MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original MVP 020-3 DC Pompe à membrane Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle pompe à membrane vous aidera pour votre application spécifique grâce à ses performances et à sonbon fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce mode d’emploi avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de. Vous trouverez d’autres modes d’emploi de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/46 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 7 7 7 7 7 7 7 8 8 8 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Limites d’utilisation du produit 2.5 Utilisation conforme 2.6 Utilisations incorrectes envisageables 2.7 Qualification personnelle 2.7.1 Garantir la qualification du personnel 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 10 10 10 13 14 14 14 15 15 15 16 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.2 Identification du produit 3.3 Étendue de la livraison 17 17 17 18 4 Transport et stockage 4.1 Transport de la pompe à vide 4.2 Stockage de la pompe à vide 19 19 19 5 Installation 5.1 Installation de la pompe à vide 5.2 Raccordement côté vide 5.3 Raccordement du côté d’échappement 5.4 Raccordements des signaux de commande 5.4.1 Raccordements au réglage de la vitesse de rotation 5.4.2 Raccordement du fonctionnement par intervalles 5.5 Raccordement de l’alimentation de tension 20 20 20 21 21 22 23 23 6 Utilisation 6.1 Mise en service de la pompe à vide 6.2 Mise en marche de la pompe à vide 6.3 Réglage de la vitesse de rotation 6.4 Fonctionnement par intervalles de la pompe à membrane 6.5 Pompage de vapeurs condensables 6.6 Mise hors tension de la pompe à vide 24 24 24 25 25 25 26 7 Maintenance 7.1 Consignes de maintenance 7.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien 7.3 Remplacement des membranes et des vannes 7.3.1 Démontage de la tête de pompe et des clapets 7.3.2 Dépose des diaphragmes 7.3.3 Installations de la membrane 7.3.4 Montage de la tête de pompe et des clapets 27 27 28 29 29 30 31 32 3/46 Table des matières 7.4 4/46 Contrôle de la pression finale 32 8 Démantèlement 34 9 Recyclage et mise au rebut 9.1 Informations générales sur la mise au rebut 9.2 Mise au rebut des pompes à diaphragme 35 35 35 10 Anomalies 36 11 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 38 12 Lots de pièces de rechange 40 13 ACCESSOIRES 13.1 Informations sur les accessoires 13.2 Commande d’accessoires 41 41 41 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités 14.2 Fiche technique 14.3 Matériaux en contact avec la substance 14.4 Dimensions 42 42 42 43 43 Déclaration de conformité 44 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Autocollants sur le produit Abréviations utilisées dans ce document Limites d’utilisation du produit Limites d’utilisation liées à la température d’entrée Aperçu des raccordements sur le bloc de bornes de connexion ST1B Durée de vie typique dans le cadre d'une utilisation normale Intervalles de maintenance Dépannage sur les pompes à membrane Affichage à LED des codes d’erreur Lots de pièces de rechange Lot de pièces de rechange tuyère gaz de balayage Accessoires Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Fiche technique, MVP 020-3 DC Matériaux entrant en contact avec la substance du procédé 8 9 14 14 22 27 29 37 37 40 40 41 42 42 43 43 5/46 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: 6/46 Position des autocollants sur le produit Construction de la pompe à membrane Distances minimales Platine avec bornes de connexion Raccordement du TC et du TPS Tuyère de gaz de lavage Tête de pompe et clapets Remplacement des membranes Positionnement correct des clapets dans le couvercle de chapeau LED sur la platine Pièces de rechange Dimensions MVP 020-3 DC 8 17 20 22 23 26 30 31 32 37 40 43 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce manuel de l'utilisateur s'adresse aux clients de la société Pfeiffer Vacuum. Il décrit le produit et ses fonctions et présente les informations importantes à connaître pour une utilisation sécurisée de l'appareil. La description est effectuée selon les directives en vigueur. Toutes les informations fournies dans ce manuel de l'utilisateur correspondent au niveau de développement actuel du produit. La documentation est valide dans la mesure où le client n'a pas apporté de modifications au produit. 1.1.1 1.1.2 Documents applicables Désignation Document Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Variantes Ce manuel de l’utilisateur s’applique aux pompes à membrane avec les numéros de pièces suivants : 1.2 Référence Désignation PK T01 198 MVP 020-3 DC Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 7/46 A propos de ce manuel 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. Remarque Conseil 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification. Pfeiffer Vacuum D - 35614 Asslar Germany MVP 020-3DC PK T01 198 24 V – max. 5.5 A 3 Pw: 64 W m: 4.3 kg S(N2) 1.2 m /h Ser.-Nr.: xxxxxxxxxxxx Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve sur le couvercle des circuits électroniques. Avertissement de surface chaude L’étiquette signale des surfaces chaudes pendant le fonctionnement et immédiatement après l’arrêt de la pompe à vide. Joint de fermeture Les têtes de membrane sont scellées de façon étanche en usine. L’endommagement ou la suppression du joint de fermeture entraîne l’annulation de la garantie. warranty seal Tab. 1: Autocollants sur le produit 1 2 Fig. 1: Position des autocollants sur le produit 1 Plaque signalétique de la pompe à membrane Avec signalétique d’avertissement surface chaude 1.3.4 8/46 2 Joint de fermeture Abréviations Abréviation Signification dans ce document DC Courant continu DN Diamètre nominal f Valeur de la vitesse de rotation d’une pompe à vide (fréquence, en tr/min ou Hz) LED Diode électroluminescente MVP Pompe à vide à membrane PE Conducteur de protection (terre de protection) PTFE Polytétrafluoroéthylène A propos de ce manuel Abréviation Signification dans ce document PWM Modulation à largeur d’impulsion (Type de modulation pour lequel une variable technique (p. ex. la tension électrique) varie entre 2 valeurs.) T Température (en °C), abréviation de propriété de la pompe à vide TC Unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire (contrôleur de turbine) TPS Tension d’alimentation (alimentation électrique turbine) Tab. 2: Abréviations utilisées dans ce document 9/46 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Toutes les consignes de sécurité contenues dans ce document sont basées sur les résultats de l’analyse de risque effectuée conformément à la Directive 2006/42/CE Annexe I relative aux machines et à la norme EN ISO 12100 Section 5. Dans toute la mesure du possible, toutes les phases du cycle de vie du produit ont été prises en compte. Risques lors de l’installation ATTENTION Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels. ► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture. ► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter. ► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement. 10/46 Sécurité AVIS Dégâts à la pompe à vide provoqués par une surpression La permutation des raccordements peut causer une surpression. La pression différentielle entre entrée et sortie doit être de 1 bar max. pour pouvoir démarrer la pompe à vide, sans quoi le moteur s’arrête et subit des dégâts. ► Vérifier que le distributeur est installé correctement sur les têtes de la membrane avant de raccorder la pompe à vide et l’appareil à vide. ► Avant la mise en service, vérifier impérativement que la pression côté échappement est inférieure à la limite admissible. AVIS Dommages matériels en cas de polarité incorrecte Une tension secteur incorrecte ou excessive va détruire le moteur. ► Respectez toujours les informations de la plaque signalétique du moteur. ► Raccordez le câble d'alimentation en observant les marquages de couleur sur les câbles correspondants. ► Installez toujours un fusible secteur approprié. Risques pendant le fonctionnement AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque d’explosion de mélanges d’air/gaz réactif, explosif ou autre. L’entrée incontrôlée de gaz par la tuyère du gaz de balayage peut former des étincelles d’origine mécanique après rupture de la membrane, l’échauffement des surfaces ou la formation de mélanges d’air/gaz explosif dans le circuit de vide formés par l’électricité statique. ► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte comme gaz de balayage pour éviter toute inflammation potentielle. AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de processus toxiques. ► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus toxiques. ► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement. ► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques. 11/46 Sécurité ATTENTION Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz de procédé toxiques Pour les pressions d’entrée > 500 hPa, le gaz de procédé peut s’échapper de la tuyère de gaz de balayage. ► Si nécessaire, utiliser une conduite d’évacuation. ATTENTION Risque de blessures dues aux pièces mobiles Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation. ► Pour intervenir en toute sécurité, débrancher le moteur du secteur. ► Prendre des mesures pour éviter la remise en marche du moteur. ► Démonter la pompe à vide pour révision, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 105 °C. ► Laisser refroidir la pompe à vide avant d’intervenir dessus. ► Porter si nécessaire des équipements de protection individuelle. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. ► Porter des équipements de protection adaptés. Risques pendant la maintenance, la mise hors service et en cas de dysfonctionnement AVIS Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité. ► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance. ► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique. AVIS Risque de dégâts matériels dus à une installation incorrecte Si les disques d’écartement d’origine sont mal installés, le volume mort peut varier, ce qui affecte le vide final ou endommager les paliers. ► Lors du démontage, les disques d’écartement doivent être séparés selon le lieu de mise en place. ► Réinstallez le même nombre de disques d’écartement d’origine par tête de membrane. AVIS Dommages matériels dûs à une décharge électrostatique Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées, les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits ► Les mesures de sécurité contre les dommages électrostatiques doivent être implémentées sur le poste de travail. ► Observer la norme EN 61340 « Protection des appareils électroniques contre les phénomènes électrostatiques ». 12/46 Sécurité Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les blocs d’alimentation électrique non spécifiés et non approuvés peuvent entraîner de graves blessures, voire la mort. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences avec une double isolation entre la tension d’entrée de secteur et la tension de sortie, conformément à IEC 61010-1, IEC 60950-1 and IEC 62368-1. ► Veillez à ce que le bloc d’alimentation électrique soit conforme aux exigences des normes IEC 61010-1, IEC 60950-1 et IEC 62368-1. ► Si possible, utilisez des blocs d’alimentation électrique d'origine ou uniquement des blocs d’alimentation correspondant aux normes de sécurité en vigueur. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales ► Empêcher les gaz de procédé et leurs réactions et les sous-produits nocifs pour la santé et l’environnement de s’échapper dans l’atmosphère ou les éliminer conformément aux réglementations en vigueur. ► Éviter tout contact avec les gaz de procédé présentant un risque pour la santé et porter des équipements de protection personnelle si nécessaire. ► Vérifier la compatibilité entre la substance à pomper et les pièces en contact avec elle. ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Ne remplissez jamais ou ne faites jamais fonctionner l'appareil avec des produits de nettoyage ou leurs résidus. ► N'effectuez pas vous-même des conversions ou modifications d'unité. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. 13/46 Sécurité ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70°C. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes. ► Avant de renvoyer une pompe à vide, consultez les remarques du chapitre Solutions de service. 2.4 Limites d’utilisation du produit Emplacement de l’installation À l’intérieur, avec protection contre l’accumulation de poussière et les effets liés au climat, dans un environnement non-explosif et sec Degré de protection IEC 60529 IP 20 Degré de protection UL 50E NEMA type 1 Altitude de l’installation 2 000 m max. au-dessus du niveau de la mer 1) Température ambiante +10 °C à +40 °C Humidité relative de l’air 80 % à T ≤ 31 °C, jusqu’à 50 % à T ≤ 40 °C Niveau de contamination 2 Tab. 3: Conditions d’exploitation Pression d’admission Température admissible d’entrée de la substance à pomper mode continu > 100 hPa (charge de gaz élevée) +10 °C à +40 °C mode continu < 100 hPa (charge de gaz faible) 0 °C à +60 °C court terme (< 5 minutes) < 100 hPa (charge de gaz faible) -10 °C à +80 °C Tab. 4: 2.5 Limites d’utilisation du produit Limites d’utilisation liées à la température d’entrée Utilisation conforme ► Utilisez la pompe à vide uniquement pour la production de vide. ► Respectez les instructions d’installation, de mise en place, de fonctionnement et de maintenance. ► Ne pas utiliser d’accessoires autres que ceux recommandés par Pfeiffer Vacuum. 2.6 Utilisations incorrectes envisageables Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● 1) 14/46 Pompage de substances corrosives Pompage de substances explosives Pompage de substances radioactives ou volatiles Pompage de gaz contenant des impuretés telles que particules, poussières ou condensats Pompage de liquides Pompage de substances désagrégeant le FPM Pompage de vapeurs de liquides combustibles Pompage de substances sous pression (> pression atmosphérique) Pompage de substances susceptibles de se condenser ou de former des dépôts adhérents dans la chambre d’aspiration Fonctionnement de la pompe à vide en dehors du champ d’application spécifié Fonctionnement de la pompe à vide en dessous du niveau du sol Utilisation de la pompe à vide pour produire une pression Utilisation dans les circuits où des charges et des vibrations ponctuelles ou des forces périodiques agissent sur la pompe à vide Utilisation de la pompe à vide dans des champs électromagnétiques forts au-delà de 1 000 m au-dessus du niveau de la mer, risque de refroidissement insuffisant. Si nécessaire, prendre les mesures stipulées dans la Directive DIN EN 61010. Sécurité ● Raccordement à des pompes à vide et des matériels non prévus à cette fin d’après leur manuel de l’utilisateur ● Raccordement à des matériels comportant des pièces nues sous tension ● Raccordement à des prises sans borne de terre ● Utilisation des conduites pour lever la pompe à vide ● Utilisation d’accessoires ou de pièces de rechange non listés dans ces instructions ● Utilisation de la pompe à vide comme marchepied ● Utilisation des conduites de raccordement entre les têtes de diaphragme comme poignée ● Utilisation de la pompe dans des conditions ambiantes en dehors des limites de degré de protection IP spécifiées 2.7 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 2.7.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.7.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. 15/46 Sécurité Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.7.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 16/46 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction La pompe à membrane est une pompe à vide de type compression à sec avec 3 étages de pompage. Cette pompe à vide est une pompe volumétrique dont la grandeur de la chambre d’aspiration varie périodiquement du fait du mouvement du diaphragme. La circulation de gaz provoque l’ouverture et la fermeture automatiques des clapets. Les éléments de pompe sont accouplés directement au moteur d’entraînement. 1 2 3 9 4 8 7 6 5 Fig. 2: 3.2 Construction de la pompe à membrane 1 Poignée 6 2 Raccord à vide, filetage 1/8" 7 3 Vis creuse 4 Raccordement entre les têtes 5 Vis d’arrêt (en option : tuyère de gaz de balayage) 8 9 Connecteur (signaux de commande) (pour connecteurs à baïonnette Binder, 2 broches, Ø12 mm) Connecteur (alimentation de tension) (pour prise de ligne Hirschmann G20KW3F, 2 broches) Échappement Vis de fixation du couvercle Identification du produit ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, toujours conserver à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. ► Pour plus d'informations sur les certifications, se référer aux libellés correspondants sur le produit ou consulter www.certipedia.com avec l'ID de société 000021320. 17/46 Description du produit 3.3 Étendue de la livraison ● Pompe à vide avec moteur ● Manuel de l’utilisateur ● Obturateur sur le raccord vide 18/46 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport de la pompe à vide AVERTISSEMENT Danger de blessures graves en cas de chute d’objets La chute d’objets peut entraîner des blessures sur les membres, voire même des fractures osseuses. ► Soyez particulièrement vigilant lors du transport manuel du produit. ► Ne pas empiler le produit. ► Portez un équipement de protection, tel que des chaussures de sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Informations générales sur le transport en toute sécurité 1. Prenez connaissance du poids indiqué sur l'emballage. 2. Utilisez un équipement de transport si nécessaire (porte-palan, chariot élévateur). 3. Transportez le produit dans son emballage d'origine. 4. Le produit doit toujours être placé sur une surface plane aux dimensions adéquates. Transport de la pompe à vide sans son emballage 1. Déballer la pompe à vide. 2. Pour protéger l’intérieur de la pompe, laisser les deux obturateurs de protection sur les raccordements pendant le transport. 3. Pour ce faire, utiliser la poignée réservée à cet effet, située sur le dessus de la pompe. 4. Sortir la pompe à vide de son emballage de transport. 5. Vérifier qu’aucune contrainte mécanique n’est appliquée sur la tuyauterie. 6. La pompe à vide doit toujours être placée sur une surface plane aux dimensions adéquates. 4.2 Stockage de la pompe à vide Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Procédure 1. Boucher le raccord à vide avec l’obturateur. 2. Stockez la pompe à vide dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées. 3. Dans les locaux où l’atmosphère est humide ou corrosive : Placez la pompe à vide et un produit dessiccant dans un sac en plastique hermétique. 19/46 Installation 5 Installation 5.1 Installation de la pompe à vide Fig. 3: Distances minimales Procédure 1. Placer la pompe à vide sur une surface horizontale plane. 2. Dans le cas d’une installation fixe, visser si nécessaire la pompe à vide directement sur la base. – Déposer les pieds en caoutchouc. 3. Dans le cas d’une installation dans une enveloppe fermée, veiller à une circulation d’air adéquate autour de la pompe. – La pompe à vide ne possède pas de ventilateur. 4. Veiller à bien respecter les distances minimales aux composants annexes, tels que les cloisons, les carters, etc. 5. Placer la pompe de telle sorte que la plaque signalétique du moteur reste visible et accessible. 5.2 Raccordement côté vide AVIS Dégâts matériels occasionnés par des gaz contaminés Pomper du gaz contaminé endommage la pompe à vide. ► Utilisez des filtres et des séparateurs adéquats, disponibles dans la gamme d’accessoires de Pfeiffer Vacuum, pour protéger la pompe à vide. Installation et fonctionnement des accessoires Pfeiffer Vacuum propose une série d’accessoires spéciaux, compatibles avec ses pompes à membrane. ● Les informations et options de commande pour les accessoires approuvés se trouvent en ligne. ● Les accessoires décrits ne sont pas compris dans la livraison. Prévention des pertes d’étranglement Pour éviter les pertes de pression, les conduites de raccordement côté vide doivent être aussi courtes que possible et de grand diamètre nominal. Séparateur des condensats Pfeiffer Vacuum recommande l’installation d’un séparateur de condensats au cas où de la vapeur se formerait pendant l'évacuation. Procédure 1. Enlever le bouchon obturateur du raccord à vide. 2. Établir le raccordement le plus court possible entre la pompe à vide et l’enceinte à vide. 3. Choisir une conduite de vide de diamètre au moins égal au diamètre nominal du raccord à vide. 20/46 Installation 4. En fonction du type de pompe, utiliser des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum. 5. Raccorder la pompe à vide au circuit de vide par l’intermédiaire du raccord à vide. 5.3 Raccordement du côté d’échappement AVERTISSEMENT Danger de mort par empoisonnement lié à la fuite de gaz de procédé toxiques, en l'absence de conduite de refoulement En fonctionnement normal, la pompe à vide libère des gaz et des vapeurs dans l'air. Dans les procédés impliquant des milieux toxiques, il existe un risque d’intoxication susceptible de provoquer des lésions ou la mort. ► Respectez la réglementation en vigueur concernant le traitement de substances toxiques. ► Évacuez les gaz de procédé toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement. ATTENTION Risque de blessure dû à l’éclatement de la conduite de refoulement en cas de pression excessive Des conduites d’échappement défaillantes ou inappropriées peuvent entraîner des situations dangereuses, p. ex. une augmentation de la pression d'échappement. Il existe alors un risque d’éclatement, susceptible de provoquer des blessures dues à la dispersion de fragments ou l’éjection de gaz sous pression et d’endommager les matériels. ► Installer la conduite de refoulement sans appareils de fermeture. ► Respecter les pressions admissibles et les pressions différentielles que le produit peut supporter. ► Vérifier la fonction de la conduite de refoulement. Séparateur des condensats Pfeiffer Vacuum recommande l'installation d'un séparateur de condensat avec écoulement de condensat placé au point le plus bas de la conduite de refoulement. Procédure 1. Choisir une conduite d’échappement de diamètre au moins égal au diamètre nominal de la bride de raccordement. 2. En fonction du type de pompe, utiliser des flexibles métalliques ou en PVC avec des raccords à bride disponibles dans la boutique de pièces Pfeiffer Vacuum. 3. Option : En présence de débits de gaz plus élevés, montez une conduite d’échappement. 4. Installez la tuyauterie vers le bas à partir de la pompe à vide pour éviter le retour des condensats. 5. Fixez ou accrochez la tuyauterie de la pompe à vide pour éviter toute contrainte mécanique sur la pompe à vide. 5.4 Raccordements des signaux de commande AVIS Dommages matériels dûs à une décharge électrostatique Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées, les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits ► Les mesures de sécurité contre les dommages électrostatiques doivent être implémentées sur le poste de travail. ► Observer la norme EN 61340 « Protection des appareils électroniques contre les phénomènes électrostatiques ». Outil nécessaire ● Tournevis à tête Phillips (cruciforme), taille 2 21/46 Installation Démontage du couvercle 1. Dévissez la vis de fixation sur le couvercle. 2. Autant que nécessaire, enlevez le couvercle sans endommager le câble. 3. Enfin, faites glisser le couvercle pour le remettre complètement en place. 4. Fixez le couvercle avec la vis de fixation. 12 3 4 Fig. 4: Platine avec bornes de connexion 1 Trimmer 2 LED pour l’affichage du code d’erreur 3 4 Valeur définie de la vitesse de rotation Bloc de bornes de connexion ST1B V+ V- PWM A B Externe via signal PWM - noir rouge - - Externe via tension analogique rouge noir - - - Interne via Trimmer - - - - - Coupe transversale de câble = 0,25 mm Tab. 5: 5.4.1 Bloc de bornes de connexion ST1B (signaux de commande) Bloc de bornes de connexion ST1A (alimentation de tension) 2 Aperçu des raccordements sur le bloc de bornes de connexion ST1B Raccordements au réglage de la vitesse de rotation Priorité Trimmer Le Trimmer est prioritaire sur les signaux de commande. Outil nécessaire ● Tournevis à encoche Raccordement du signal PWM externe 1. Tournez le Trimmer vers la butée gauche. 2. Raccordez les bornes de connexion correspondantes du bloc ST1B. – Le câble de commande (rouge/noir) est fermement raccordé sur le connecteur sur la pompe à membrane. 3. Pour un réglage par défaut personnalisé de la vitesse de rotation, utilisez le câble de commande pour appliquer un signal PWM isolé électriquement sur le bloc ST1B. – 5 V à 24 V (obligatoire), fréquence limite : > 100 Hz, < 1,5 kHz 22/46 Installation Raccordement de la tension analogique 1. Tournez le Trimmer vers la butée gauche. 2. Raccordez les bornes de connexion correspondantes du bloc ST1B. – Le câble de commande (rouge/noir) est fermement raccordé sur le connecteur sur la pompe à membrane. Raccordement du Trimmer 1. Vérifiez qu’aucun signal de commande n’est raccordé sur les bornes de connexion du bloc ST1B. 2. Raccordez la tension d’alimentation sur les bornes de connexion correspondantes du bloc ST1A. 5.4.2 Raccordement du fonctionnement par intervalles Câbles requis (accessoires) ● Câble de commande, TC 110/120 – Pompe à membrane, 0,5 m ● Câble de raccordement TPS – MVP 24 V DC ext. 3 TC 110 + 1 4 nc Fig. 5: In + 2 MVP 1 + 2 - In - TPS GND Raccordement du TC et du TPS Procédure 1. Établissez l’alimentation de tension. 2. Raccordez les signaux de commande. 5.5 Raccordement de l’alimentation de tension AVIS Dommages matériels en cas de polarité incorrecte Une tension secteur incorrecte ou excessive va détruire le moteur. ► Respectez toujours les informations de la plaque signalétique du moteur. ► Raccordez le câble d'alimentation en observant les marquages de couleur sur les câbles correspondants. ► Installez toujours un fusible secteur approprié. AVIS Dommages matériels dûs à une décharge électrostatique Si les mesures de précaution visant à prévenir les risques électrostatiques ne sont pas observées, les composants électroniques peuvent être endommagés ou détruits ► Les mesures de sécurité contre les dommages électrostatiques doivent être implémentées sur le poste de travail. ► Observer la norme EN 61340 « Protection des appareils électroniques contre les phénomènes électrostatiques ». Câble requis (accessoire) ● Câble de raccordement TPS – MVP Procédure ► Raccordez l’alimentation de tension +24 V DC (conformément à la plaque signalétique) au connecteur correspondant. 23/46 Utilisation 6 Utilisation 6.1 Mise en service de la pompe à vide AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement dû à la substance de processus toxique s’échappant de la conduite d’échappement Lorsqu’elle fonctionne sans conduite de refoulement, la pompe à vide rejette les gaz et vapeurs de refoulement dans l’air. Risque de blessure et de mort dû à l’empoisonnement par les substances de processus toxiques. ► Respecter la réglementation en vigueur concernant le traitement des substances de processus toxiques. ► Évacuer les substances de processus toxiques en toute sécurité par une conduite de refoulement. ► Employer des moyens de filtration appropriés pour séparer les substances de processus toxiques. AVIS Dégâts à la pompe à vide provoqués par une surpression La permutation des raccordements peut causer une surpression. La pression différentielle entre entrée et sortie doit être de 1 bar max. pour pouvoir démarrer la pompe à vide, sans quoi le moteur s’arrête et subit des dégâts. ► Vérifier que le distributeur est installé correctement sur les têtes de la membrane avant de raccorder la pompe à vide et l’appareil à vide. ► Avant la mise en service, vérifier impérativement que la pression côté échappement est inférieure à la limite admissible. Procédure 1. Comparer les spécifications de fréquence sur la plaque signalétique à la tension d’alimentation disponible. 2. Vérifiez que le raccord d'échappement n'est pas obturé (pression max. admissible : 1100 hPa absolus). 3. Actionnez les appareils de fermeture pour qu’ils s’ouvrent avant ou pendant le démarrage de la pompe à vide. 6.2 Mise en marche de la pompe à vide Lors du pompage de gaz secs, aucune précaution particulière n’est nécessaire. Pfeiffer Vacuum fournit la pompe à membrane au départ d’usine pour un fonctionnement sans signal de commande et avec le Trimmer tourné sur la butée droite. La pompe à membrane démarre directement et tourne à la vitesse de rotation maximale. ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En fonction des conditions ambiantes et d’exploitation, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 70 °C. ► Porter des équipements de protection adaptés. Durée nécessaire pour atteindre la température de fonctionnement de la pompe à vide En fonction de la température ambiante, la durée nécessaire pour atteindre la température de fonctionnement de la pompe à vide est d’au moins 30 minutes. Condition préalable ● Les connexions par câbles requises sont établies 24/46 Utilisation Mise en marche de la pompe à vide 1. Mettez en circuit l’alimentation de tension. 2. Au besoin, activez la pompe à vide dans chaque plage de pression. 3. Laissez la pompe à vide monter en température avant de démarrer le procédé, raccord à vide fermé. La pompe à vide atteint les valeurs spécifiques de débit et de pression finale dès que la température de fonctionnement a été atteinte. 6.3 Réglage de la vitesse de rotation En fonctionnement, la pompe à vide peut être contrôlée de 3 façons différentes avec chaque fois une démarrage sans à-coups pour atteindre la vitesse de rotation du moteur de la pompe à vide > 400 tr/ min. La vitesse de rotation du moteur de la pompe à vide augmente linéairement jusqu’à la vitesse de rotation max. Plus la vitesse de rotation du moteur est élevée, plus la vitesse d’aspiration de la pompe est élevée. Une vitesse de rotation plus basse allonge la durée de vie des diaphragmes et des clapets. La pompe à vide atteint le vide final optimal à une vitesse de rotation comprise entre 600 et 1000 tr/min. Conditions préalables ● Trimmer tourné vers la butée gauche ● Câble de commande raccordé sur le bloc ST1B (sauf en cas de réglage via le Trimmer) Réglage externe de la vitesse de rotation via le signal PWM ► Pour un réglage personnalisé de la vitesse de rotation, spécifiez le câble de commande pour appliquer un signal PWM isolé électriquement sur le bloc ST1B. – 5 V – 24 V (obligatoire), fréquence limite : > 100 Hz, < 1,5 kHz Réglage externe de la vitesse de rotation via la tension analogique ► Spécifiez une tension analogique dans la gamme 0,8 V à 10 V. Réglage de la vitesse de rotation via le Trimmer ► Tournez le Trimmer dans le sens horaire pour augmenter la vitesse de rotation du moteur. ► Tournez le Trimmer dans le sens anti-horaire pour réduire la vitesse de rotation du moteur. 6.4 Fonctionnement par intervalles de la pompe à membrane Le fonctionnement par intervalles augmente la durée de vie de la pompe à membrane avec de faibles débits du gaz < 0.18 hPa l/s. L’unité de commande électronique de la pompe turbomoléculaire met en circuit et hors circuit la pompe à membrane en fonction de la puissance absorbée de la pompe turbomoléculaire. La puissance absorbée de la pompe turbomoléculaire dépend de la pression de vide primaire et du débit du gaz. La vitesse de rotation ne peut pas être commandée Dans ce mode de fonctionnement, la vitesse de rotation ne peut pas être commandée. Procédure 1. Appliquez un signal PWM isolé galvaniquement sur l’entrée des signaux de commande. – 0 V = pompe « arrêt », 24 V = pompe « marche » (vitesse de rotation max.) 2. Pour un bas débit du gaz, réduisez le cycle de travail relatif d’environ 1 à 60 % en comparant la puissance absorbée avec les valeurs seuils haut et bas. 3. À partir d’environ 0,018 hPa l/s, vérifiez que le volume buffer dans la conduite de vide primaire est de 0,5 litre pour éviter une mise en circuit trop fréquente. 6.5 Pompage de vapeurs condensables Les vapeurs et l’humidité de la substance pompée nuisent au débit après condensation dans la pompe à vide. La tuyère de gaz de balayage en option améliore le refoulement des condensats et la pompe atteint plus vite le vide final spécifié. 25/46 Utilisation AVERTISSEMENT Risque d’explosion de mélanges d’air/gaz réactif, explosif ou autre. L’entrée incontrôlée de gaz par la tuyère du gaz de balayage peut former des étincelles d’origine mécanique après rupture de la membrane, l’échauffement des surfaces ou la formation de mélanges d’air/gaz explosif dans le circuit de vide formés par l’électricité statique. ► Si nécessaire, utiliser un gaz inerte comme gaz de balayage pour éviter toute inflammation potentielle. ATTENTION Risque d’empoisonnement dû au rejet de gaz de procédé toxiques Pour les pressions d’entrée > 500 hPa, le gaz de procédé peut s’échapper de la tuyère de gaz de balayage. ► Si nécessaire, utiliser une conduite d’évacuation. Pression d’entrée maximum La pression d’entrée maximum admissible sur la tuyère de gaz de balayage est de 1200 hPa absolu. Accessoires nécessaires ● Tuyère de gaz de balayage avec filtre (numéro de commande PK 050 304 -U) Outils nécessaires ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 5 ● Clé à fourche, WAF 14 1 2 3 Fig. 6: Tuyère de gaz de lavage 1 Filtre (filetage 1/8") 2 Adaptateur de tuyère pour raccordement de gaz inerte (filetage 1/8", tuyère Ø 0,2 mm) 3 Joint annulaire VS Monter la tuyère de gaz de balayage 1. Dévissez et retirez le boulon de scellement de la pompe à vide. 2. Vissez la tuyère de gaz de balayage dans la pompe à vide. 3. Dévissez manuellement et retirez le filtre de l’adaptateur de la tuyère pour raccorder une conduite de gaz inerte. 6.6 Mise hors tension de la pompe à vide Procédure 1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide. 2. Au besoin, désactivez la pompe à vide dans chaque domaine de pression. 3. Débrancher le bloc d’alimentation. 26/46 Maintenance 7 Maintenance 7.1 Consignes de maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. ATTENTION Risque de blessures dues aux pièces mobiles Après une coupure d’électricité ou un arrêt dû à une surchauffe, le moteur redémarre automatiquement. Risque de blessure aux doigts et aux mains en cas d’introduction dans la zone de fonctionnement des pièces en rotation. ► Pour intervenir en toute sécurité, débrancher le moteur du secteur. ► Prendre des mesures pour éviter la remise en marche du moteur. ► Démonter la pompe à vide pour révision, à l’écart du circuit de pompage si nécessaire. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage les pièces de la pompe. ► Utilisez uniquement des agents nettoyants autorisés pour nettoyer les pièces de la pompe. ► Utilisez uniquement un chiffon sec propre pour nettoyer les membranes et les vannes. ► Ne pas utiliser d’alcool ou d’autres produits de nettoyage pour nettoyer les membranes et les vannes. AVIS Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité. ► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance. ► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique. Le nettoyage et l’entretien de la pompe à vide sont résumés ci-dessous. Les clapets et les membranes sont des pièces d’usure. Composant Heures de fonctionnement Diaphragmes 15 000 Vannes 15 000 Paliers du moteur 40 000 Tab. 6: Durée de vie typique dans le cadre d'une utilisation normale Conditions préalables ● Pompe à vide à l’arrêt ● Pompe à vide mise à l’air à la pression atmosphérique ● Pompe à vide refroidie 27/46 Maintenance Équipement nécessaire ● Chiffon (propre, non pelucheux) ● Eau ou solution à base de savon doux Maintenance de la pompe à vide 1. Débranchez l’alimentation électrique de la pompe. 2. Prenez des mesures pour éviter la remise en marche du moteur. 3. Éliminez toute contamination externe sur la pompe à vide avec un chiffon légèrement humidifié avec de l’eau ou une solution à base de savon doux. 4. Laissez bien sécher les pièces après le nettoyage. 5. Concernant le travail de maintenance, démontez uniquement ce qui est nécessaire sur la pompe à vide. 6. Avec un chiffon sec, nettoyez la chambre d’aspiration, les diaphragmes et les vannes. 7. Contrôlez les fissures sur les membranes et les vannes au plus tard lorsque les valeurs de pression atteintes baissent. 7.2 Liste de contrôle pour les inspections et l’entretien Remarques relatives aux intervalles de maintenance En fonction du processus, les intervalles de maintenance requis peuvent être plus courts que les valeurs indicatives du tableau. ● En cas de charges extrêmes ou de processus spécifiques, consulter Pfeiffer Vacuum Service pour déterminer des intervalles de maintenance plus courts. Maintenance niveau 2 Nous recommandons que Pfeiffer Vacuum Service prenne en charge les opérations de maintenance de niveau 2. Si les intervalles spécifiés sont dépassés ou si l’opération de maintenance est mal réalisée, aucune réclamation de garantie ou de responsabilité ne sera acceptée de la part de Pfeiffer Vacuum. Cela concerne également les pièces autres que les pièces de rechange d’origine. Action Inspection Maintenance niveau 1 Maintenance niveau 3 Intervalle comme nécessaire ; au moins tous les six mois comme nécessaire ; au moins tous les 2 ans comme nécessaire ; au moins tous les 4 ans Contrôler le silencieux à la recherche d'une contamination éventuelle 2) ■ Tester la pompe à vide de façon optique et acoustique ■ Équipement nécessaire Lire et analyser les données de la pompe ■ Nettoyer la pompe à vide ■ Remplacer les membranes et les vannes ■ Kit de révision Remplacer le silencieux 3) ■ Silencieux Exécutez un test de fonctionnement ■ Inspection entrante avec mesure des vibrations ■ Démonter complètement la pompe à vide ■ Nettoyer complètement la pompe à vide ■ 28/46 2) si présent 3) si présent Maintenance Action Inspection Maintenance niveau 1 Maintenance niveau 3 Intervalle comme nécessaire ; au moins tous les six mois comme nécessaire ; au moins tous les 2 ans comme nécessaire ; au moins tous les 4 ans Équipement nécessaire Changer le filtre de lest d’air 4) ■ Filtre Remplacer toutes les pièces d’usure ■ Membranes, vannes, soupapes, joints annulaires, silencieux Tab. 7: 7.3 Intervalles de maintenance Remplacement des membranes et des vannes AVIS Risque de dégâts matériels dus à une installation incorrecte Si les disques d’écartement d’origine sont mal installés, le volume mort peut varier, ce qui affecte le vide final ou endommager les paliers. ► Lors du démontage, les disques d’écartement doivent être séparés selon le lieu de mise en place. ► Réinstallez le même nombre de disques d’écartement d’origine par tête de membrane. 7.3.1 Démontage de la tête de pompe et des clapets Éviter d’intervertir les pièces Toujours monter et démonter une seule tête de pompe à la fois pour éviter d’intervertir les pièces. Les procédures sont identiques pour les deux têtes de pompe. Conditions préalables ● Poignée démontée ● Support assuré pour la pompe à membrane Outillage nécessaire ● Clé plate, WAF 15 ● Clé plate, WAF 16 ● Clé Allen, WAF 4 4) si présent 29/46 Maintenance 1 2 3 4 5 6 7 8 Fig. 7: 1 2 3 4 Tête de pompe et clapets Couvercle de carter 1 Vis à tête cylindrique (6×) Disques de blocage (6×) Clapets (4×) 5 6 7 8 Couvercles de chapeau (2×) Joints annulaires (2×) Vis creuses (2×) Raccord de tuyau Procédure 1. Desserrer les pièces d'assemblage à boulons. 2. Tourner le raccord angulaire au max. d’1/4 de tour dans le sens anti-horaire, jusqu’à ce que le raccord de tuyau puisse être desserré. 3. Desserrer les pièces d'assemblage à boulons. 4. Démonter le raccord de tuyau. 5. Dévisser les vis à tête cylindrique sur le couvercle de carter. 6. Retirer le couvercle de carter. 7. Retirer les couvercles de chapeau, chacun avec ses deux clapets. – Si les clapets adhèrent au couvercle de carter, les décoller avec précaution ; sinon, retirer les clapets des couvercles de chapeau. 7.3.2 Dépose des diaphragmes Condition préalable ● Tête de pompe et clapets démontés Outil nécessaire ● Clé à diaphragme, WAF 46 Pièces détachées requises ● Kit de révision, clé à diaphragme incluse Consommables nécessaires ● Chiffon sec propre ● Alcool ou solvant de nettoyage, si nécessaire 30/46 Maintenance 1 M 2 3 1/2/3 4 5 Fig. 8: Remplacement des membranes 1 Disque de tension 2 Diaphragme 3 Anneau support 4 5 M Disques d’écartement Tête de pompe 2 Clé à diaphragme Dépose des diaphragmes 1. Courbez avec précaution la membrane sur le côté et pendant ce temps, placez la clé à membrane sur l’anneau support. – N'utilisez pas d’outillage à bords coupants. 2. Dévissez l’anneau support, la membrane et le disque de tension. 3. Faites attention aux disques d’écartement sous la membrane. – Réutilisez les disques d’écartement d’origine sur chaque lieu d’installation lors du remontage. 4. Retirez l’anneau support et la membrane sur le carré de la vis de raccordement du disque de tension. – Si la membrane adhère à l’anneau support, décollez la au moyen d’alcool ou d’un solvant de nettoyage. 7.3.3 Installations de la membrane Outillage nécessaire ● Clé à membrane, WAF 46 Pièces détachées requises ● Nécessaire de remise en état, avec clé à membrane Produits consommables requis ● Chiffon sec propre ● Alcool ou solvant de nettoyage, si nécessaire Installation de la membrane 1. Nettoyez toutes les pièces avec un chiffon propre et sec. 2. Remplacez les pièces d’usure (clapets et diaphragmes) par celles du lot de pièces de rechange. 3. Placez la membrane (côté bleu vers le haut) et l’anneau support sur le carré de la vis de raccordement du disque de tension. – Veillez à ce que la membrane soit bien positionnée dans le carré de la vis de raccordement. 4. Placez les disques d’écartement d’origine sur la bielle correspondante. 5. Serrez l’anneau support avec la clé à membrane sur la bielle. 31/46 Maintenance 7.3.4 Montage de la tête de pompe et des clapets Éviter d’intervertir les pièces Toujours monter et démonter une seule tête de pompe à la fois pour éviter d’intervertir les pièces. Les procédures sont identiques pour les deux têtes de pompe. Condition préalable ● Membranes en place Outillage nécessaire ● ● ● ● Clé plate, WAF 15 Clé plate, WAF 16 Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 4 Clé dynamométrique étalonnée (facteur de serrage ≤ 1,6) 2 1 3 Fig. 9: Positionnement correct des clapets dans le couvercle de chapeau 1 Clapet (entrée) 2 Clapet (sortie) 3 Couvercle de chapeau Procédure 1. Introduire les clapets dans le couvercle de chapeau. – Veiller à ce que les clapets soient positionnés correctement. 2. Fixer le couvercle de carter. 3. Commencer par visser à la main et en croix les vis à tête cylindrique sur le couvercle de carter, en alternant les vis. 4. Puis serrer ces vis à tête cylindrique en croix sur le couvercle de carter, en alternant les vis. – Couple de serrage : max. 6,0 ±1 Nm 5. Monter le raccord de tuyau et les vis creuses. 7.4 Contrôle de la pression finale Le taux de fuite sur la pompe à vide garantit l’obtention de la pression finale spécifiée tout en empêchant la formation de mélanges potentiellement explosifs à l’intérieur de la pompe à vide Après remplacement du diaphragme ou de la vanne, la pompe à vide atteint la pression finale spécifiée uniquement après une période de rodage de quelques heures. Valeurs de test Respectez l’instruction de test séparée. ● avec lest d’air : < 3 hPa ● sans lest d’air : < 2,0 hPa Procédure 1. Mesurez la pression finale de la pompe à vide. – après des travaux sur le système, p. ex. la maintenance – avant de remettre en place la pompe à vide 2. Comparez la pression finale mesurée avec les valeurs de test et les spécifications sur la fiche technique. 32/46 Maintenance Conditions préalables ● Pompe à vide montée ● Circuit électrique de la pompe à vide correct Accessoires requis ● Enceinte à vide (3 litres) ● Manomètre ● Tuyère de gaz de balayage (en option) Mesure de la pression finale 1. Raccordez une enceinte à vide (volume d’env. 3 l) à un raccord à vide. 2. Raccordez également un manomètre (p. ex. une jauge Pirani) à l’enceinte à vide, côté vide. 3. Faire fonctionner la pompe à vide pendant au moins 2 heures avec la tuyère de gaz de balayage ouverte (si disponible). 4. En présence de bruits inhabituels, coupez immédiatement la pompe à vide et contrôlez la position des disques de tension. 5. Mesurez la pression finale. Comparaison de la pression limite avec la valeur de test 1. Comparer la pression limite mesurée avec la valeur de test. 2. En cas de différence notable avec les valeurs spécifiées, après remplacement de la membrane et des clapets, et en l’absence d’amélioration après la période de rodage, suivre la procédure suivante : – Vérifier les raccords à vis des tuyaux de raccordement aux têtes de pompe. – Vérifier les sièges de vanne et les chambres d’aspiration. – Recommencer la mesure de la pression limite. 33/46 Démantèlement 8 Démantèlement Avant d’arrêter la pompe à vide, respectez les instructions suivantes pour protéger de manière adéquate l’intérieur de la pompe à vide (chambre d’aspiration) contre la corrosion : Procédure pour les arrêts temporaires de la pompe à vide 1. Laissez la pompe à vide tourner pendant 5 à 10 minutes avec le raccord à vide ouvert afin que tout condensat éventuellement présent soit éliminé de la pompe à vide. 2. Si une substance susceptible de détériorer des matériaux ou de former des dépôts a pénétré dans la pompe à vide, nettoyer l’intérieur des têtes de pompe. Procédure pour les arrêts prolongés de la pompe à vide 1. Débrancher la pompe à vide du circuit de vide. 2. Si nécessaire, retirez la pompe à vide du circuit de vide. 3. Bouchez le raccord à vide avec les bouchons d’obturation d’origine. 4. Stockez la pompe à vide dans un local sec et sans poussière, dans les conditions ambiantes spécifiées. 5. Si la pompe à vide doit être stockée dans un local à l’atmosphère humide ou corrosive, emballezla dans un sac en plastique, avec un produit dessiccateur. 34/46 Recyclage et mise au rebut 9 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. Protection de l'environnement La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et prévenir de la pollution. 9.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Mise au rebut des pompes à diaphragme Les pompes à diaphragme Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. 1. Déconnectez l’unité de commande électronique. 2. Démantelez le moteur. 3. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 4. Séparez les composants en matériaux recyclables. 5. Recyclez les composants non contaminés. 6. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 35/46 Anomalies 10 Anomalies ATTENTION Risque de brûlure sur les surfaces chaudes En cas de panne, la température à la surface de la pompe à vide peut dépasser 105 °C. ► Laisser refroidir la pompe à vide avant d’intervenir dessus. ► Porter si nécessaire des équipements de protection individuelle. AVIS Risque de dégâts matériels dus à une maintenance incorrecte Une intervention non professionnelle sur la pompe à vide peut provoquer des dommages dont Pfeiffer Vacuum n’endossera aucune responsabilité. ► Il est vivement recommandé de profiter de notre offre de formation à la maintenance. ► Pour la commande de pièces de rechange, veuillez spécifier les informations sur la plaque signalétique. En cas de dysfonctionnement, des informations sur les causes possibles et leur résolution sont disponibles ici : Problème Causes possibles Remède La pompe à vide ne démarre pas ● Absence d’alimentation électrique ou tension non conforme aux spécifications du moteur ● Contrôlez la tension d’alimentation. ● Température trop basse de la pompe ● Chauffez la pompe à vide à une température > 12 °C. ● Le dispositif de protection thermique du moteur s’est déclenché ● Déterminez et éliminez la cause du problème et laissez la pompe à vide refroidir si nécessaire. ● Membranes ou clapets sales ● Nettoyez la pompe à vide. ● Surpression dans la conduite d’échappement ● Vérifier la conduite d’échappement et la nettoyer si nécessaire. ● Le dispositif de protection thermique du moteur s’est déclenché ● Déterminez et éliminez la cause du problème et laissez la pompe à vide refroidir si nécessaire. ● Pression d’échappement trop élevée ● Vérifiez que la sortie de la canalisation de refoulement ainsi que les accessoires côté refoulement ne sont pas bouchés. ● Condensats dans la pompe à vide ● Faites tourner la pompe à vide à la pression atmosphérique pendant une période plus longue. ● Tuyère de gaz de balayage ouverte ● Fermez la tuyère de gaz de balayage ● Clapets ou diaphragmes contaminés ● Nettoyez les clapets et les diaphragmes ou remplacez-les si nécessaire. ● Fuite dans le système ● Localisez et éliminez la fuite. ● La conduite d’aspiration n’est pas convenablement dimensionnée ● Vérifiez que les raccordements sont aussi courts que possible et que les sections droites des conduites sont correctement dimensionnées. ● Pression d’échappement trop élevée ● Vérifiez que la sortie de la canalisation de refoulement ainsi que les accessoires côté refoulement ne sont pas bouchés. La pompe à vide s’arrête peu de temps après son démarrage La pompe à vide n’atteint pas la pression limite spécifiée Débit de pompage de la pompe à vide trop faible 36/46 Anomalies Problème Causes possibles Remède Bruits de fonctionnement inhabituels ● Clapets ou membranes défectueux ● Nettoyez les clapets et les diaphragmes ou remplacez-les si nécessaire. ● Chambre d’aspiration sale ● Nettoyez la chambre d’aspiration. ● Clapets sales ou défectueux ● Nettoyez les clapets et les diaphragmes ou remplacez-les si nécessaire. ● Bielle ou paliers du moteur défectueux ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Tab. 8: Dépannage sur les pompes à membrane LED Fig. 10: LED sur la platine LED clignotante Signification 1× Tension d’alimentation < 16 V 2× Tension d’alimentation > 36 V 3× Température supérieure à la normale de l’électronique 4× Pompe bloquée, rotation impossible 5× Erreur de surveillance de la vitesse 6× - 7× Erreur de l’électronique Tab. 9: Affichage à LED des codes d’erreur 37/46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 11 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 38/46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 39/46 Lots de pièces de rechange 12 Lots de pièces de rechange Commande de lots de pièces de rechange ► Notez la référence de commande de la pièce détachée de la pompe à vide, accompagnée d’autres informations de la plaque signalétique si nécessaire. ► Installez uniquement des pièces détachées d’origine. ► Pour commander le kit de révision, indiquez la référence de la pompe à membrane concernée. 1 M 2 3 4 Fig. 11: Pièces de rechange 1 Vannes 2 Membranes 3 Joint annulaire Vis creuse Clé à membrane Lot de pièces de rechange Numéro de commande Pièces incluses Kit de révision, clé à membrane incluse PU E22 034 -T Repère 1 (8×) Repère 2 (4×) Repère M Joint annulaire P 3529 133 -P Repère 3 Vis creuse P 0995 943 Repère 4 Clé à membrane P 0995 941 Repère M Tab. 10: Lots de pièces de rechange Lot de pièces de rechange Référence Pièces incluses Filtre P 0105 405 Filtre de tuyère de gaz de lavage Tab. 11: 40/46 4 M Lot de pièces de rechange tuyère gaz de balayage ACCESSOIRES 13 ACCESSOIRES 13.1 Informations sur les accessoires Unités de courant L’alimentation de tension est fournie par les unités de courant pour une fixation murale et sur rails standards ou pour un montage sur cadre. Câbles et adaptateurs Les câbles secteur, interface, raccordement et rallonge offrent un raccordement sûr et adapté. Autres longueurs disponibles sur demande Raccords de tuyau Raccords de tuyau avec adaptateurs pour le raccordement à une pompe turbomoléculaire Bride mâle filetée Bride mâle filetée, avec joint pour côté aspiration de la pompe à vide Raccordement du gaz de balayage Prévient la formation d’humidité dans la pompe à vide 13.2 Commande d’accessoires Champ de sélection Numéro de commande TPS 180, unité de courant pour installation murale/sur rail standard PM 061 341 -T Fixation de rail mural pour TPS 110/180/310/400 PM 061 392 -T Câble de raccordement TPS – MVP PM 061 441 -T Câble de commande, TC 110/120 – Pompe à membrane, 0,5 m PM 061 433 -X Tuyau DN 6 ; (ø 8/6 mm) polyéthylène P 0991 939 Raccord de tuyau DN 6 x 400 mm avec raccord droit à filetage 1/8 po. et filetage 1/4 po., joint inclus P 0920 739 E Raccord de tuyau DN 6 x 1000 mm avec raccord droit à filetage 1/8 po. et filetage 1/4 po., joint inclus P 0920 817 E Raccord rapide filetage 1/8 po. joint pour raccord de tuyau (8/6 mm) inclus P 4131 029 G Bride mâle filetée DN 16 ISO-KF/filetage 1/8 po, joint inclus PK 050 108 -T Tuyère de gaz de lavage avec filtre pour MVP 020-3/ MVP 030-3 PK 050 304 -U Tab. 12: Accessoires 41/46 Caractéristiques techniques et dimensions 14 Caractéristiques techniques et dimensions 14.1 Généralités Fondement des données techniques des pompes à membrane Pfeiffer Vacuum : ● Spécifications selon la commission PNEUROP PN5 ● ISO 21360:2012 : « Technique du vide - Méthodes normalisées pour mesurer les performances des pompes à vide - Description générale » Les normes harmonisées suivantes sont respectées : ● CEI 61010-1 ● UL 61010-1 ● CSA 61010-1 mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 0,75 mbar 1 1 · 10 100 1 0,1 bar 1,000 1 1 · 105 1,000 100 Pa 0,01 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 hPa 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 133,32 1,33 0,133 1 -3 -5 -3 1,33 · 10 1 Pa = 1 N/m Tab. 13: 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s mbar l/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 Pa m3/s 10 1 592 7,5 sccm 3 atm cm /s Tab. 14: 9,87 1.69 · 10 1 1,27 · 10 1.67 · 10-2 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 1.69 · 10 Torr l/s -2 -3 -2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 14.2 Fiche technique Classification MVP 020-3 DC Numéro de commande PK T01 198 Nombre d'étages de pompage 4 Bride de raccordement (entrée) G 1/8" Bride de raccordement (sortie) Filetage 1/8 po. Classe de débit 1.2 m3/h Pression limite sans lest d'air 2 hPa Pression limite avec lest d'air 3 hPa Lest d'air 42/46 750 -3 Pression d'entrée 1100 hPa Pression d'échappement, max. 1100 hPa Taux de fuite intégral 1 · 10-2 Pa m³/s Tension de service : CC 24 V Tension d'entrée : tolérance ±10 % Consommation de courant nominale 3,5 A Courant max. 5,5 A Caractéristiques techniques et dimensions Classification MVP 020-3 DC Numéro de commande PK T01 198 Vitesse de rotation 300 – 1 500 rpm Niveau de la pression acoustique 45 dB(A) Type de moteur Moteur CC Type de refroidissement Refroidi par convection Altitude de fonctionnement, max. 2000 m Type de protection IP20, NEMA Type 1 (acc. to UL 50E) Température ambiante 10 – 40 °C Température : stockage -10 – 60 °C Degré de pollution 2 Poids 4,3 kg Tab. 15: 14.3 Fiche technique, MVP 020-3 DC Matériaux en contact avec la substance Pièces de la pompe Matériaux en contact avec la substance Couvercle de carter I Alliage d’aluminium (AlMgSi) Couvercle de chapeau Alliage d’aluminium (AlMgSi) Rondelle de serrage de la membrane Alliage d’aluminium (AlMgSi) Diaphragme FPM, recouverte de PTFE Clapets FPM Admission Alliage d’aluminium (AlMgSi) Sortie Aluminium / caoutchouc silicone Raccords filetés de tuyau flexible Aluminium anodisé Tuyau flexible Polyéthylène (PE), hautement entrecroisé Tab. 16: Matériaux entrant en contact avec la substance du procédé 14.4 Dimensions 59 163 117 143 145 126 223 Fig. 12: 35 G 1/8'' 22 10 149 217 G 1/8'' Dimensions MVP 020-3 DC Dimensions en mm 43/46 Déclaration de conformité Déclaration pour produit(s) du type : Pompe à membrane MVP 020-3 DC Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Machines 2006/42/CE (Annexe II, n° 1 A) Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN ISO 12100:2011 DIN EN IEC 63000:2019 DIN EN 1012-2:2011 DIN EN 61010-1:2011 DIN EN 61326-1:2013 IEC 61010-1:2010 (Ed. 3) Le représentant habilité à constituer la documentation technique est M. Wolfgang Bremer, Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, 35614 Asslar, Allemagne. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2019-08-27 45/46 *PU0079* ed. C - Date 2011 - P/N:PU0079BFR ">
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