Fonctionnement Mettez l'appareil de mesure en circuit. Le signal de mesure est alors immédiatement disponible. Le voyant vert sur la jauge Tension indique l'état de service d'alimentation disponible. Tension d'alimentation indisponible. Attention Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. INSTRUCTIONS D'UTILISATION DANGER DANGER : surpression dans le système à vide >100 kPa Si des éléments de serrage sont ouverts des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Utiliser des éléments de serrage pouvant uniquement être ouverts et fermés à l'aide d'un outil (p. ex. anneau de serrage muni d'un collier de serrage). La jauge doit être connectée directement à la chambre à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010 : Traduction du manuel de l'utilisateur BG 5110 BFR / E (2017-07) Attention IKR 251 Jauge compacte à cathode froide avec joint FPM Mettez la jauge uniquement en circuit en présence de pressions <10-2 hPa afin d'éviter tout encrassement excessif. Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum équipés d'au moins deux raccords pour jauges, la jauge à cathode froide peut par exemple être pilotée par une jauge Pirani. PT R25 500 PT R25 501 PT R25 502 Le signal de mesure dépend du type de gaz. La valeur mesurée correspond à l'air, à l'oxygène (O2), au monoxyde de carbone (CO) et à l'azote (N2). Pour d'autres gaz, la pression peut être déterminée par une conversion (→ "Caractéristiques techniques"). Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum, cela peut être réalisé en saisissant le facteur de calibrage correspondant. • Pour les brides KF il faudra utiliser un collier de serrage conducteur. (Bride DN 25 ISO-KF) (Bride DN 40 ISO-KF) (Bride DN 40 CF-F) Délai d'amorçage Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans préavis. AVERTISSEMENT : amorçage électrique L'hélium peut provoquer des amorçages électriques à l'intérieur de l'électronique du produit et détruire l'électronique. Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre le produit hors service et démonter l'unité électronique. Le présent document décrit l'installation et le fonctionnement des jauges compactes à cathode froide susmentionnées. Pour de plus amples informations, veuillez consulter le manuel de l'utilisateur distinct [1]. Utilisation prévue Les jauges compactes à cathode froide décrites dans ce document servent à la mesure du vide dans la gamme des pressions de 2×10-9 … 1×10-2 hPa. À la mise en circuit de la jauge, le système de cathode froide s'active avec temporisation. Celle-ci augmente à des pressions plus basses et celle de jauges dégazées propres atteint les valeurs typiques suivantes à : AVERTISSEMENT A propos de ce document …10-7 hPa …10-8 hPa 2×10-9 hPa En cas d'utilisation de raccords de vide CF, il peut s'avérer avantageux de temporairement enlever l'unité électronique (1) et l'unité magnétique (2) (→ [1]). 1 La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur. La position d'installation n'est pas imposée, veiller cependant à ce que les particules ne puissent pas pénétrer dans la chambre de mesure. Raccordement électrique 10 10 5.1 k 2 + V – 3 1 4 10k + – 5 6 • n'observe pas les indications figurant dans ce document • modifie ce produit d'une façon quelconque • utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit correspondante. Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la garantie. Protection Pression 1E–01 Figure 1 : Affectation des Contacts Broche 1 Broche 2 Broche 3 Broche 4 Broche 5 Broche 6 Identification Sortie de signal (mesure) Masse signal Alimentation Masse alimentation Blindage Raccordez la jauge à l'appareil de mesure. 3 2 4 5 1 6 Les pannes du produit dues à des impuretés, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la garantie. Pa p = 10U-c 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 1E–06 hPa Torr 1E–07 IP 40 ≤1000 kPa (absolue) limitée aux gaz inertes et aux températures <55 °C 1E–08 1E–09 1E–10 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5 Signal de mesure U [V] Matériaux au contact du vide Isolation de traversée Joints internes Raccord à vide DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F Anode Dispositifs d'allumage Volume interne céramique (Al2O3) FPM75 c acier inoxydable (1.4104) acier inoxydable (1.4306) acier inoxydable (1.4306) Mo acier inoxydable (1.4310) ≈20 cm³ hPa Pa Torr 10.5 8.5 10.625 2×10-9 hPa < p < 1×10-2 hPa 1.5×10-9 Torr < p p< 7.5×10-3 Torr 2×10-7 Pa < p < 1 Pa valable pour gamme Alimentation Dépendance du type de gaz DANGER ≈0.1 minute ≈1 minute ≈5 minutes p (hPa) La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant aux exigences pour les basses tensions mises à la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers la jauge1). 4 Xe Kr 2 Ar Air O CO N2 H2 Ne He Gamme d'indication 10-7 ... 10-2 hPa 10-3 8 6 4 2 15 … 30 V= (ondulation ≤1 Vpp) Raccordement électrique Connecteur compact Hirschmann, type GO 6, 6 pôles, broches de contact Couple de serrage Câble jauge Boîte de raccordement de câble Longueur du câble ≤0.2 Nm 5 pôles, blindé Hirschmann GO 6 WF, 6 pôles, coudée, douilles Tension de service (dans la chambre de mesure) Courant de service (dans la chambre de mesure) Assurez-vous que la jauge soit raccordée à la chambre à vide (→ Section précédente). Si vous ne disposez pas d'un câble de raccordement, confectionnez en un selon le schéma en bas : Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une tierce personne • utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue Reproductibilité 1E+00 ≈±30% (mesure dans la gamme 1×10-8 …1×10-3 hPa) ≈±5 % (mesure dans la gamme 1×10-8 … 1×10-3 hPa) 10-4 8 6 4 2 10-5 8 6 4 2 10-6 8 6 4 2 10-7 10-7 • Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit. → [1] Si la jauge est utilisée à des pressions élevées ou dans des conditions contaminatrices, elle doit régulièrement être nettoyée. Rapport signal de mesure – pression 2×10-9 … 1×10-2 hPa Puissance absorbée ≤2 W Fusible 1) ≤1 AT La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur du câble de mesure. Tension d'alimentation à 16 … 30 V= (ondulation longueur max. du câble ≤1 Vpp) • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes aux gaz utilisés. Observer une distance de sécurité de ≥10 cm entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ou empêcher toute perturbation émanant de champs magnétiques puissants en installant des blindages adéquats. Masse alimentation – masse signal Maintenance, résolution des problèmes Pression p Gamme de mesure (air, N2) Précision Tension à la jauge Sécurité DANGER : champs magnétiques Les champs magnétiques puissants peuvent perturber ou gêner le fonctionnement des appareils électroniques, p. ex. des stimulateurs cardiaques. Utilisation L'allumage constitue un processus statistique pouvant être fortement influencé dès la présence d'infimes dépôts sur les surfaces intérieures. 2 DANGER Humidité relative –40 °C … +65 °C + 5 °C … +55 °C 150 °C (sans électronique et sans blindage magnétique) ≤80% à température jusqu'à +31 °C, diminuant à 50% à +40 °C en espaces clos, altitude max. 2000 m Dépendance du type de gaz • Les raccords à vide CF satisfont à ces exigences. Validité Températures admissibles Stockage Service Etuvage overrange Raccordement au vide Caractéristiques techniques → Figure 1 reliés par 10 kΩ (différence max. de tension pour sécurité ±50 V pour précision ±10 V) conduites séparément; avec les câbles de grande longueur (≥10 m), nous recommandons une mesure différentielle underrange Installation Conception de la terre Raccord à vide – masse alimentation sensor error Fixez le connecteur du câble de raccordement sur la jauge avec la vis (couple de serrage ≤0.2 Nm). ≤100 m ≤150 m ≤500 m (5×0.25 mm²) (5×0.34 mm2) (5×1.0 mm²) ≤3.3 kV 2 4 6 10-6 2 4 6 10-5 2 4 6 10-4 2 4 6 10-3 4 6 10-2 2 peff (hPa) Dans la gamme au-dessous de 10-5 hPa l'indication est linéaire. Pour d'autres gaz que l'air, la pression peut être déterminée par une simple conversion : peff = C × pression affichée Type de gaz Air (N2, O2, CO) Xe Kr Ar H2 Ne He C (moyenne) 1.0 0.4 0.5 0.8 2.4 4.1 5.9 ≤500 µA Signal de sortie (mesure) ≈0 V … ≈+10.5 V Gamme de mesure Relation tension – pression logarithmique, 1 V/décade Signal d'erreur <0.5 V sans alimentation Impédance de sortie 2×10 Ω Impédance chargée minimale 10 kΩ, résistant aux courtscircuits Temps de réponse en fonction de la pression -6 p > 10 hPa <10 ms p = 10-8 hPa ≈1 s Identification de la jauge Prise, côté soudures 1) Résistance 5.1 kΩ contre la terre d'alimentation Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes satisfont à cette exigence. bg5110bf r / e (2017-07) Recyclage Déclaration UE de conformité Pour l'élimination appropriée du produit, veuillez contact le S.A.V. Pfeiffer Vacuum le plus proche. Informations complémentaires [1] Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum, déclarons que le produit ci-après est conforme à la directive relative à la compatibilité électromagnétique 2014/30/UE et de la directive relative à la limitation de l’utilisation de certaines substances dangereuses dans les équipements électriques et électroniques 2011/65/UE. Produit www.pfeiffer-vacuum.com Manuel de l'utilisateur IKR 251 BG 5151 BDE (allemand) BG 5151 BEN (anglais) BG 5151 BFR (français) Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Allemagne IKR 251 Normes Normes harmonisées, normes internationales et nationales ainsi que spécifications : • EN 61000-6-2:2005 (Compatibilité électromagnétique : immunité) • EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (Compatibilité électromagnétique : émission) • EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire) Table de conversion des unités de pression mbar bar Pa hPa kPa Torr mm HG mbar bar Pa hPa kPa Torr mm HG 1 1×103 0.01 1 10 1×10-3 1 1×10-5 1×10-3 0.01 100 1×105 1 100 1×103 1 0.1 0.75 1×103 100 750 0.01 1×10-3 7.5×10-3 1 0.1 0.75 10 1 7.5 1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332 1 1 Pa = 1 N/m2 • EN 61326-1:2013 (exigences CEM pour les équipements de mesure et de commande) Fabricant / Signature Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar 7 mars 2016 Dr. Ulrich von Hülsen Président Certification ETL RECOGNIZED COMPONENT ETL LISTED The product IKR 251 • conforms to the UL Standard UL 61010-1 • is certified to the CAN/CSA Standard C22.2 No. 61010-1 3103457 Berliner Straße 43 D–35614 Asslar Allemagne Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-1202 info@pfeiffer-vacuum.de www.pfeiffer-vacuum.com ">

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