MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Original IPF 25 Filtre à poussières Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/20 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Produits concernés 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Abréviations 5 5 5 5 5 5 5 6 6 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Usage conforme à la destination 2.3 Utilisation non conforme prévisible 7 7 7 7 3 Description du produit 3.1 Identification du produit 3.1.1 Contenu de la livraison 3.1.2 Fonction 3.2 Stockage 8 8 8 8 8 4 Installation 4.1 Sens de montage 4.2 Installation sur la pompe 9 9 10 5 Utilisation 12 6 Maintenance 6.1 Consigne de sécurité pour la maintenance 6.2 Démontage 6.3 Nettoyage 6.4 Mise au rebut 6.5 Remontage 13 13 14 14 15 16 7 Pièces de rechange 17 8 Caractéristiques techniques et dimensions 8.1 Caractéristiques techniques 8.2 Dimensions 18 18 18 Déclaration d'incorporation de quasi-machines 19 3/20 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: 4/20 Orientation du filtre sur aspiration de la pompe Installation de l'IPF 25 sur pompe ACP 15 Installation de l'IPF 25 sur pompe ACP 28 Installation de l'IPF 25 sur pompe HiScroll 6 Dimensions IPF 25 9 10 10 11 18 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.1.1 Documents applicables Document Référence Déclaration d'incorporation de quasi-machines fournie avec ce manuel Pompe Roots multi-étagée, refroidie à l'air Manuel de l'utilisateur - ACP 15 123884 - 128853 Manuel de l'utilisateur - ACP 28 112369 - 128852 Pompe à vide à spirale 1.1.2 Manuel de l'utilisateur - HiScroll 6 PU0080 Manuel de l'utilisateur - HiScroll 12 | 18 PU0081 Produits concernés Ce document s'applique aux produits ayant les références suivantes : 1.2 Référence Description 111649 IPF 25 Filtre à poussières Groupe cible Ce manuel de l‘utilisateur est destiné à toutes les personnes en charge du transport, de l'installation, de la mise en service/hors service, de l'utilisation, de la maintenance ou du stockage du produit. Les travaux décrits dans ce document doivent être effectués uniquement par des personnes ayant une formation technique appropriée (personnel spécialisé) ou ayant reçues une formation de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 5/20 A propos de ce manuel 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. Remarque Conseil 1.3.3 Abréviations Exh. IN IPF NBR FPM 6/20 Refoulement (Exhaust) Aspiration (Inlet flange) Filtre à poussières (Inlet Particle Filter) Elastomère Nitrile Elastomère Fluorocarbone Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Usage conforme à la destination Le filtre à poussières est conçu pour le pompage sur des gaz peu corrosifs. ● Le filtre à poussières est utilisé uniquement avec les pompes Roots multi-étagées pour lesquelles il est compatible (voir chapitre « Documents applicables »). ● Le filtre à poussières s'installe à l'aspiration des pompes Roots multi-étagées, modèles ACP 15 et ACP 28. ● Le filtre à poussières s'installe à l'aspiration des pompes à vide à spirale, modèles HiScroll 6 et HiScroll 12 | 18. 2.3 Utilisation non conforme prévisible Toute utilisation non conforme du produit entraîne l'annulation de la garantie et des droits de réclamations. Toute utilisation, même involontaire, qui diffère de celles précitées est considérée comme non conforme, en particulier : ● ● ● ● ● ● le raccordement à des pompes et appareils pour lesquels il n’est pas prévu le raccordement à des appareils qui ne sont pas isolés électriquement, les accessoires ou pièces de rechange qui ne sont pas mentionnés dans ce manuel les applications de pompage de produits inflammables tels que, oxygène, silane les applications microélectroniques, LPCVD, LTO en raison de l'incompatibilité de l’élément filtrant les applications de séchage, lyophilisation, pompage de condensables, imprégnation à l’aide de résines polymérisables, débullage de monomères 7/20 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Identification du produit Pour identifier le produit de manière sûre et pour communiquer avec notre centre de service, se référer aux informations figurant sur l'étiquette d'identification du produit. 3.1.1 Contenu de la livraison ● ● ● ● 3.1.2 1 anneau de centrage DN 25 ISO-KF 1 joint torique DN 25 ISO-KF NBR 1 collier de serrage DN 25 ISO-KF 1 manuel de l’utilisateur Fonction Le filtre à poussières est installé à l’aspiration d’une pompe primaire sèche travaillant sur des gaz chargés de poussières ou de particules. Le filtre à poussières arrête les particules de diamètre supérieur à 25 microns en protégeant le circuit de pompage, ceci sans occasionner de perte de charge notable. 3.2 Stockage L'élément filtrant utilisé dans le filtre à poussières peut absorber l'humidité. Si le produit neuf doit être stocké : ► Stocker le produit dans son emballage d'origine dans un environnement propre et sec et non pollué. ► Stocker le produit selon les températures de stockage (+5 – +65 °C). ► Veiller à ce que l'élément filtrant ne soit pas écrasé pendant le stockage. Si le produit a été déballé, utilisé, ou stocké pendant une longue période (> 1 an) : ► Procéder à sa maintenance avant de l'installer. 8/20 Installation 4 Installation Consignes générales pour une installation dans la ligne de pompage selon les règles de l'art 1. Réaliser l’installation sur la pompe arrêtée et hors tension. 2. Utiliser les accessoires de raccordement fournis avec le filtre à poussières. 3. Utiliser dans la ligne de pompage, à l’aspiration comme au refoulement, des accessoires dont les matériaux et l’étanchéité sont compatibles avec les gaz pompés. Consulter le catalogue des accessoires de raccordement sur le site pfeiffer-vacuum 4. Prévoir, lors du montage du circuit du vide, des accessoires pour isoler la pompe dans la ligne de pompage et faciliter la maintenance (vannes d’isolement à l’aspiration et au refoulement, purge, …). 5. Retirer les protections qui obturent les orifices d’aspiration et de refoulement. Sens de montage Les orifices du filtre à poussières sont équipés d’embout ISO-KF permettant l’adaptation de divers éléments de canalisations (voir catalogue des produits Pfeiffer Vacuum). Le filtre à poussières peut travailler dans tous les axes de pompage. ► Veiller à ne pas créer dans la ligne de pompage en amont du filtre, un étranglement ou un point bas susceptible de recueillir par gravité les particules : ceci réduit la vitesse de pompage sans pour autant colmater l’élément filtrant. PUMP IN IPF PUMP 4.1 IPF IN (PUMP) Fig. 1: Orientation du filtre sur aspiration de la pompe Sens de montage du filtre sur aspiration de la pompe Une étiquette indique le sens de montage du filtre sur la pompe. ► Installer le filtre à poussières à l’aspiration de la pompe en respectant le sens de montage. – Le côté où le clapet est visible est raccordé sur la pompe. – L'autre côté est raccordé à l'installation à pomper. 9/20 Installation 4.2 Installation sur la pompe PUMP PUMP IN Exh. Fig. 2: Installation de l'IPF 25 sur pompe ACP 15 Procédure d'installation de IPF sur pompe ACP 15 Une étiquette indique le sens de montage du filtre sur la pompe. 1. Mettre un anneau de centrage avec joint et collier de serrage 2. Installer le filtre à poussières à l’aspiration de la pompe en respectant le sens de montage. – Le côté où le clapet est visible est raccordé sur la pompe. – L'autre côté est raccordé à l'installation à pomper. PUMP IN PUMP Exh. Fig. 3: Installation de l'IPF 25 sur pompe ACP 28 Procédure d'installation de IPF sur pompe ACP 28 Une étiquette indique le sens de montage du filtre sur la pompe. 1. Mettre un anneau de centrage avec joint et collier de serrage 2. Installer le filtre à poussières à l’aspiration de la pompe en respectant le sens de montage. – Le côté où le clapet est visible est raccordé sur la pompe. – L'autre côté est raccordé à l'installation à pomper. 10/20 Installation PUMP PUMP IN Exh. Fig. 4: Installation de l'IPF 25 sur pompe HiScroll 6 Procédure d'installation de IPF sur pompe HiScroll 6 Une étiquette indique le sens de montage du filtre sur la pompe. 1. Mettre un anneau de centrage avec joint et collier de serrage 2. Installer le filtre à poussières à l’aspiration de la pompe en respectant le sens de montage. – Le côté où le clapet est visible est raccordé sur la pompe. – L'autre côté est raccordé à l'installation à pomper. 11/20 Utilisation 5 Utilisation Ne pas réutiliser un filtre à poussières IPF qui a été stocké durant une longue période (> 1 an). Procéder à sa maintenance et remplacer l'élément filtrant avant de l'utiliser. Mise en service ► Mettre en service la pompe. Mise hors service 1. Arrêter la pompe. 2. Ramener la pompe à la pression atmosphérique et la laisser refroidir. 3. S’assurer que la canalisation d’échappement n’est pas sous pression. Surveillance du bon fonctionnement du filtre Une diminution notable de la vitesse de pompage est un signe d’encrassement de l’élément filtrant. L’élément filtrant étant colmaté, il crée une perte de charge qui peut varier en fonction du degré de pollution. ► Remplacer l’élément filtrant lorsqu'il est saturé. 12/20 Maintenance 6 Maintenance 6.1 Consigne de sécurité pour la maintenance DANGER Risque d'empoisonnement par contact avec des substances toxiques et sous-produits générés par le procédé La pompe à vide, les composants de la ligne de pompage, les fluides d'exploitation sont contaminés par des substances toxiques, corrosives, réactives ou radioactives liées au procédé. Tout contact avec les pièces contaminées ou les sous-produits générés par le procédé présente un risque d’empoisonnement pour la santé. ► Porter un équipement de protection approprié lors de la déconnexion pour maintenance de la pompe, ainsi que pour le remplissage ou la vidange du fluide d’exploitation. ► Bien aérer le local ou effectuer la maintenance sous hotte ventilée. ► Ne pas jeter les sous-produits/résidus au réseau usuel : faire appel à un organisme compétent pour leur destruction si nécessaire. ► Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air (obturateurs livrés avec le produit et disponibles en accessoires). DANGER Risque pour la santé lié aux traces résiduelles de gaz de procédés à l'intérieur de la pompe Les gaz de procédés sont toxiques et dangereux pour la santé. Ils peuvent entraîner l’empoisonnement ou la mort. Aussi, avant de déconnecter la pompe, il convient d’éliminer un maximum de traces résiduelles de gaz de procédés. ► Effectuer obligatoirement un balayage de l’équipement (installation de pompage) avec un flux d'azote pendant 30 minutes : la pression et le débit d'azote doivent être identiques aux valeurs programmées pour le procédé. 13/20 Maintenance 6.2 Démontage 14 12 13 11 10 9 8 7 6 5 3 2 1 1 2 3 5 6 7 8 Vis CHc M5 x 16 Rondelle Corps inférieur Joint torique NBR Elément filtrant Support clapet Clapet 9 10 11 12 13 14 Rondelle Ressort Support ressort Rondelle Vis CHc M8 x 3 Corps supérieur Remplacement de l'élément filtrant L'IPF est déconnecté de la pompe. Procéder au démontage de l'IPF sur un établi. 1. Retirer les 4 vis CHc M5 x 16. – L’élément filtrant reste solidaire du corps inférieur. 2. Retirer le joint torique NBR du corps inférieur. 3. Dégager l’ensemble support de clapet du corps supérieur ou de l’élément filtrant. 4. Retirer les 2 vis CHc M8 x 3 en pressant manuellement sur le support ressort de l’IPF ceci afin d’éviter la brusque détente du ressort pour dégager la rondelle et le clapet. 6.3 Nettoyage Ne jamais nettoyer un élément filtrant ! Remplacer systématiquement l'élément filtrant par un neuf. ► Remplacer systématiquement les joints toriques par des joints toriques neufs. Pompes références V6SHxxxxxx Pompes livrées en huile minérale 1. Nettoyer les pièces avec un solvant, à base minérale, conforme à la législation en vigueur par exemple du type AXAREL 1), CARECLEAN 2), PREMACLEAN 3), NAPHTESOL 4). 2. Nettoyer à froid ou à chaud (maxi 45 °C) par immersion ou à l’aide de chiffons non pelucheux. 3. Sécher sous vide en étuve ventilée. 1) 14/20 Marque déposée DUPONT DE NEMOURS Maintenance Pompes références V5xxxxxxxx et V6xxxxxxxx Pompes livrées en huile synthétique (perfluorée) 1. Nettoyer les pièces avec un solvant type GALDEN S 90 5) 2. Nettoyer à froid par immersion ou à l’aide d’un chiffon non pelucheux. 3. Sécher les pièces à l’air libre ou avec de l’air comprimé. Pompes HiScroll ► Voir le manuel de l'utilisateur de la pompe. 6.4 Mise au rebut Protection de l'environnement La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et prévenir de la pollution. Nos produits contiennent différents matériaux qui doivent être recyclés. Prendre des précautions particulières pour : ● les élastomères fluorés qui peuvent se décomposer s’ils ont été soumis à de hautes températures ● les composants en contact avec les produits résultant de procédés qui ont pu être contaminés ● l'élément filtrant usagé ne doit pas être jeté au réseau usuel : faire appel à un organisme compétent pour sa destruction 2) Marque déposée CASTROL 3) Marque déposée DOW 4) Marque déposée NIPPON OIL CORPORATION 5) Marque déposée MONTEDISON 15/20 Maintenance 6.5 Remontage 15 14 12 13 11 10 9 8 7 6 5 4 3 2 1 1 2 3 5 6 7 8 Vis CHc M5 x 16 Rondelle Corps inférieur Joint torique NBR Elément filtrant Support clapet Clapet 9 10 11 12 13 14 Rondelle Ressort Support ressort Rondelle Vis CHc M8 x 3 Corps supérieur Remontage du filtre à poussières 1. Installer la rondelle sur un clapet neuf. 2. Installer le clapet équipé de la rondelle face plane de celui-ci en appui sur le support de clapet. 3. Positionner le ressort sur la rondelle, puis assembler le support ressort au support de clapet à l’aide des vis CHc M8 x 3 et rondelles en appuyant manuellement sur le support ressort. 4. Monter un joint torique NBR neuf dans le corps inférieur. 5. Installer l’élément filtrant neuf sur le centreur du corps inférieur. 6. Centrer le support de clapet équipé sur l’élément filtrant. 7. Installer le corps supérieur et assembler au moyen des vis CHc M5 x 16 et rondelles. 8. Serrer en croix au couple de 4 N·m. 9. Raccorder l'IPF sur l’aspiration de la pompe à l’aide des accessoires fournis. 16/20 Pièces de rechange 7 Pièces de rechange 15 14 12 13 11 10 9 8 7 6 5 4 3 2 1 Repère Désignation Matériau 1 Vis CHc M5 x 16 Acier Quantité 4 - 2 Rondelle Acier 4 - 3 Corps inférieur Aluminum 1 - 4 Bouchon 1/8 + joint torique Aluminium + NBR 1 - 5 Joint torique Elastomère NBR 1) 1 083539 2) 6 Elément filtrant Microfibres de verre + résine époxy 1 111650 2) 7 Support clapet Aluminium 1 - 8 Clapet Elastomère FPM 1 054196 2) 9 Rondelle Acier inoxydable 1 - 10 Ressort Acier 1 - 11 Support Ressort Acier 1 - 12 Rondelle Acier 2 - 13 Vis CHc M8 x 3 Acier 2 - 14 Corps supérieur Aluminum 1 - 15 Voyant de niveau + joint Polyamide + élastomère NBR 1) 1 - 1) 1) Référence 1) Suivant norme NFT40-002 2) Pièces à remplacer à chaque maintenance 17/20 Caractéristiques techniques et dimensions 8 Caractéristiques techniques et dimensions 8.1 Caractéristiques techniques IPF 25 8.2 Poids 1,2 kg Raccordement DN 25 ISO-KF Taux de fuite max 1 · 10-6 hPa l/s Pression de travail maximale 1013 hPa Flux maximal traversant l’IPF 25 7600 hPa l/s Conductance 10 l/s si pression aspiration 10-1 hPa 12,5 l/s si pression aspiration à 1 hPa Grade de filtration Elément filtrant d’origine constructeur. Caractéristiques de piégeage de l’élément filtrant : 99,99 % des particules de diamètre > à 25 microns. Dimensions Dimensions en mm 2 0 1 ,3 DN 25 ISO-KF 86 x 86 50 Exh. IN DN 25 ISO-KF Ø 86 95 x 95 Fig. 5: 18/20 Dimensions IPF 25 1 2 ,8 2 5 ,3 3 1 ,5 41 1 4 4 ,3 7,5 Déclaration d'incorporation de quasi-machines Déclaration pour produit(s) du type : Filtre à poussières IPF 25 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 B) Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Ce produit ne doit pas être mis en service avant que la machine finale dans laquelle il doit être incorporé, ait été déclarée conforme à la Directive machines 2006/42/EC. Les soussignés s'engagent également à transmettre les informations pertinentes concernant la (les) quasi-machines(s), en réponse à toute demande motivée de façon adéquate formulée par une autorité nationale. Le responsable de la constitution du dossier technique est M. Rouveyre Frédéric, Pfeiffer Vacuum SAS, 98, avenue de Brogny B.P. 2069, 74009 Annecy cedex. Signature: Pfeiffer Vacuum SAS 98, avenue de Brogny 74009 Annecy cedex France B.P. 2069 Bertrand Seigeot Directeur Groupe Produit Pompes Pfeiffer Vacuum SAS Annecy, le 2021/03/01 *111662* Ed06 - Date 2021/07 - P/N:111662OFR ">
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