Pfeiffer MPT 200 Mode d'emploi

MANUEL DE L'UTILISATEUR
FR
Traduction d'original
MPT 200
Jauge à cathode froide/Pirani numérique
Cher client,
Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a
été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception
rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de
techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits
de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience
pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à
une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle.
Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux,
nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace
et fiable de votre application individuelle.
Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la
première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par
e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de.
Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de
téléchargement sur notre site Internet.
Exclusion de responsabilité
Ce manuel de l'utilisateur décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que
votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel.
Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le
manuel de l'utilisateur en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit.
D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant
d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise
utilisation prévisible.
Droits d’auteur (Copyright)
Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce
document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits
ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum.
Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations
contenues dans ce document.
2/56
Table des matières
Table des matières
1
A propos de ce manuel
1.1 Validité
1.1.1 Documents applicables
1.1.2 Variantes
1.2 Groupe cible
1.3 Conventions
1.3.1 Instructions dans le texte
1.3.2 Pictogrammes
1.3.3 Autocollants sur le produit
1.3.4 Abréviations
1.4 Justificatif de marque de commerce
7
7
7
7
7
8
8
8
8
9
9
2
Sécurité
2.1 Consignes générales de sécurité
2.2 Consignes de sécurité
2.3 Mesures de sécurité
2.4 Limites d’utilisation du produit
2.5 Utilisation conforme
2.6 Utilisations non conformes prévisibles
10
10
10
13
13
14
14
3
Description du produit
3.1 Fonction
3.1.1 Mode de fonctionnement de la jauge
3.1.2 Gamme de mesure
3.1.3 Systèmes de mesure
3.1.4 Système de mesure à cathode froide
3.1.5 Système de mesure Pirani
3.2 Identification du produit
3.3 Étendue de la livraison
15
15
15
15
15
16
16
16
16
4
Transport et stockage
4.1 Transport du produit
4.2 Stockage du produit
17
17
17
5
Installation
5.1 Raccord à vide
5.2 Création de la connexion « RS-485 »
18
18
19
6
Interfaces
6.1 Interface RS-485
6.2 Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
6.2.1 Cadre télégramme
6.2.2 Description du télégramme
6.2.3 Télégramme exemple 1
6.2.4 Télégramme exemple 2
6.2.5 Data types
22
22
22
22
23
23
23
23
7
Ensemble de paramètres
7.1 Généralités
7.2 Aperçu des paramètres de la jauge MPT
7.3 Instructions de réglage
7.4 Requêtes d’état
7.5 Valeurs de pression et facteurs de correction
25
25
25
26
26
26
8
Fonctionnement
8.1 Sélection des gammes de commutation
8.2 Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
28
29
29
3/56
Table des matières
8.3
8.4
8.5
4/56
Activation/désactivation de la cathode chaude
Lecture et réglage du relais et des points de commutation
Étuvage de la jauge
31
32
32
9
Démontage
34
10
Maintenance
10.1 Nettoyage des composants
10.2 Ajustage de la jauge
10.3 Remplacement du système de mesure
36
37
37
38
11
Anomalies
40
12
Expédition
41
13
Recyclage et mise au rebut
13.1 Informations générales sur la mise au rebut
13.2 Mise au rebut des jauges
42
42
42
14
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
43
15
Pièces de rechange
45
16
Accessoires
16.1 Informations sur l’accessoire
16.2 Commande d’accessoires
46
46
46
17
Caractéristiques techniques et dimensions
17.1 Généralités
17.2 Fiche technique
17.3 Dimensions
48
48
48
50
Certification UL/CSA
52
Déclaration de conformité UE
53
Déclaration de Conformité UK
54
Liste des tableaux
Liste des tableaux
Tab. 1:
Tab. 2:
Tab. 3:
Tab. 4:
Tab. 5:
Tab. 6:
Tab. 7:
Tab. 8:
Tab. 9:
Tab. 10:
Tab. 11:
Tab. 12:
Tab. 13:
Tab. 14:
Tab. 15:
Tab. 16:
Tab. 17:
Tab. 18:
Tab. 19:
Tab. 20:
Tab. 21:
Tab. 22:
Tab. 23:
Tab. 24:
Tab. 25:
Tab. 26:
Tab. 27:
Documents applicables
Variantes
Abréviations utilisées
Conditions ambiantes autorisées
Caractéristiques de l’interface RS-485
Explication et signification des paramètres
Aperçu des paramètres de la jauge MPT
Jeu de paramètres | Instructions de réglage
Jeu de paramètres | Requêtes d’état
Ensemble de paramètres | Valeurs de pression et facteurs de correction
Affichage du mode de travail via la LED « état appareil »
Pression de mise en circuit et de mise hors circuit de la cathode froide
Facteur de correction pour le fonctionnement avec Pirani uniquement
Facteurs de correction pour cathode froide
Condition d’activation/de désactivation
Anomalies
Pièces de rechange
Accessoires
Tableau de conversion : unités de pression
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
Valeurs de mesure et de pression
Données électriques
Interface RS-485
Brides de raccordement et poids
Conditions ambiantes
Températures
Substances en contact avec le fluide
7
7
9
14
22
25
25
26
26
27
28
29
30
31
31
40
45
47
48
48
48
48
49
49
49
49
49
5/56
Liste des figures
Liste des figures
Fig. 1:
Fig. 2:
Fig. 3:
Fig. 4:
Fig. 5:
Fig. 6:
Fig. 7:
Fig. 8:
Fig. 9:
Fig. 10:
Fig. 11:
Fig. 12:
Fig. 13:
Fig. 14:
6/56
Structure de la jauge MPT
Configuration de mesure
Raccord à vide
Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant les câbles de raccordement et les accessoires
Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant OmniControl
Affectation des raccordements du connecteur RS-485
Exemples de lecture des valeurs de pression actuelles via [P:740]
Sélection des gammes de commutation
Courbe de mesure en cas de fonctionnement avec jauge Pirani uniquement
et avec facteurs de correction
Composants de la jauge
Remplacement du système de mesure
MPT 200 avec DN 25 ISO-KF
MPT 200 avec DN 40 ISO-KF
MPT 200 avec DN 40 CF-F
15
15
19
20
20
22
28
29
30
33
39
50
50
51
A propos de ce manuel
1 A propos de ce manuel
IMPORTANT
Bien lire avant d'utiliser le produit.
Conserver ce manuel pour une future utilisation.
1.1
Validité
Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l’état de développement actuel
des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n’apporte aucune modification
au produit.
1.1.1
Documents applicables
Désignation
Document
Manuel de l’utilisateur de « l’appareil de commande » OmniControl
PT 0670
Déclaration de conformité
Un composant de ce manuel de l’utilisateur
Tab. 1:
Documents applicables
Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum.
1.1.2
Variantes
Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes :
Référence
Désignation
PT R40 140
MPT 200, DN 25 ISO-KF
PT R40 150
MPT 200, DN 40 ISO-KF
PT R40 350
MPT 200, DN 40 ISO-CF-F
Tab. 2:
Variantes
La référence de pièce est disponible sur la plaque signalétique du produit.
Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d’apporter des modifications techniques sans préavis.
Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles.
Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle.
Les graphiques sans légende reflètent le produit équipé d’un raccord à vide DN 25 ISO-KF. Ils s’appliquent cependant aussi aux autres raccords à vide.
Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire.
1.2
Groupe cible
Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge
●
●
●
●
●
●
du transport,
de l'installation,
de la commande et de l'utilisation,
de la mise hors service,
de la maintenance et du nettoyage,
du stockage et du recyclage du produit.
Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté
de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante
de Pfeiffer Vacuum.
7/56
A propos de ce manuel
1.3
Conventions
1.3.1
Instructions dans le texte
Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à
réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes.
Action unique
Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape.
► Il s'agit d’une étape unique.
Action en plusieurs étapes
Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique.
1. Étape 1
2. Étape 2
3. ...
1.3.2
Pictogrammes
Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles.
Remarque
Conseil
Portez des gants de laboratoire
Contrôlez visuellement
1.3.3
Autocollants sur le produit
Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations.
Plaque signalétique
La plaque signalétique se trouve à l’arrière de l’appareil.
D-35614 Asslar
Mod. MPT 200
P/N
PT R40 xxx
S/N
12345678
Range 5.0x10 -9 - 1x10 3 hPa
Input 24 V DC 3 W
Made in Germany 2023/01
8/56
A propos de ce manuel
1.3.4
Abréviations
Abréviation
Explication
ATM
Atmosphère
C
Facteur de correction pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air
Sensibilité du système de mesure Bayard-Alpert pour l’azote
EC
Collecteur d’électrons
F
Filament chauffé
HV
Vide élevé
IC
Collecteur d’ions
CC
Cathode froide
DEL
Diode électroluminescente
LPS
Source de puissance limitée
MSL
Niveau moyen de la mer
p
Pression
P
Pirani
TBTP
Très basse tension de protection
U
Signal de mesure [V] (tension de sortie)
Tab. 3:
1.4
Abréviations utilisées
Justificatif de marque de commerce
● Binder® est une marque déposée de Franz Binder GmbH + Co. Elektrische Bauelemente KG.
9/56
Sécurité
2 Sécurité
2.1
Consignes générales de sécurité
Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit :
DANGER
Danger direct et imminent
Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVERTISSEMENT
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
ATTENTION
Danger potentiellement imminent
Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères.
► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger
AVIS
Obligation ou signalement
Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure
physique.
► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels
Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le
produit ou le présent document.
2.2
Consignes de sécurité
Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit
Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la
vie du produit.
Risques lors de l’installation
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
10/56
Sécurité
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
AVERTISSEMENT
Risques liés aux champs magnétiques
Le produit émet un champ magnétique perturbant le fonctionnement des appareils électriques (notamment les stimulateurs cardiaques).
► Se tenir à la distance prescrite par le fabricant des stimulateurs cardiaques.
– Pfeiffer Vacuum préconise une distance de sécurité d’au moins 130 mm entre le stimulateur cardiaque et le produit.
► Éviter l'influence de champs magnétiques puissants en utilisant des écrans de protection contre
les champs magnétiques.
Risques pendant le fonctionnement
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
11/56
Sécurité
Risques pendant la maintenance
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risques liés aux champs magnétiques
Le produit émet un champ magnétique perturbant le fonctionnement des appareils électriques (notamment les stimulateurs cardiaques).
► Se tenir à la distance prescrite par le fabricant des stimulateurs cardiaques.
– Pfeiffer Vacuum préconise une distance de sécurité d’au moins 130 mm entre le stimulateur cardiaque et le produit.
► Éviter l'influence de champs magnétiques puissants en utilisant des écrans de protection contre
les champs magnétiques.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
Risques liés à l’expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et la sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux avis pour une livraison en toute sécurité.
12/56
Sécurité
Risques pendant la mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
2.3
Mesures de sécurité
Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger
de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres.
Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels
Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit.
Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du
produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document.
Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit
La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit
d'origine ou installe un équipement supplémentaire
● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le
cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives
européennes applicables avant de mettre en service ce système.
Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit
► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur.
► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées.
► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs.
► N'exposez aucune partie du corps au vide.
► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE).
► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement.
► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus.
► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C).
► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil.
► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres
environnements.
► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C.
► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler.
2.4
Limites d’utilisation du produit
Paramètre
Valeur
Pression d’air
800 à 1060 hPa
Humidité relative de l’air
À des températures atteignant +30 °C, 80 % max.
À des températures atteignant +40 °C, 50 % max.
sans condensation
13/56
Sécurité
Paramètre
Valeur
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
2 000 m NN
Degré de protection
IP54
Tab. 4:
2.5
Conditions ambiantes autorisées
Utilisation conforme
La jauge MPT 200 est utilisée pour la mesure du vide de l’air, des gaz et des jauges en dehors de leurs
limites d’explosion, dans la gamme de 5 × 10-9 à 1000 hPa.
Utilisation du produit conformément à son usage prévu
► Faites fonctionner la jauge avec un appareil de commande et de mesure de pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec un appareil d'évaluation fournie par le client.
► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur.
► Observez les limites d’utilisation indiquées dans la fiche technique.
► Observer la fiche technique.
2.6
Utilisations non conformes prévisibles
Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité.
Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée
comme non réglementaire, en particulier :
Une utilisation du produit non spécifiée par Pfeiffer Vacuum affecte la protection fournie par le produit.
● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d’utilisation
● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives, si cette utilisation n’est pas explicitement autorisée
● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives
● Utilisation en extérieur
● Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit)
● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés
14/56
Description du produit
3 Description du produit
3.1
Fonction
3
RS485
2
1
Fig. 1:
device status
1
RS485 15
3
adr 13
5
11
7
9
Structure de la jauge MPT
1 Commutateur sélectif de l’adresse RS-485
2 LED d’état de la jauge
3.1.1
3
Raccord « RS-485 »
Mode de fonctionnement de la jauge
La jauge est constituée d’un capteur à cathode froide (magnétron inversé) et d’un capteur Pirani. Le
principe de mesure de ce dernier utilise la conductivité thermique du gaz en fonction de la pression.
3.1.2
Gamme de mesure
La jauge couvre la gamme de mesure entre 5 × 10-9 et 1000 hPa.
La jauge a une caractéristique continue sur tout le domaine. Le signal de mesure dépend de la pression
sur tout le domaine selon une échelle logarithmique. Dans un domaine de chevauchement défini, la jauge émet un signal mixte des deux systèmes de mesure. Au-dessus, la jauge émet seulement le signal
Pirani, en dessous, seulement le signal de la cathode froide. La jauge applique la configuration de mesure optimale pour le domaine de pression respectif.
er
P low
P on P of
Cold cathode
5 × 10-9 hPa
Fig. 2:
f
Pirani
P up
r
pe
1000 hPa
Configuration de mesure
Le point de commutation Pon est le point auquel le système de mesure à cathode froide est activé lorsque la pression diminue. Le point de commutation Poff est le point auquel le système de mesure à cathode froide est désactivé lorsque la pression augmente. La zone de raccord entre Phaut et Pbas est la
zone de pression dans laquelle la jauge utilise proportionnellement le système de mesure Pirani et le
système de mesure à cathode froide pour définir la pression. La proportion Pirani diminue au fur et à
mesure que la pression diminue. En position de commutation « hard » (dure), la commutation entre le
système de mesure Pirani et celui à cathode froide est immédiate, sans transition.
3.1.3
Systèmes de mesure
La jauge a deux systèmes de mesure :
● Système de mesure Pirani (zone de contrôle)
● Système de mesure à cathode froide
15/56
Description du produit
Le système de mesure Pirani est toujours activé. Le signal de mesure Pirani sert à activer et désactiver
le système de mesure à cathode froide, protégeant ainsi le système de mesure à cathode froide contre
une contamination excessive.
Vous pouvez sélectionner 2 seuils différents d’activation/désactivation. Si la pression mesurée est supérieure au seuil d’activation, le système de mesure à cathode froide reste désactivé et la valeur mesurée Pirani apparaît en tant que signal de sortie.
La jauge active le système de mesure à cathode froide contrôlé par le système de mesure Pirani seulement quand la valeur descend en dessous du seuil d’activation pon. La cathode froide est prête pour
l’utilisation après quelques secondes de temps de démarrage. La DEL « État appareil » s’allume et la
valeur mesurée sur la cathode froide est présente à la sortie. Si la pression dépasse le seuil de désactivation poff, la jauge désactive le système de mesure à cathode froide et la DEL « État appareil » s’éteint.
La valeur mesurée Pirani apparaît à nouveau à la sortie.
3.1.4
Système de mesure à cathode froide
Le capteur à cathode froide de type magnétron inversé génère des molécules de gaz ionisées dans une
décharge de gaz. Le courant d’ions mesuré est une mesure des molécules de gaz présentes, aussi
pour la pression absolue.
3.1.5
Système de mesure Pirani
La conductivité de chaleur des gaz dépend de la pression dans certaines limites. Ce phénomène physique est utilisé dans un manomètre à vide à conduction thermique Pirani pour mesurer la pression. Un
circuit de pontage à correction automatique est utilisé comme circuit de mesure. Un fil fin en tungstène
est l’élément de mesure réel. Avec un circuit de commande approprié, la résistance du fil et donc sa
température sont maintenues constantes. La puissance électrique alimentant le fil est une mesure de la
chaleur dissipée dans le gaz par la conduction de la chaleur et donc une mesure pour la pression de
gaz. Lorsque la pression augmente, la convection et d’autres effets viennent toujours plus se superposer à la dissipation de chaleur. En d’autres termes, dans la plage >100 hPa, le système de mesure Pirani ne permet plus d’effectuer des mesures de pression précises.
3.2
Identification du produit
Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit
pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum.
► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez
toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique.
3.3
Étendue de la livraison
● Jauge
● Manuel de l’utilisateur
Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison
1. Déballez le produit.
2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc.
3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr.
4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes.
5. Contrôlez qu’aucune pièce n’a été endommagée.
16/56
Transport et stockage
4 Transport et stockage
4.1
Transport du produit
AVIS
Dégâts causés par un transport incorrect
Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut
endommager le produit.
► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine.
Transport en toute sécurité du produit
► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport.
► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage
d’origine de transport.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Retirez l’obturateur de protection existant et les protections pour le transport seulement juste
avant l’installation.
► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés.
4.2
Stockage du produit
AVIS
Risque de détériorations causées par un stockage incorrect
Un stockage incorrect provoquera des dégâts sur le produit.
Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques.
► Conforme aux instructions pour un stockage en toute sécurité.
Emballage
Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d’origine.
Stockage en toute sécurité du produit
► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des
chocs ni à des vibrations mécaniques.
► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs.
► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine.
► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique.
► Maintenez la température de stockage admissible.
► Évitez les fortes variations de températures ambiantes.
► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air.
► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine.
► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles).
17/56
Installation
5 Installation
5.1
Raccord à vide
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.)
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
AVERTISSEMENT
Risques liés aux champs magnétiques
Le produit émet un champ magnétique perturbant le fonctionnement des appareils électriques (notamment les stimulateurs cardiaques).
► Se tenir à la distance prescrite par le fabricant des stimulateurs cardiaques.
– Pfeiffer Vacuum préconise une distance de sécurité d’au moins 130 mm entre le stimulateur cardiaque et le produit.
► Éviter l'influence de champs magnétiques puissants en utilisant des écrans de protection contre
les champs magnétiques.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
18/56
Installation
Conditions préalables
● Conditions ambiantes appropriées
● Température de fonctionnement dans la plage permissible
● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles)
1
2
5
3
4
Fig. 3:
Raccord à vide
1 Joint avec anneau de centrage
2 Jauge
3 Obturateur de protection
4
5
Joint avec anneau de centrage et filtre
Pièce de serrage
Recommandations
► Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le
fonctionnement. Ces vibrations entraînent généralement des déviations dans les valeurs mesurées.
► Montez la jauge dans une orientation de montage horizontale à verticale (bride tournée vers le
bas).
– Ceci prévient toute accumulation de condensats et de particules dans la chambre de mesure.
► Montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour protéger les applications et le système de mesure contre tout risque de contamination.
Procédure
1. Retirez l’obturateur de protection et rangez-le dans un endroit sûr.
2. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum.
5.2
Création de la connexion « RS-485 »
DANGER
Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses
Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la
norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique.
► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants :
● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV)
● Source de puissance limitée (LPS) classe 2
► Fixez la ligne sur le produit.
– Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions.
19/56
Installation
AVIS
Dommages matériels liés à la mise à la masse des composants électroniques
La déconnexion ou la connexion du connecteur mâle-femelle « RS-485 » quand l’alimentation de tension est commutée va entraîner la destruction des composants électroniques.
► Coupez toujours l’alimentation de tension avant de connecter ou de déconnecter le connecteur
d’alimentation électrique « RS-485 ».
► Couper le bloc d’alimentation.
► Après avoir désactivé l’unité de courant, attendez la dispersion complète de la charge résiduelle
avant de déconnecter ou de connecter le connecteur mâle-femelle.
L’interface désignée « RS-485 » est utilisée pour la connexion d’une unité de courant externe (TPS),
d’un appareil de commande ou d’un PC.
Outils nécessaires
● Tournevis à encoche
1
4
3
2
1
2
2
1
Fig. 4:
5
2
Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant les câbles de raccordement et
les accessoires
1 Câble d’alimentation de l’unité de courant
2 Connecteur en Y pour RS-485
3 Câble d’interface M12
4
5
Convertisseur USB/RS-485
PC
2
3
1
2
Fig. 5:
1
1
2
1
Interconnexion via la connexion RS-485 en utilisant OmniControl
1 Connecteur en Y pour RS-485
2 Câble d’interface M12
3
Appareil de commande OmniControl
Configurez l’adresse RS-485
1. Retirez le connecteur en caoutchouc du commutateur d’adresse RS-485.
2. Configurez l’adresse RS-485 avec le commutateur d’adresse RS-485 de la jauge.
3. Remettez en place le connecteur en caoutchouc sur le commutateur d’adresse RS-485.
20/56
Installation
Assurer le degré de protection de la jauge
► Après avoir réglé l’adresse RS-485, replacez le bouchon en caoutchouc sur le sélecteur d’adresse RS-485 pour établir le degré de protection spécifié.
Interconnexion via la connexion RS-485
1. Installez les appareils conformément à la spécification pour les interfaces RS-485.
2. Veillez à ce que tous les appareils raccordés au bus disposent d’une adresse RS-485 différente.
3. Raccordez au bus tous les appareils avec RS-485 D+ et RS-485 D-.
Raccorder des unités de commande et d’affichage Pfeiffer Vacuum ou un PC
► Utilisez un câble de raccordement de la gamme des accessoires DigiLine.
► Ne connectez qu’un seul contrôleur de commande externe à l’interface RS-485 à la fois.
► Si nécessaire, raccordez un PC via le convertisseur USB/RS-485.
21/56
Interfaces
6 Interfaces
6.1
Interface RS-485
DANGER
Danger de mort en cas d’électrocution
Lors de l’application de tensions dépassant la très basse tension de sécurité spécifiée (conformément à IEC 60449 et VDE 0100), les mesures isolantes sont détruites. Danger de mort en cas d’électrocution au niveau des interfaces de communication.
► Connecter uniquement des appareils appropriés au système de bus.
La jauge communique via l’interface « RS-485 ». La jauge contient les adresses 1 à 16.
Désignation
Valeur
Interface série
RS-485
Vitesse de transmission en baud
9600 Baud
Longueur de mot
8 bit
Parité
aucune (pas de parité)
Bits d’arrêt
1
Tab. 5:
5
1
4
Caractéristiques de l’interface RS-485
2
3
Fig. 6:
Affectation des raccordements du connecteur RS-485
1 RS-485 D+
2 +24 V DC
3 GND
4
5
RS-485 Dnon raccordé
6.2
Protocole Pfeiffer Vacuum pour l’interface RS-485
6.2.1
Cadre télégramme
Le cadre télégramme du protocole Pfeiffer Vacuum contient uniquement des caractères ASCII [32;
127], à l’exception du caractère final du télégramme CR. De manière générale, un host
(par ex. un
PC) envoie un télégramme, auquel un device
(par ex. unité de commande électronique ou jauge)
va répondre.
a2
22/56
a1
a0
*
0
n2
n1
n0
l1
l0
dn
…
d0
c2
c1
c0
CR
a2 – a0
Adresse de l’unité pour device
● Adresse individuelle de l’unité ["001";"016"]
*
Action selon la description du télégramme
n2 – n0
Numéros de paramètre Pfeiffer Vacuum
I1 – I0
Longueur de données dn à d0
dn – d0
Données dans le type de données correspondant (voir chapitre « Data types », page 23).
c2 – c0
Somme de contrôle (somme des valeurs ASCII des cellules a2 à d0) modulo 256
CR
Retour à la ligne (ASCII 13)
Interfaces
6.2.2
Description du télégramme
Interrogation des données
-->
?
a2
n2
n1
a1
a0
0
0
Instruction de réglage
a2
a1
a0
1
-->
!
n2
n1
0
n0
0
2
=
l1
l0
dn
…
n0
Réponse des données / instruction de réglage comprise
a2
a1
a0
1
0
Message d’erreur
a2
a1
a0
1
0
n2
NO_DEF
_RANGE
_LOGIC
6.2.3
?
c2
c1
c0
cR
d0
c2
c1
c0
cR
c2
c1
c0
cR
c1
c0
cR
-->
n2
n1
n0
l1
l0
dn
…
d0
0
6
N
O
_
D
E
F
_
R
A
N
G
E
_
L
O
G
I
C
-->
n1
n0
c2
Le numéro de paramètre n2–n0 n’existe plus
Donnée dn–d0 en-dehors de la plage autorisée
Erreur d'accès logique
Télégramme exemple 1
Rechercher la valeur de pression
Pression mesurée actuelle (paramètre [P:740], adresse du dispositif device : « 001 »)
-->
?
ASCII
0
0
1
0
0
7
4
0
0
2
=
?
1
0
6
cR
48
48
49
48
48
55
52
48
48
50
61
63
49
48
54
13
Réponse aux données : pression mesurée 1 × 10+3 hPa en exposant 1E+3
Pression mesurée actuelle (paramètre [P:740], adresse du dispositif device : « 001 »)
-->
0
0
1
1
0
7
4
0
0
6
1
0
0
0
2
3
0
2
5
cR
ASCII
48
48
49
49
48
55
52
48
48
54
49
48
48
48
50
51
48
50
53
13
c0
cR
6.2.4
Télégramme exemple 2
Instruction incorrecte
Instruction incorrecte (paramètre [P:888], adresse d'appareil device : « 005 »
-->
!
ASCII
0
0
5
1
0
8
8
8
0
3
1
3
0
48
48
53
49
48
56
56
56
48
51
49
51
48
c2
c1
13
Instruction inconnue
Instruction incorrecte (paramètre [P:888], adresse d'appareil device : « 005 »
-->
0
0
5
1
0
8
8
8
0
6
N
O
_
D
E
F
ASCII
48
48
53
49
48
56
56
56
48
54
78
79
95
68
69
70
6.2.5
Data types
c2
c1
c0
cR
13
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
0
boolean_old
Valeur logique (faux / vrai)
06
000000 est équivalent à faux
111111 est équivalent à vrai
1
u_integer
Nombre entier positif
06
000000 à 999999
23/56
Interfaces
24/56
Nº
Type de donnée
Description
Longueur
l1 – l0
Exemple
2
u_real
Nombre à virgule fixe (non signé)
06
001571 correspond à 15.71
4
string
Chaîne de 6 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
06
TC_110, TM_700
6
boolean_new
Valeur logique (faux / vrai)
01
0 est équivalent à faux
1 est équivalent à vrai
7
u_short_int
Nombre entier positif
03
000 à 999
10
u_expo_new
Nombre exponentiel positif. Les
deux derniers chiffres sont l’exposant avec une déduction de
20.
06
100023 est équivalent à
1,0 · 103
100000 est équivalent à
1,0 · 10-20
11
string16
Chaîne de 16 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
16
BrezelBier&Wurst
12
string8
Chaîne de 8 caractères. Codes
ASCII entre 32 et 127.
08
Exemple
Ensemble de paramètres
7 Ensemble de paramètres
7.1
Généralités
Toutes les variables pertinentes pour la fonction sont stockées comme des paramètres dans la jauge.
Chaque paramètre a un nombre à trois chiffres et une description. Le paramètre peut être appliqué en
utilisant les appareils de commande Pfeiffer Vacuum ou de manière externe via RS-485 en utilisant le
protocole Pfeiffer Vacuum.
Réglages usine
La jauge est pré-programmée en usine. La jauge est prête à fonctionner en toute sécurité sans configuration supplémentaire.
#
Nombre à trois chiffres du paramètre
Description
Brève description des paramètres
Fonctions
Description de la fonction des paramètres
Type de donnée
Type de formatage du paramètre pour l’utilisation avec le protocole Pfeiffer Vacuum
Type d’accès
R (lecture) : accès en lecture ; W (écriture) : accès en écriture
Unité
Unité physique de la variable décrite
min./max.
Valeurs limites autorisées pour la saisie d’une valeur
par défaut
Réglage par défaut en usine (en partie spécifique à la jauge)
Le paramètre peut être enregistré dans la mémoire non volatile de la jauge
Tab. 6:
7.2
Explication et signification des paramètres
Aperçu des paramètres de la jauge MPT
#
Description
041
Capteur marche/arrêt
049
Gammes de commutation
303
Code d’erreur actuel
312
Version du logiciel
349
Nom de l’appareil
354
Hardware version
355
Numéro de série
388
Référence de commande
730
Point de commutation de pression 1 1)
732
Point de commutation de pression 2 2)
740
Valeur de pression [hPa]
741
Point d’ajustage de pression
742
Facteur de correction (Pirani)
743
Facteur de correction (cathode froide)
Tab. 7:
Aperçu des paramètres de la jauge MPT
1)
Version AR uniquement
2)
Version AR uniquement
25/56
Ensemble de paramètres
7.3
Instructions de réglage
#
Description
Fonctions
Type de
donnée
Type d’accès
041
Capteur marche/arrêt
0 = arrêt
1 = marche
6
049
Gammes de commutation
0 = interrupteur
1 = trans_LO
7
Tab. 8:
Unité
min.
max.
par défaut
RW
0
1
1
RW
0
1
1
Unité
min.
max.
par
défaut
min.
max.
par
défaut
000
001
Jeu de paramètres | Instructions de réglage
7.4
Requêtes d’état
#
Description
Fonctions
Type de
donnée
Type
d’accès
303
Code d’erreur
000000 = Pas d’erreur
Err001 = Capteur défectueux
Err002 = Mémoire défectueuse
4
R
312
Version du firmware
de la jauge
Exemple de la première version
du firmware : 010100
4
R
349
Nom de l’appareil
MPT200
4
R
354
Hardware version
Exemple de la première version
hardware : 010100
4
R
355
Numéro de série
Exemple : 42501199
11
R
388
Référence de commande
Exemple : PT R40 140
11
R
Tab. 9:
Jeu de paramètres | Requêtes d’état
7.5
Valeurs de pression et facteurs de correction
#
Description
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
Unité
730 3)
Point de commutation de pression 1
Lire et régler la valeur de pression pour le point de commutation 1
10
RW
hPa
732 4)
Point de commutation de pression 2
Lire et régler la valeur de pression pour le point de commutation 2
10
RW
hPa
740
Valeur de pression
Lire et régler la valeur de la
pression actuelle (pendant
l’ajustage)
10
RW (peut
être écrit
sous
condition)
hPa
741
Point d’ajustage de
pression
000= ajustage HV
001= ajustage ATM
7
W
26/56
3)
Version AR uniquement
4)
Version AR uniquement
Ensemble de paramètres
#
Description
Fonctions
Type
de
donnée
Type
d’accès
742
Facteur de correction (Pirani)
Lecture et réglage des facteurs
de correction
2
743
Facteur de correction (cathode froide)
Lecture et réglage des facteurs
de correction
2
Tab. 10:
Unité
min.
max.
par
défaut
RW
0,2
8,0
1,00
RW
0,2
8,0
1,00
Ensemble de paramètres | Valeurs de pression et facteurs de correction
27/56
Fonctionnement
8 Fonctionnement
Dès que la tension d’alimentation a été établie, le signal de mesure est disponible sur la connexion
électrique.
LED
Signification
OFF
Pas d’alimentation électrique
S’allume en vert
Tension d’alimentation OK, mode de mesure, valeurs de pression valides, capteur pour le domaine de basse pression actif
Clignote en vert (1 Hz)
Capteur pour le domaine de haute pression actif
Allumée en jaune
Fonction appareil OK, mais, à cause d’opérations internes (par ex. ajustage), des valeurs de mesure non valides apparaissent temporairement
Gamme de mesure dépassée vers le haut/non atteint
S’allume en rouge
Erreur de logiciel ou de jauge
Allumée pendant 1 s
vert, jaune et rouge
Test des LED après la mise en service ou la réinitialisation
Rouge/vert clignotant
(1 Hz)
Mise à jour du logiciel en cours
Tab. 11:
Affichage du mode de travail via la LED « état appareil »
Recommandations
► Respectez la période de stabilisation minimum de 10 minutes.
► Laissez la jauge toujours activée, quelle que soit la pression appliquée.
Lire la valeur de pression actuelle [P:740]
Les valeurs de pression sont transférées dans le format « aaaabb ». La chaîne « aaaa » est la mantisse
d’un nombre exponentiel et « bb » est l’exposant avec un décalage de 20. « aaaa » est comprise entre
« 1000 » (pour 1.000) et « 9999 » (pour 9.999). Les différents caractères de la chaîne sont les chiffres
« 0 »(ASCII 48) à « 9 »(ASCII 57).
En fonction de la jauge et de sa précision, le nombre de chiffres significatifs dans la mantisse peut varier.
► Lisez la valeur de pression actuelle via le paramètre [P:740].
[P:740]
327022
3270 22
1042 23
Offset 20
[hPa]
Fig. 7:
3.270 × 10
750015
104223
2
7500 15
Offset 20
1.042 × 10
3
7.500 × 10
-5
Exemples de lecture des valeurs de pression actuelles via [P:740]
Lire le code d’erreur [P:303]
► Lisez le code d’erreur via le paramètre [P:303].
● 000000 = Pas d’erreur
● Err001 = Capteur défectueux
● Err002 = Mémoire défectueuse
Lire la version du firmware [P:312]
► Lisez la version du firmware via le paramètre [P:312].
● Exemple de la première version du firmware : 010100
Lire le nom de l’appareil [P:349]
► Lisez le nom de l’appareil via le paramètre [P:349].
Lecture de la version hardware [P:354]
► Lisez la version hardware via le paramètre [P:354].
28/56
Offset 20
Fonctionnement
Lecture du numéro de série [P:355]
► Lisez le numéro de série via le paramètre [P:355].
Lecture de la référence [P:388]
► Lisez la référence via le paramètre [P:388].
8.1
Sélection des gammes de commutation
La jauge permet d’adapter la gamme de commutation en choisissant le capteur Pirani ou le capteur de
cathode froide comme fonction de l’application. Cette fonctionnalité permet d’éviter :
● que le point de consigne ne se retrouve dans la plage de commutation lorsque la régulation de la
pression a lieu
● que lors d’applications de déposition, la cathode froide ne soit allumée et contaminée prématurément par l’effet d’auto-pulvérisation.
Gamme de commutation
Mise en circuit du CC
Mise hors circuit du CC
trans_LO
2,1 × 10-3 hPa
3,1 × 10-3 hPa
interrupteur
Tab. 12:
-3
1,2 × 10 hPa
Pression de mise en circuit et de mise hors circuit de la cathode froide
-3
×
1.0
trans_LO
10
-3
5 × 10
Pirani
-3
hPa
×
2.0
-3
Cold cathode
Fig. 8:
1000 hPa
10
-3
-3
0
1 0 10
× 1 ,2 × ,0 ×
2
1
1.0
switch
5 × 10-9 hPa
-3
0
0
×1 ×1
2,1 3,1
Cold cathode
-9
2,0 × 10-3 hPa
Pirani
1000 hPa
Sélection des gammes de commutation
Procédure
► Sélectionnez la gamme de commutation conformément au mode d’emploi de l’appareil d’affichage
et de commande.
► Réglez le paramètre [P:049] sur « 0 » (interrupteur) pour commuter directement sur 1 × 10-3 hPa.
► Réglez le paramètre [P:049] sur « 1 » (trans_LO) pour un raccord continu entre la mesure de
pression Pirani et la cathode froide.
8.2
Détermination de la pression efficace avec des facteurs de correction
Le signal de mesure dépend du type de gaz.
29/56
Fonctionnement
Domaine de pression > 10-4 hPa (fonctionnement Pirani seulement)
1E3
p [hPa]
1E2
1E1
1E0
1E-1
H2
He
1E-2
N2
Ar
1E-3
Kr
1E-4
1E-4
1E-3
1E-2
1E-1
1E0
1E1
1E2
1E3
peff [hPa]
Fig. 9:
Courbe de mesure en cas de fonctionnement avec jauge Pirani uniquement et avec
facteurs de correction
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Azote (N2)
1,0
Air
1,0
Hydrogène (H2)
0,58
Hélium (He)
1,02
Argon (Ar)
1,59
Dioxyde de carbone (CO2)
0,89
Tétra fluorométhane (CF4, R14)
0,95
Tab. 13:
Facteur de correction pour le fonctionnement avec Pirani uniquement
Domaine de pression < 10-3
Dans le domaine de pression < 10-3 hPa, l’affichage est linéaire.
Mélanges de gaz et de vapeurs
Les gaz de procédé sont essentiellement des mélanges de gaz et de vapeurs. Une mesure
précise des mélanges de gaz et de vapeurs est seulement possible avec des appareils de
mesure à pression partielle, par exemple un spectromètre de masse quadripole.
30/56
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Hélium (He)
5,93
Hydrogène (H2)
2,39
Argon (Ar)
0,80
Dioxyde de carbone (CO2)
0,74
Propane (C3H8)
0,32
Fonctionnement
Type de gaz
Facteur de correction (C)
Néon (Ne)
3,50
Krypton (Kr)
0,60
Xénon (Xe)
0,41
Dichlorodifluorométhane (CCl2F2, R12)
0,28
Tétrafluorométhane (CF4, R14)
0,44
Tab. 14:
Facteurs de correction pour cathode froide
Utilisation des facteurs de correction
Lecture et réglage du facteur de correction Pirani [P:742]
► Lisez le facteur de correction actuel via le paramètre [P:742].
► Via le paramètre [P:742], réglez le facteur de correction sur une valeur comprise entre 0,2 et 8,0 avec 2 décimales.
– Exemple : Facteur de correction 0,20 = 000020
– Exemple : Facteur de correction 1,00 = 000100
– Exemple : Facteur de correction 8,00 = 000800
Lecture et réglage du facteur de correction cathode froide [P:743]
► Lisez le facteur de correction actuel via le paramètre [P:743].
► Via le paramètre [P:743], réglez le facteur de correction sur une valeur comprise entre 0,2 et 8,0 avec 2 décimales.
– Exemple : Facteur de correction 0,20 = 000020
– Exemple : Facteur de correction 1,00 = 000100
– Exemple : Facteur de correction 8,00 = 000800
Calcul de la pression de gaz autres que l’air
► Calculez la pression efficace avec la formule suivante :
Peff = C × p
● Peff = Pression efficace
● C = Facteur de correction
● p = pression affichée (jauge ajustée pour l’air)
8.3
Activation/désactivation de la cathode chaude
La jauge permet d’activer ou de désactiver le capteur de la cathode froide en fonction du procédé. Au
moment de la mise sous tension, le paramètre [P:041] est préréglé sur « 1 », c’est-à-dire que la jauge
fonctionne normalement. La jauge n’enregistrera les modifications de ce paramètre que temporairement, jusqu’à la mise hors tension. Les modifications d’état de ce paramètre sont possibles à tout moment pendant le fonctionnement.
Dispositif optionnel requis
● Appareil de commande et d’affichage
État du
capteur
CC
Instruction de réglage via [P:041]
Pression Pirani
actuelle (PP)
Effet sur capteur CC
ON
« 1 » (ON)
-
Aucun
OFF
« 1 » (ON)
≥Px hPa
est mis en circuit avec PP < Px hPa
OFF
« 0 » (Arrêt)
≥Px hPa
reste hors circuit avec PP < Px hPa
ON
« 0 » (Arrêt)
-
est mis hors circuit
OFF
« 1 » (ON)
<Px hPa
est mis en circuit et le « timer de mise en
circuit » est démarré
Tab. 15:
Condition d’activation/de désactivation
Les valeurs seuils Px dépendent de la gamme de commutation sélectionnée et sont 2,1 × 10-3 ou
1,2 × 10-3 hPa.
31/56
Fonctionnement
L’affichage Pirani dure jusqu’à l’expiration du timer de mise sous tension. Si la quantité de refoulement
« ur » s’affiche comme valeur Pirani avant la commande « Marche », la quantité de refoulement
<1 × 10-4 hPa mbar durera pendant la durée de fonctionnement du timer. Il est possible que la valeur
« ur » soit interprétée comme une valeur inférieure à la normale CC pendant la durée de fonctionnement du timer. La quantité de refoulement de la valeur de combinaison depuis les capteurs Pirani et CC
aura lieu lorsque la durée de fonctionnement du timer sera écoulée.
Commutation du capteur CC avec affichage et appareil de commande marche/arrêt
► Activez ou désactivez le capteur CC comme décrit dans le manuel de l’utilisateur de l’affichage et
de l’appareil de commande.
Activation/désactivation du capteur CC [P:041]
► Réglez le paramètre [P:041] sur « 1 » pour activer le capteur CC.
► Réglez le paramètre [P:041] sur « 0 » pour désactiver le capteur CC.
8.4
Lecture et réglage du relais et des points de commutation
Les versions relais analogique (AR) des jauges DigiLine sont caractérisées par 2 contacts relais contrôlés par la pression et pouvant être configurés via l’interface RS-485 à l’aide d’un contrôleur externe. Le
format des données est identique à celui du paramètre [P:740].
Lire les points de commutation via RS-485
1. Lisez la valeur de pression pour le point de commutation 1 via le paramètre [P:730].
2. Lisez la valeur de pression pour le point de commutation 2 via le paramètre [P:732].
Régler les points de commutation via RS-485
1. Utilisez le paramètre [P:730] pour régler la valeur de la pression pour le point de commutation 1.
2. Utilisez le paramètre [P:732] pour régler la valeur de la pression pour le point de commutation 2.
8.5
Étuvage de la jauge
AVIS
Dommage dû à une température d’étuvage excessive
Si la jauge est installée verticalement (bride vers le bas), l’augmentation de la chaleur pendant l’étuvage va endommager l’unité électronique et l'unité magnétique.
► Retirez l’unité électronique et, le cas échéant, l'unité magnétique du système de mesure avant
un étuvage à des températures > à 60 °C.
► Étuvage de la bride uniquement.
► N’isolez pas thermiquement le couvercle du système de mesure.
– Il est nécessaire de refroidir le couvercle par convection à l’air ambiant pendant l’étuvage.
► Prenez garde à l’attribution des composants et ne la modifiez pas.
Conditions préalables
● Unité électronique retirée
● Unité magnétique retirée
32/56
Fonctionnement
4
3
1
Fig. 10:
2
5
6
Composants de la jauge
1 Système de mesure
2 Couvercle du système de mesure
3 Unité magnétique
4
5
6
Joint
Unité électronique
Vis sans tête, 2x
Procédure
1. Étuvez la jauge jusqu’à max. 160 °C sur la bride.
2. Vérifiez que la pression est < 10 hPa pendant l’étuvage, car le capteur Pirani donne des valeurs
de mesure incorrectes sous l’effet de l’augmentation de la température.
3. Laissez refroidir la jauge.
4. Installez l’unité électronique et l’unité magnétique.
5. Ajuster la jauge.
33/56
Démontage
9 Démontage
DANGER
Danger de mort par électrocution
Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie.
► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé.
► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010.
► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements
KF.
► En cas de raccord à tube 1/2", agissez de façon appropriée pour satisfaire les exigences.
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide
L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide
peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant
être également toxique.
Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des
pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique.
► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide.
► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression.
► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un
anneau de serrage).
► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur.
AVERTISSEMENT
Risques liés aux champs magnétiques
Le produit émet un champ magnétique perturbant le fonctionnement des appareils électriques (notamment les stimulateurs cardiaques).
► Se tenir à la distance prescrite par le fabricant des stimulateurs cardiaques.
– Pfeiffer Vacuum préconise une distance de sécurité d’au moins 130 mm entre le stimulateur cardiaque et le produit.
► Éviter l'influence de champs magnétiques puissants en utilisant des écrans de protection contre
les champs magnétiques.
34/56
Démontage
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Système à vide ventilé à la pression atmosphérique
● Tension d’alimentation désactivée
Démontage de la jauge
1. Déconnectez le câble de mesure de la jauge.
2. Démontez la jauge du système de vide.
3. Mettez l’obturateur de protection sur la bride de connexion.
35/56
Maintenance
10
Maintenance
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
AVERTISSEMENT
Risques liés aux champs magnétiques
Le produit émet un champ magnétique perturbant le fonctionnement des appareils électriques (notamment les stimulateurs cardiaques).
► Se tenir à la distance prescrite par le fabricant des stimulateurs cardiaques.
– Pfeiffer Vacuum préconise une distance de sécurité d’au moins 130 mm entre le stimulateur cardiaque et le produit.
► Éviter l'influence de champs magnétiques puissants en utilisant des écrans de protection contre
les champs magnétiques.
Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les
produits.
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Nettoyage dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour
organiser la maintenance de produits et de composants défectueux.
Demande de garantie
Le fait d’ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou d’endommager/de supprimer le
sceau de garantie annulera la garantie.
Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus.
Commencer par lire intégralement les sections
Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à
travailler.
D’autres conditions climatiques, un fonctionnement prolongé, des températures extrêmes, une orientation de montage différente, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du
point zéro dans le système de mesure Pirani. Un décalage du zéro va nécessiter un réajustage ou un
nettoyage.
36/56
Maintenance
10.1 Nettoyage des composants
DANGER
Danger de mort dû au choc électrique causé par la pénétration d’humidité
La pénétration d’eau dans l’unité cause des blessures aux personnes par chocs électriques.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Ne mettez pas en circuit l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur de celle-ci. Au lieu de cela, contactez Pfeiffer Vacuum Service.
► Déconnectez toujours l’alimentation électrique avant de nettoyer l’unité.
AVERTISSEMENT
Risques pour la santé dus aux agents nettoyants
Les détergents utilisés peuvent nuire à la santé et causer un empoisonnement, des allergies, une irritation de la peau, des brûlures chimiques ou endommager les voies respiratoires.
► Respectez les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants.
► Respectez les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents
nettoyants.
► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit.
AVIS
Dégâts causés par la pénétration d’humidité
La pénétration d’humidité, p. ex. sous forme de condensation ou d’égouttement, endommage l’unité.
► Protégez l’unité contre la pénétration de l’humidité.
► Utilisez seulement l’unité dans un environnement propre et sec.
► Utilisez l’unité à l’écart de tout fluide ou source d’humidité.
► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d’égouttement d’eau.
► Ne mettez pas sous tension l’unité si du fluide a pénétré à l’intérieur. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum.
AVIS
Dommages causés par des détergents inappropriés
L’usage d’agents nettoyants inadaptés endommage le produit.
► N’utilisez pas de solvants qui endommageraient sa surface.
► N’utilisez pas d’agents nettoyants agressifs ou abrasifs.
Produits consommables requis
● Alcool industriel
● Chiffon (doux, non pelucheux)
Nettoyage externe de l’appareil
1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe.
2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage.
10.2 Ajustage de la jauge
Pfeiffer Vacuum a ajusté la jauge en usine sur les valeurs par défaut. Vous pouvez ajuster le système
de mesure Pirani vous-même, si nécessaire. La jauge détecte automatiquement le point d’ajustage
(ATM ou HV) applicable.
L’ajustage HV est exécuté automatiquement si les conditions suivantes sont applicables simultanément :
● La valeur mesurée par le capteur CC est <5 × 10-5 hPa.
● La valeur mesurée par le capteur Pirani reste constante pendant plus de 1 minute et ne s’écarte
que légèrement de la dernière valeur ajustée.
37/56
Maintenance
Préparation de l’ajustage
1. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation
normale.
2. Vérifiez l’absence de toute contamination du filtre.
3. Remplacez le filtre s’il est très contaminé ou endommagé.
4. Mettez la jauge en marche.
Ajustage avec unité de commande et d’affichage
► Ajustez la jauge selon le manuel de l’utilisateur de l’unité de commande et d’affichage.
Réglage de vide élevé
1. Mettez la jauge en marche.
2. Évacuez le système de vide à une pression inférieure à la normale, par exemple, << 1×10-5 hPa.
3. Attendez au moins 10 minutes.
4. Via le paramètre [P:741], réglez le point d’ajustage de la pression sur « 000 » pour la basse pression.
5. Via le paramètre [P:740], réglez le point d’ajustage de la pression sur « 000000 » pour la basse
pression.
– Ceci équivaut à, par exemple, p < 1 ×10-5 (pression inférieure à la normale).
Ajustage ATM
1. Mettez la jauge en marche.
2. Laissez la jauge fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes.
3. Via le paramètre [P:741], réglez le point d’ajustage de la pression sur « 001 » pour la haute pression.
4. Via le paramètre [P:740], réglez la valeur de pression sur la pression atmosphérique.
– Exemple : 1000 hPa = [P:740] avec la valeur « 100023 »
10.3
Remplacement du système de mesure
AVIS
Défaillance due à la contamination et à la détérioration
Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et
entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts
nuisent au fonctionnement.
► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux
sur les installations ultra-vide ou à vide élevé.
► Utilisez uniquement des outils propres.
► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse.
► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire.
► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé.
Conditions préalables
● Système de mesure sévèrement contaminé,
● Système de mesure visiblement endommagé ou
● Jauge défectueuse (p. ex. rupture d’anode)
Pièce de rechange requise
● Système de mesure de remplacement
38/56
Maintenance
4
3
1
Fig. 11:
2
5
6
Remplacement du système de mesure
1 Système de mesure
2 Couvercle du système de mesure
3 Unité magnétique
4
5
6
Joint
Unité électronique
Vis sans tête, 2x
Procédure
1. Retirez la jauge du système de vide.
2. Déconnectez le câble d’alimentation de la jauge.
3. Desserrez les deux vis sans tête.
4. Démontez le système de mesure avec couvercle et retirez l’unité magnétique de l’unité électronique.
5. Retirez l’unité magnétique et le joint du système de mesure.
6. Placez l’unité magnétique sur le nouveau système de mesure.
– Assurez-vous que les composants sont bien orientés.
7. Placez le joint dans la rainure du nouveau système de mesure.
8. Poussez le nouveau système de mesure avec couvercle dans l’unité électronique.
– Assurez-vous que les composants sont bien orientés et que le joint est correctement ajusté.
9. Serrez les deux vis sans tête.
10. Raccordez la jauge au système de vide.
11. Établissez le raccordement électrique.
12. Ajustez le nouveau système de mesure.
39/56
Anomalies
11
Anomalies
Garantie
Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de
l’usure n’est pas couvert par la garantie.
Anomalie
Cause possible
Remède
Erreur de communication : Jauge
Pas d’alimentation électrique
Raccordez un câble de données ou un bloc d’alimentation électrique.
Mauvaise adresse
RS-485 définie
Réglez correctement le sélecteur d’adresse RS-485.
Jauge défectueuse
Remplacez la jauge.
Ajustage requis
Ajuster la jauge.
Jauge défectueuse
Remplacez le système de
mesure.
Valeur mesurée dans le vide élevé excessive
Remplacez la jauge.
« ur » en permanence sous vide élevé,
bien que la pression >1 × 10-8 hPa.
Tab. 16:
40/56
Anomalies
utilise une aide de démarrage
Remplacez le système de
mesure.
Expédition
12
Expédition
AVERTISSEMENT
Risque d’empoisonnement par produits contaminés
L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et la sécurité du personnel de maintenance.
► Conforme aux avis pour une livraison en toute sécurité.
Décontamination payante
Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme
« Sans contaminants », à votre charge.
Expédition en sécurité du produit
► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite.
► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués.
► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage.
► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service.
► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie.
41/56
Recyclage et mise au rebut
13
Recyclage et mise au rebut
AVERTISSEMENT
Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques
Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé.
L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement.
► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques.
► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance.
► Porter des équipements de protection individuelle.
Protection de l’environnement
Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature.
● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles.
● Évitez toute contamination.
13.1 Informations générales sur la mise au rebut
Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables.
► Mettez au rebut nos produits en séparant :
– Fer
– Aluminium
– Cuivre
– Matière synthétique
– Composants électroniques
– Huiles et graisses, sans solvant
► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de :
– Fluoroélastomères (FKM)
– Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé
13.2
Mise au rebut des jauges
Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler.
1. Démantelez l’unité électronique.
2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé.
3. Séparez les composants en matériaux recyclables.
4. Recyclez les composants non contaminés.
5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables.
42/56
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
14
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
Nous offrons un service de première classe
Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que
vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception.
Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux
composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit
Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien
évidemment.
Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour
vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de
services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service.
Profitez du service Pfeiffer Vacuum
Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des
produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez
vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous
trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service.
Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum.
Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes :
1. Télécharger les modèles de formulaire actuels.
─ Déclaration de demande de service
─ Demande de service
─ Déclaration de contamination
a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes
montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.).
b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire.
c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire.
2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination.
ANFORDERUNG SERVICE
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local.
4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum.
Envoi de produits contaminés
Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives
ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante,
Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et
le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés.
43/56
Solutions de service de Pfeiffer Vacuum
5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination.
a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec.
b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air.
c) Sceller le produit dans un film de protection approprié.
d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement.
e) Respecter les conditions de transport en vigueur.
ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG
6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage.
7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local.
8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de
Pfeiffer Vacuum.
Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos
Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide.
44/56
Pièces de rechange
15
Pièces de rechange
Commande de pièces de rechange
► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la
plaque signalétique.
► Installez uniquement des pièces détachées d'origine.
Désignation
Système de mesure de remplacement
MPT 200, DN 25 ISO-KF
PT 120 210 -T
MPT 200, DN 40 ISO-KF
PT 120 211 -T
MPT 200, DN 40 ISO-CF-F
PT 120 212 -T
Tab. 17:
Pièces de rechange
45/56
Accessoires
16
Accessoires
Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires DigiLine.
16.1 Informations sur l’accessoire
Unités de courant
Unités de courant pour montage mural ou sur rail standard pour alimenter les jauges DigiLine
Appareil de commande OmniControl
Appareil de commande universel pour tous les produits avec le protocole RS-485 Pfeiffer Vacuum. Il
alimente jusqu’à deux jauges et est équipé d’un affichage permettant d’afficher la pression de 16 canaux de mesure au maximum.
Logiciel DokuStar Plus
Logiciel d’évaluation pour la représentation et pour la sauvegarde des données pour un maximum de
16 jauges DigiLine
Accessoires pour RS-485
Câbles et éléments de fixation pour la création d’un bus de terrain RS-485
Câble d’interface et d’alimentation
Câble de différentes longueurs, pour la connexion à une unité d’alimentation Pfeiffer Vacuum ou à un
PC
Joints avec anneau de centrage et filtre
Filtre disponible avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre
toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination
16.2
Commande d’accessoires
Variantes OmniControl
Pour les autres variantes OmniControl, reportez-vous au site Web Pfeiffer Vacuum.
46/56
Numéro de commande
Champ de sélection
PT 348 105 -T
Résistance de borne de connexion pour RS-485
PM 061 270 -X
Accouplement M12 pour RS-485
PT 348 132 -T
Séparateur de puissance pour RS-485
P 4723 010
Raccord en Y M12 pour RS-485
PT 348 133 -T
Adaptateur RS-485, M12,à 4 broches – Prise D-sub à 9 broches, 0,2 m
PT 348 106 -T
Connecteur M12 m à 4 broches avec étriers à vis pour DigiLine RS-485, pour
câbles spécifiques au client
PM 061 207 -T
Convertisseur USB RS-485
PT 348 163 -T
Réseau d'alimentation DigiLine, M12, 4 broches pour TPS, 3 m
PT 348 223 -T
Câble de connexion, RS-485, M12/D-sub 9 broches, 3 m
PM 061 283 -T
Câble d’interface, M12 m droit/M12 m droit, 3 m
PF 117 225 -T
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,02 mm,
acier inoxydable, FKM, DN 25 ISO-KF
PF 117 240 -T
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,02 mm,
acier inoxydable, FKM, DN 40 ISO-KF
PT 120 036 -T
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,004 mm,
acier inoxydable, FKM, DN 25 ISO-KF
PT 120 037 -T
Anneau de centrage avec filtre en métal fritté, grandeur de pores 0,004 mm,
acier inoxydable, FKM, DN 40 ISO-KF
PT 882 501
Logiciel DokuStar Plus, 16 canaux
Accessoires
Numéro de commande
Champ de sélection
PM 061 340 -T
TPS 110, unité de courant pour installation murale/sur rail standard
PM 061 344 -T
TPS 111, unité de courant 19", unité enfichable 3HU
PE D50 000 0
OmniControl 200, unité châssis avec unité de courant intégrée, pas de data,
pas d’option jauge/IO
PE E50 000 0
OmniControl 200, unité de table avec unité de courant intégrée, pas de data,
pas d’option jauge/IO
Tab. 18:
Accessoires
47/56
Caractéristiques techniques et dimensions
17
Caractéristiques techniques et dimensions
17.1
Généralités
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
100
1
0,1
0,75
1 · 10
1,000
100
1 · 10
1
0,01
1 · 10
7.5 · 10-3
1
1 · 10-3
100
1
0,1
0,75
kPa
10
0,01
1,000
10
1
7,5
Torr | mm Hg
1,33
1,33 · 10-3
133,32
1,33
0,133
1
mbar
1
1 · 10
bar
1,000
1
Pa
0,01
hPa
-3
5
-5
1 Pa = 1 N/m
Tab. 19:
2
Tableau de conversion : unités de pression
mbar l/s
mbar l/s
Pa m3/s
sccm
Torr l/s
atm cm3/s
1
0,1
59,2
0,75
0,987
592
7,5
10
3
Pa m /s
sccm
1
3
atm cm /s
9,87
1.69 · 10
1.69 · 10
1
1,33
0,133
78,9
1
1,32
1,01
0,101
59,8
0,76
1
-2
Torr l/s
Tab. 20:
750
-3
-3
-2
1,27 · 10
1.67 · 10-2
Tableau de conversion : unités de débit de gaz
17.2 Fiche technique
Paramètre
Valeur
Gamme de mesure (air, O2, CO, N2)
5 × 10-9 – 1000 hPa
Pression maximum (absolue)
4 000 hPa
Principe de mesure
Amenée de chaleur selon Pirani et la cathode froide
Cycle de mesure
10 ms
Précision (N2)
1 × 10-8 – 2 × 10-3 hPa
Répétabilité
Ajustage de la jauge
Tab. 21:
±10 % de la valeur mesurée
10 à 1000 hPa
±30 % de la valeur mesurée
-2
1 × 10 – 1 × 10 hPa
±7 % de la valeur mesurée
1 × 10-2 – 10 hPa
±2 % de la valeur mesurée
-8
via interface RS-485
Valeurs de mesure et de pression
Paramètre
Valeur
Tension d’alimentation
24 V CC
Puissance absorbée
3W
Raccordement (électrique)
Connecteur M12 Binder, 5 broches, codé A
Longueur de câble
≤100 m
Tab. 22:
48/56
±25 % de la valeur mesurée
2 × 10 – 10 hPa
-3
Données électriques
Caractéristiques techniques et dimensions
Paramètre
Valeur
Protocole
ASCII, adressage (RS-485), protocole Pfeiffer Vacuum
Format de données
Trafic de données bidirectionnel, longueur des mots de données
8 bits, 1 bit d’arrêt, pas de bit de parité
Vitesse de transmission en
bauds
9600
Raccordement
Connecteur M12 Binder, 5 broches, codé A
Tab. 23:
Interface RS-485
Paramètre
Poids
Tab. 24:
Valeur
DN 25 ISO-KF
555 g
DN 40 ISO-KF
580 g
DN 40 CF-F
850 g
Brides de raccordement et poids
Paramètre
Valeur
Pression d’air
800 à 1060 hPa
Humidité relative de l’air
À des températures jusqu’à +30 °C; 80 % max.
À des températures jusqu’à +40 °C; 50 % max.
sans condensation
Orientation de montage
Arbitraire
Usage
En intérieur uniquement
Altitude maximum de l’installation
2 000 m au-dessus du niveau de la mer
Degré de protection
IP54
Tab. 25:
Conditions ambiantes
Paramètre
Valeur
Fonctionnement
+5 à +60 °C
Étuvage (raccord à vide)
160 ℃
Stockage
-40 à +65 °C
Tab. 26:
Températures
Paramètre
Valeur
Matériaux
Acier inoxydable
Tungstène
Nickel
Molybdène
Verre
Tab. 27:
Substances en contact avec le fluide
49/56
Caractéristiques techniques et dimensions
138
17.3 Dimensions
Ø 53
66
Fig. 12:
45
Ø 40
MPT 200 avec DN 25 ISO-KF
138
Dimensions en mm
Ø 55
66
Fig. 13:
MPT 200 avec DN 40 ISO-KF
Dimensions en mm
50/56
45
155
Caractéristiques techniques et dimensions
66
Fig. 14:
45
Ø 70
MPT 200 avec DN 40 CF-F
Dimensions en mm
51/56
The product MPT 200
- conforms to the UL standards
UL 61010-1, 3rd edition (2016)
Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use
Part 1: General requirements
- is certified to the CSA standards
CSA C22.2 No. 61010-1-12, UPD1:2015, UPD2:2016
Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use
Part 1: General requirements
Déclaration de conformité UE
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge à cathode froide/Pirani numérique
MPT 200
Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes.
Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE
Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée
2015/863/UE
Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées :
DIN EN IEC 61326-1:2022
DIN EN IEC 63000:2019
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-07-19
Déclaration de Conformité UK
La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant.
Déclaration pour produit(s) du type :
Jauge à cathode froide/Pirani numérique
MPT 200
Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes.
Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique
Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques
Normes et spécifications appliquées
EN IEC 61326-1:2021
EN IEC 63000:2018
Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park,
MK169PS Newport Pagnell.
Signature:
Pfeiffer Vacuum GmbH
Berliner Straße 43
35614 Asslar
Allemagne
(Daniel Sälzer)
Directeur général
Asslar, 2023-02-03
55/56
*PG0025*
ed. D - Date 2407 - P/N:PG0025BFR
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