compétences contribuant à une
implémentation efficace et sécurisée de notre produit.
Sachant que tout arrêt de production est pénalisant, nous espérons vous offrir une solution
efficace et fiable pour le fonctionnement continu de votre application.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail info@pfeiffer-vacuum.de.
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Exclusion de responsabilité
Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
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Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/70
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque
8
8
8
8
8
8
8
8
9
9
10
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Précautions de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations incorrectes envisageables
2.7 Qualification personnelle
11
11
11
12
13
13
13
14
3
Description du produit
3.1 Identification du produit
3.2 Caractéristiques du produit
3.3 Fonction
3.4 Raccordements
3.5 Volume de livraison
15
15
15
15
16
16
4
Installation
4.1 Préparer l’installation
4.2 Installation de l'appareil dans un cadre
4.3 Raccordement de la pompe turbomoléculaire
4.4 Schéma de raccordement
4.5 Raccord « Profinet »
4.6 Raccordement « SERVICE »
4.7 Connexion « REMOTE »
4.7.1 Alimentation de tension
4.7.2 Entrées
4.7.3 Sorties
4.7.4 Contacts relais
4.8 Raccorder les accessoires
4.9 Raccordement des jauges
4.10 Raccordement de l’alimentation électrique
4.10.1Unité de mise à la terre
4.10.2Raccordement au réseau d’alimentation
17
17
17
17
18
22
22
22
24
25
26
26
26
27
28
28
29
5
Interfaces
5.1 Interface Profinet
5.1.1 Raccordements
5.1.2 Définition de l’ID de l’appareil
5.1.3 Données de processus cycliques
5.1.4 Modules des données de processus cycliques
5.1.5 Paramétrage
5.1.6 Données acycliques
5.1.7 Types de données
5.2 Interface RS-485
30
30
30
30
30
30
33
33
34
34
3/70
Table des matières
5.3
4/70
5.2.1 Interconnexion via le raccordement RS-485
Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
5.3.1 Cadre télégramme
5.3.2 Description du télégramme
5.3.3 Télégramme exemple 1
5.3.4 Télégramme exemple 2
5.3.5 Types de données
35
36
36
36
36
37
37
6
Ensemble de paramètres
6.1 Généralités
6.2 Instructions de réglage
6.3 Demandes d’état
6.4 Entrées des valeurs de référence
38
38
38
40
41
7
Utilisation
7.1 Mise en marche de l’appareil
7.2 Affichage LC
7.3 Symboles d’état
7.4 Fonctions des touches
7.5 Affichage et configuration des paramètres
7.6 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum
7.6.1 Généralités
7.6.2 Configuration de la sortie numérique et du relais
7.6.3 Configuration de la sortie analogique
7.6.4 Configuration du raccordement des accessoires
7.7 Modes de fonctionnement
7.7.1 Commande à distance
7.7.2 Fonctionnement selon le type de gaz
7.7.3 Temps d’accélération
7.7.4 Réglage du point de commutation de la vitesse de rotation
7.7.5 Mode de réglage de la vitesse de rotation
7.7.6 Confirmation de la spécification de vitesse
7.7.7 Stand-by
7.7.8 Modes de fonctionnement de la pompe à vide primaire
7.7.9 Fonctionnement avec des accessoires
7.7.10Modes de ventilation
7.7.11Fonctionnement du transmetteur
7.8 Mise en marche de la pompe à vide raccordée
7.9 Désactivation de la pompe à vide
7.10 Surveillance des opérations
7.10.1Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
7.10.2Affichage du mode de travail pour la LED Profinet
7.10.3Surveillance de la température
7.11 Arrêt de l’appareil
43
43
43
44
44
45
45
8
Maintenance
55
9
Recyclage et mise au rebut
9.1 Informations générales sur la mise au rebut
9.2 Mise au rebut de l’unité de commande électronique
56
56
56
10
Dysfonctionnements
10.1 Généralités
10.2 Codes d’erreur
10.3 Codes d’erreur
57
57
57
58
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
63
12
Accessoires
12.1 Commande d’accessoires
65
65
46
46
46
46
47
47
47
48
48
49
49
50
50
51
51
52
52
53
53
53
53
53
54
Table des matières
13
Caractéristiques techniques et dimensions
13.1 Fiche technique
13.2 Schémas cotés
66
66
66
Déclaration de conformité CE
67
Déclaration de Conformité UK
68
5/70
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Tab. 27:
Tab. 28:
Tab. 29:
Tab. 30:
Tab. 31:
Tab. 32:
Tab. 33:
Tab. 34:
Tab. 35:
Tab. 36:
Tab. 37:
Tab. 38:
Tab. 39:
Tab. 40:
Tab. 41:
Tab. 42:
Tab. 43:
Tab. 44:
Tab. 45:
Tab. 46:
Tab. 47:
Tab. 48:
Tab. 49:
Tab. 50:
Tab. 51:
Tab. 52:
6/70
Autocollants sur le produit
Abréviations utilisées dans ce document
Conditions ambiantes autorisées
Caractéristiques du produit
Description du raccordement de l’unité de commande électronique
Affectation des raccordements RJ45 « Profinet »
Caractéristiques de l’interface de service après-vente RS232
Affectation du connecteur RJ-45 de l’interface de service
Niveaux de logique des entrées et des sorties numériques
Affectation des raccordements du raccord 26 broches « REMOTE »
Câble de raccordement TCP350 – pompe turbomoléculaire avec variantes
du raccordement des accessoires
Types de jauges disponibles
Modules des données de processus cycliques
Module d’assemblage TMP à vitesse contrôlée : Données de sortie (PLC
vers TCP)
Module d’assemblage TMP à vitesse contrôlée : Données d’entrée (TCP
vers PLC)
DCLinkVoltage : Données d’entrée (TCP vers PLC)
DCLinkCurrent: Données d’entrée (TCP vers PLC)
DrivePower: Données d’entrée (TCP vers PLC)
ErrorCode: Données d’entrée (TCP vers PLC)
PrmChannel: Données de sortie (PLC vers TCP)
PrmChannel: Données d’entrée (TCP vers PLC)
PrmChannel: Causes de l’erreur (réponse 7 et 8 : erreur)
Format des données de paramétrage
Service « Write record »
Service « Read record »
Types de données Profinet
Caractéristiques de l’interface RS-485
Affectation des raccordements du connecteur RS-485 RJ-45
Explication et signification des paramètres
Instructions de réglage
Demandes d’état
Entrées des valeurs de référence
Auto-test, requêtes internes après mise sous tension
Signification des fonctions et disposition sur l’affichage LC
Symboles d’état et affichage
Description des fonctions des touches sur le panneau de contrôle
Sélection et modification des paramètres
Configurer le paramètre [P:019]
Configurer le paramètre [P:055]
Configurer le paramètre
Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbo
Modes de fonctionnement de la pompe à vide primaire
Exemples d’affichage pour le transmetteur
Exemples d’affichages pour la valeur de pression actuelle
Comportement et signification de l’affichage à LED
Comportement et signification de la LED Profinet
Messages d’erreur de l’unité de commande électronique
Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique
Messages d’erreur de l’unité de commande électronique
Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique
Accessoires
TCP 350 PN
9
10
13
15
16
22
22
22
23
24
27
28
30
31
31
31
32
32
32
32
32
33
33
33
34
34
34
35
38
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41
42
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44
44
45
45
46
46
46
49
50
52
52
53
53
58
58
61
62
65
66
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Position des autocollants sur le produit
Raccordement et éléments de contrôle manuel TCP 350 PN
Raccordement de la pompe turbomoléculaire à l’unité de commande électronique
Schéma de raccordement pour TCP350 avec raccordement des accessoires M12
Schéma de raccordement pour TCP350 avec raccordement des accessoires M8
Schéma de raccordement pour TCP350 avec raccordement des accessoires RJ45
Mode de commande de la vitesse de rotation broche 7 et broche 26
Raccordement du câble de terre sur le TCP 350
Interconnexion de pompes turbomoléculaires via interface RS-485
Affichage LC, vue d'ensemble
Schéma des caractéristiques de puissance, exemple de gaz lourds [P:027]
=0
Point de commutation actif de vitesse de rotation
Dimensions TCP 350
9
15
18
19
20
21
26
28
35
43
48
49
66
7/70
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses
fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans
ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit.
1.1.1
1.1.2
Documents applicables
TCP 350 PN
Manuel de l'utilisateur
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Variantes
Ces instructions s’appliquent aux unités de commande électroniques suivantes :
● TCP 350 avec connexion Profinet
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles.
8/70
A propos de ce manuel
Remarque
Conseil
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
Plaque signalétique (exemple)
Les plaques signalétiques des appareils sont apposées sur le
boîtier de façon à être visibles
Mod.:
TCP 350 PN Ser. Nr.:
Mod--Nr.: PM C01 744
Input: 115/230 V -20/+15% 50/60 Hz
Output: 0 -72 V / 6.5 A 420 VA
Mass: 2.8 kg
Made in Germany 2021/06
Marquage de test :
Le marquage de test fournit des informations concernant les certifications complémentaires
TÜV Rheinland
US
C
Safety approved
USA CAN
Tab. 1:
Autocollants sur le produit
1
Fig. 1:
Position des autocollants sur le produit
1 Plaque signalétique
1.3.4
2
2
Marquage de test
Abréviations
Abréviation
Signification dans ce document
CA
Courant alternatif
APR
Transmetteur piézo
BF
Erreur de bus LED d’état Profinet
CMR
Transmetteur capacitif CMR
CC
Courant continu
DCP
Protocole de découverte et de configuration de base (protocole Profinet)
DCU
Appareil de commande et d’affichage
f
Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz)
DMD
Fichier Profinet basé XML avec description d’un appareil fourni par le fabricant de l’appareil (description générale de la station)
LC
Cristal liquide
LED
Diode électroluminescente
MPT
Transmetteur Pirani/à cathode froide
PCR
Transmetteur Pirani/capacitif
PKR
Transmetteur Pirani/à cathode froide
9/70
A propos de ce manuel
Abréviation
Signification dans ce document
PPT
Transmetteur Pirani
PN
Profinet (Process Field Network)
[P:xxx]
Paramètres de commande de l’unité de commande électronique. Inscrits en gras sous
la forme d’un nombre à trois chiffres entre crochets. Souvent associés à une courte
description.
Exemple : [P:312] version logicielle
RPT
Transmetteur piézo/Pirani RP
RS-485
Standard pour une interface physique, pour la transmission asynchrone de données
en série (standard recommandé)
SF
Erreur système LED d’état Profinet
S1
Allumer l’unité de courant
T
Température (en °C)
TCP
Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire avec unité de courant
intégrée
TMP
Pompe turbomoléculaire
TPR
Transmetteur Pirani
Tab. 2:
1.4
Abréviations utilisées dans ce document
Justificatif de marque
● Profibus® est un nom commercial déposé de l’association allemande Profibus Nutzerorganisation
e.V. (association d’utilisateurs Profibus).
10/70
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur l’analyse des risques
effectuée conformément à la Directive Basse Tension 2014/35/UE. Dans la mesure du possible, toutes
les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Choc électrique en cas de contact avec des éléments à nu et sous tension. Le raccordement incorrect de l’alimentation secteur entraîne un risque de contact avec des pièces du carter sous tension. Il
existe dès lors un danger de mort.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Assurez-vous que les installations électriques soient réalisées par des électriciens qualifiés.
► Établissez une mise à la terre correcte de l’appareil.
► Après l’opération de raccordement, contrôlez le conducteur de terre.
11/70
Sécurité
AVERTISSEMENT
Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant
La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal).
► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2.
► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure fatale lié à un choc électrique causé par une installation incorrecte
L'alimentation électrique de l'appareil utilise des tensions mortelles. Une installation non sécurisée ou
inappropriée peut entraîner des situations dangereuses en raison des électrocutions lors des opérations avec ou sur l’unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
Risques pendant le fonctionnement
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
Risques pendant la maintenance
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien
L'appareil n'est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la
pompe à vide est à l'arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants
sous tension.
► Avant tout travail, mettre hors circuit l'interrupteur secteur.
► Attendre que la pompe à vide soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0).
► Débrancher tous les câbles de raccordement.
► Débrancher la prise secteur de l'appareil.
► Sécuriser l'appareil contre tout redémarrage intempestif.
Risques pendant le dépannage
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
2.3
Précautions de sécurité
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
12/70
Sécurité
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Précautions de sécurité générales lors de la manutention du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures préventives sont respectées.
► Recommandation : Établissez un raccordement sécurisé vers un conducteur de protection (PE) :
classe de protection I.
► Ne débranchez jamais les connecteurs pendant le fonctionnement.
► Tenez les lignes et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N’effectuez pas de modification ou de conversion arbitraire de l’unité.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Déconnectez l’unité de commande électronique seulement lorsque l’équipement est complètement à l’arrêt et que la tension d'alimentation de la pompe à vide a été coupée.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Lieu de mise en place
protégé des intempéries (espace intérieur)
Pression d’air
750 hPa à 1 060 hPa
Altitude de l’installation
2000 m max.
Humidité rel. de l’air
max. 80 %, à T < 31 °C,
jusqu’à max. 50 % à T < 40 °C
Classe de protection (conformément à la norme CEI 61010)
I
Degré de pollution (conformément à la norme CEI 61010)
2
Catégorie de surtension
II
Degré de protection
IP20
Température ambiante
+5 ° à +40 °C
Tab. 3:
2.5
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme
● L'unité de commande électronique est uniquement utilisée pour le fonctionnement de pompes turbomoléculaires Pfeiffer Vacuum et de leurs accessoires au sein d’un réseau de bus de terrain
(Profinet).
2.6
Utilisations incorrectes envisageables
Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute
utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme
abusive, en particulier :
● Branchement à l’alimentation électrique en non-conformité avec les prescriptions de IEC 61010
ou IEC 60950
● Utilisation avec un rayonnement thermique excessivement élevé
● Utilisation dans des zones à radiation ionisante
● Fonctionnement dans des zones explosives
● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions
13/70
Sécurité
2.7
Qualification personnelle
L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications
professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum.
Formation du personnel
1. Former le personnel technique sur le produit.
2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié.
3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit.
4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode
d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à
l'entretien et à la réparation.
14/70
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Identification du produit
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit
ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320.
3.2
Caractéristiques du produit
Caractéristiques
TCP 350 PN
Tableau de racordement
Profinet
adapté à
Pompes turbomoléculaires de la série Compact
Pompes turbomoléculaires de la série HiPace
Fréquence secteur
50/60 Hz
Tension d'alimentation
95 – 265 V CA
Courant à pleine charge, max.
4A
Puissance absorbée, max.
420 VA
Fusible interne
10 A, à action rapide
Tab. 4:
Fonction
L’unité de commande électronique TCP 350 PN est utilisée pour l’alimentation de tension externe, la
commande et la surveillance de pompes turbomoléculaires et des dispositifs périphériques raccordés. Il
est également possible de raccorder un mesureur de pression.
1
2
5
6
TCP 350
PN2
Ser. Nr.:78514xxx
Mod:
TCP 350
Mod.-Nr.: PM C01 740
Input:
115/230V -20/+15% 420 VA
Output: 0 - 72 V 6,5 VA
0-1500 Hz
Made in Germany 2014/08
BF
A L6
A
x10
C
4
8
A 2 0 E
6
C
4
x1
EL
2
A
7
hex
3.3
Caractéristiques du produit
SF
PN1
8
4
Fig. 2:
1
2
3
4
5
6
7
3
13
12
11
10 9
Raccordement et éléments de contrôle manuel TCP 350 PN
Écran LC, éclairé
Symboles d’état
Affichage du mode de travail à diodes électroluminescentes
Commandes
Raccord de terre PE
Raccord « REMOTE »
Raccordements « Profinet » avec LED d’état
8
9
10
11
12
13
Raccord « PUMP »
Raccord « RS 485 »
Raccordement « SERVICE »
Raccord « GAUGE »
Alimentation « CA INPUT »
Interrupteur secteur « POWER »
15/70
Description du produit
3.4
Raccordements
T H
G
U
R
PUMP
Connecteur rond, douille 19 broches avec accouplement trois point à baïonnette
pour le raccordement à une pompe turbomoléculaire avec des câbles de raccordement de différentes longueurs (jusqu’à 110 m dans la version standard).
D
E
C
B
P
S
F
A
V
N
M
L
K
J
POWER / CA INPUT
Connecteur d’enveloppe C13 pour l’alimentation de tension avec interrupteur secteur
REMOTE
Prise D-sub haute densité à 26 broches pour le raccordement et la configuration
d'une commande à distance.
RS485
Contact à douille RJ45, 8 broches pour le raccordement d’unités de commande
Pfeiffer Vacuum (comme HPU ou un PC) avec RS485/RS232 ou adaptateur
RS485/USB.
8
↑
1
SERVICE
Contact à douille RJ45, 8 broches pour service après-vente.
8
↑
1
PN2
BF
hex
A L6
A
x10
C
4
8
A 2 0 E
6
C
4
x1
EL
2
A
PN1 | PN2
2 × contacts à douilles RJ45, 8 broches et 2 LED pour le raccordement Profinet.
BF:
Erreur de bus (LED d’état Profinet)
SF:
Erreur de système (LED d’état Profinet)
hex:
Commutateur sélectif de configuration (sans fonction)
SF
PN1
3
2
4
6
1
Tab. 5:
3.5
Description du raccordement de l’unité de commande électronique
Volume de livraison
●
●
●
●
16/70
5
GAUGE
Connecteur rond, douille 6 broches pour la mesure de la pression pour le raccordement à une
jauge analogique Pfeiffer Vacuum ActiveLine.
TCP 350 PN, unité de commande électronique externe pour pompes turbomoléculaires
Fiche d’accouplement pour le raccordement « REMOTE » (selon le type)
Matériel de fixation
Manuel de l'utilisateur
Installation
4 Installation
4.1
Préparer l’installation
Remarques générales concernant l’installation
► Choisir un lieu d’installation permettant un accès au produit et aux câbles d’alimentation en toute
situation.
► Installer l’appareil à la verticale.
► Respecter les conditions ambiantes de la zone d'utilisation.
► Maintenir une distance minimale de 50 mm entre les volets de refroidissement supérieurs et les
composants adjacents
► Veiller à de bonnes conditions de refroidissement, p. ex. dans l’armoire de commande.
4.2
Installation de l'appareil dans un cadre
AVIS
Dégâts causés par surchauffe
La température ambiante ne doit pas excéder la température de service admissible de l'appareil.
► Veillez à assurer une bonne circulation de l'air lors de l'installation de l'appareil.
► Si nécessaire, contrôlez et nettoyez régulièrement le filtre à air installé.
L’appareil peut être installé dans un cadre de montage 19" 3HE, conformément à DIN 41494.
Installation de l'appareil dans un cadre
1. Installer les rails de guidage dans le cadre.
2. Pousser l’appareil verticalement dans le cadre, jusqu’à ce qu’il vienne en butée contre le panneau
avant.
3. Fixer le panneau avant avec 4 vis à gorge et des manchons en plastique, fournis à la livraison.
4.3
Raccordement de la pompe turbomoléculaire
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l’entretien
L’appareil n’est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la
pompe turbomoléculaire est à l’arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des
composants sous tension.
► Avant tout travail, mettez hors circuit l’interrupteur secteur.
► Attendez l'arrêt de la pompe turbomoléculaire (vitesse de rotation f = 0).
► Débranchez la prise secteur de l’appareil.
► Sécurisez l’appareil contre tout redémarrage intempestif.
Le raccordement externe d’une pompe turbomoléculaire Pfeiffer Vacuum à l’unité de commande électronique TCP 350 est possible à l’aide de câbles de raccordement blindés de différentes longueurs, disponibles dans la gamme des accessoires Pfeiffer Vacuum.
Affectation des connecteurs et des douilles
● Raccord rond, 19 broches pour le raccordement à l’unité de commande électronique TCP 350.
● Douille, 8 broches avec 2 câbles de commande pour les accessoires et le câble de terre pour le
raccordement à la pompe turbomoléculaire.
17/70
Installation
2
1
8
Fig. 3:
1
2
3
4
7
3
6
4
5
Raccordement de la pompe turbomoléculaire à l’unité de commande électronique
Unité de commande électronique TCP 350
Pompe turbomoléculaire
Raccordement « Pompe à vide »
Raccordements d’accessoires
5
6
7
8
Matériel de fixation
Câble de terre PE
Câble de raccordement pompe
Raccordement « PUMP » sur TCP
Procédure
1. Utilisez le câble de raccordement correspondant fourni avec l’unité de commande électronique ou
disponible dans la gamme des accessoires.
2. Sécurisez le raccordement électrique avec des raccordements filetés à baïonnette.
3. Raccordez le câble de terre au raccord de terre de la pompe turbomoléculaire.
4.4
Schéma de raccordement
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
Charge de contact pour le raccordement des accessoires sur « accessoires »
1. Remarque : la charge de contact maximum par raccordement est de 200 mA.
2. La somme totale de la charge de tous les raccordements ne doit pas dépasser
450 mA.
Raccordements sans potentiel
● Toutes les entrées et les sorties des raccordements « Profinet », « RS-485 » et
« PV.can » sont séparées par galvanisation de la tension +UB.
18/70
Fig. 4:
N.C.
N.C.
RXD
TXD.
N.C.
GND*
N.C.
N.C.
SERVICE
1
2
3
4
5
6
7
8
RS485
N.C.
1
2
+24VDC*
N.C.
3
N.C.
4
D+
5
GND*
6
D7
8
N.C.
AC-INPUT
L
N
Mains input
PE
(90-135/185-265) VAC
{
{
{
REMOTE
+24VDC*
1
Venting on
2
Motor TMP on
3
Pumping Station on
4
Standby on
5
Heating on
6
Set rot speed 0-10V
7
Switching output 1
8
9
Switching output 2
N.C.
10
FV-Pump
11
12
Uf/ Ui/ Up voltage
Error Acknowledge
13
REMOTE priority
14
15
Relais contacts
16
switching point
17
18
Relais contacts
19
error message
20
21
22
23
24
25
26
GND*
Power
R
V
P
K
S
T
U
PE
N.C.
N.C.
N.C.
Vent
N.C.
N.C.
RL
M
+24VDC
Heat/TMS
Sensor
{
A
B
C
D
E
F
G
H
1
2
3
4
6
5
J
L
N
Oilsensor
Motorphases
PV-Service only
PV-Service only
RS232 receive
RS232 transmitt
PV-Service only
Ground
PV-Service only
PV-Service only
N.C.
N.C.
N.C.
N.C.
N.C.
Rf1
Ground
Rf2
PTC
TCP 350
RL
10 Ohm/m
PUMP
GAUGE
B1
A1
TMP
A
B
C
D
E
F
G
H
1
2
3
4
6
5
Rf2
Rf1
3
4
5
1
2
3
4
5
1
2
Venting Valve
Relay box Heating
J
Turbopump HiPace
Identification
Ground
Pressure signal
Ground signal
Supply voltage
PE
Gauges
TPR2XX/ PKR2XX/
CMR2XX/ ACR2XX/IKR2XX
L
N
PE
PE
N Heating
L
Mains input,
115/208/230
VAC
3
4
5
1
2
M
Fan
Installation
potentialfree
contacts
Schéma de raccordement pour TCP350 avec raccordement des accessoires M12
19/70
{
Fig. 5:
20/70
N.C.
N.C.
RXD
TXD.
N.C.
GND*
N.C.
N.C.
SERVICE
1
2
3
4
5
6
7
8
AC-INPUT
L
N
Mains input
PE
(90-135/185-265) VAC
Potential-free
contacts
RS485
N.C.
1
2
+24VDC*
N.C.
3
N.C.
4
D+
5
GND*
6
D7
8
N.C.
{
{
REMOTE
+24VDC*
1
Venting on
2
Motor TMP on
3
Pumping Station on
4
Standby on
5
Heating on
6
Set rot speed 0-10V
7
Switching output 1
8
9
Switching output 2
N.C.
10
FV-Pump
11
12
Uf/ Ui/ Up voltage
Error Acknowledge
13
Remote priority
14
15
Relay contacts
16
switching point
17
18
Relay contacts
19
error message
20
21
22
23
24
25
26
GND*
{
Power
R
V
P
K
S
T
U
PE
N.C.
N.C.
N.C.
Vent
N.C.
N.C.
RL
M
+24VDC
Heat/TMS
Sensor
A
B
C
D
E
F
G
H
1
2
3
4
6
5
J
L
N
Oil sensor
Motorphases
PV-Service only
PV-Service only
RS232 receive
RS232 transmitt
PV-Service only
Ground
PV-Service only
PV-Service only
N.C.
N.C.
N.C.
N.C.
N.C.
Rf1
Ground
Rf2
PTC
TCP 350
RL
10 Ohm/m
PUMP
GAUGE
B1
A1
TMP
A
B
C
D
E
F
G
H
1
2
3
4
6
5
Rf2
Rf1
3
4
1
3
4
1
Venting Valve
Relay box Heating
J
Turbopump HiPace
Identification
Ground
Pressure signal
Ground signal
Supply voltage
PE
Gauges
TPR2XX/ PKR2XX/
CMR2XX/ ACR2XX/IKR2XX
L
N
PE
PE
N Heating
L
Mains input,
115/208/230
VAC
3
4
1
M
Fan
Installation
Schéma de raccordement pour TCP350 avec raccordement des accessoires M8
Fig. 6:
SERVICE
1
N.C.
2
N.C.
3
RXD
TXD.
4
5
N.C.
GND*
6
N.C.
7
8
N.C.
RS485
N.C.
1
2
+24VDC*
N.C.
3
N.C.
4
D+
5
GND*
6
D7
8
N.C.
AC-INPUT
L
N
Mains input
PE
(90-135/185-265) VAC
{
{
{
REMOTE
+24VDC*
1
Venting on
2
Motor TMP on
3
Pumping Station on
4
Standby on
5
Heating on
6
Set rot speed 0-10V
7
Switching output 1
8
9
Switching output 2
N.C.
10
FV-Pump
11
12
Uf/ Ui/ Up voltage
Error Acknowledge
13
REMOTE priority
14
15
Relay contacts
16
switching point
17
18
Relay contacts
19
error message
20
21
22
23
24
25
26
GND*
{
Power
R
V
P
K
S
T
U
PE
N.C.
N.C.
N.C.
Vent
N.C.
N.C.
RL
M
+24VDC
Heat/TMS
Sensor
A
B
C
D
E
F
G
H
1
2
3
4
6
5
J
L
N
Oil sensor
Motor phases
PV-Service only
PV-Service only
RS232 receive
RS232 transmitt
PV-Service only
Ground
PV-Service only
PV-Service only
N.C.
N.C.
N.C.
N.C.
N.C.
Rf1
Ground
Rf2
PTC
TCP 350
RL
10 Ohm/m
PUMP
GAUGE
1
2
3
4
5
6
1
2
3
4
5
6
VENT
Rf2
Rf1
Venting Valve
Relay box Heating
J
Turbopump 071/261/521
Identification
Ground
Pressure signal
Ground signal
Supply voltage
PE
FAN/HEAT
TMP
A
B
C
D
E
F
G
H
1
2
3
4
6
5
Gauges
TPR2XX/ PKR2XX/
CMR2XX/ ACR2XX/IKR2XX
L
N
PE
PE
N Heating
L
Mains input,
115/208/230
VAC
1
2
3
4
5
6
alternative
M
Fan
Installation
potential-free
contacts
Schéma de raccordement pour TCP350 avec raccordement des accessoires RJ45
21/70
Installation
4.5
Raccord « Profinet »
8
↑
1
Tab. 6:
Broche
Affectation
1
Rx+
2
Rx-
3
Tx+
4
n.c.
5
n.c.
6
Tx-
7
n.c.
8
n.c.
Affectation des raccordements RJ45 « Profinet »
Les commutateurs sélectifs de configuration désignés par « config » n’ont aucune fonction.
4.6
Raccordement « SERVICE »
Le raccordement avec la désignation « SERVICE » sur l’unité de commande électronique est utilisée
exclusivement pour le service après-vente et la configuration. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique. Les connexions électriques sont découplées visuellement en interne.
Désignation
Valeur
Interface série
RS-232
Vitesse de transmission en baud
9600 Baud
Longueur de mot
8 bit
Parité
aucune (pas de parité)
Bits de départ
1
Bits d’arrêt
1à2
Tab. 7:
Broche
Affectation
8
1
Service uniquement
↑
2
Service uniquement
1
3
RS-232 RxD
4
RS-232 TxD
5
Service uniquement
6
GND
7
Service uniquement
8
Service uniquement
Tab. 8:
4.7
Caractéristiques de l’interface de service après-vente RS232
Affectation du connecteur RJ-45 de l’interface de service
Connexion « REMOTE »
Le raccordement D-sub 26 broches avec la désignation « REMOTE » offre la possibilité de faire fonctionner l’unité de commande électronique via la commande à distance. Les fonctions individuelles accessibles sont mappées avec les « niveaux API ». Les spécifications suivantes sont les réglages usine
de l’unité de commande électronique. Elles peuvent être configurées avec le bloc de paramètres Pfeiffer Vacuum.
Outils nécessaires
● Clé dynamométrique calibrée
● Clé dynamométrique hexagonale, SW 4,5
22/70
Installation
Signaux d’entrée
Signaux de sortie
● Niveau haut : +13 à +33 VDC
● Niveau Bas PLC : -33 à +7 VDC
● Niveau haut : +20 à +28 VDC
● Niveau Bas PLC : 0 à +3 VDC
Tab. 9:
Niveaux de logique des entrées et des sorties numériques
Raccordement de la commande à distance sur « REMOTE »
► Retirez le connecteur de commande à distance de l’unité de commande électronique et raccordez
une commande à distance.
► Utilisez le connecteur et le câble blindés.
► Sécurisez la commande à distance sur le raccord « REMOTE ».
– Couple de serrage sur l’axe d’écartement de la prise D sub : 0,25 - 0,3 Nm
23/70
Installation
Goupille
Affectation
Description et réglage d’usine
1
Sortie
+24 V DC* (V+)
Tension de référence pour toutes les entrées et les sorties
numériques
2
DI1
Activer la ventilation (bas : désactivé, haut. : activé)
3
DI moteur pompe à vide
Moteur d’entraînement (bas : désactivé, haut : activé)
4
DI groupe de
pompage
Bas : désactivé, Haut : activé
5
DI standby
Vitesse de rotation en mode stand-by (bas :désactivé,
Haut :activé)
6
DI2
Chauffage (Bas : désactivé, Haut : activé)
7
Entrée analogique AI+ mode
de réglage vitesse de rotation
Réglez la valeur en mode de réglage de la vitesse de rotation ;
2 - 10 VDC correspond à 20-100 % de la vitesse de rotation
nominale
8
DO1
Point de commutation de commande de vitesse atteint ;
Bas : non, Haut : oui (lmax = 50 mA/24 V)
9
DO2
Bas : erreur, Haut : pas d’erreur (lmax = 50 mA/24 V)
26
1
18
9
non affecté
11
DO commande
pompe à vide
primaire
Pompe à à vide primaire activée (Bas : non, Haut : oui (l max
max = 50 mA/24 V)
12
AO tension Vf,
Vp, Vi
0 - 10 VDC correspond à 0 - 100 %; RL > 10 kΩ
13
DI quittance de
défaillance
Validation anomalie, Haut : impulsion V+ (min. 500 ms)
14
DI priorité REMOTE
Fonctionnement via interface « REMOTE » (bas : désactivé ;
Haut : défini et prioritaire sur le clavier ou RS-485)
15
Relais 1
Raccordement avec la broche 16 si le relais 1 est actif = point
de commutation atteint
Contact de relais 1 (tr/minmax = 50 VDC ; Imax = 1 A)
19
10
10
16
17
18
Raccordement via la broche 16 si le relais 1 est inactif = point
de commutation non atteint
Relais 2
19
20
Raccordement via la broche 19 si le relais 2 est inactif = erreur
21
non affecté
22
non affecté
23
non affecté
24
non affecté
25
26
Tab. 10:
4.7.1
Raccordement avec la broche 19 si le relais 2 est actif = pas
d’erreur
Contact de relais 2 (tr/minmax = 50 VDC ; Imax = 1 A)
non affecté
Masse (GND*)
Masse de référence pour toutes les entrées et les sorties numériques
Affectation des raccordements du raccord 26 broches « REMOTE »
Alimentation de tension
Sortie +24 V CC* / broche 1
Un raccordement avec +24 V CC à la broche 1 (active haute) active les entrées 2 à 6, ainsi que les
raccordements aux broches 13 et 14. Alternativement, elles peuvent être activées par un PLC externe.
« Niveau haut PLC » active et « Niveau bas PLC » désactive les fonctions.
24/70
Installation
4.7.2
Entrées
Les entrées numériques du raccordement « REMOTE » sont utilisées pour commuter diverses fonctions de l’unité de commande électronique. Les entrées DI1 et DI2 sont des fonctions affectées en usine. Vous pouvez les configurer via l’interface RS-485 et l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum.
DI1 (débloquer mise à l’air)/broche 2
V+ :
Activer la remise à l'air (remise à l'air selon mode de ventilation)
ouverte : Remise à l’air bloquée (aucune remise à l’air n’a lieu)
DI moteur pompe à vide/broche 3
La pompe turbomoléculaire démarre avec l'activation de la broche 4 (groupe de pompage) et le contrôle
automatique réussi de l'unité de commande électronique. La pompe turbomoléculaire peut être désactivée et réactivée pendant le fonctionnement avec le groupe de pompage encore activé. Ceci ne déclenchera pas d'action de remise à l'air.
V+ :
Moteur de la pompe turbomoléculaire en marche
ouverte : Moteur de la pompe turbomoléculaire arrêté
DI groupe de pompage/broche 4
Commande des composants du groupe de pompage connectés (par exemple, vanne de la pompe de
refoulement, refroidissement par air) et démarrage de la pompe turbomoléculaire avec la broche 3 (moteur) activée simultanément. Tout message d’erreur en suspens est remis à zéro après élimination des
causes.
V+ :
Groupe de pompage en marche
ouverte : groupe de pompage à l’arrêt
DI stand-by/broche 5
En mode stand-by, la pompe turbomoléculaire fonctionne à une vitesse de rotor spécifiée < à la vitesse
de rotation nominale. Le réglage-usine pour le fonctionnement recommandé est 66,7 % de la vitesse de
rotation nominale.
V+ :
Stand-by activé
ouverte : Arrêt du stand-by, fonctionnement à la vitesse de rotation nominale
DI2 (chauffage)/broche 6
V+ :
Chauffage activé
ouverte : Chauffage désactivé
DI validation anomalie/broche 13
V+ :
Remise à zéro des messages d’erreur en attente lorsque la cause a été éliminée avec une
impulsion d’une durée minimale de 500 ms.
ouverte : Inactif
DI priorité à distance/broche 14
V+ :
Le raccordement « REMOTE » a la priorité de contrôle sur toutes les autres entrées numériques.
● Modification des fonctions individuelles activées exclusivement via « REMOTE »
● Désactiver des fonctions individuelles via le clavier ou l’interface
ouverte : Priorité « REMOTE » inactive
AI Mode de commande de la vitesse de rotation / broche 7 et broche 26
L'entrée analogique sert de point de consigne de vitesse de rotation pour la pompe turbomoléculaire.
Un signal d’entrée de 2 à 10 V entre Al+ (broche 7) et GND (broche 26) correspond à une vitesse de
rotation comprise entre 20 et 100 % de la vitesse de rotation nominale. Si l'entrée est ouverte ou si les
signaux sont inférieurs à 2 V, la pompe turbomoléculaire accélère jusqu'à la vitesse de rotation nominale.
25/70
Installation
f(%)
100
20
2
Fig. 7:
4.7.3
10
U(V)
Mode de commande de la vitesse de rotation broche 7 et broche 26
Sorties
Les sorties numériques du raccordement « REMOTE » ont une limite de charge maximale de 24 V/50
mA par sortie. Toutes les sorties recensées ci-dessous sont configurables avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer Vacuum par l’intermédiaire de l’interface RS-485 (description portant sur les réglages-usine).
DO1 (point de commutation de la vitesse de rotation atteint)/broche 8
Actif haut : Après avoir atteint le point de commutation de la vitesse de rotation. Le point de commutation 1 de la vitesse de rotation est réglé en usine à 80 % de la vitesse de rotation nominale. Ceci peut
être utilisé pour un message « Prêt pour l'utilisation », par exemple.
DO2 (pas d’erreur)/broche 9
Lorsque la tension d’alimentation a été raccordée, la sortie numérique DO2 émet en permanence 24
V CC, ce qui signifie « pas d’erreur ». Actif bas : en cas d’erreur (message d’erreur de groupe).
AO Sortie analogique 0 à 10 V CC/ broche 12
Vous pouvez réduire une tension proportionnelle à la vitesse (0 à 10 V CC équivaut à 0 à 100 % ×
fnominal) à la sortie analogique (charge R ≥ 10 kΩ). Vous pouvez affecter le courant ou la puissance à la
sortie analogique via le clavier ou l’interface.
4.7.4
4.8
Contacts relais
Relais 1
Sortie numérique
broche 8
État
Broches 16/15
Contact fermé
● Haut
Point de commutation de la vitesse de rotation atteint
Broches 16/17
Contact fermé
● Bas
Le point de commutation de la vitesse de rotation n’est
pas atteint ou
est tombé en dessous
Relais 2
Sortie numérique broche 9
État
Broches 19/18
Contact fermé
● Haut
Pas d’erreur
(fonctionnement sans problème)
Broches 19/20
Contact fermé
● Bas
Erreur
Raccorder les accessoires
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits.
● Les informations et options de commande pour les accessoires pour pompes turbomoléculaires hybrides approuvés se trouvent en ligne.
26/70
Installation
Raccordement d’accessoires sur l’unité de commande électronique TCP 350
L'unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire offre un espace suffisant
pour raccorder jusqu'à 2 accessoires. À cette fin, des prises de connecteur M8, M12 ou
RJ45 sont disponibles avec la désignation correspondante.
● Les raccordements des accessoires ont été préconfigurés en usine.
● Après le raccordement des accessoires préconfigurés, ces derniers sont immédiatement prêts à l’emploi conformément aux réglages usine.
● Des accessoires de pompe turbomoléculaire additionnels peuvent être utilisés dès que
l’unité de commande électronique a été configurée.
● La sortie d’accessoire requise est configurée via les touches de l’opérateur sur la face
avant, l’interface RS-485 ou un PC.
Câble de raccordement
A1 1
2
3
4
B1
A1 4
1
B1 3
FAN/HEAT
VENT
Accessoire
connexion
Accessoires
Charge de
courant,
max.
A1
ou
FAN/
HEAT
Refroidissement par
air
ou
Chauffage
Imax ≤ 200 mA
B1
ou
VENT
seulement
Vanne
de remise à l'air
TMP
TCP 350
Tab. 11:
Câble de raccordement TCP350 – pompe turbomoléculaire avec variantes du raccordement des accessoires
Raccordement des accessoires
1. Respectez les instructions d’installation du manuel de l’utilisateur concernant l’accessoire correspondant.
2. Utilisez le paramètre [P:035] pour configurer les raccordements existants et les câbles de commande pour l’accessoire requis.
– Seulement FAN/HEAT est valide pour A1.
3. Lors du raccordement d’une pompe à vide primaire, utilisez un câble adaptateur pour raccorder le
coffret de relais à la sortie « Remote » sur l’unité de commande électronique.
4. Si la purge de gaz neutre est nécessaire, utilisez un étranglement de la purge de gaz neutre plutôt
qu’une vanne.
4.9
Raccordement des jauges
Tubes de mesure
Affichage [P:738]
APR 250/260
CMRx61
CMR 261/361
CMRx61, suivant sélection manuelle
CMR 262/362
CMRx62, suivant sélection manuelle
CMR 263/363
CMRx63, suivant sélection manuelle
CMR 264/364
CMRx64, suivant sélection manuelle
CMR 365
CMRx65, suivant sélection manuelle
PCR 280
TP/PCR
27/70
Installation
Tubes de mesure
Affichage [P:738]
PKR 251/261/360/361
PKR2xx
TPR 270/280/281
TP/PCR
Tab. 12:
Types de jauges disponibles
Procédure
1. Comme requis, raccordez une jauge au raccord « GAUGE ».
2. Le câble de raccordement correspondant est disponible en tant qu'accessoire Pfeiffer Vacuum.
3. Si nécessaire, réglez le paramètre [P:738] pour modifier le nom d'affichage de la jauge.
4.10
Raccordement de l’alimentation électrique
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Choc électrique en cas de contact avec des éléments à nu et sous tension. Le raccordement incorrect de l’alimentation secteur entraîne un risque de contact avec des pièces du carter sous tension. Il
existe dès lors un danger de mort.
► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension.
► Assurez-vous que les installations électriques soient réalisées par des électriciens qualifiés.
► Établissez une mise à la terre correcte de l’appareil.
► Après l’opération de raccordement, contrôlez le conducteur de terre.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure en cas d'installation inappropriée
Des situations dangereuses peuvent survenir suite à une installation non sécurisée ou incorrecte.
► Ne pas effectuer soi-même des conversions ou modifications d'unité.
► Veiller à l’intégration dans un circuit de sécurité de secours.
AVERTISSEMENT
Danger de mort dû à un sectionneur de réseau manquant
La pompe à vide et l'unité de commande électronique ne sont pas équipées d'un sectionneur de réseau (interrupteur principal).
► Installez un sectionneur de réseau conformément à SEMI-S2.
► Prévoyez un coupe-circuit avec un taux d'interruption de 10 000 A minimum.
4.10.1
Unité de mise à la terre
Accessoires requis
● Vis M4 × 8
● Disque anti-vibration M4, si nécessaire
● Câble de terre approprié avec embout de câble M4
1
2
M4
PUMP
POWER
Fig. 8:
AC INPUT
Raccordement du câble de terre sur le TCP 350
1 Borne du raccord de terre
28/70
GAUGE
2
Arrière du boîtier
Installation
● Le raccord de terre est obligatoire pour le TCP 350 afin de décharger les interférences de l’application.
● Le TCP 350 peut également être mis à la terre une fois installé dans un boîtier.
Procédure
1. Utilisez le raccord de terre à l’arrière du dispositif (axe fileté M4).
2. Acheminez le raccordement conformément aux dispositions locales en vigueur.
4.10.2
Raccordement au réseau d’alimentation
Établissement de l’alimentation secteur
1. Vérifiez que l’interrupteur principal « POWER » de l’unité de courant est désactivé avant le raccordement.
2. Veillez à tout moment à garantir un raccordement sûr au conducteur de protection (PE), classe de
protection I.
3. Insérez le câble secteur (non compris dans la livraison) dans le connecteur "CA-in", à l’arrière de
l’appareil.
4. Bloquez le raccordement avec l'étrier de retenue.
5. Raccordez le câble d'alimentation au réseau d'alimentation côté client.
29/70
Interfaces
5 Interfaces
5.1
Interface Profinet
5.1.1
Raccordements
La pompe turbomoléculaire peut être intégrée dans un système de bus Profinet à l’aide des connexions
désignées par « PN1 » et « PN2 » sur l’unité de commande électronique. L’interface est séparée galvaniquement et isolée de la tension d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique.
5.1.2
Définition de l’ID de l’appareil
Assignation d’un nom d’appareil et une adresse IP
► Assignez le nom d’appareil et l’adresse IP avec l’outil de configuration de la commande Profinet.
5.1.3
Données de processus cycliques
Le fichier GSD « GSDML*.xml » définit les données de processus cycliques. Les modules subséquents
sont pré-affectés lors de l’intégration de l’unité. Les modules optionnels peuvent être retirés ou redisposés si nécessaire.
5.1.4
Modules des données de processus cycliques
Module
Usage
Emplacement.Sous-emplacement
TMP à vitesse contrôlée
● Bits de commande 1,1
et d’état
● Vitesse réglée et
vitesse réelle
Description
Compilation de données de processus typiques telles que les
spécifications de la vitesse de
rotation
M1)
TMP simple
Bits de commande et
d’état
M
Bits de commande et d’état
Pompe générique
Bits de commande et
d’état
M
Bits de commande et d’état
DCLinkVoltage
O2)
1,17
Tension indirecte en V
DCLinkCurrent
O
1,18
Courant de circuit intermédiaire
en A
DrivePower
O
1,29
Puissance d’entraînement en W
ErrorCode
O
1,30
Code d’erreur
PrmChannel
O
1,32
Canal des paramètres
Tab. 13:
30/70
Modules des données de processus cycliques
1)
M (obligatoire) = utilisation obligatoire de l’un des 3 modules marqués d’un « M » dans le Slot.Subslot spécifié
2)
O = utilisation facultative
Interfaces
Octet
Bit
Nom
TMP vitesse
TMP simple
TMP générique
0
7
standby_req
x
x
-
6
heating_tms_req
x
x
-
5
-
-
-
-
4
-
-
-
-
3
enable_set_speed
x
-
-
2
reset_fault
x
x
x
1
groupe de pompage
x
x
x
0
commande Profinet
x
x
x
7
-
-
-
6
-
-
-
5
vanne de mise à l’air
x
x
4
-
-
-
3
-
-
-
2
-
-
-
1
-
-
-
0
vanne de purge
x
x
speed_setpoint
x
Régime nominal en mode de réglage de la vitesse de rotation (Hz,
Unsigned16)
1
2–3
Tab. 14:
Module d’assemblage TMP à vitesse contrôlée : Données de sortie (PLC vers TCP)
Octet
Bit
Nom
TMP vitesse
TMP simple
TMP générique
0
7
à la vitesse de stand-by
x
x
0
6
à la vitesse nominale
x
x
0
5
à la vitesse cible
x
x
0
4
point de commutation atteint
x
x
0
3
warning
x
x
0
2
erreur
x
x
x
1
la pompe est en marche
x
x
x
0
commande Profinet
x
x
x
7
accélère
x
x
6
décélère
x
x
5
pas de rotation
x
x
4
-
0
0
3
-
0
0
2
-
0
0
1
-
0
0
0
-
0
0
vitesse réelle (Hz)
x
1
2–3
Tab. 15:
Module d’assemblage TMP à vitesse contrôlée : Données d’entrée (TCP vers PLC)
Octet
Nom
Signification
0–3
value
Valeur mesurée (Float32)
4
status
État de la valeur mesurée (Unsigned8)
11H : ok, 21h : incertaine, 31h : incorrecte
Tab. 16:
DCLinkVoltage : Données d’entrée (TCP vers PLC)
31/70
Interfaces
Octet
Nom
Signification
0–3
value
Valeur mesurée (Float32)
4
status
État de la valeur mesurée (Unsigned8)
11H : ok, 21h : incertaine, 31h : incorrecte
Tab. 17:
DCLinkCurrent: Données d’entrée (TCP vers PLC)
Octet
Nom
Signification
0–3
value
Valeur mesurée (Float32)
4
status
État de la valeur mesurée (Unsigned8)
11H : ok, 21h : incertaine, 31h : incorrecte
Tab. 18:
DrivePower: Données d’entrée (TCP vers PLC)
Octet
Nom
Signification
0–1
value
0 : pas d’erreur
1-999 : Erreur 1-999
1001-1999 : Avertissement 1-999
Tab. 19:
ErrorCode: Données d’entrée (TCP vers PLC)
Un accès acyclique aux différents paramètres est possible dans les données de processus cycliques
via le canal des paramètres (voir chapitre « Ensemble de paramètres », page 38). À cet effet, l’unité
écrit la commande correspondante, le numéro du paramètre et, si nécessaire, la valeur du paramètre
dans les données de sortie, puis évalue la réponse dans les données d’entrée.
Octet
0
1
Bit
7
Champ
Requête
6
5
4
3
2
1
2–3
0
Numéro de paramètre
Bit
9
4–7
8
7
Valeur de paramètre
6
5
4
3
2
1
0
0 : aucune
0
0
0
1 : Lecture
Numéro de paramètre
0
0
3 : Écriture
Numéro de paramètre
0
Valeur (Unsigned32)
10 : Écriture
Numéro de paramètre
0
Valeur (Float32)
2–3
4–7
Tab. 20:
Octet
0
Bit
7
Champ
Réponse
PrmChannel: Données de sortie (PLC vers TCP)
1
6
5
4
3
2
1
0
Numéro de paramètre
Bit
9
8
7
Valeur de paramètre
6
5
4
3
2
1
0
0 : aucune
0
0
0
2 : ok
Numéro de paramètre
0
Valeur (Unsigned32)
7 : Erreur
Numéro de paramètre
0
Code (Unsigned32)
8 : Erreur
Numéro de paramètre
0
0
11 : ok
Numéro de paramètre
0
Valeur (Float32)
Tab. 21:
PrmChannel: Données d’entrée (TCP vers PLC)
Exemple : Lecture des heures de fonctionnement de la pompe
1. Données de sortie : Commande 1, numéro de paramètre 311, {11, 37, 00, 00, 00, 00, 00, 00}h
2. Données d’entrée : Réponse 2, valeur 12345, {21, 37, 00, 00, 00, 00, 30, 39}h
32/70
Interfaces
Exemple : Réglage de la sortie des accessoires B2 sur chauffage
1. Données de sortie : Commande 3, numéro de paramètre 38, valeur du paramètre 2 {30, 26, 00,
00, 00, 00, 00, 02}h
2. Données d’entrée : Réponse 2 {20, 26, 00, 00, 00, 00, 00, 00}h
Réponse
Code
Signification
7 : Erreur
0
Numéro de paramètre invalide ou déjà utilisé dans l’assemblage
1
Impossible d’écrire la valeur du paramètre
2
En dessous/Au-dessus de la plage de valeurs
5
Type de donnée incorrect
101
Requête invalide
102
Valeur de paramètre illisible
103
Format invalide
8 : Erreur
Tab. 22:
Aucun accès via Profinet
PrmChannel: Causes de l’erreur (réponse 7 et 8 : erreur)
Déterminer la cause dans l'éventualité d'une erreur
► Obtenir la cause à partir des données d’entrée
5.1.5
Paramétrage
L’unité spécifie les paramètres dans chaque cas correspondant avec des valeurs prédéfinies.
Procédure
► Version 1 : Définition de jusqu’à 6 paramètres pour le réglage unique d’une configuration s’écartant de l'état de livraison (= démarrage) (voir chapitre « Ensemble de paramètres », page 38)
– L’unité ajoute ensuite 10 octets de données de paramétrage pour chaque paramètre.
► Version 2 : Définition de jusqu’à 6 paramètres pour déterminer les actions dans l’éventualité
d’une communication défectueuse (= échec comm.)
– L’unité ajoute ensuite 10 octets de données de paramétrage pour chaque paramètre.
► Saisissez une valeur au format « Unsigned32 » ou « Float32 » dans le champ correspondant.
– Entrez « 0 » dans l’autre champ.
– L’outil de configuration affiche ces données dans un graphique si nécessaire.
Octet
Signification
0–1
Bit 0–9 : Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum
Bit 10 : 0 = démarrage, 1 = échec comm.
Bit 11 à 15 : 0
2–5
Valeur (Unsigned32)
6–9
0
Tab. 23:
5.1.6
ou
0
Valeur (Float32)
Format des données de paramétrage
Données acycliques
Écriture acyclique des paramètres
► Utilisez le service « write record » pour écrire des paramètres Pfeiffer Vacuum individuels de manière acyclique.
– Dans ce contexte, l’indice est le numéro de paramètre Pfeiffer Vacuum.
► Saisissez une valeur au format « Unsigned32 » ou « Float32 » dans le champ correspondant.
– Entrez « 0 » dans l’autre champ.
Octet
Signification
0–3
Valeur (Unsigned32)
4–7
0
Tab. 24:
ou
0
Valeur (Float32)
Service « Write record »
33/70
Interfaces
Lecture acyclique des paramètres
► Utilisez le service « read record » pour lire des paramètres Pfeiffer Vaccum individuels de manière
acyclique.
– Dans ce contexte, l’indice est le numéro de paramètre Pfeiffer Vacuum.
– L’unité retourne la valeur simultanément dans les formats « Unsigned32 » et « Float32 ».
Octet
Signification
0–3
Valeur (Unsigned32)
4–7
Valeur (Float32)
Tab. 25:
5.1.7
Types de données
Type de données
Format
Float32
Nombre à virgule flottante IEEE754, octet de poids faible/mot en premier
Unsigned8
Nombre à 8 bits unsigned
Unsigned16
Nombre à 16 bits unsigned, octet de poids faible en premier
Unsigned32
Nombre à 32 bits unsigned, octet de poids faible en premier
...h
Nombre hexadécimal
Tab. 26:
5.2
Service « Read record »
Types de données Profinet
Interface RS-485
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
L’interface avec la désignation « RS-485 » sur l’unité de commande électronique est prévue pour le raccordement d’un PC externe. Les raccordements sont séparés galvaniquement et isolés de la tension
d’alimentation maximale de l’unité de commande électronique. Les connexions électriques sont découplées visuellement en interne.
Désignation
Valeur
Interface série
RS-485
Vitesse de transmission en baud
9 600 Baud
Longueur de mot
8 bit
Parité
aucune (pas de parité)
Bits de départ
1
Bits d’arrêt
1
Tab. 27:
34/70
Caractéristiques de l’interface RS-485
Interfaces
Broche
Affectation
8
1
non raccordé
↑
2
Sortie +24 V, ≤ 150 mA capacité de charge
1
3
non raccordé
4
non raccordé
5
RS-485 : D+
6
GND
7
RS-485 : D-
8
non raccordé
Tab. 28:
Affectation des raccordements du connecteur RS-485 RJ-45
Raccorder des appareils de commande et d'affichage Pfeiffer Vacuum ou un PC
1. Utilisez le câble de raccordement correspondant fourni avec l'appareil de commande ou issu du
programme d’accessoires.
2. Utilisez l’option pour connecter un PC via le transformateur USB/RS-485.
5.2.1
Interconnexion via le raccordement RS-485
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
Raccordement au système de bus externe
Pour le raccordement à un système de bus externe, les interfaces Profibus DP, DeviceNet
ou Profinet sont disponibles comme option.
● L’option bus de terrain ne peut pas être reconditionnée sur le dispositif standard.
● Pour les systèmes de bus alternatifs installés, la fonctionnalité de l’interface RS-485
est limitée.
TCP
TCP
TIC 001/
USB/RS-485-converter
D+
D-
USB
RS 485
Fig. 9:
Interconnexion de pompes turbomoléculaires via interface RS-485
Raccordement des appareils périphériques
L’adresse groupée de l’unité de commande électronique est 988.
1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485.
2. Raccordez au bus tous les appareils avec RS-485 D+ et RS-485 D-.
3. Veillez à ce que tous les appareils connectés au bus disposent d’une adresse d'appareil RS-485
différente [P:797].
35/70
Interfaces
5.3
Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
5.3.1
Cadre télégramme
Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vaccum contient uniquement des caractères ASCII [32;
(par ex. un
127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un host
PC) envoie un télégramme, auquel un device
(par ex. unité de commande électronique ou jauge)
va répondre.
a2
a1
5.3.2
a0
*
0
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
c2
c1
c0
CR
a2 – a0
Adresse de l’unité pour device
● Adresse individuelle de l’unité ["001";"255"]
● Adresse groupée « 9xx » pour toutes les unités identiques (pas de réponse)
● Adresse globale « 000 » pour toutes les unités sur le bus (pas de réponse)
*
Action selon la description du télégramme
n2 – n0
Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum
I1 – I0
Longueur de données dn à d0
dn – d0
Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Types de données », page 37).
c2 – c0
Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) module 256
CR
Retour à la ligne (ASCII 13)
Description du télégramme
Interrogation des données
-->
?
a2
n2
n1
a1
a0
0
0
Instruction de réglage
a2
a1
a0
1
-->
!
n2
n1
0
n0
0
2
l1
l0
dn
n0
Réponse des données / instruction de réglage comprise
a2
a1
a0
1
0
Message d’erreur
a2
d0
a1
a0
1
0
n2
NO_DEF
_RANGE
_LOGIC
5.3.3
=
?
...
c2
c1
c0
cR
d0
c2
c1
c0
cR
c2
c1
c0
cR
c1
c0
cR
-->
n2
n1
n0
l1
l0
dn
...
d0
0
6
N
O
_
D
E
F
_
R
A
N
G
E
_
L
O
G
I
C
-->
n1
n0
c2
Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus
Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée
Erreur d'accès logique
Télégramme exemple 1
Demande de données
Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 »)
-->
?
ASCII
1
2
3
0
0
3
0
9
0
2
=
?
1
1
2
cR
49
50
51
48
48
51
48
57
48
50
61
63
49
49
50
13
Réponse des données : 633 Hz
Vitesse de rotation actuelle (paramètre [P:309], adresse de l’appareil device : « 123 »)
-->
1
2
3
1
0
3
0
9
0
6
0
0
0
6
3
3
0
3
7
cR
ASCII
49
50
51
49
48
51
48
57
48
54
48
48
48
54
51
51
48
51
55
13
36/70
Interfaces
5.3.4
Télégramme exemple 2
Commande de contrôle
Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 »
-->
!
ASCII
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
cR
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
Commande de contrôle comprise
Allumer le poste de pompage (paramètre [P:010], adresse de l’appareil device : « 042 »
-->
0
4
2
1
0
0
1
0
0
6
1
1
1
1
1
1
0
2
0
cR
ASCII
48
52
50
49
48
48
49
48
48
54
49
49
49
49
49
49
48
50
48
13
5.3.5
Types de données
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
0
boolean_old
Valeur logique (faux / vrai)
06
000000 est équivalent à faux
111111 est équivalent à vrai
1
u_integer
Nombre entier positif
06
000000 à 999999
2
u_real
Nombre à point fixe positif
06
001571 correspond à 15.71
4
string
Chaîne de 6 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
06
TC_110, TM_700
6
boolean_new
Valeur logique (faux / vrai)
01
0 est équivalent à faux
1 est équivalent à vrai
7
u_short_int
Nombre entier positif
03
000 à 999
10
u_expo_new
Nombre exponentiel positif. Les
deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de
20.
06
100023 est équivalent à
1,0 · 103
100000 est équivalent à
1,0 · 10-20
11
string16
Chaîne de 16 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
16
BrezelBier&Wurst
12
string8
Chaîne de 8 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
08
Exemple
37/70
Ensemble de paramètres
6 Ensemble de paramètres
6.1
Généralités
Des réglages et des caractéristiques propres aux fonctions importantes sont programmés en usine
sous forme de paramètres dans l’unité d’entraînement électronique. Chaque paramètre a un numéro à
trois chiffres qui peut être sélectionné via le clavier ou via le RS-485, en externe via le protocole Pfeiffer
Vacuum.
La pompe à vide démarre dans le mode standard avec les paramètres réglés par défaut en usine.
Sauvegarde de données non volatiles
Lors de la mise à l’arrêt ou en cas de chute de tension involontaire, les paramètres et les
heures de service sont sauvegardés dans le système électronique.
#
Nombre à trois chiffres du paramètre
Affichage
Affichage de la description des paramètres
Description
Brève description des paramètres
Fonctions
Description de la fonction des paramètres
Type de donnée
Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum
Type d’accès
R (lecture) : Accès en lecture ; W (écriture) : Accès en écriture
Unité
Unité physique de la variable décrite
min. / max.
Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur
par défaut
Pré-réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la pompe)
Le paramètre peut être sauvegardé de manière permanente sur l’unité de commande électronique
Tab. 29:
Explication et signification des paramètres
6.2
Instructions de réglage
#
Affichage
Description
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
001
Chauffage
Chauffage
0 = arrêt
1 = marche
0
002
Stand-by
Stand-by
0 = arrêt
1 = marche
004
RUTimeCtr
Surveillance de
temps d’accélération
008
Keys lockd
0093)
min.
max.
par
défaut
RW
0
1
0
0
RW
0
1
0
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
1
Blocage des touches
0 = arrêt
1 = touches verrouillées
0
RW
0
1
0
ErrorAckn
Acquittement
d’anomalie
1 = Acquittement de
défaillance
0
W
1
1
010
Pump stat.
Groupe de pompage
0 = arrêt
1 = marche
0
RW
0
1
0
012
Vent enab
Activer la ventilation
0 = non
1 = oui
0
RW
0
1
0
3)
38/70
Unité
Pas d’affichage de texte du paramètre, mais un symbole ou une touche actionnée
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
019
Conf. Out2
Configuration sortie DO2
0 = grille « OFF » ou
erreur
1 = grille « OFF » ou
erreur ou avertissement
2 = grille « OFF » ou
erreur ou commande
pompe turbomoléculaire « OFF »
7
023
Motor TMP
Moteur de pompe
à vide
0 = arrêt
1 = marche
025
OpMode BKP
Mode de fonctionnement de la pompe à vide primaire
026
OPMode
TMP
027
min.
max.
par
défaut
RW
0
2
1
0
RW
0
1
0
0 = mode continu
1 = mode par intermittence
7
RW
0
1
0
Mode de réglage
de la vitesse de
rotation
0 = désactivé, fonctionnement à la vitesse finale
1 = activé, mode de réglage de la vitesse de
rotation
7
RW
0
1
0
GasMode
Mode du gaz
0 = gaz lourds
1 = gaz légers
7
RW
0
1
0
028
Opmode Rem
Interfaces de type
de service
0 = aucune priorité
1 = priorité commande
à distance, avec la broche 14 active haute
7
RW
0
1
0
030
VentMode
Mode de ventilation
0 = ventilation temporisée
1 = pas de ventilation
2 = ventilation directe
7
RW
0
2
0
035
Conf IO
Configuration des
sorties accessoires
0 = Chauffage
2 = Ventilateur
7
RW
0
2
0
055
Conf AO1
Configuration sortie AO1
0 = vitesse de rotation
réelle
1 = sortie
2 = courant
7
RW
0
2
0
095
RstCstVals
Remettez à zéro
sur les réglages
usine au prochain
redémarrage (se
rapporte aux instructions de réglage et à la présélection de consignes)
non
oui
0
W
-
-
non
Tab. 30:
Unité
Instructions de réglage
39/70
Ensemble de paramètres
6.3
Demandes d’état
#
Affichage
3004)
301
Oil defic
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
Priorité à distance
0 = non
1 = oui
0
0 = non
1 = oui
Unité
min.
max.
R
0
1
0
R
0
1
4
R
Point de commutation de la
vitesse de rotation atteint
Code d’erreur
Code d’erreur
3046)
Température supérieure à la
normale, unité de commande électronique
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
3057)
Température supérieure à la
normale de la pompe à vide
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
3068)
Régime nominal atteint
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
3079)
La pompe à vide accélère
0 = non
1 = oui
0
R
0
1
308
Set rotspd
Régime nominal (Hz)
1
R
Hz
0
999999
309
Act rotspd
Vitesse de rotation réelle
(Hz)
1
R
Hz
0
999999
310
TMP I-mot
Courant du moteur d’entraînement
2
R
A
0
9999,99
311
TMP Op
hrs
Heures de fonctionnement
de la pompe à vide
1
R
h
0
65535
312
PCS Softw.
Version du logiciel de l’unité
de commande électronique
4
R
313
TMP
DClink
Tension du moteur d’entraînement
2
R
V
0
9999,99
314
Drv Op hrs
Heures de fonctionnement
de l’unité de commande
électronique
1
R
h
0
65535
315
TMP finspd
Vitesse de rotation nominale
(Hz)
1
R
Hz
0
999999
316
TMP Power
Quantité de refoulement du
moteur d’entraînement
1
R
W
0
999999
319
Cycl count
Cycles de pompe
1
R
0
65535
335
HeatType
Affectation des raccordements des accessoires
7
R
0
255
40/70
par
défaut
Fluide d’exploitation bas
3025)
303
Description
0=
chauffage
2 = refroidissement par
air
4)
Pas d’affichage de texte du paramètre, mais un symbole ou une touche actionnée
5)
Pas d’affichage de texte du paramètre, mais un symbole ou une touche actionnée
6)
Pas d’affichage de texte du paramètre, mais symbole ou touche actionnée, description détaillée de l’erreur via
le paramètre 303
7)
Pas d’affichage de texte du paramètre, mais symbole ou touche actionnée, description détaillée de l’erreur via
le paramètre 303
8)
Pas d’affichage de texte du paramètre, mais un symbole ou une touche actionnée
9)
Pas d’affichage de texte du paramètre, mais un symbole ou une touche actionnée
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
340
Pression
349
Type
de
donnée
Type
d’accès
Unité
min.
max.
Valeur de pression actuelle
(ActiveLine)
7
R
hPa
1E-12
1.0E3
Drv Name
Type de commande, unité
de commande électronique
4
R
TCP 350
352
Drv Softw.
Version logicielle de la commande du moteur
4
R
999999
354
HW Version
Version matériel, unité de
commande électronique
4
R
360
ErrHist1
Historique des codes d’erreur, point 1
4
R
361
ErrHist2
Historique des codes d’erreur, point 2
4
R
362
ErrHist3
Historique des codes d’erreur, point 3
4
R
363
ErrHist4
Historique des codes d’erreur, point 4
4
R
364
ErrHist5
Historique des codes d’erreur, point 5
4
R
365
ErrHist6
Historique des codes d’erreur, point 6
4
R
366
ErrHist7
Historique des codes d’erreur, point 7
4
R
367
ErrHist8
Historique des codes d’erreur, point 8
4
R
368
ErrHist9
Historique des codes d’erreur, point 9
4
R
369
ErrHist10
Historique des codes d’erreur, point 10
4
R
Tab. 31:
Fonctions
dernier
message
d’erreur
par
défaut
Demandes d’état
6.4
Entrées des valeurs de référence
#
Affichage
Description
700
RUTimeSVal
701
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
Unité
min.
max.
par
défaut
Définir la valeur du temps
d’accélération
1
RW
min
1
120
8
SpdSwPt1
Point de commutation 1 vitesse de rotation
1
RW
%
50
97
80
707
SpdSVal
Régler la valeur en mode
de réglage de la vitesse de
rotation
2
RW
%
20
100
65
710
Swoff BKP
Seuil d’arrêt de la pompe
de secours pour le fonctionnement par intermittence
1
RW
W
0
1000
0
711
SwOn BKP
Seuil d’activation de la
pompe de secours pour le
fonctionnement par intermittence
1
RW
W
0
1000
0
717
StdbySVal
Valeur de consigne de la
vitesse de rotation en mode
stand-by
2
RW
%
20
100
66,7
41/70
Ensemble de paramètres
#
Affichage
Description
720
VentSpd
721
Type
de
donnée
Type
d’accès
Unité
min.
max.
par
défaut
Mise à l’air à la vitesse de
rotation, mise à l’air retardée
7
RW
%
40
98
50
VentTime
Temps de remise à l’air,
ventilation temporisée
1
RW
s
6
3600
3600
738
Type de jauge
Type de manomètre
1
RW
0
6
0
777
PompeRotMax
Confirmation de la vitesse
de rotation nominale
1
RW
0
2000
777
794
Param. set
Ensemble de paramètres
7
RW
0
1
0
795
Servicelin
Insérer ligne de service
7
RW
797
Adresse
Adresse d’appareil
1
RW
Tab. 32:
42/70
Fonctions
noGaug
TPR2xx
IKR2xx
PKR2xx
CMRx61
CMRx62
CMRx63
0 = ensemble de paramètres de
base
1 = ensemble de paramètres
avancés
Entrées des valeurs de référence
Hz
309
1
255
1
Utilisation
7 Utilisation
7.1
Mise en marche de l’appareil
AVERTISSEMENT
Danger de mort par électrocution en cas de dysfonctionnement
En cas de dysfonctionnement, les appareils raccordés au secteur peuvent être sous tension. Danger
de mort par électrocution en cas de contact avec des composants sous tension.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
Activation de l’alimentation électrique
► Activez l’alimentation électrique à l’aide de l’interrupteur principal situé à l’arrière de l’appareil.
Après la mise sous tension, le TCP effectue un auto-test pendant environ 5 secondes et vérifie les unités connectées.
Test
Fonction
Affichage LC
Tous les caractères de l’écran LC sont contrôlés pendant un court instant.
LED
Les LED ont l’état de la dernière mise sous tension et ne s’allument pas nécessairement après la mise sous tension.
Identification des
appareils raccordés
● La jauge raccordée n’est pas détectée automatiquement. La sélection correspondante s’effectue via le paramètre P [738].
Tab. 33:
Auto-test, requêtes internes après mise sous tension
Que faire en cas d’apparition de messages d’erreur après la mise sous tension ?
Lors de la première mise en service de l’unité de commande électronique ou après le remplacement de
la pompe turbomoléculaire raccordée, le message d’erreur E777 apparaît sur l’écran.
1. Éliminez la cause de l’anomalie (voir chapitre « Codes d’erreur », page 58).
2. Réinitialisez les messages d’erreur le cas échéant en appuyant sur la touche
.
3. Supprimez la cause, le cas échéant, en sélectionnant la vitesse de rotation nominale valide de la
pompe turbomoléculaire concernée .
7.2
Affichage LC
1
2
3
4
5
Fig. 10:
Affichage LC, vue d'ensemble
L’affichage LC à 4 lignes affiche toutes les fonctions.
Numéro
de ligne
Fonction
Ligne 1
Numéro et nom du paramètre sélectionné (par ex. 721 : Durée de ventilation).
Ligne 2
Valeur déterminante pour le paramètre sélectionné. La flèche –––► indique le mode
d’édition.
43/70
Utilisation
Numéro
de ligne
Fonction
Ligne 3
a 2 fonctions :
● Fonction 1 : affiche les messages courants, ainsi que les messages relatifs au fonctionnement et à la commande.
● Fonction 2 : présentation d’un second paramètre requis au format [numéro de paramètre : valeur]. La fonction de cette ligne peut être définie via le paramètre
[P:795] Servicelin dans la ligne 1. Tous les paramètres sont accessibles via "Servicelin". Les messages d’erreur sont affichés indépendamment de la fonction sélectionnée.
Ligne 4
Présentation de l’état actuel de l’équipement, avec des flèches indiquant les symboles
associés.
Ligne 5
Symboles (voir plus bas)
Tab. 34:
7.3
Signification des fonctions et disposition sur l’affichage LC
Symboles d’état
Les symboles d'état situés sous l’affichage LC indiquent l'état de fonctionnement actuel des appareils
connectés, en fonction des paramètres principaux. Les flèches sur la ligne inférieure de l’affichage fournissent des informations visuelles sur l'état de l'appareil.
Symbole
Paramètre
Flèche
Explication
La pompe à vide accélère
= [P:307]
–
NON
Présélection du chauffage
= [P:001]
–
OUI
Pas de présélection
Présélection du chauffage, point de
commutation non atteint
Chauffage activé, point de commutation atteint
Stand-by
= [P:002]
–
Commande à distance de l’équipement
= [P:300]
–
Point de commutation atteint
= [P:302]
–
Température excessive
–
DÉSACTIVÉ
ACTIVÉE
NON
OUI
NON
OUI
Pas de températures excessives
Température excessive pompe à vide
= [P:305]
Température excessive unité de commande électronique = [P:304]
Température excessive pompe à vide
et unité de commande électronique
Vitesse finale atteinte
= [P:306]
Tab. 35:
7.4
–
NON
OUI
Symboles d’état et affichage
Fonctions des touches
Quatre touches à course courte (touches programmables) forment l’interface utilisateur.
44/70
Utilisation
Touche
Paramètre | Application
Équivalent à
[010] = 0 ou 1
Explication
Groupe de pompage activé/ désactivé : Démarre/arrête
tous les composants selon leur configuration
Validation anomalie (remise à zéro) : Remet à zéro les
messages d’erreur, sous réserve de rectification de la cause.
Tab. 36:
7.5
[308] --> [309]
Dérouler en avant dans le jeu de paramètres
[309] --> [308]
Dérouler en arrière dans le jeu de paramètres
Pression simultanée
Mode d'édition : Permet le réglage des options de paramètre
La flèche - - - > sur l’affichage indique la sélection de l’option
Appuyer à nouveau simultanément
Mode de sélection : Confirme la sélection (« changement
confirmé »)
Description des fonctions des touches sur le panneau de contrôle
Affichage et configuration des paramètres
Chaque paramètre dispose d’un nombre à trois chiffres et d’une description. La valeur de chaque paramètre est toujours lisible. Vous pouvez sélectionner et modifier des instructions de réglage et définir des
présélections de consignes.
Fonction
Actionnement
Effet
Sélectionner le
ou les paramètres
Sélectionner le numéro du
paramètre avec la touche
ou
Le paramètre sélectionné est affiché sur la ligne 1,
et la valeur associée sur la ligne 2
En maintenant la touche
enfoncée, on peut faire défiler les pages rapidement
Définir les paramètres
Appuyer sur les touches
simultanément
Modifier la valeur
de paramètre
Réduir ou augmenter la valeur avec la touche
ou
, ou changer d’option.
Valider le paramètre
Appuyer sur les touches
simultanément
Tab. 37:
● Le mode d'édition est activé pour le paramètre
sélectionné
● Une flèche (––►) est affichée au début de la
seconde ligne sur l’écran LCD
● Le paramètre pour la ligne 1 est sélectionné
● La ligne 3 affiche : « Changement confirmé »,
si aucune valeur de 2e affichage n’a été sélectionnée (voir [P:795])
● Le mode d'édition pour le paramètre sélectionner est terminé ; la flèche (––►) disparaît
Sélection et modification des paramètres
Conditions requises pour la fin automatique du mode d'édition
●
●
●
●
Interruption de saisie ou aucune touche actionnée pendant plus de 10 sec.
Apparition d’une erreur
Appuyer sur la touche « ON/OFF »
Si la ligne 3 = vide, « Données non modifiées » apparaît.
7.6 Configuration des connexions avec l’ensemble de paramètres Pfeiffer
Vacuum
L’unité de commande électronique est préconfigurée avec les fonctions de base par défaut en usine et
prête à l’emploi. Pour des impératifs particuliers, il est possible de configurer la plupart des connexions
pour l’unité de commande électronique avec l’ensemble de paramètres.
45/70
Utilisation
7.6.1
Généralités
Restauration des réglages usine
L’unité de commande électronique est préprogrammée au départ usine pour le fonctionnement de la
pompe turbomoléculaire sans configuration additionnelle.
► Si nécessaire, restaurez l’ensemble des réglages usine avec le paramètre [P:095].
Contrôle des réglages
1. Avant le fonctionnement avec les paramètres, contrôlez la compatibilité pour le procédé de la présélection de consignes et des instructions de réglage.
2. Retirez le connecteur de commande à distance de l’unité de commande électronique.
Verrouillage et déverrouillage du clavier
1. Verrouillez le clavier via le paramètre [P:008] pour éviter un fonctionnement indésirable.
– Toutes les fonctions de saisie par le panneau de touches sont désactivées.
– Il est possible de continuer à faire défiler la liste des paramètres.
2. Désactivez la pompe pour déverrouiller le clavier.
– Attendez que la pompe soit complètement à l’arrêt.
3. Déverrouillez le clavier seulement via l’interface RS-485 à l’aide du paramètre [P:008].
7.6.2
Configuration de la sortie numérique et du relais
Signification de « active » (sans erreur) :
● Pour DO2 : V+ actif haut (sans erreur)
● Pour relais 2 : Changement de contact actif
Signification des dysfonctionnements :
● Pour DO2 : bas
● Pour relais 2 : inactif
Option
Description
0 = secteur désactivé et/ou dérangement
DO2 « bas » et relais 2 inactif
1 = secteur désactivée et/ou dérangement et/ou avertissement
2 = secteur et/ou dérangement et/ou commande désactivés
Tab. 38:
7.6.3
Configuration de la sortie analogique
Option
Description
0 = vitesse de rotation
Signal de vitesse de rotation ; 0 - 10 V CC = 0 - 100 % × fNominal
1 = puissance
Signal de sortie ; 0 - 10 V CC = 0 - 100 % × Pmax
2 = courant
Signal de courant ; 0 - 10 V CC = 0 - 100 % × Imax
Tab. 39:
7.6.4
Configurer le paramètre [P:055]
Configuration du raccordement des accessoires
Option
Description
0 = Chauffage
Commande via les paramètres atteints du point de commutation
chauffage et vitesse
1 = TMS chauffage10)
Commande via le boîtier de commande TMS
2 = ventilateur (fonctionnement
continu)
Commande via les paramètres du groupe de pompage
Tab. 40:
10)
46/70
Configurer le paramètre [P:019]
Configurer le paramètre [P:035]
Uniquement lors de l’utilisation de pompes avec système de gestion de la température (TMS)
Utilisation
7.7
Modes de fonctionnement
7.7.1
Commande à distance
Possibilités
● Fonctionnement via le clavier TCP 350 sans priorisation explicite des interfaces d’exploitation
(standard)
● Contrôle à distance via l’interface RS-485
● Commande par les fonctions de commutation du raccordement « REMOTE »
─ Possibilité de connecter plusieurs TCP
Réglage du fonctionnement standard
► Réglez le paramètre [P:028] sur la valeur « 0 ».
– Sauf : La broche 14 de « REMOTE » est raccordée à +24 V CC (actif haut)
Activation de la priorité « REMOTE »
Le raccordement « REMOTE » a la priorité sur toutes les fonctions des autres interfaces.
1. Réglez le paramètre [P:028] sur la valeur « 1 ».
2. Broche 14 de « REMOTE » = actif haut
– Sauf : L’acquittement des erreurs est toujours possible via la touche correspondante
Désactivation de la priorité « REMOTE »
Le raccordement « REMOTE » n’a pas la priorité sur toutes les fonctions des autres interfaces.
1. Réglez le paramètre [P:028] sur la valeur « 1 ».
2. Broche 14 de « REMOTE » = actif bas
– Sauf : L’acquittement des erreurs n’est pas possible via la broche 13 tant que la broche 14
est à nouveau réglée sur « actif haut ».
7.7.2
Fonctionnement selon le type de gaz
AVIS
Destruction de la pompe turbo liée à des gaz avec des masses moléculaires trop élevées
Le pompage de gaz de masse moléculaire non autorisée provoque la destruction de la pompe turbo.
► S'assurer que le mode de gaz [P:027] est correctement réglé dans l’unité d’entraînement électronique.
► Contacter Pfeiffer Vacuum avant d’utiliser des gaz avec une masse moléculaire plus élevée (>
80).
Un débit de gaz et une vitesse de rotation élevés entraînent un important échauffement du rotor par
friction. Afin d’éviter toute surchauffe, des caractéristiques de vitesse de rotation et de puissance sont
implémentées dans l’unité d’entraînement électronique. La caractéristique de puissance permet le fonctionnement de la pompe turbomoléculaire à n’importe quelle vitesse de rotation avec le débit de gaz
maximum admissible sans surcharge thermique de la pompe turbomoléculaire. La consommation de
courant maximale dépend du type de gaz. Deux caractéristiques sont disponibles pour le paramétrage
afin d’épuiser complètement la capacité de la pompe pour chaque type de gaz.
47/70
Utilisation
P
B
D
Pmax
[P:708]
A
C
C-D = Gas mode "0"
A-B = Gas mode "1"
fN
Fig. 11:
P
f
f
Schéma des caractéristiques de puissance, exemple de gaz lourds [P:027] = 0
Consommation de courant
Vitesse de rotation
Pmax Consommation de courant maximale
fN
Vitesse de rotation nominale
C-D
Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 0 » (gaz
de masse moléculaire > 39, par ex. argon)
Caractéristique de puissance dans le mode du gaz « 1 » (gaz
de masse moléculaire ≤ 39)
A-B
Réglage du mode gaz
1. Contrôlez le mode gaz actuellement réglé avec le paramètre [P:027].
2. Réglez le paramètre [P:027] à la valeur requise.
3. Si nécessaire, réglez sur une fréquence plus basse dans le mode de réglage de la vitesse de rotation afin d’éviter les variations de vitesse de rotation.
La pompe turbomoléculaire fonctionne avec la consommation de courant maximale. Lorsque le régime
nominal et/ou réglé est atteint, l’unité de commande électronique bascule automatiquement sur la caractéristique de puissance choisie du mode gaz sélectionné. L’augmentation de la consommation de
courant compense initialement une augmentation du débit de gaz pour maintenir constante la vitesse
de rotation de la pompe turbomoléculaire. La pompe turbomoléculaire s’échauffe davantage en raison
de la friction croissante des gaz. Lorsque la puissance maximale dépendant du type de gaz est dépassée, la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire est réduite par l’unité de commande électronique jusqu’à ce qu’un équilibre admissible entre la puissance et la friction du gaz soit atteint.
7.7.3
Temps d’accélération
Le démarrage de la pompe turbomoléculaire est surveillé en usine. Différentes causes peuvent prolonger les temps d'accélération, par exemple :
● Débit de gaz excessif
● Fuite dans le système
● Point de consigne du temps de démarrage trop bas
Paramétrage du temps de fonctionnement
1. Activez la surveillance de temps d'accélération avec le paramètre [P:004].
2. Ajustez le temps d'accélération avec le paramètre [P:700].
3. Le cas échéant, éliminez les causes externes et liées à l’application, si les temps d'accélération
sont prolongés.
7.7.4
Réglage du point de commutation de la vitesse de rotation
Vous pouvez utiliser le point de commutation de la vitesse de rotation pour le message « Pompe turbomoléculaire opérationnelle pour le processus ». Le dépassement vers le haut ou le bas du point de
commutation de la vitesse de rotation active active et/ou désactive le paramètre d’état [P:302] et la sortie de commande à distance associée :
Sortie du signal sur la broche 8 du raccordement « REMOTE » :
● DO1 : haut
● Relais 1 : actif (broches 15, 16, 17)
48/70
Utilisation
[P:017] = 0
f(%)
[P:701]
t
[P:010]
[P:302]
1
0
t
1
0
Fig. 12:
Process
t
Point de commutation actif de vitesse de rotation
Réglage du point de commutation de la vitesse de rotation
La sortie du signal et les paramètres d’état sont basés sur la valeur définie pour le point de commutation de la vitesse de rotation [P:701].
► Réglez le paramètre [P:701] à la valeur requise en %.
7.7.5
Mode de réglage de la vitesse de rotation
Le mode de réglage de la vitesse de rotation réduit la vitesse et donc le débit de la pompe turbomoléculaire. La vitesse de pompage de la pompe turbomoléculaire change proportionnellement à la vitesse. Le
mode stand-by est inefficace pendant le mode de réglage de la vitesse de rotation. La valeur définie
dans le mode de réglage de la vitesse de rotation [P:707] définit le régime nominal. Le point de commutation de la vitesse de rotation varie avec le régime nominal. Le passage en dessous ou au-dessus de
la valeur définie en mode de réglage de la vitesse de rotation active ou désactive respectivement le signal d’état [P:306] SetSpdAtt.
Réglage du mode de réglage de la vitesse de rotation
1. Réglez le paramètre [P:707] à la valeur requise en %.
2. Réglez le paramètre [P:026] sur « 1 ».
3. Contrôlez le régime nominal (paramètre [P:308]).
7.7.6
Confirmation de la spécification de vitesse
La vitesse de rotation nominale typique d’une pompe turbomoléculaire est préréglée en usine dans
l’unité de commande électronique. Si l’unité de commande électronique est remplacée ou si un autre
type de pompe est utilisé, la présélection de consignes pour la vitesse de rotation nominale est effacée.
La confirmation manuelle de la vitesse de rotation nominale fait partie d’un système de sécurité redondant et sert de mesure de prévention contre les vitesses de rotation excessives.
Type de pompe
Confirmation de la vitesse de rotation nominale [P:777]
CompactTurbo 071 | 071 P
1500 Hz
CompactTurbo 261/262 P
1000 Hz
CompactTurbo 261 P C
833 Hz
CompactTurbo 521 P
833 Hz
CompactTurbo 521 P C
715 Hz
HiPace 60 P
1500 Hz
HiPace 80
1500 Hz
HiPace 350 | 450
1100 Hz
HiPace 300
1000 Hz
HiPace 400 | 700 | 800
820 Hz
Tab. 41:
Vitesses de rotation nominales caractéristiques des pompes turbo
49/70
Utilisation
Condition préalable
● Connaissance de la configuration et du réglage des paramètres de travail de l’unité de commande
électronique.
Régler le paramètre [P:777]
► Régler le paramètre [P:777] en fonction du type de pompe.
Une fois la vitesse de rotation nominale atteinte, la pompe turbomoléculaire tourne au ralenti sans débit
de gaz supplémentaire. Selon le processus ou les exigences de l’application, la vitesse de rotation nominale peut être réduite dans le mode de réglage de la vitesse de rotation ou dans le mode standby.
7.7.7
Stand-by
Pfeiffer Vacuum recommande le mode stand-by pour la pompe turbomoléculaire pendant les arrêts de
processus et de production. Lorsque le mode stand-by est actif, l’unité de commande électronique réduit la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire. Le mode stand-by est inefficace pendant le
mode de réglage de la vitesse de rotation. Le réglage usine pour le mode standby correspond à 66,7 %
de la vitesse de rotation nominale. Le passage en dessous ou au-dessus de la spécification en mode
stand-by active ou désactive respectivement le signal d’état [P:306] SetSpdAtt.
Réglage des paramètres associés
1. Régler le paramètre [P:717] à la valeur requise en %.
2. Régler le paramètre [P:026] sur « 0 ».
3. Régler le paramètre [P:002] sur « 1 ».
4. Contrôler la vitesse de rotation réglée (paramètre [P:308] ou [P:397]).
7.7.8
Modes de fonctionnement de la pompe à vide primaire
Le fonctionnement d'une pompe à vide primaire raccordée via l’unité de commande électronique dépend du type de pompe à vide primaire.
Mode de fonctionnement [P:025]
Pompe à vide primaire recommandée
« 0 » Fonctionnement
Toutes les pompes à vide primaire
« 1 » Mode par intermittence
Pompes à membrane uniquement
Tab. 42:
Modes de fonctionnement de la pompe à vide primaire
Réglage du fonctionnement
Lorsque le groupe de pompage est en marche, l’unité de commande électronique envoie un signal à la
broche de sortie numérique 11 du raccordement accessoires pour mettre en marche la pompe à vide
primaire.
1. Utilisez un câble adaptateur pour raccorder le câble de commande du boîtier de relais au raccordement « REMOTE » de l’unité de commande électronique.
2. Réglez le paramètre [P:025] sur « 0 ».
3. Utilisez ce signal pour la commande d’une vanne de securité de vide primaire.
Réglage du mode de fonctionnement par intermittence et détermination du seuil de commutation
Le mode de fonctionnement par intermittence augmente la durée de vie de la membrane d’une pompe
à membrane connectée. Soit une pompe à membrane avec relais semi-conducteur intégré, soit un boîtier de relais interconnecté avec relais semi-conducteur est requis(e) pour le mode de fonctionnement
par intermittence. L’unité de commande électronique met la pompe à vide primaire en marche ou à l’arrêt selon la consommation électrique de la pompe turbomoléculaire. Une relation avec la pression de
vide préliminaire résulte de la consommation électrique. Le mode de fonctionnement de la pompe de
secours offre des seuils de mise en marche et de mise à l’arrêt réglables. Les variations de consommation électrique des pompes turbomoléculaires au ralenti et les variations de pression de vide préliminaire des pompes à vide primaire nécessitent des réglages individuels du mode de fonctionnement par
intermittence.
Pfeiffer Vacuum recommande un fonctionnement par intermittence entre 5 et 10 hPa. Un manomètre et
une vanne de dosage sont nécessaires pour régler les seuils de commutation.
1. Régler le paramètre [P:025] sur « 1 ».
2. Mettre le système de vide en marche avec le paramètre [P:010] (« poste de pompage »).
3. Attendre le démarrage.
50/70
Utilisation
4. Laisser le gaz circuler à travers la vanne de dosage et régler la pression de vide préliminaire sur
10 hPa.
5. Relever la puissance d’entraînement sur le paramètre [P:316] et noter la valeur.
6. Régler le seuil de mise en marche de la pompe de secours avec le paramètre [P:711] sur la puissance d’entraînement déterminée pour une pression de vide préliminaire de 10 hPa.
7. Réduire la pression du vide préliminaire à 5 hPa.
8. Relever la puissance d’entraînement sur le paramètre [P:316] et noter la valeur.
9. Régler le seuil de mise à l’arrêt de la pompe de secours avec le paramètre [P:710] sur la puissance d’entraînement déterminée pour une pression de vide préliminaire de 5 hPa.
7.7.9
Fonctionnement avec des accessoires
Installation et fonctionnement des accessoires
Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses produits.
● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés sont disponibles en ligne.
● Les accessoires suivants ne sont pas inclus dans la livraison.
Procédure
► Effectuez la configuration des raccordements via le paramètre [P:035].
► Rechercher l’état via le paramètre [P:335].
Configuration du chauffage
L’activation du chauffage du boîtier raccordé dépend du point de commutation de la vitesse de rotation
via le paramètre [P:701] (réglage d’usine 80 % × fnominal).
► Mettre le chauffage en marche ou à l’arrêt avec le paramètre [P:001].
Le dépassement vers le haut ou le bas du point de commutation de la commande de vitesse commande le fonctionnement du chauffage du boîtier. Le symbole sur l’écran LCD indique l’état de fonctionnement respectif.
Configuration du ventilateur
● Si le refroidissement par air est connecté, il est automatiquement activé par la mise en marche du
groupe de pompage via le paramètre [P:010].
7.7.10
Modes de ventilation
Après la mise hors tension, la pompe turbomoléculaire peut être purgée avec la fonction « Groupe de
pompage ». La sortie du signal sur les raccordements accessoires configurables « B1 » ou « VENT »
s’effectue avec une temporisation fixe de 6 secondes.
Sélection du mode de ventilation
1. Régler le paramètre [P:012] sur « 1 ».
2. Sélectionner le mode de ventilation avec le paramètre [P:030] (3 modes possibles).
Modes de fonctionnement
● L’opérateur peut choisir entre trois modes de fonctionnement différents.
Ventilation temporisée
1. Configurer le début et la durée de ventilation après « Station de pompage désactivée » en fonction de la vitesse de rotation de la pompe turbomoléculaire.
2. Régler le paramètre [P:030] sur « 0 ».
3. Avec le paramètre [P:720], régler la vitesse de ventilation à la vitesse de rotation nominale en %.
4. Avec le paramètre [P:721], régler la vitesse de ventilation en s.
La soupape de ventilation s'ouvre pour la durée de ventilation définie. En cas de panne de courant, la
ventilation démarre lorsque la vitesse tombe sous la vitesse de ventilation de consigne. La durée de
ventilation dépend de l’énergie résiduelle fournie par le rotor en rotation. Le processus de ventilation
s’arrête lorsque la puissance est rétablie.
Pas de remise à l'air
Dans ce mode de fonctionnement, la ventilation est désactivée.
► Régler le paramètre [P:030] sur « 1 ».
51/70
Utilisation
Ventilation directe
La mise à l’air commence avec un retard de 6 secondes après l’arrêt du groupe de pompage. Lorsque
la fonction du groupe de pompage est réactivée, la vanne de remise à l'air se ferme automatiquement.
Après une panne de courant, la ventilation démarre après que la vitesse de rotation soit retombée audessous d’une valeur type spécifiée. Une fois la puissance rétablie, le processus de ventilation reprend.
► Réglez le paramètre [P:030] sur « 2 ».
7.7.11
Fonctionnement du transmetteur
Mesure de la pression
L’unité de commande électronique offre une précision de mesure approximative. Les instruments de mesure Pfeiffer Vacuum sont parfaits pour mesurer avec précision la pression,
en particulier pour les transmetteurs linéaires dans le domaine de pression bas.
Affichage des transmetteurs actifs
L’unité détecte les jauges du même groupe d’impédance d’image.
1. Définir le paramètre [P:794] sur « 1 » (affichage du jeu de paramètres avancés).
2. Sélectionner le transmetteur avec le paramètre [P:738].
3. Spécifier la désignation exacte du transmetteur avec le paramètre [P:738] comme requis.
Exemple d’affichage
Signification
TPR 2xx
Transmetteur Pirani TPR 280 raccordé
CMR ?
Transmetteur du groupe CMR raccordé, type exact pas encore spécifié
noGaug
Jauge de pression non raccordée
Tab. 43:
Exemples d’affichage pour le transmetteur
Affichage de la pression actuelle
1. Définir le paramètre [P:794] sur « 1 » (affichage du jeu de paramètres avancés).
2. Afficher la mesure de la pression actuelle avec le paramètre [P:340] (pression).
7.8
Exemple d’affichage
Signification
–––––– hPa
Jauge de pression non raccordée
< 5E-4 hPa
Valeurs inférieures à la gamme de mesure (selon l’appareil utilisé)
> 1E3 hPa
Plage de mesure dépassée (selon l’appareil utilisé)
6.3E-9 hPa
Mesure de pression valide
id fam hPa
Modèle non encore identifié ; voir [P:340]
Erreur
Erreur dans le transmetteur
Tab. 44:
Exemples d’affichages pour la valeur de pression actuelle
Mise en marche de la pompe à vide raccordée
Le paramètre « groupe de pompage » [P:010] comprend le fonctionnement de la pompe à vide avec la
commande de tous les accessoires raccordés (par ex. la pompe à vide primaire).
Procédure
► Réglez le paramètre [P:023] sur « 1 ».
– Le paramètre [P:023] active le moteur de la pompe turbomoléculaire.
► Réglez le paramètre [P:010] sur « 1 » ou appuyez sur la touche
sur la face avant.
Après avoir réussi l’auto-test, la pompe turbomoléculaire démarre et tous les accessoires raccordés
commencent à fonctionner selon leur configuration.
52/70
Utilisation
7.9
Désactivation de la pompe à vide
Procédure
► Réglez le paramètre [P:010] sur « 0 » ou appuyez sur la touche
pour arrêter la pompe à vi-
de.
7.10
Surveillance des opérations
7.10.1
Affichage du mode de travail via diodes électroluminescentes
Les LED du panneau avant indiquent les états de marche de base.
LED
Symbole
Verte
Rouge
Tab. 45:
7.10.2
Affichage
Signification
Désactivée
sans courant
Allumée, clignotante
« Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation ≤ 60 tr/min
Allumée, clignotement inverse
« Groupe de pompage MARCHE »,
régime nominal non atteint
Allumée, en continu
« Groupe de pompage MARCHE »,
régime nominal atteint
Allumée, clignotante
« Groupe de pompage ARRÊT », vitesse de rotation > 60 tr/min
Désactivée
pas d’erreur, pas d’avertissement
Allumée, clignotante
Avertissement
Allumée, en continu
Erreur
Comportement et signification de l’affichage à LED
Affichage du mode de travail pour la LED Profinet
DEL
État LED
SF
Éteinte
Pas d’erreur
Allumée, clignote en rouge,
1 Hz, 3 s
Le service de signal DCP est déclenché via le
bus.
Allumée, en continu
Chien de garde interrompu ; canal, diagnostic générique ou étendu disponible défaut système
Éteinte
Pas d’erreur
Allumée, clignote en rouge,
2 Hz
Aucun échange de données
Allumée, en continu
Aucune configuration, ou connexion physique lente ou aucune connexion physique
Éteinte
L'unité n’est pas connectée au réseau Ethernet.
Allumée, en continu
L'unité est connectée au réseau Ethernet.
Éteinte
L’unité n’envoie/ne reçoit aucune trame Ethernet.
Allumée, vacillante
L’unité envoie/reçoit des trames Ethernet.
BF
L
A
Tab. 46:
7.10.3
État LED
Affichage
Signification
Comportement et signification de la LED Profinet
Surveillance de la température
Si les valeurs seuils sont dépassées, des signaux de sortie des capteurs de température permettent
d’amener la pompe turbomoléculaire dans un état sécurisé. Selon le type, les seuils de température
pour les messages d’avertissement et d’erreur sont mémorisés systématiquement dans l’unité de commande électronique. À titre d'information, différentes demandes d’état sont définies dans l’ensemble de
paramètres.
53/70
Utilisation
● Afin d’éviter que la pompe turbomoléculaire ne se coupe, l'unité de commande électronique réduit
déjà la consommation de courant en cas de dépassement du seuil d’avertissement pour l’excès
de température.
─ Exemples : température moteur inadmissible, surchauffe inadmissible du corps de pompe.
● Le point de commutation de la vitesse de rotation peut ne pas être atteint en cas de réduction
supplémentaire de la puissance d’entraînement et par conséquent de la vitesse. La pompe turbomoléculaire se coupe.
● Le dépassement du seuil de température pour les messages d’erreur entraîne la coupure immédiate de la pompe turbomoléculaire.
7.11 Arrêt de l’appareil
Procédure
1. Coupez l’alimentation électrique à l’aide de l’interrupteur secteur « POWER » situé à l’arrière de
l’appareil.
2. Déconnectez l’unité de courant du secteur pour débrancher complètement l’alimentation en courant.
54/70
Maintenance
8 Maintenance
AVERTISSEMENT
Danger de mort lié à un choc électrique pendant la maintenance et l'entretien
L'appareil n'est complètement hors tension que lorsque la prise secteur a été débranchée et que la
pompe à vide est à l'arrêt. Danger de mort par électrocution en cas de contact avec des composants
sous tension.
► Avant tout travail, mettre hors circuit l'interrupteur secteur.
► Attendre que la pompe à vide soit totalement à l'arrêt (vitesse de rotation = 0).
► Débrancher tous les câbles de raccordement.
► Débrancher la prise secteur de l'appareil.
► Sécuriser l'appareil contre tout redémarrage intempestif.
L’unité de commande et d’affichage ne peut pas être réparée. En cas de défaut, remplacer toute l'unité
par une unité de rechange.
55/70
Recyclage et mise au rebut
9 Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
9.1
Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
9.2
Mise au rebut de l’unité de commande électronique
Les composants électroniques et leurs boîtiers contiennent des matériaux devant être recyclés.
► Mettre au rebut les composants électroniques de manière sûre, conformément aux réglementations locales en vigueur.
56/70
Dysfonctionnements
10
Dysfonctionnements
10.1
Généralités
AVERTISSEMENT
Risque de blessure par les pièces déplacées après une panne de courant ou un dépannage
La fonction « groupe de pompage » de l’unité de commande électronique reste active après une panne de courant ou si des erreurs, entraînant l'arrêt de la pompe à vide ou du système, surviennent.
Lorsque la puissance est rétablie ou après la confirmation d’une défaillance, la pompe à vide démarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone
de fonctionnement des pièces en rotation.
► Toujours conserver l’alimentation librement accessible de manière à pouvoir la débrancher à tout
moment.
► Les contre-fiches présentes ou les ponts doivent être enlevés de l'unité de commande électronique avant le retour du courant secteur sous peine de risque de démarrage automatique.
► Mettre la pompe à l’arrêt en utilisant la fonction « poste de pompage » (paramètre [P:010]).
Tout dysfonctionnement de la pompe turbomoléculaire et de l’unité de commande électronique entraîne
systématiquement un message d’avertissement ou d’erreur. Dans les deux cas, un code d’erreur est
émis, ce dernier peut être lu via les interfaces de l’unité de commande électronique. De manière générale, les LED sur l’unité de commande électronique indiquent les messages de fonctionnement. En présence d’une erreur, la pompe turbomoléculaire et les appareils connectés sont mis à l’arrêt. Le mode de
remise à l'air sélectionné sera déclenché après une temporisation définie.
10.2
Codes d’erreur
Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours l’arrêt des appareils périphériques connectés.
Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la coupure des composants.
Traitement des messages d’anomalie
1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
2. Éliminez la cause de l’anomalie.
3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009].
– Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d’écran sur les appareils de commande
Pfeiffer Vacuum.
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Err001
Vitesse de rotation
excessive
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de rotation f = 0
Err002
Surtension
● Tension d’entrée de secteur
incorrecte
● Vérifier la tension d’entrée secteur
● Confirmer uniquement pour la vitesse de rotation f = 0
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err006
Erreur de démarrage
● Seuil de temps de démarrage
réglé trop bas
● Débit de gaz dans les récipients suite à des fuites ou
vannes ouvertes
● Toujours en-dessous du point
de commutation de contrôle
de vitesse, le temps de démarrage s’écoule
● Ajuster le temps d'accélération aux conditions
du processus
● Contrôler les fuites ou les vannes fermées
dans les chambres de vide
● Contrôler le raccord de vide primaire
● Régler le point de commutation de vitesse de
rotation
Err007
Fluide d’exploitation
bas
● Fluide d’exploitation bas
● Contrôler le fluide d’exploitation
● Valider uniquement à la vitesse de rotation f
=0
et cinq fois au maximum
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
57/70
Dysfonctionnements
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Err015
Erreur de groupe
● Appareil défectueux
● Activer/désactiver l’unité de commande électronique
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err021
L'unité d’entraînement électronique ne
détecte pas la pompe
turbomoléculaire
● Impédance image incorrecte
● Appareil défectueux
● Contrôler les raccordements
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de rotation f = 0
Err037
Sortie puissance moteur ou commande
défectueuse
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err040
Expansion mémorisation défectueuse
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err043
Mémorisation des valeurs des paramètres
défectueuse
● Erreur de configuration interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err044
Température excessive, électronique
● Refroidissement insuffisant
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
Err045
Température excessive, moteur
● Fusible de température, moteur, refroidissement insuffisant
● Temps de démarrage dans la
plage de vitesse de rotation
inférieure (up to 90 Hz) >6 min
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
● Contrôler le raccord de vide primaire
─ Détecter les fuites
─ Réduire la pression de vide primaire s’il y
a lieu
Err098
Erreur de communication interne
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err621
L’unité de commande
électronique ne détecte pas la pompe
turbomoléculaire
● La pompe turbomoléculaire
est mal raccordée
● Impédance image incorrecte
● Contrôler les raccordements
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de rotation f = 0
Err699
Erreur dans la commande du TCP
Err777
Vitesse de rotation
nominale non confirmée
Tab. 47:
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Vitesse de rotation nominale
non confirmée après le remplacement de l’unité d’entraînement électronique
● Confirmer la vitesse de rotation nominale
avec [P:777]
● Confirmer uniquement pour la vitesse de rotation f = 0
Messages d’erreur de l’unité de commande électronique
Code d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Wrn007
Sous-tension ou
panne de courant
● Panne de secteur
● Vérifier la tension d’entrée secteur
Wrn046
Dérangement du
canal des données
● Dérangement de la communication à la mémorisation des valeurs des paramètres
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn110
Avertissement jauge
● La jauge est défectueuse
● Le câble d’alimentation n’a pas
de contact
● Redémarrer l’unité de commande électronique – avec le raccordement électrique intact
● Remplacer la jauge si nécessaire
● Contrôler le paramétrage de la jauge
Tab. 48:
10.3
Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique
Codes d’erreur
Les erreurs (** Error E–––– **) entraînent toujours l’arrêt des appareils périphériques connectés.
Les avertissements (* Warning F –––– *) n’entraînent pas la coupure des composants.
58/70
Dysfonctionnements
Traitement des messages d’anomalie
1. Lisez les codes d’erreur via les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou un PC.
2. Éliminez la cause de l’anomalie.
3. Remettez à zéro le message d’anomalie avec le paramètre [P:009].
– Utilisez les interfaces préconfigurées ou les vignettes d’écran sur les appareils de commande
Pfeiffer Vacuum.
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Err001
Vitesse de rotation excessive
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err002
Surtension
● Unité de courant inappropriée
● Tension d’entrée de secteur
incorrecte
● Contrôler le type d'unité de courant
● Vérifier la tension d’entrée secteur
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err006
Erreur de démarrage
● Seuil de temps de démarrage réglé trop bas
● Débit de gaz dans les récipients suite à des fuites ou
vannes ouvertes
● Toujours en-dessous du
point de commutation de
contrôle de vitesse, le temps
de démarrage s’écoule
● Ajuster le temps d'accélération aux conditions du processus
● Contrôler les fuites ou les vannes fermées
dans les chambres de vide
● Régler le point de commutation de vitesse
de rotation
Err007
Fluide d’exploitation bas
● Fluide d’exploitation bas
● Contrôler le fluide d’exploitation
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err008
Unité d’entraînement
électronique - raccordement de la pompe turbomoléculaire défaillant
● Raccordement à la pompe
turbomoléculaire défaillant
● Contrôler les raccordements
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err010
Erreur appareil interne
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err021
L'unité d’entraînement
électronique ne détecte
pas la pompe turbomoléculaire
● Version de logiciel incompatible
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err041
Défaut du moteur
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err043
Erreur de configuration
interne
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err044
Température excessive,
électronique
● Refroidissement insuffisant
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
Err045
Température excessive,
moteur
● Refroidissement insuffisant
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
Err046
Erreur d’initialisation interne
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err073
Surcharge du palier magnétique axial
● Taux de remontée de pression trop élevé
● Vérifier les conditions de fonctionnement
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err074
Surcharge du palier magnétique radial
● Taux de remontée de pression trop élevé
● Vérifier les conditions de fonctionnement
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err089
Rotor instable
● Impacts, vibrations
● Appareil défectueux
● Vérifier les conditions de fonctionnement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err091
Erreur appareil interne
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err092
Panneau de connexion
inconnu
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err093
Évaluation de la température du moteur défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
59/70
Dysfonctionnements
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Err094
Évaluation de la température de l’électronique défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err098
Erreur de communication
interne
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err106
Température élevée du
rotor
● Débit élevé du gaz
● Rayonnement thermique interdit
● Champ magnétique interdit
● Vérifier les conditions de fonctionnement
Err107
Erreur de groupe étage
final
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err108
Mesure de la vitesse de
rotation défaillante
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err109
Logiciel non publié
● Mise à jour erronée du logiciel
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err110
Évaluation du fluide d'exploitation défaillante
● Capteur du fluide d'exploitation défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err111
Erreur de communication, pompe à liquide de
refroidissement
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err112
Erreur de groupe, pompe
à liquide de refroidissement
● Défauts externes
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err113
Évaluation de la température du rotor défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err114
Évaluation de la température de l’étage final défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err117
Température excessive,
partie inférieure de la
pompe
● Refroidissement insuffisant
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
Err118
Température excessive,
étage final
● Refroidissement insuffisant
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
Err119
Température excessive,
palier
● Refroidissement insuffisant
● Mode de gaz sélectionné incorrect
● Débit insuffisant de la purge
de gaz neutre
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
Err143
Température excessive,
pompe à liquide d'exploitation
● Refroidissement insuffisant
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err777
Vitesse de rotation nominale non confirmée
● Vitesse de rotation nominale
non confirmée après le remplacement de l’unité d’entraînement électronique
● Confirmer la vitesse de rotation nominale
avec [P:777]
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err800
Débordement du palier
magnétique
● Impacts, vibrations
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Vérifier les conditions de fonctionnement
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err802
Défaut technologique du
capteur du palier magnétique
● Valeurs de calibrage invalides
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Exécuter une procédure de calibrage
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err810
Erreur de configuration
interne
● Version de logiciel incompatible
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
60/70
Dysfonctionnements
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Err815
Débordement du palier
magnétique
● Impacts, vibrations
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Vérifier les conditions de fonctionnement
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Err890
Palier de sécurité usé
● Usure palier de sécurité
> 100%
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Err891
Déséquilibre trop important du rotor
● Déséquilibre du rotor
> 100%
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
● Confirmer uniquement pour la vitesse de
rotation f = 0
Tab. 49:
Messages d’erreur de l’unité de commande électronique
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Wrn001
Temps de montée en
température TMS expiré
● Minuterie interne de surveillance
de montée en température dépassée
● Vérifier les conditions de fonctionnement
● Vérifier la tension d’entrée secteur
Wrn003
Température TMS invalide
● La température TMS n'est pas
dans la plage admissible, entre
5 °C et 85 °C
● Capteur de température TMS
défectueux
● Vérifier les conditions de fonctionnement
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn007
Sous-tension ou panne
de courant
● Panne de secteur
● Unité de courant insuffisamment
dimensionnée
● Contrôler le type d'unité de courant
● Vérifier la tension d’entrée secteur
Wrn016
Configuration invalide
des accessoires
● Configuration interdire des sorties accessoires
● Vérifier la configuration des sorties accessoires
Wrn018
Conflit de primauté de
fonctionnement
● Groupe de pompage mis en
marche avec [P:010] alors que
l’entrée E74 « start/stop » est à
l’arrêt (ouverte)
● Mettre le groupe de pompage en marche via E74 « start/stop »
● Désactiver [P:010]
Wrn021
Signal de verrouillage invalide
● Le signal de la surveillance du
signal de verrouillage se trouve
en-dehors de la plage valide
● Contrôler les raccordements de la surveillance de la purge de gaz neutre
● Contrôler l’alimentation de la purge de
gaz neutre
Wrn034
Débit de gaz de pressurisation bas
● Signal de la surveillance de la
purge de gaz neutre valide mais
en-dessous du seuil réglé
[P:791]
● Contrôler et corriger l’alimentation de
la purge de gaz neutre
Wrn045
Température élevée du
moteur
● Refroidissement insuffisant
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
Wrn076
Température élevée de
l’électronique
● Refroidissement insuffisant
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
Wrn089
Déséquilibre élevé
● Déséquilibre du rotor
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn097
Informations de pompe
invalides
● Erreur de communication interne
1. Arrêter le groupe de pompage
2. Attendre que la pompe turbomoléculaire se soit complètement immobilisée
3. Déconnecter l’alimentation électrique
4. Si cela se reproduit, contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn098
Informations de pompe
incomplètes
● Erreur de communication interne
1. Arrêter le groupe de pompage
2. Attendre que la pompe turbomoléculaire se soit complètement immobilisée
3. Déconnecter l’alimentation électrique
4. Si cela se reproduit, contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn106
Température élevée du
rotor
● Débit élevé du gaz
● Rayonnement thermique interdit
● Champ magnétique interdit
● Vérifier les conditions de fonctionnement
61/70
Dysfonctionnements
Code
d’erreur
Problème
Causes possibles
Action corrective
Wrn113
Température du rotor incorrecte
● Erreur de communication interne
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn115
Évaluation de la température de la partie inférieure de la pompe défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn116
Évaluation de la température du palier défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn117
Température élevée de
la partie inférieure de la
pompe
● Refroidissement insuffisant
● Mode de gaz sélectionné incorrect
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
Wrn118
Température élevée de
l’étage final
● Refroidissement insuffisant
● Mode de gaz sélectionné incorrect
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
Wrn119
Température élevée du
palier
● Refroidissement insuffisant
● Mode de gaz sélectionné incorrect
● Débit insuffisant de la purge de
gaz neutre
● Améliorer le refroidissement
● Vérifier les conditions de fonctionnement
Wrn143
Température de pompe
à liquide d'exploitation
élevée
● Refroidissement insuffisant
● Améliorer le refroidissement
Wrn168
Temporisation importante
● Taux de remontée de pression
trop élevé
● Taux de remise à l'air trop élevé
● Contrôler le taux de remise à l’air
● Adapter le taux de remise à l'air à la
pompe
Wrn801
Convertisseur de freinage défectueux
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn806
Résistance de freinage
défaillante
● Appareil défectueux
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn807
Calibrage requis
● Calibrage expiré
● Calibrer la pompe turbomoléculaire en
la démarrant depuis l’arrêt
Wrn890
Usure trop importante du
palier de sécurité
● Usure palier de sécurité > 75%
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Wrn891
Déséquilibre important
du rotor
● Déséquilibre du rotor > 75%
● Contacter Pfeiffer Vacuum Service
Tab. 50:
62/70
Messages d’avertissement de l’unité de commande électronique
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
11
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
63/70
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
64/70
Accessoires
12
Accessoires
Veuillez vous référer à la liste d'accessoires pour chaque composant dans leurs instructions d'utilisation respectives ou en ligne sur pfeiffer-vacuum.de.
12.1 Commande d’accessoires
Description
Numéro de commande
Câble de secteur 230 VAC, CEE 7/7 à C13, 3 m
P 4564 309 ZA
Câble de secteur, 115 V AC, NEMA 5-15 à C13
P 4564 309 ZE
Câble de secteur 208 V CA, NEMA 6-15 à C13, 3 m
P 4564 309 ZF
Câble de raccordement entre le TCP 350 et le HiPace avec 2 ports accessoires M8, 3 m
PM 061 353 -T
Câble de raccordement entre le TCP 350 et le HiPace avec 2 ports accessoires M12, 3 m
PM 061 356 -T
Câble adaptateur, TCP 350 - Boîtier de relais pompe à vide primaire, M8
PM 061 376 -T
Câble adaptateur, TCP 350 - Boîtier de relais pompe à vide primaire, M12
PM 061 377 -T
Tab. 51:
Accessoires
65/70
Caractéristiques techniques et dimensions
13
Caractéristiques techniques et dimensions
13.1
Fiche technique
Champ de sélection
Commande électronique d'entraînement TCP 350, Profinet,
Turbo Controller
Numéro de commande
PM C01 744
Tensions d’entrée
115 / 230 V CA (-20/+15 %), 50/60 Hz
Tension d'alimentation 50 Hz
115 / 230 V
Tension d'alimentation 60 Hz
115 / 230 V
Tension d'entrée : tolérance
-20/+15 %
Vstupní napětí: frekvence
50/60 Hz
Puissance absorbée maximale
420 VA
Catégorie de surtension
Catégorie II
Tension de sortie
0 – 72 V
Courant de sortie
6,5 A
Interfaces I/O
RS-485, Profinet
Longueur câble Turbo-TCP-max.
120 m
Type de protection
IP20
Température ambiante
5 – 40 °C
Poids
2,8 kg
Tab. 52:
13.2
TCP 350 PN
Schémas cotés
Toutes les cotes sont en millimètres
142 (28TE)
127
122.5
128.5 (3HE)
232.4
111
242.4
Fig. 13:
66/70
Dimensions TCP 350
Déclaration de conformité CE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Unité de commande électronique
TCP 350 PN
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Basse tension 2014/35/CE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN ISO 12100 : 2011
DIN EN 62061 : 2016
DIN EN 1012-2 : 2011
DIN ISO 21360-1 : 2016
DIN EN IEC 61000-3-2 : 2019
ISO 21360-4 : 2018
DIN EN 61000-3-3 : 2020
DIN EN IEC 63000 : 2019
DIN EN 61010-1 : 2020
Semi F47-0200
DIN EN 61326-1 : 2013
Semi S2-0706
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-11-24
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Unité de commande électronique
TCP 350 PN
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications appliquées:
EN ISO 12100:2010
EN 1012-2+A1:1996
EN IEC 61000-3-2+A1:2019
EN 61000-3-3+A2:2013
EN 61010-1+A1:2017
EN IEC 61326-1:2021
EN IEC 62061:2021
ISO 21360-1:2020
ISO 21360-4:2018
IEC 63000:2018
Semi F47-0200
Semi S2-0706
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2022-11-24
69/70
*PT0728*
ed. B - Date 2304 - P/N:PT0728BFR
">
Lien public mis à jour
Le lien public vers votre chat a été mis à jour.
