1 Jauge FullRange™, modèle compact, entièrement en métal 10 Ident V 6 (bride DN 25 ISO-KF) (bride DN 40 ISO-KF) (bride DN 40 CF-F) Les pannes du produit dues à des impuretés, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la garantie. Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans préavis. la jauge à la pression atmosphérique en Remettre admettant de l'air ou du nitrogène et attendre au Le présent document décrit l'installation et le fonctionnement des Jauges FullRange™ susmentionnées. Pour de plus amples informations, veuillez consulter le manuel de l'utilisateur distinct BG 5157 BFR sur le site web www.pfeiffer-vacuum.com. moins 10 minutes. Figure 1 : Affectation des contacts Broche 1 Broche 2 Broche 3 Broche 4 Broche 5 Broche 6 A propos de ce document Identification Sortie de signal (mesure) Masse signal Alimentation Masse alimentation Blindage 3 4 2 1 6 Tourner la plaque signalétique en sens des aiguilles d'une montre jusqu'à la butée. 5 Prise côté soudures Raccordez la jauge à l'appareil de mesure. Fixez la prise du câble de raccordement sur la jauge avec la vis (couple de serrage ≤ 0.2 Nm). Installation Protection Pression Ensuite, le tourner de 1/3 de tour en sens inverse des aiguilles d'une montre. – + – • utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue PT R26 250 PT R26 251 PT R26 252 … à 4.2 V + 1 5 10k Utilisation Reproductibilité 2 3 Humidité relative Gamme de mesure (air, N2) Précision 4 • n'observe pas les indications figurant dans ce document Validité Compact FullRangeTM Gauge VACUUM 10 • utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit correspondante. ou Assurez-vous que la jauge soit raccordée à la chambre à vide (→ Section précédente). Si vous ne disposez pas d'un câble de raccordement, confectionnez en un selon le schéma en bas : Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une tierce personne • modifie ce produit d'une façon quelconque Presser le bouton-poussoir avec une goupille (ø ≈ 3 mm). En même temps, ajuster le potentiomètre <HV> par un tournevis de 1.5 mm … … à 5×10-4 hPa VACUUM BG 5122 BFR / C (2017-07) PKR 261 Observer une distance de sécurité de ≥10 cm entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ou empêcher toute perturbation émanant de champs magnétiques puissants en installant des blindages adéquats. Raccordement électrique Compact FullRangeTM Gauge Traduction du manuel de l'utilisateur DANGER : champs magnétiques Les champs magnétiques puissants peuvent perturber ou gêner le fonctionnement des appareils électroniques, p. ex. des stimulateurs cardiaques. La position d'installation n'est pas imposée, veiller cependant à ce que les particules ne puissent pas pénétrer dans la chambre de mesure. Etuvage … à ×103 hPa Ajuster le potentiomètre <ATM> par un tournevis de 1.5 mm … ou … à 8.6 V Anode Dispositif d'allumage Tube de mesure Pirani Filament Pirani Volume interne Utilisation prévue Les Jauges FullRange™ PKR 261 décrites dans ce document servent à la mesure du vide dans la gamme des pressions de 5×10-9 … 1000 hPa. Elles ne doivent pas être employées pour la mesure de gaz facilement inflammables ou combustibles mélangés à un oxydant (p. ex. oxygène atmosphérique) dans les limites explosives. Principe de fonctionnement La jauge contient deux systèmes de mesure distincts (système Pirani et système à cathode froide) dont les signaux sont associés de manière à fournir un signal de sortie homogène. Mettez l'appareil de mesure en circuit. Observez un temps de stabilisation de ≈ 10 minutes. Maintenez la jauge en fonctionnement permanent, indépendamment de la pression. • La mesure par Pirani est toujours activée. DANGER DANGER : surpression dans le système à vide > 100 kPa Si des éléments de serrage sont ouverts des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Utiliser des éléments de serrage pouvant uniquement être ouverts et fermés à l'aide d'un outil (p. ex. anneau de serrage muni d'un collier de serrage). La jauge doit être connectée directement à l'enceinte à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010 : • Les raccords à vide CF satisfont à ces exigences. • Pour les brides KF il faudra utiliser un collier de serrage conducteur. AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : amorçage électrique L'hélium peut provoquer des amorçages électriques à l'intérieur de l'électronique du produit et détruire l'électronique. Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre le produit hors circuit et démonter l'unité électronique. En cas d'utilisation de raccords de vide CF, il peut s'avérer avantageux de temporairement enlever l'unité électronique (1) et l'unité magnétique (2) (→ [1]). • La mesure de la cathode froide est contrôlée par le Pirani et est seulement activée au-dessous de 1×10-2 hPa. Dépendance du type de gaz Le signal de mesure dépend du type de gaz. La valeur mesurée correspond à l'air, à l'oxygène (O2), au monoxyde de carbone (CO) et à l'azote (N2). Pour d'autres gaz, la pression peut être déterminée par une conversion (→ "Caractéristiques techniques"). Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum, cela peut être réalisé en saisissant le facteur de correction correspondant. Délai d'amorçage À la mise en circuit de la jauge, le système de cathode froide s'active avec temporisation. Celle-ci augmente à des pressions plus basses et celle de jauges dégazées propres atteint les valeurs typiques suivantes à : …10-5 hPa ≈ 1 seconde …10-7 hPa ≈ 20 secondes 5×10-9 hPa ≈ 2 minutes L'allumage constitue un processus statistique pouvant être fortement influencé dès la présence d'infimes dépôts sur les surfaces intérieures. Tant que le circuit de mesure à cathode froide n'est pas amorcé, la sortie du signal indique la valeur de mesure Pirani (indication "Pirani-Underrange" pour des pressions inférieures à 5×10-4 hPa). Ajustement de la jauge La jauge est étalonnée en usine. En cas d'utilisation à d'autres conditions ambiantes, de vieillissement ou d'encrassement, un ajustement ultérieur ou un nettoyage peut s'avérer nécessaire. Le système de cathode froide, dominant pour la gamme inférieure des pressions (< 1×10-3 hPa), est étalonné en usine et ne peut pas être réajusté. Par contre, le système Pirani peut être réajusté. La gamme des pressions entre 10-2 hPa et 102 hPa est à peine influencée par un éventuel ajustement. p < 10-2 hPa cathode froide pas amorcée; service Pirani seulement Cathode froide et Pirani en circuit résistance 11.1 kΩ contre masse alimentation Conception de la terre Raccord à vide – masse alimentation Impédance de sortie Impédance chargée minimale Temps de réponse p > 10-6 hPa p = 10-8 hPa 1) reliés par 10 kΩ (différence max. de tension pour sécurité ±50 V pour précision ±10 V) conduites séparément; avec les câbles de grande longueur (≥ 6 m), nous recommandons une mesure différentielle Rapport signal de mesure – pression Pression p Pa 1E+04 p = 101.667U-d hPa torr 1E+02 1E–06 1E–08 1.5 2.5 15 … 30 V= (ondulation ≤ 1 Vpp) Puissance absorbée ≤2W Fusible à insérer 1) ≤ 1 A lente La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur du câble de mesure. Tension d'alimentation à 16 … 30 V= (ondulation longueur max. du câble ≤ 1 Vpp) Signal de sortie (mesure) Gamme de mesure Relation tension – pression Signaux d'erreur → Figure 1 Masse alimentation – masse signal 0.0 0.5 Tension de service (dans la chambre de mesure) Courant de service (dans la chambre de mesure) courant de mesure dans la gamme 0.2 … 0.3 mA Tension de mesure dans la gamme 2 … 3 V avec tension constante 1E–04 La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant aux exigences pour les basses tensions mises à la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers la jauge.1) Raccordement électrique Câble jauge Boîte de raccordement de câble Couple de serrage Longueur du câble résistance 9.1 kΩ contre masse alimentation La polarité de broche 1 contre la masse alimentation doit toujours être positive. Mesure avec courant constant 1E–02 Tension à la jauge résistance 11.1 kΩ contre masse alimentation Les conditions suivantes doivent être remplies : 1E+00 ≈ 20 cm³ DANGER la plaque signalétique dans sa position Ramener initiale (elle s'encastre). Fonctionnement acier inoxydable acier inoxydable céramique (Al2O3), verre Ag, Cu, brasage tendre (Sn, Ag) Mo acier inoxydable Ni, Au W Alimentation Attention Broche 1 5×10-9 … 1000 hPa ≈ ±30% (mesure dans la gamme 1×10-8 … 100 hPa) ≈ ±5 % (mesure dans la gamme 1×10-8 … 100 hPa) IP 40 ≤ 10 bar (absolue) limitée aux gaz inertes et aux températures < 55 °C Matériaux au contact du vide Raccord à vide Chambre de mesure Isolation de traversée Joints internes Raccordement au vide Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. -40 °C ... +65 °C + 5 °C ... +55 °C (jusqu'à 150 °C sur la bride en cas de montage horizontal ; sans blindage magnétique) 150 °C (sans électronique et sans blindage magnétique) ≤ 80% à températures jusqu'à +31 °C, diminuant à 50% à +40 °C en espaces clos, altitude max. 2000 m Identification de la jauge p > 10-2 hPa service Pirani seulement sensor error la plaque signalétique en sens inverse des Tourner aiguilles d'une montre jusqu'à la butée. La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur. INSTRUCTIONS D'UTILISATION la jauge à une pression à << 10 hPa, et Amener attendre au moins 10 minutes. Températures admissibles Stockage Service -4 • Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit et les gaz des procédés. DANGER Caractéristiques techniques overrange overrange • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes aux gaz utilisés. la jauge en circuit (si possible dans la position Mettre dans laquelle elle sera utilisée ultérieurement). underrange Sécurité sensor error 2 3.5 4.5 5.5 6.5 7.5 8.5 9.5 10.5 Signal de mesure U [V] d hPa Pa Torr 11.33 9.33 11.46 valable pour gamme 5×10-9 hPa < p< 1000 hPa 3.8×10-9 Torr < p< 750 Torr 5×10-7 Pa < p< 1×105 Pa Dépendance du type de gaz 5 pôles, blindé Hirschmann GO 6 WF, 6 pôles, coudée, douilles ≤ 0.2 Nm ≤ 75 m ≤ 100 m ≤ 300 m p (hPa) 102 8 6 4 H2 He Ne 2 (∅ 0.25 mm2) (∅ 0.34 mm2) (∅ 1.0 mm2) ≤ 3.3 kV ≤ 500 µA Air N2 O2 CO Gamme d'indication >10-2 hPa 101 8 6 4 CO2 Ar Freon 12 Kr 2 Xe 100 8 6 4 2 10–1 8 6 4 Vapeur d'eau ≈ 0 V … ≈ +10.5 V 2 logarithmique, 0.6 V/décade 10–2 10–3 2 4 6 810–2 2 4 6 810–1 2 4 6 8100 2 4 6 8101 2 4 6 8102 peff (hPa) < 0.5 V sans alimentation > 9.5 V système de mesure Pirani défectueux (rupture de filament) 2×10 Ω 10 kΩ, résistant aux courtscircuits en fonction de la pression < 10 ms ≈1s Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes satisfont à cette exigence. bg5122bf r / c (2017-07) p (hPa) 10–1 8 6 4 Maintenance, résolution des problèmes Gamme d'indication 10-6 ... 10-1 hPa 2 10–2 8 6 4 2 10–4 8 6 4 Ar Si la jauge est utilisée à des pressions élevées ou dans des conditions contaminatrices, elle doit régulièrement être nettoyée. Air N2 O2 CO Les pannes du produit dues à des impuretés, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la garantie. Produit 2 PKR 261 He 10–5 8 6 4 Normes Recyclage 2 10–6 10–6 2 Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum, déclarons que le produit ci-après est conforme à la directive relative à la compatibilité électromagnétique 2014/30/UE et de la directive relative à la limitation de l’utilisation de certaines substances dangereuses dans les équipements électriques et électroniques 2011/65/UE. → Manuel de l'utilisateur BG 5157 BFR sur www.pfeiffer-vacuum.com. 2 10–3 8 6 4 Déclaration UE de conformité 4 6 810–5 2 4 6 810–4 2 4 6 810–3 2 4 6 810–2 2 4 6 810–1 Pour l'élimination appropriée du produit, veuillez contact le S.A.V. Pfeiffer Vacuum le plus proche. peff (hPa) Normes harmonisées, normes internationales et nationales ainsi que spécifications : • EN 61000-6-2:2005 (CEM : immunité) Dans la gamme au-dessous de 10-5 hPa l'indication est linéaire. Pour d'autres gaz que l'air, la pression peut être déterminée par une simple conversion : • EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (CEM : émission) • EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire) peff = C × pression affichée • EN 61326-1:2013 (Exigences relatives à la compatibilité Type de gaz Air (O2, CO, N2) Xe Kr Ar H2 Ne He C (moyenne) 1.0 0.4 0.5 0.8 2.4 4.1 5.9 Table de conversion des unités de pression électromagnétique pour matériel électrique de mesure, de commande et de laboratoire) Fabricant / Signatures mbar bar Pa hPa kPa Torr mm HG mbar bar Pa hPa kPa Torr mm HG 1 1×103 0.01 1 10 1×10-3 1 1×10-5 1×10-3 0.01 100 1×105 1 100 1×103 1 0.1 0.75 1×103 100 750 -3 0.01 1×10 7.5×10-3 1 0.1 0.75 10 1 7.5 1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332 1 Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar 14 avril 2016 Dr. Ulrich von Hülsen Président 1 Pa = 1 N/m2 Certification ETL RECOGNIZED COMPONENT ETL LISTED The product PKR 261 • conforms to the UL Standard UL 61010-1 • is certified to the CAN/CSA Standard C22.2 No. 61010-1 3103457 Berliner Straße 43 D–35614 Asslar Allemagne Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-1202 info@pfeiffer-vacuum.de www.pfeiffer-vacuum.com ">

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