MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original QMA 4X0 Analyseur quadrupolaire pour QMG 700 HiQuad® Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvel analyseur quadrupolaire vous aidera pour votre application spécifique grâce à ses performances et à son bon fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de technique du vide performante, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l’utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de. Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/58 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque de commerce 8 8 8 8 8 9 9 9 9 9 10 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Utilisation conforme 2.5 Utilisations non conformes prévisibles 2.6 Responsabilité et garantie 2.7 Conditions propriétaire 2.8 Qualification personnelle 2.8.1 Garantir la qualification du personnel 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 2.9 Conditions opérateur 11 11 11 13 14 14 14 14 14 15 15 15 16 3 Description du produit 3.1 Structure 3.2 Sources d’ions 3.2.1 Source d’ions axiale 3.2.2 Source d’ions à faisceau croisé 3.2.3 Source d’ions à grille 3.3 Filtre de masse 3.3.1 QMA 430 3.3.2 QMA 400 3.3.3 QMA 410 3.4 Multiplicateur d’électrons secondaire 3.4.1 SEV 217 3.4.2 Détection des ions négatifs 3.4.3 SEV 218 3.5 Aperçu des variantes 3.5.1 Matières de la cathode 3.5.2 Aimant de collimation électronique 3.5.3 Déviation 90° 3.5.4 Déviation de 90° avec tension de déviation 3.5.5 Seau de Faraday 3.5.6 QMA à anneaux de vide 3.6 Identification du produit 3.7 Étendue de la livraison 17 17 18 18 19 21 23 23 23 23 23 23 24 24 24 24 25 25 25 25 25 26 26 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 27 27 27 5 Installation 5.1 Préparation de l’analyseur pour l’installation 28 28 3/58 Table des matières 5.2 5.3 5.4 5.5 5.6 5.7 5.8 4/58 5.1.1 Choix de l’orientation de montage 5.1.2 Préparation du système d’admission de gaz 5.1.3 Installation de la plaque de support 5.1.4 Utilisation du pont sur chevalets d’assemblage 5.1.5 Dépose de la protection pour le transport 5.1.6 Dépose du tube protecteur 5.1.7 Installation des aimants de collimation électronique Installation de l’analyseur Raccordement du système d’admission de gaz Installation du générateur HF QMH 40x Installation du pré-amplificateur électromètre EP 422 sur l’analyseur Dépose/installation de la plaque de raccord SEM Montage du contre pré-amplificateur ions CP 400 Raccordement des câbles des composants 28 29 29 30 30 31 32 33 34 34 34 34 36 36 6 Mise en service 37 7 Utilisation 7.1 Ajustement de la source d’ions 7.1.1 Ajustement de la source d’ions axiale 7.1.2 Ajustement de la source d’ions croisés 7.1.3 Ajustement de la source d’ions à grille 7.2 Fonctionnement de l’analyseur à haute température 7.3 Dépose/installation des plaques de raccord 7.4 Étuvage de l’analyseur 7.5 Évaluation de la sensibilité 7.6 Multiplicateur d’électrons secondaire (SEM) 7.7 Ions de surface 7.8 Utilisation de la fonction de dégazage 7.9 Détermination des valeurs optimales pour les paramètres 7.9.1 Sélection des modes de fonctionnement recommandés 7.9.2 Optimisation avec gaz-test 7.9.3 Configuration du paramètre de source d’ions « Émission » 7.9.4 Configuration du paramètre de source d’ions « Courant de protection » 7.9.5 Configuration du paramètre de source d’ions « V1 Référence Ion » 7.9.6 Configuration du paramètre de source d’ions « Cathode V2 » 7.9.7 Configuration du paramètre de source d’ions « V3 Focalisation » 7.9.8 Configuration du paramètre de source d’ions « V4 Axe de champ » 7.9.9 Configuration du paramètre de source d’ions « V5 Extraction » 7.9.10Configuration du paramètre de source d’ions « V6/ V7 Déviation interne » 7.9.11Configuration du paramètre de source d’ions « V8 Réserve » 7.9.12Configuration du paramètre de source d’ions « V9 Wehnelt » 7.9.13Réglage de la résolution 7.9.14Adaptation de la polarité du câble HF 38 38 38 38 39 39 39 40 40 40 41 41 41 42 43 43 43 8 Expédition 47 9 Recyclage et mise au rebut 9.1 Informations générales sur la mise au rebut 9.2 Élimination du système du spectromètre de masse 48 48 48 10 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 49 11 Informations de commande 11.1 Commande de pièces 11.2 Commande de pièces de rechange 51 51 51 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Fiche technique 52 52 43 44 44 44 45 45 46 46 46 46 Table des matières 12.2 Dimensions 53 Déclaration de conformité CE 55 Déclaration de Conformité UK 56 5/58 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: 6/58 Documents applicables Abréviations utilisées Valeurs typiques de la source d’ions axiale Valeurs typiques de la source d’ions à faisceau croisé Valeurs typiques de la source d’ions à grille Pièces de rechange pour QMA 4x0 Fiche technique Dimensions Dimensions des sources d’ions 8 10 19 21 22 51 53 54 54 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: Fig. 15: Fig. 16: Fig. 17: Fig. 18: Fig. 19: Fig. 20: Fig. 21: Fig. 22: Fig. 23: QMA avec SEM à décalage axial de 90° Arrangement électrode et courbe de potentiel de la source d’ions axiale Arrangement électrode et courbe de potentiel de la source d’ions à faisceau croisé Arrangement électrode et courbe de potentiel de la source d’ions à grille SEV 217 Détection des ions négatifs SEV 218 Déviation de 90° avec tension de déviation Alignement correct de la bride du QMA avec la source d’ions C/B Installation de la plaque de support Analyseur sur le pont sur chevalets d’assemblage Dépose de la protection pour le transport Dépose du tube protecteur Installation des aimants de collimation électronique Maintien à la verticale du joint à l’aide de la lame de couteau Tube protecteur Plaque de raccord SEM Plaques de raccord Paramètres par défaut du programme de réglage de la source d’ions du logiciel Quadera Paramètres optimisés de la source d’ions pour le spectre avec azote et oxygène, en utilisant un CB-IQ comme exemple Pics érodés Réduction de la valeur « Axe de champ » Dimensions 17 19 21 22 23 24 24 25 29 29 30 31 31 32 33 35 35 39 42 42 45 45 53 7/58 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Manuel de l’utilisateur pour « HiQuad » QMG 700 BG 5400 Manuel de l’utilisateur pour pré-amplificateur électromètre EP 422 Manuel de l’utilisateur pour pré-amplificateur compteur d’ions CP 400 BG 5812 Manuel de l’utilisateur pour module entrée/sortie IO 720 BG 5402 Manuel de l’utilisateur pour générateur haute fréquence QMH 4x0-x BG 5982 Documentation du logiciel QUADERA Un composant du logiciel Déclaration de conformité Un composant de ce manuel de l’utilisateur Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document s’applique à tous les produits avec les références suivantes : Référence Désignation PT M07 xxx QMA 400 PT M08 xxx QMA 410 PT M09 xxx QMA 430 Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire. 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 8/58 A propos de ce manuel 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans le document représentent des informations utiles. Remarque Conseil 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leurs significations. Plaque signalétique La plaque signalétique est située sur le côté de l’unité. D-35614 Asslar Mod. P/N S/N Input 1.3.4 QMA 4x0 PT M0x xxx ... ... Made in United States 2022/08 Abréviations Abréviation Explication CB Faisceau croisé CD Dynode de conversion EID Désorption par impact électronique IQ Source d’ions MSL Niveau moyen de la mer OFHC Haute conductivité thermique sans oxygène SEM Multiplicateur d’électrons secondaire SEM Multiplicateur d’électrons secondaire W Tungstène 9/58 A propos de ce manuel Abréviation Explication XHV Vide ultra-élevé extrême YOx-Ir Iridium yttrié Tab. 2: 1.4 Abréviations utilisées Justificatif de marque de commerce ● HiQuad® est une marque déposée de Pfeiffer Vacuum GmbH. ● QUADERA ® est une marque déposée de Inficon GmbH. 10/58 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. 11/58 Sécurité Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dangereux au toucher. La tension électrique représente un danger mortel. ► Protégez les pièces installées, les unités raccordées et les lignes contre les connexions galvaniques, les éclats ou le flux porteur de charge. ► Assurez-vous que l’enceinte à vide, le QMA et l’appareillage complet ont toujours une connexion correcte à la terre protectrice. ► Fournissez une protection supplémentaire si l’utilisateur risque de toucher l’analyseur quand le système de vide est ouvert. ► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés. ► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système (par exemple, en utilisant un contact de porte). DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions de l’IS 716 et les tensions auxiliaires BIAS, TARGET et EXTR sont mortelles. ► Observez la fiche technique de l’IS 716. ► Utilisez seulement des câbles de fabrication professionnelle. DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les tensions sous les plaques de raccordement sont mortelles. Le fonctionnement est interdit si les tubes protecteurs ont été retirés. ► Réinstallez tous les tubes protecteurs qui ont été retirés avant de raccorder les câbles. ► Faites attention aux informations complémentaires dans les chapitres correspondants pour des sources d’ions spéciales. Risques pendant le fonctionnement ATTENTION Risques sanitaires et environnementaux dus aux de gaz de procédé utilisés Les gaz utilisés (gaz de procédé) constituent un risque sanitaire et environnemental. ► Contrôler l'étanchéité des branchements avant de laisser le gaz de procédé pénétrer dans le système. ► Veiller à ce que le système des gaz d'échappement soit compatible avec les gaz injectés. ► Tenir compte des interactions potentielles entre les matériaux et les gaz de procédé. ► Respecter les directives en vigueur lors de la manipulation de gaz utilisés. ► Respecter les mesures de protection. Risques pendant la maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 12/58 Sécurité Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 13/58 Sécurité 2.4 Utilisation conforme Le système de spectromètre de masse quadripole QMG 700 HiQuad est utilisé pour l’analyse de gaz dans la gamme de vide élevé. ► L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur. ► Se conformer aux limites d’utilisation. ► Observer la fiche technique. 2.5 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● ● ● ● ● ● 2.6 Utilisation en dehors des limites prescrites dans la fiche technique Utilisation pour des mesures déterminant la sécurité de personnes ou de grandes valeurs Utilisation avec des substances corrosives ou explosives Utilisation en extérieur Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu ● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante ● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit correspondante L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé. 2.7 Conditions propriétaire Travailler en toute sécurité 1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique. 2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers qu'il implique. 3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies : – Utilisation conforme – Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents – Normes et directives applicables au niveau local, national et international – Directives et régulations supplémentaires relatives au produit 4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum. 5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit. 6. Garantir la qualification du personnel. 2.8 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 14/58 Sécurité 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 2.8.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 15/58 Sécurité 2.9 Conditions opérateur Analyse des documents et données concernés 1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements. 2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur. 3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents. 4. Se conformer aux limites d’utilisation. 5. Observer la fiche technique. 6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center. – Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum. 16/58 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Structure Un analyseur quadrupolaire est constitué de : ● ● ● ● Source d’ions Filtre de masse avec tiges quadripolaires Détection d’ions (SEM et unité de déviation avec Faraday, ou seulement Faraday) Enveloppe protectrice avec brides La haute précision mécanique et l’optimisation de l’unité optique ionique de la source d’ions et du système à tiges permettent aux analyseurs d’atteindre une résolution élevée, une haute transmission et une faible discrimination de masse. La bonne résolution et le domaine de masse élevé sont des conditions préalables nécessaires pour l’utilisation de dispositifs permettant de résoudre des problèmes de mesure analytique. Les différentes versions avec un seau de Faraday ou avec un SEM à décalage axial de 90° et un seau de Faraday, ainsi que la large sélection de sources d’ions, permettent un ajustage optimal sur le problème de mesure correspondant. Grâce à la construction ouverte et au faible taux de dégazage des analyseurs, qui sont conçus comme des systèmes d’immersion, des analyses exactes de la pression partielle, du vide élevé au vide ultra-élevé extrême (XHV) sont possibles. 1 4 2 1.1 1.2 3 7 5 1.3 6 1.4 1.5 3 8 4 Fig. 1: 1 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 2 QMA avec SEM à décalage axial de 90° Source d’ions (variantes) Axial Faisceau croisé (CB) Faisceau croisé (étanche au gaz) Faisceau croisé (étanche au gaz, avec 2 alimentations en gaz) Grille Filtre de masse 3 4 5 6 7 8 Bride de raccordement Seau de Faraday SEM Enveloppe protectrice Unité de déviation QMA avec seau de Faraday 17/58 Description du produit 3.2 Sources d’ions L’ionisation est obtenue par impact ionique. Sous l’effet de l’émission thermique, les électrons quittent un câble chauffé et sont ensuite focalisés par des champs d’attraction vers la zone d’ionisation. Le procédé d’ionisation est le facteur le plus décisif pour la qualité de toute l’analyse. Toute erreur à ce niveau du procédé est pratiquement impossible à corriger totalement au cours des étapes suivantes. Le choix d’une source d’ions correcte est crucial. Les sources d’ions fermées (étanches au gaz) permettent d’analyser le gaz avec une contribution minimale du vide résiduel. Leur démixtion est pratiquement inexistante, le rapport du signal à la masse est élevé, la consommation de gaz est basse et la constante de temps est faible. 3.2.1 Source d’ions axiale En focalisant les ions dans la direction axiale, la source d’ions axiale fournit des ions avec une distribution énergétique étroite et un petit composant vitesse transversalement à l’axe. Ceci permet d’obtenir une excellente résolution, une haute sensibilité et une bonne linéarité. La construction ouverte permet d’enregistrer des changements rapides dans la pression partielle, avec une distorsion minimum liée à l’auto-dégazage et aux réactions des surfaces. Filament standard W, avec YOx-Ir sont aussi disponibles. Exemples d’applications ● Analyse de gaz générale ● Analyse de gaz résiduels ● Mesures de désorption Fonction Les électrons émis par la cathode sont accélérés vers la grille de la zone d’ionisation. L’électrode Wehnelt qui est négative par rapport à la cathode permet de focaliser les électrons. La plupart des électrons passent par la grille et atteignent la lentille (focalisation) ou retournent vers la grille. Les ions produits par l’impact électronique sont attirés par la focalisation et l’orifice d’entrée et focalisés vers le filtre de masse. La grille évite l’attraction des ions en direction de la cathode. Le potentiel d’axe de champ qui est inférieur de quelques volts au potentiel de la zone d’ionisation ; les ions de la zone d’ionisation pénètrent ainsi principalement dans le filtre de masse. Les ions émis en-dehors de la zone d’ionisation ont une énergie cinétique inférieure quand ils entrent dans le filtre de masse. Ils restent donc beaucoup plus longtemps dans le filtre de masse. La séparation des ces ions est presque complète. Dégazage Le dégazage permet de réduire le taux de dégazage de la source d’ions axiale. ● Pression : ≤ 10-8 hPa ● Émission : ≤ 10 mA (à 550 V) ● Durée : ≤ 5 minutes 18/58 Description du produit 4 6 V1 V9 V2 100 V 0 5 V4 3 V3 1 2 Fig. 2: Arrangement électrode et courbe de potentiel de la source d’ions axiale 1 Cathode 2 Wehnelt 3 Zone d’ionisation 4 5 6 Focalisation Orifice d’entrée Système à tiges Émission V1 Référence Ion 90 V V2 Cathode 70 eV 2) V3 Focalisation 20 V V4 Axe de champ 10 V 3) V6 Déviation interne 300 V V9 Wehnelt 30 V (max. 40) Courant de protection W YOx-Ir 4,2 A 3,5 A Tab. 3: 3.2.2 1 mA 1) Valeurs typiques de la source d’ions axiale Source d’ions à faisceau croisé La construction ouverte de la source d’ions à faisceau croisé permet une réaction rapide aux changements dans la composition du gaz. Sa durée de vie est élevée et elle est équipée de deux filaments. La source d’ions à faisceau croisé permet un passage direct des faisceaux moléculaires perpendiculairement et parallèlement à l’axe système. Filament standard W, avec YOx-Ir sont aussi disponibles. Versions étanches au gaz Dans le cas de sources d’ions à faisceau croisé étanches au gaz, la zone d’ionisation est scellée. La conductance vers l’enceinte à vide est d’environ 1 l/s. Sélection de la pression de fonctionnement pour les versions étanches au gaz ► Sélectionnez une pression de fonctionnement <10-6 hPa dans l’enceinte à vide. 1) À p > 5 × 10-6 hPa, réduisez à 0,1 mA. 2) Avant de réduire V2 à < 50 eV, réduisez « Émission » à 0,1 mA et V9 à < 20 V pour éviter une surcharge de la cathode. 3) 5 V au domaine de masse 1024 ou 2048 19/58 Description du produit Exemples d’applications ● Analyse de faisceaux de particules et analyse de gaz générale ● Analyses de gaz qualitatives et quantitatives (composition et écoulement du temps) ● Analyse des gaz corrosifs et réactifs (avec des accessoires spéciaux) ● Détection de la contamination dans les gaz ● Mesure des isotopes ● Analyse de gaz résiduels sur les procédés sous vide (par exemple, décapage plasma) ● Surveillance/contrôle de procédé (par exemple, contrôle à boucle fermée de composition de gaz ou de sources d’évaporation) ● Applications à faisceau moléculaire Grâce à leur consommation de gaz minimale, à la faible démixtion et à la faible constante de temps, les versions étanches au gaz sont particulièrement appropriées pour : ● ● ● ● ● Mesure des gaz et des solvants dans les fluides Analyse de la respiration Analyse de mélanges de gaz Détection de traces grâce à la réduction de l’influence du gaz résiduel Gaz toxiques ou corrosifs Fonction Les électrons émis par la cathode et focalisés par le Wehnelt raccordé sur la cathode pénètrent dans la zone d’ionisation par un interstice et perpendiculairement à l’axe du système. Dans la zone d’ionisation, les électrons ionisent le gaz. Les ions sont attirés par l’électrode d’extraction et focalisés dans le filtre de masse par la lentille ionique (focalisation). Le faisceau d’électrons, le faisceau de particules (quand un faisceau moléculaire est admis) et l’extraction des ions sont respectivement perpendiculaires les uns par rapport aux autres. Le potentiel d’axe de champ , qui est inférieur de quelques volts au potentiel de la zone d’ionisation, focalise principalement les ions de la zone d’ionisation dans le filtre de masse. Dégazage Le dégazage de la source d’ions à faisceau croisé est seulement recommandé dans des cas exceptionnels. ● Pression : ≤ 10-8 hPa ● Émission : ≤ 10 mA (à 550 V) ● Durée : ≤ 5 minutes 20/58 Description du produit 4 5 6 7 8 V4 1 2 3 V2 V1 V3 100 V V5 0 -100 V Fig. 3: 1 2 3 4 Arrangement électrode et courbe de potentiel de la source d’ions à faisceau croisé Wehnelt Cathode Zone d’ionisation Extraction 5 6 7 8 Plaque de base Focalisation Orifice d’entrée Système à tiges Émission V1 Référence Ion 90 V V2 Cathode 70 eV 5) V3 Focalisation 20 V V4 Axe de champ 15 V V5 Extraction 250 V V6 Déviation interne 300 V Courant de protection W YOx-Ir 4,2 A 3,5 A Tab. 4: 3.2.3 1 mA 4) Valeurs typiques de la source d’ions à faisceau croisé Source d’ions à grille La source d’ions à grille a une construction très ouverte, un taux de dégazage extrêmement faible et peut être facilement dégazée. Elle émet seulement quelques ions de surface. Elle est toujours équipée de deux filaments en tungstène. Exemples d’applications ● Analyse de gaz résiduels dans UHV ● Mesures de désorption Fonction Les deux électrons qui sont émis par la cathode annulaire sont accélérés vers la grille et passent principalement par la grille. Les ions formés à l’intérieur de la grille sont attirés par le filtre de masse via l’orifi- 4) Avec aimant 0,7 mA / À p > 5 × 10-6 hPa, réduisez à 0,1 mA. 5) Avant de réduire V2 à < 50 eV, réduisez « Émission » à 0,1 mA et V9 à < 20 V pour éviter une surcharge de la cathode. 21/58 Description du produit ce d’entrée mis à la terre. La cathode est raccordée au milieu ; chaque moitié de celle-ci peut ainsi fonctionner séparément. Dégazage Avec la fonction de dégazage, le taux de dégazage de la source d’ions à grille et de la désorption des ions de surface est réduit. ● Pression : ≤ 10-7 hPa ● Émission : ≤ 20 mA (à 550 V) ● Durée : 10–15 minutes Recommandations de dégazage pour la source d’ions à grille 1. Effectuez un dégazage pendant 10 – 15 minutes. 2. Attendez la pression limite. 3. Contrôlez le spectre. 4. Si nécessaire, répétez l’opération. 2 4 3 V4 1 V1 V2 100 V 0 Fig. 4: Arrangement électrode et courbe de potentiel de la source d’ions à grille 1 Grille 2 Cathode 3 4 Orifice d’entrée Système à tiges Émission V1 Référence Ion 120 V V2 Cathode 100 eV 7) V4 Axe de champ 10 V V6 Déviation interne 200 V Courant de protection W YOx-Ir 4,2 A 3,5 A Tab. 5: 22/58 2 mA 6) Valeurs typiques de la source d’ions à grille 6) À p > 5 × 10-6 hPa, réduisez à 0,2 mA. 7) Avant de réduire V2 à < 50 eV, réduisez « Émission » à 0,1 mA et V9 à < 20 V pour éviter une surcharge de la cathode. Description du produit 3.3 Filtre de masse Une sélection correcte de la matière et des méthodes de fabrication hautement précises garantissent un haut degré de linéarité et de reproductibilité. 3.3.1 QMA 430 Le système à tiges de 8 mm en acier inoxydable peut être utilisé jusqu’à un numéro de masse de 300. 3.3.2 QMA 400 Pour des domaines de masse plus élevés ainsi que pour une stabilité et une reproductibilité optimales, on utilise des tiges en molybdène de 8 mm en raison des propriétés électriques et thermiques supérieures de cette matière. 3.3.3 QMA 410 Le QMA 410 est pourvu de tiges en molybdène d’un diamètre de 16 mm. À fréquence égale, la transmission augmente avec l’accroissement du diamètre des tiges, mais le domaine de masse diminue. L’impact des ions filtrés sur les surfaces des tiges est réduit, ce qui diminue le risque de contamination. 3.4 Multiplicateur d’électrons secondaire Le multiplicateur constitué de 17 étages discrets avec une géométrie de dynode de focalisation est un amplificateur rapide de courant d’ions qui est situé entre le filtre de masse et le pré-amplificateur électromètre. Grâce à sa haute amplification, le pré-amplificateur électromètre en aval peut fonctionner avec une amplification plus faible ; de ce fait, les constantes de temps sont plus petites, ce qui rend possible la mesure de signaux rapides avec une faible intensité. 3.4.1 SEV 217 En fonctionnement normal, avec une haute tension négative sur HV- et la masse sur HV+ du multiplicateur d’électrons secondaire SEV 217, le SEV 217 détecte des ions positifs. Le paramètre « Tension SEM » pour la tension de fonctionnement SEM détermine l’amplification et est simultanément l’énergie de post-accélération des ions. EP 422 EP HV- 0...-3.5kV HV+ - HV 701 + HV 702 Fig. 5: SEV 217 23/58 Description du produit 3.4.2 Détection des ions négatifs CP 400 HV- 0...-3.5kV +3.1kV Fig. 6: HV+ + HV 702 Détection des ions négatifs Procédé ► Avec HV 702, appliquez +3,1 kV sur la première dynode (HV-) pour la détection des ions négatifs (-3,1 kV pour les ions positifs). – L’extrémité positive (HV+) est ainsi raccordée sur 6,6 kV au maximum. ► Utilisez le compteur d’ions CP 400 au lieu du pré-amplificateur électromètre EP 422. – Avec le compteur, vous pouvez détecter entre 1 impulsion toutes les 10 secondes (ce qui est équivalent à un courant d’ions de 10-20 A) et 107 impulsions par seconde. Dans ce cas, l’énergie de post-accélération est indépendante de la tension de fonctionnement et donc de l’amplification réglée. 3.4.3 SEV 218 Le SEV 218 correspond au SEV 217, avec en plus une dynode de conversion qui est séparée de la chaîne dynode. Cette dynode de conversion est raccordée à une source haute tension fixe qui est séparée de la tension de fonctionnement du SEM (-6,3 kV du connecteur CD du HV 702). La post-accélération est ainsi indépendante de l’amplification réglée. La post-accélération élevée réduit significativement la discrimination de masse pendant la conversion. D’autres désavantages apparaissent aussi pendant les mesures de rapport (par exemple, isotopes) avec des dynamiques élevées. EP 422 EP CD HV- 0...-3.5kV HV+ - HV 702 + ...-6.3kV Fig. 7: CD SEV 218 3.5 Aperçu des variantes 3.5.1 Matières de la cathode Le tungstène (W) est la matière standard de cathode. Grâce à la pression de vapeur très basse, il convient particulièrement bien aux applications UHV. Cependant, à des concentrations de carbone élevées, le tungstène forme des carbures dans le mélange de gaz à mesurer, ce qui entraîne des conditions d’émission instables (cycle CO2). L’iridium yttrié (YOx-Ir) est relativement insensible à l’arrivée d’air, car l’iridium ne forme pas d’oxydes. La température d’émission des cathodes d’oxyde est plus basse que celle du tungstène. Les réactions avec les gaz résiduels sont plus faibles, car la température de la source d’ions reste basse. Le risque 24/58 Description du produit de contamination peut être plus élevé quand des substances avec une faible pression de vapeur sont admises. Sélection de la matière des cathodes ► Équipez la source d’ions avec des cathodes (filaments) dont la matière est la plus appropriée pour l’application correspondante. – Toutes les matières ne sont pas disponibles pour tous les types de sources d’ions. 3.5.2 Aimant de collimation électronique Pfeiffer Vacuum recommande d’équiper la source d’ions à faisceau croisé avec une unité magnétique pour les applications dans les domaines de masse élevés, pour la détection de faisceaux moléculaires et dans le QMA 410 pour la séparation He et D2. L’aimant augmente le parcours réel des électrons, et donc le rayonnement ionique. Il en résulte une sensibilité plus élevée et de meilleures conditions d’injection. De plus, l’aimant évite à la majorité des électrons d’entrer en collision avec des emplacements dans la zone de formation qui sont moins critiques concernant les optiques ioniques. Cependant, la linéarité (signal de mesure par rapport à la pression) est réduite. Étuvage des analyseurs avec aimants intégrés ► Chauffez les analyseurs avec des aimants intégrés jusqu’à 300 °C max. 3.5.3 Déviation 90° L’arrangement à décalage axial de 90° a un fond de signal très faible, car la déviation 90° électrostatique permet d’éviter que les neutres et les photons rapides ou excités n’impactent sur le SEM. 3.5.4 Déviation de 90° avec tension de déviation La plaque de déviation interne est sur le potentiel V6 « Déviation », la plaque de déviation externe est directement raccordées au seau de Faraday et au pré-amplificateur électromètre EP1 et est donc sur le potentiel de terre. En l’absence d’EP1, utilisez une prise court-circuit. 1 2 EP1 SEV V6 Deflection EP2 Fig. 8: Déviation de 90° avec tension de déviation 1 Unité de déviation 3.5.5 2 Seau de Faraday Seau de Faraday Le fonctionnement à seau de Faraday (QMA avec Faraday ou types SEM fonctionnant en mode Faraday) réduit les erreurs systématiques de conversion du SEM (par exemple, discrimination de masse). Le fonctionnement Faraday peut aussi être utilisé pour le diagnostic d’anomalies. Le désavantage est la sensibilité qui est plus faible, ce qui nécessite une amplification plus élevée, et donc une limitation de la vitesse de réponse. 3.5.6 QMA à anneaux de vide Le QMA à source d’ions à anneaux de vide a une libération automatique de gaz très faible et un taux de désorption très bas (<10-10 hPa l/s). 25/58 Description du produit 3.6 Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. 3.7 Étendue de la livraison ● Analyseur QMA ● Journal de test Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée. 26/58 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transporter le produit en toute sécurité ► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant l’installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Stocker le produit en toute sécurité ► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine. ► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenez la température d’entreposage admissible. ► Évitez les fortes variations de températures ambiantes. ► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air. ► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles). 27/58 Installation 5 Installation 5.1 Préparation de l’analyseur pour l’installation DANGER Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dangereux au toucher. La tension électrique représente un danger mortel. ► Protégez les pièces installées, les unités raccordées et les lignes contre les connexions galvaniques, les éclats ou le flux porteur de charge. ► Assurez-vous que l’enceinte à vide, le QMA et l’appareillage complet ont toujours une connexion correcte à la terre protectrice. ► Fournissez une protection supplémentaire si l’utilisateur risque de toucher l’analyseur quand le système de vide est ouvert. ► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés. ► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système (par exemple, en utilisant un contact de porte). AVIS Endommagement de l'analyseur causé par des tensions et des champs magnétiques externes N’exposez jamais le système d'électrodes de l'analyseur à des tensions externes dangereuses en cas de contact, provenant de connexions galvaniques, d'un contact, d’un éclat, de faisceau d'électrons ou d'ions, etc. Si des sources dangereuses de ce type existent dans l’enceinte à vide, vous devez fournir des mesures protectrices qui éliminent en toute sécurité ces influences. Des tensions externes, même faibles, sur l'analyseur vont endommager l'électronique et entraîner des résultats de mesure inexacts. ► Prenez des mesures protectrices efficaces contre les tensions externes (par exemple, meilleure disposition, blindage, prise de terre, etc.). ► Ne montez pas l’analyseur à côté de champs magnétiques de > 0,2 mT. ► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés. ► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système (par exemple, en utilisant un contact de porte). ► Observez les standards applicables au système de vide. 5.1.1 Choix de l’orientation de montage Dans de nombreux cas, l’orientation de montage de l’analyseur n’a pas d’effet sur son fonctionnement. La position de la source d’ions doit correspondre à la tâche analytique. Par exemple, une mesure fiable du gaz résiduel est impossible avec un seul tube de raccordement à faible coupe transversale entre l’analyseur et la chambre de mesure. Procédé ► Choisissez une orientation de montage permettant de bien arranger le générateur haute fréquence QMH et les câbles. 28/58 Installation 5.1.2 Préparation du système d’admission de gaz Fig. 9: Alignement correct de la bride du QMA avec la source d’ions C/B Procédé ► Préparez le système d’admission de gaz de manière à pouvoir facilement le raccorder plus tard à la source d’ions. ► Marquez l’alignement correct (direction de la flèche) sur la bride du QMA et du système si la source d’ions à faisceau croisé doit être alignée sur l’alimentation de gaz. 5.1.3 Installation de la plaque de support Outils nécessaires ● Tournevis, nº 6 1 2 Fig. 10: Installation de la plaque de support 1 Vis de fixation de côté 2 Support Procédé 1. Placez l’analyseur sur le bord de la table. 2. Utilisez le tournevis pour desserrer la vis de fixation de côté sur la plaque de support. 3. Poussez la plaque de support sur la bride de l’analyseur. 4. Alignez la plaque de support de manière à pouvoir facilement maintenir l’analyseur pour le guider dans le système de vide avec l’orientation correcte. 5. Serrez la vis de fixation avec le tournevis. 29/58 Installation 5.1.4 Utilisation du pont sur chevalets d’assemblage 1 2 3 Fig. 11: Analyseur sur le pont sur chevalets d’assemblage 1 Analyseur 2 Support 3 Pont sur chevalets d’assemblage Procédé 1. Fixez avec des pinces le pont sur chevalets d’assemblage sur une table stable. 2. Placez l’analyseur avec le support sur le pont sur chevalets d’assemblage. 5.1.5 Dépose de la protection pour le transport AVIS Défaillance liée à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. 30/58 Installation 1 2 3 Fig. 12: Dépose de la protection pour le transport 1 Protection pour le transport 2 Filtre de masse 3 Enveloppe protectrice de l’analyseur Procédé 1. Retirez avec précaution la protection pour le transport et rangez-la pour une utilisation ultérieure. 2. Contrôlez les dommages à l’intérieur et les courts-circuits sur le câblage. 5.1.6 Dépose du tube protecteur Conditions préalables ● L’appareil est désactivé ● Tous les câbles ont été déconnectés de l’analyseur Outils nécessaires ● Tournevis 1 2 Fig. 13: 1 Vis (3×) Dépose du tube protecteur 2 Tube protecteur Procédé 1. Retirez les 3 vis extérieures. 2. Tirez sur le tube protecteur et enlevez-le. 31/58 Installation 5.1.7 Installation des aimants de collimation électronique AVIS Défaillance liée à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. AVIS Alignement incorrect des aimants Les aimants doivent être alignés. Le fait de retirer les aimants de leur plaque de montage va détruire l’alignement. ► Ne retirez jamais les aimants de leur plaque de montage. Pfeiffer livre l’unité magnétique de la source d’ions croisés dans un emballage séparé. Condition préalable ● Conditions opérationnelles remplies Outils nécessaires ● Tournevis 1 2 3 Fig. 14: Installation des aimants de collimation électronique 1 Raccordements 2 Vis 3 Installation de l’unité magnétique Procédé 1. Positionnez l’analyseur de manière à pouvoir facilement installer l’unité magnétique. 2. Desserrez les deux vis, mais sans les retirer. 3. Sortez l’unité magnétique de l’emballage, avec les vis. 4. Installez l’unité magnétique sur la source d’ions. 32/58 Installation 5.2 Installation de l’analyseur AVIS Dommage dû à la chute du joint vertical Les joints positionnés verticalement peuvent facilement tomber de la gorge et endommager les capillaires en céramique du câblage. ► Pendant l’installation, utilisez une lame de couteau pour maintenir le joint vertical stationnaire. Installation à 2 personnes En fonction de la position d’installation, le travail peut être difficile. Pfeiffer Vacuum recommande l’assistance d’une deuxième personne pour éviter les dommages. Condition préalable ● Zone d’installation sans obstacle Outils nécessaires ● Couteau (cutter) ● Clé Équipement nécessaire ● Joint cuivre OFHC 2 1 Fig. 15: Maintien à la verticale du joint à l’aide de la lame de couteau 1 Joint cuivre OFHC 2 Maintien en place à l’aide de la lame de couteau Procédé 1. Insérez le joint cuivre OFHC dans l’analyseur ou la bride du système. 2. Pendant l’installation, utiliser une lame de couteau pour maintenir le joint cuivre OFHC stationnaire. 3. Insérez avec précaution l’analyseur dans le système de vide. – Il ne doit pas y avoir de contact entre la source d’ions et le câblage avec les pièces. 4. Insérez les vis supérieures et serrez-les à la main sans utiliser d’outil. 5. Insérez la vis sur le côté opposé. 6. Insérez les vis restantes. 7. Serrez correctement toutes les vis. 8. Évacuez le système de vide et contrôlez si le vide prévu a été obtenu. 33/58 Installation 5.3 Raccordement du système d’admission de gaz ATTENTION Risques sanitaires et environnementaux dus aux de gaz de procédé utilisés Les gaz utilisés (gaz de procédé) constituent un risque sanitaire et environnemental. ► Contrôler l'étanchéité des branchements avant de laisser le gaz de procédé pénétrer dans le système. ► Veiller à ce que le système des gaz d'échappement soit compatible avec les gaz injectés. ► Tenir compte des interactions potentielles entre les matériaux et les gaz de procédé. ► Respecter les directives en vigueur lors de la manipulation de gaz utilisés. ► Respecter les mesures de protection. Procédé ► Avec des sources d’ions à système d’admission de gaz, raccordez professionnellement le système d’admission de gaz. ► Isolez électriquement le conducteur de la source d’ions. 5.4 Installation du générateur HF QMH 40x Vous trouverez des informations sur l’installation du générateur HF QMH 40x dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le QMH 40x. 5.5 Installation du pré-amplificateur électromètre EP 422 sur l’analyseur Pour de plus amples informations sur l’installation du pré-amplificateur électromètre EP 422, reportezvous au manuel de l’utilisateur du QMG 700 HiQuad. 5.6 Dépose/installation de la plaque de raccord SEM DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Les tensions sous les plaques de raccordement sont mortelles. Le fonctionnement est interdit si les tubes protecteurs ont été retirés. ► Réinstallez tous les tubes protecteurs qui ont été retirés avant de raccorder les câbles. ► Faites attention aux informations complémentaires dans les chapitres correspondants pour des sources d’ions spéciales. Conditions préalables ● L’appareil est désactivé ● Tous les câbles ont été déconnectés de l’analyseur Outils nécessaires ● Clé hexagonale, WAF 1,5 ● Tournevis ● Goupille 34/58 Installation 1 2 Fig. 16: Tube protecteur 1 Tube protecteur 2 Grandes vis (2×) 1 2 3 Fig. 17: Plaque de raccord SEM 1 Vis (3×) 2 Vis à six pans creux intérieurs (3×, SW 1,5 mm) 3 Goupille Approche générale ► Pour retirer la plaque de raccord SEM, retirez l’EP 422. ► Retirez la plaque de raccord SEM ou – si vous n’avez pas d’analyseur sans plaque de raccord SEM – retirez le couvercle avant d’installer le CP 400. ► Réinstallez la plaque de raccord SEM ou le couvercle – si vous avez un analyseur sans plaque de raccord SEM – après le retrait du CP 400. Dépose de la plaque de raccord SEM (raccord SEM) 1. Déconnectez tous les câbles de la plaque de raccord SEM électronique. 2. Retirez les deux grandes vis. 3. Enlevez le tube protecteur. 4. Retirez les trois vis. 5. Dévissez de 1/2 tour respectivement les trois vis à six pans creux (WAF 1,5 mm). 6. Déconnectez le tenon de câble du conducteur de mise à la terre jaune/vert de la bride. 7. Enlevez la plaque de raccord. 8. Dévissez les trois plots en utilisant une goupille appropriée. 9. Conservez toutes les pièces. – Vous en aurez à nouveau besoin pour la commutation en mode électromètre. Installation de la plaque de raccord SEM (connexion SEM) 1. Installez les trois plots en utilisant une goupille appropriée. 2. Montez la plaque de raccord. 3. Raccordez le tenon de câble au conducteur de mise à la terre jaune/vert de la bride. 4. Serrez les trois vis à six pans creux (WAF 1,5 mm). 5. Insérez les trois vis. 6. Vérifiez que toutes les rondelles ont été installées sur leurs positions correctes. 35/58 Installation 7. Mettez en place le tube protecteur. 8. Installez les deux grandes vis. 9. Raccordez tous les câbles à la plaque de raccord SEM. 5.7 Montage du contre pré-amplificateur ions CP 400 Vous trouverez des informations sur le montage du contre pré-amplificateur ions CP 400 dans le manuel de l’utilisateur correspondant pour le CP 400. 5.8 Raccordement des câbles des composants Pour de plus amples informations sur les raccordements de câble des composants, reportez-vous au manuel de l’utilisateur du QMG 700 HiQuad. 36/58 Mise en service 6 Mise en service AVIS Contamination du filtre de masse par la décharge d’un gaz Si le générateur haute fréquence est activé à une pression totale >10-4 hPa, il y a un risque d’allumage par décharge de gaz entre les tiges de l’analyseur, ce qui peut gravement contaminer le filtre de masse. ► Quand la pression totale est >10-4 hPa, vérifiez que le générateur haute fréquence est désactivé. AVIS Anomalies dues aux champs magnétiques Des anomalies peuvent apparaître en cas de puissants champs magnétiques à proximité immédiate de la source d’ions, du multiplicateur d’électrons à canaux ou SEM, causés par exemple par des jauges à cathode froide, des outils, des pinces aimantées, etc. ► Évitez l’effet de puissants champs magnétiques en arrangeant de façon appropriée les composants du système ou en installant des blindages magnétiques. ► Retirez les objets magnétiques de la zone d’influence. Réglage usine des paramètres Changez le réglage usine des paramètres si et seulement si c’est nécessaire pour votre application. Activation de l’instrument pour la première fois 1. Avant l’activation, contrôlez l’installation correcte de toutes les pièces et de tous les câbles. 2. Activez l’appareil de commande si la pression est inférieure à la pression totale maximum admissible, mais n’activez pas encore l’émission. – 10-4 hPa avec Faraday – 10-5 hPa avec SEM 3. Contrôlez si les valeurs sauvegardées dans le dispositif correspondent au journal de test qui a été fourni. – Le journal de test indique les valeurs optimales pour votre analyseur. 4. Si les valeurs sauvegardées ne correspondent pas, utilisez le logiciel pour les configurer. 5. Si vous n’avez plus le journal de test, activez le réglage par défaut pour votre source d’ions et optimisez-le. – Dans les systèmes complets, Pfeiffer Vacuum effectue une calibration d’usine du générateur haute fréquence spécifiquement pour l’analyseur. Calibration du générateur haute fréquence Dans les systèmes complets, Pfeiffer Vacuum effectue une calibration d’usine du générateur haute fréquence spécifiquement pour l’analyseur. Procédez de la manière suivante si le générateur haute fréquence n’est plus calibré précisément pour s’accorder à l’analyseur. 1. Sélectionnez « Det. Type : Faraday » (sauf si vous utilisez seulement le compteur d’ions comme équipement de détection). – Si vous avez seulement un seul EP 422, installez-le sur le connecteur EP(FARAD) et connectez-le au raccord EP(FARAD) du QMH. 2. Activez les émissions et mesurez plusieurs spectres. 3. Si vous avez seulement un EP 422 et pas de CP 400, installez-le sur le connecteur EP(SEM) et connectez-le à l’EP(SEM) du QMH. 4. Si la pression est inférieure à la pression totale maximum admissible pour le fonctionnement du SEM (10-5 hPa), activez le SEM. 5. Mesurez plusieurs spectres avec « Det. Type : SEM » avec EP 422 ou CP 400. 6. Contrôlez le réglage « Syntonisation » du générateur HF. 7. Si l’analyseur n’a pas été fourni avec le générateur HF, optimisez le réglage « Résolution ». 8. Si vous n’obtenez pas de pic régulier pour de petites et de grandes masses, ajustez la largeur de pic sur le QMH. 9. Calibrez en plus l’échelle de masse, si nécessaire. 37/58 Utilisation 7 Utilisation 7.1 Ajustement de la source d’ions 7.1.1 Ajustement de la source d’ions axiale Procédé 1. Démarrez avec les dernières valeurs qui ont fourni de bons résultats, les valeurs du journal de test ou, en l’absence d’une meilleure alternative, avec des valeurs typiques. 2. Ajustez « Focalisation » sur la hauteur de pic maximum. 3. Ajustez « Wehnelt » sur la hauteur de pic maximum (au niveau de la « Cathode » <50 V maximum 20 V). 4. Recherchez la combinaison « Axe de champ » et « Résolution » avec une hauteur de pic optimale et la meilleure forme de pic. 5. Déterminez la meilleure polarité de câble HF. 7.1.2 Ajustement de la source d’ions croisés Réglage de la source d’ions croisés sans aimant 1. Démarrez avec les dernières valeurs qui ont fourni de bons résultats, les valeurs du journal de test ou, en l’absence d’une meilleure alternative, avec des valeurs typiques. 2. Augmentez de 1,5 V la valeur « Axe de champ ». 3. Augmentez d’environ 15 % la « Résolution ». 4. Ajustez alternativement « Focalisation » et « Extraction » sur la hauteur de pic maximum. 5. Diminuez « Axe de champ » jusqu’à ce que la hauteur de pic diminue d’environ 10 % et évaluez la forme et la résolution du pic. 6. Réglez la « Résolution » sur une valeur suffisamment haute pour vos besoins. – L’utilisation d’une résolution trop élevée nuit à la sensibilité et à la stabilité. 7. Si la forme du pic n’est pas assez bonne (excroissances, aplatissement en queue), essayez de l’améliorer en réduisant le paramètre « Axe de champ ». 8. Essayez de nouvelles valeurs pour « IonRef » (par pas de 5 V) pour améliorer la sensibilité. – À chaque étape, reconfigurez tous les autres paramètres. Procédez systématiquement et enregistrez les paramètres ainsi que les hauteurs correspondantes de pic et les formes obtenues. 9. Répétez le procédé avec le deuxième filament. Après la commutation, attendez la stabilisation thermique. – Une grande différence de sensibilité entre deux filaments indique une déformation mécanique. 10. Déterminez la meilleure polarité de câble HF. Réglage de la source d’ions croisés avec un aimant Pour les analyses à des pressions différentes, Pfeiffer Vacuum recommande de retirer l’unité magnétique ou de réduire les émissions à 0,1 mA. À de faibles niveaux d’émissions (jusqu’à 0,1 mA), le procédé décrit à la section « Réglage sans aimant » s’applique. À des niveaux d’émissions plus élevés, si vous voulez obtenir une sensibilité maximum, recherchez le réglage d’émissions le plus favorable, comme décrit ci-dessous. 1. Réglez la pression du système sur la valeur que vous voulez optimiser. – La pression doit rester constante pendant tout le procédé de configuration des réglages. 2. Réglez « Axe de champ » sur 16 V et « Émissions » sur 0,5 mA. 3. Ajustez « Extraction » et « Focalisation » alternativement et de façon répétitive jusqu’à la hauteur maximale de pic. 4. Notez la hauteur de pic et les valeurs associées pour « Émission », « Extraction » et « Focalisation ». 5. Si les émissions sont <1 mA, augmentez-la de 0,1 mA et retournez à l’étape 3. 6. Dans les données notées, recherchez le point avec la hauteur de pic maximale et réglez à nouveau les paramètres sur les valeurs associées. 7. Ajustez « Axe de champ » et « Résolution » comme décrit dans la section « Réglage sans aimant ». 38/58 Utilisation 8. Déterminez la valeur la plus favorable pour « IonRef » et la polarité optimale de câble comme décrit dans la section « Réglage sans aimant ». 9. Augmentez « Extraction » jusqu’à ce que la sensibilité soit réduite de 5 % ; ceci augmente la stabilité. La source d’ions a maintenant été optimisée pour la pression actuelle. Pour d’autres pressions, il suffit en général d’optimiser « Extraction » et « Focalisation ». 7.1.3 Ajustement de la source d’ions à grille Procédé 1. Démarrez avec les dernières valeurs qui ont fourni de bons résultats, les valeurs du journal de test ou, en l’absence d’une meilleure alternative, avec des valeurs typiques. 2. Ajustez « IonRef » sur la hauteur de pic maximum, la valeur devant toujours être supérieure à la valeur « Cathode », sinon les électrons pénètrent dans les éléments mis à la terre et une désorption des ions y a lieu. 3. Augmentez la valeur « Axe de champ » jusqu’à ce que l’extrémité du pic « s’érode », puis réduisez-la à nouveau jusqu’à l’obtention d’une forme de pic propre. 4. Avec « Résolution », réglez la résolution désirée, idéalement, la résolution de l’unité est ΔM10 = 1. 5. Si nécessaire, répétez les étapes 3 et 4. 6. Déterminez la meilleure polarité de câble HF. 7.2 Fonctionnement de l’analyseur à haute température Procédé ► Pendant le fonctionnement, l’analyseur peut être chauffé au maximum à 180 °C. ► L’EP 422, le CP 400 et le générateur HF peuvent être chauffés à 50 °C max. 7.3 Dépose/installation des plaques de raccord Retirez les plaques de raccord pour des températures de dégazage > 200 °C. Outils nécessaires ● Clé hexagonale, WAF 1,5 1 Fig. 18: Plaques de raccord 1 Manchons de blindage Dépose des plaques de raccord 1. Sur la version 90°, retirez la plaque de raccord SEM, mais laissez en place les trois plots. 2. Retirez le tube protecteur de la grande plaque de raccord. 3. Dévissez de ½ tour la vis à six pans creux (WAF 1,5 mm) du manchon de blindage. 4. Poussez les manchons de blindage jusqu’à la plaque de raccord et fixez-les y. 5. Démontez les vis à six pans creux (WAF 1,5 mm) sur tous les connecteurs. 6. Démontez le conducteur de masse jaune/vert. 7. Enlevez avec précaution la plaque de raccord. 8. N’enlevez pas l’anneau de protection et les plots. 39/58 Utilisation Installation des plaques de raccord 1. Contrôlez la fixation en toute sécurité des trois plots. 2. Positionnez avec précaution les plaques de raccord pour monter les plots dans les passages correspondants. 3. Fixez le conducteur de masse jaune/vert. 4. Fixez les plaques de raccord avec trois vis et des rondelles. 5. Vissez légèrement les vis à six pans creux (WAF 1,5 mm) sur tous les connecteurs, mais en faisant attention à ne pas forcer sur les passages. 6. Poussez les manchons de blindage sur les passages et serrez leurs vis. – Les manchons de blindage doivent glisser dans la partie évasée de la bride. 7. Remontez le tube protecteur. 7.4 Étuvage de l’analyseur Conditions préalables ● Plaque de raccord retirée pour des température de dégazage >200 °C. ● L’EP 422, le CP 400 et le générateur HF ont été retirés de l’analyseur avant l’étuvage ● EP 422 et générateur HF en-dehors de la zone d’étuvage Procédé ► Étuvez l’analyseur jusqu’à 400 °C max. ► Utilisez le SEM seulement avec 1000 V à une température de dégazage supérieure à 150 °C. ► Laissez la bride refroidir à une température <50 °C avant de remonter l’EP 422, le CP 400 et le générateur HF. 7.5 Évaluation de la sensibilité Pfeiffer Vacuum détermine à l’usine la sensibilité avec ou sans SEM. Le journal de test fourni à la livraison du produit contient les valeurs qui ont été déterminées. La sensibilité est spécifiée dans A/hPa pour un gaz de référence. L’utilisation de N2 ou d’air est recommandée pour contrôler la sensibilité. Procédé 1. Pour l’air, utilisez 80 % de la pression totale en tant que pression N2 et ajoutez les courants d’ions de masses 14 et 28. 2. Soustrayez les hauteurs correspondantes de pic de gaz résiduel si celles-ci ne sont pas négligeables. 3. Vérifiez que vous avez mesuré correctement la pression de référence, par exemple avec une jauge d’ionisation installée à un emplacement approprié (veuillez noter la dépendance de type de gaz). 7.6 Multiplicateur d’électrons secondaire (SEM) Réglage de l’amplification ► Avec le paramètre « Tension SEM » pour la haute tension SEM, réglez l’amplification, et donc la sensibilité, en utilisant de très grandes valeurs seuil. ► Évitez à la fois les valeurs inférieures à 1 kV et les courants d’ions supérieurs à 1 μA pendant une longue période (> quelques minutes), car l’amplification n’est pas stable dans ces domaines. Prévention contre la contamination ► Quand vous travaillez avec une composition de gaz défavorable (hydrocarbures et autres vapeurs organiques), utilisez un courant aussi faible que possible. ► Si c’est utile, travaillez en mode Faraday. Basses pressions partielles À des pressions partielles très basses (pics très petits), le courant d’ions est constitué d’impulsions individuelles. À une amplification SEM très élevée, ces impulsions peuvent surmoduler l’étage d’entrée du pré-amplificateur électromètre et donc causer des erreurs de mesure (par exemple, non linéarité) qui ne sont pas évidentes. Des déviations considérables (> 10 %) des valeurs mesurées avec différentes gammes d’électromètres, des discontinuités des courbes de valeurs mesurées en mode auto-gamme, des pics aplatis, des rapports incorrects d’isotopes, etc. peuvent être dus à cet effet. Dans de tels cas, réduisez la « Tension SEM », sélectionnez une « Gamme détecteur » moins sensible, ou utilisez « AU- 40/58 Utilisation TO DOWN » pour verrouiller les gammes de mesure les plus sensibles. Pour éviter ce problème, utilisez le compteur d’ions. Facteur d’amplification Détermination du facteur d’amplification ► Enregistrez la gamme intéressante du spectre de masse en mode de fonctionnement SEM et Faraday. Le rapport des courants de deux pics correspondants est l’amplification qui s’applique aux conditions de fonctionnement qui ont été entrées. Cette méthode prend en compte l’influence de la déviation ionique à 90°. 7.7 Ions de surface Sous le bombardement d’électrons dans la source d’ions, les contaminations adsorbées sont désorbées en tant qu’ions EID qui apparaissent ensuite dans le spectre, par exemple avec des masses 16 (O +), 19 (F+), 23 (Na+), 35/37 (Cl+) et 39/41 (K+). Les ions EID deviennent principalement apparents pendant les mesures UHV. Ils peuvent être réduits par dégazage (dégazage ou fonctionnement temporaire avec émission élevée). Pour distinguer les ions EID des ions du volume, réduisez la valeur de la tension d’axe de champ au niveau du paramètre « Axe de champ ». Ceci va significativement réduire la hauteur de pic des ions normaux. Celle des ions EID est moins affectée, car ils sont formés sur le potentiel le plus élevé. Ainsi, pour éviter la suppression des ions normaux, ne sélectionnez pas une valeur « Axe de champ » trop faible. 7.8 Utilisation de la fonction de dégazage La fonction de dégazage est prévue en particulier pour les mesures UHV avec une source d’ions à grille. Procédé ► Observez les informations sur les sources d’ions individuelles. ► N’activez pas le dégazage à des pressions >10-7 hPa, car cela pourrait causer une sévère contamination de la source d’ions. ► Optimisez la protection du filament « Courant de protection » pour le fonctionnement de dégazage. ► Si vous ne souhaitez pas utiliser la fonction de dégazage, ou si celle-ci n’est pas autorisée, réglez le « Courant de protection » sur 0 A pour bloquer le fonctionnement de dégazage. 7.9 Détermination des valeurs optimales pour les paramètres Pour certaines applications, il est nécessaire de diverger par rapport au réglage-usine. Avec l’augmentation de la contamination, ou après des révisions, il est recommandé d’optimiser les réglages de la manière décrite dans les sections suivantes. Pour un aperçu schématique des potentiels et de leurs désignations, reportez-vous à la section « Fiche technique ». Avec les valeurs standard pour les différentes sources d’ions intégrées dans le dispositif, on doit pouvoir mesurer un spectre – sauf pour le type de source d’ions « SPEC(ial) ». Cependant, les valeurs doivent toujours être optimisées pour l’analyseur utilisé. Le but de l’optimisation des paramètres de la source d’ions est d’atteindre une sensibilité élevée, une bonne forme de pic et une faible discrimination de masse. Parfois, d’autres conditions doivent aussi être remplies. Ce chapitre s’applique à toutes les sources d’ions ; certains potentiels ne sont pas nécessaires pour toutes les sources d’ions. Procédé ► Observez les informations détaillées sur les sources d’ions individuelles. 41/58 Utilisation 7.9.1 Sélection des modes de fonctionnement recommandés Fig. 19: Paramètres par défaut du programme de réglage de la source d’ions du logiciel Quadera Fig. 20: Paramètres optimisés de la source d’ions pour le spectre avec azote et oxygène, en utilisant un CB-IQ comme exemple Utilisation de la « Syntonisation de source d’ions » Le « MODE masse : « SCAN-N » convient tout particulièrement aux tâches d’optimisation, car il permet de montrer les pics non filtrés. 1. Utilisez le « Mode Auto-gamme » : AUTO. 2. Sélectionnez une petite « Largeur » (5 – 10 u). 3. Réglez « Premier » sur une valeur avec laquelle les pics intéressants sont au milieu de la gamme affichée. – La visualisation à 3 décades logarithmique du courant d’ions permet de clairement voir la résolution, la forme de pic et la hauteur de pic. En fonction de l’objectif de l’optimisation, une visualisation linéaire ou logarithmique sur 6 décades, par exemple, peut être plus avantageuse. 4. Pour l’optimisation, utilisez d’abord « Type de détecteur : FARADAY », puis « SEM ». 42/58 Utilisation 5. Réglez la tension de déviation sur « Déviation interne » 8) et réajustez « Axe de champ » légèrement, si nécessaire. 6. Avant l’optimisation, laissez le dispositif chauffer pendant 30 minutes avec l’émission activée. – Attendez le procédé de dégazage initial. 7.9.2 Optimisation avec gaz-test Procédé 1. Laissez un gaz approprié s’écouler à l’intérieur à une pression de 5 × 10-6 hPa flow in (pour des source d’ions spéciales). – Pour des masses plus élevées, l’optimisation nécessite d’inclure des composants correspondants, sinon l’air est approprié. 2. Si vous ne pouvez pas laisser du gaz s’écouler à l’intérieur, effectuez l’optimisation avec un pic de gaz résiduel approprié. – Faites attention aux changements de dégazage qui surviennent en cas de changement de paramètres, par exemple en ce qui concerne le H2O. Souvent, pour améliorer la sensibilité, on utilise des procédés d’admission avec une pression dans la source d’ions plus élevée que dans l’environnement. Dans ces cas, déterminer la sensibilité en A/hPa n’a aucun sens. 7.9.3 Configuration du paramètre de source d’ions « Émission » « Courant » : le courant d’émission typique est de 1 mA. Pour des cathodes yttriées, c’est la valeur maximum. Dans certains cas (par exemple, une source d’ions à grille), la sensibilité est supérieure avec 2 mA. Cependant, parfois, la sensibilité maximum est atteinte avec des réglages d’émission plus bas, par exemple pour des sources d’ions croisés avec des aimants de collimation électronique. Ceci est dû aux effets de charge spatiale. Observez les informations détaillées concernant votre type de source d’ions. Recommandation : Si vous changez la valeur « Courant d’émission »,optimisez aussi la valeur « Courant de protection ». Travail avec une basse énergie électronique et de hautes pressions ► Avec un réglage basse énergie électronique ("Cathode », par exemple <50 V), réglez « Courant d’émission » sur 0,1 – 0,2 mA ou moins pour éviter une surcharge sur le filament. ► À des pressions >10-5 hPa, par exemple, réduisez la valeur "Courant d’émission » sur 0,2 mA pour améliorer la linéarité de la mesure (courant d’ions/pression partielle). 7.9.4 Configuration du paramètre de source d’ions « Courant de protection » Quand la pression remonte dans la source d’ions, le courant de chauffage du filament augmente. Cet effet est utilisé pour désactiver la cathode quand la pression remonte. Le « Courant de protection » détermine le seuil de désactivation. Si l’activation de l’émission est impossible, cela est généralement dû au réglage trop bas du « Courant de protection ». Procédé ► Pour obtenir une protection optimum, réglez le seuil de seuil de désactivation aussi bas que possible. – Le réglage est optimal quand vous êtes à peine capable d’activer l’émission sans déclencher le circuit de protection (protection du filament). 7.9.5 Configuration du paramètre de source d’ions « V1 Référence Ion » « Référence Ion » est le potentiel nominal pour la formation d’ions avec la source d’ions. Le potentiel efficace est un peu inférieur à cause du coefficient de pénétration du champ d’extraction et à la charge spatiale électronique. « Référence Ion » est le potentiel de référence pour tous les autres potentiels (se reporter à la fiche technique). « Référence Ion » est la tension positive la plus haute. De ce fait, virtuellement toutes les particules négatives (des électrons, principalement) se déplacent vers la zone d’ionisation. La désorption induite par l’impact électronique peut ainsi y avoir lieu, si cela est possible. Les interférences liées aux jauges d’ionisation à proximité sont ainsi évitées de manière efficace. En général, la valeur « Référence Ion » doit être réglée (environ 20 V) pour dépasser légèrement l’énergie électronique (« V2 Cathode »). La cathode est ainsi sur un potentiel positif par rapport à la masse ; la sour- 8) Seulement en cas de type de détecteur SEM 43/58 Utilisation ce d’ions n’émet ainsi aucun électron vers l’environnement. Ceci permet d’éviter des interférences avec le seau de Faraday du système et les instruments de mesure à proximité (par exemple, les jauges d’ionisation). Par ailleurs, les gaz absorbés dans l’environnement peuvent être émis par l’impact électronique ce qui pourrait avoir un effet sur la mesure. Les effets suivants du réglage « Référence Ion » sont aussi affectés par les tolérances mécaniques, par exemple, par la position exacte de la cathode : ● À de faibles valeurs (25 – 40 V), la sensibilité est plus élevée pour des masses plus faibles. Pour des masses plus élevées, cependant, la sensibilité maximum est atteinte à des valeurs plus hautes. ● Plus le réglage « Référence Ion » est élevé, plus la discrimination de masse est basse, autrement dit, la sensibilité diminue avec l’augmentation des numéros de masse. ● Ces relations sont encore plus évidentes avec des gammes de masses plus élevées et des dimensions de filtre plus petites. ● Si vous voulez minimiser la discrimination de masse, sélectionnez un pic avec la masse la plus élevée possible pour optimiser les paramètres de la source d’ions. 7.9.6 Configuration du paramètre de source d’ions « Cathode V2 » AVIS Surcharge du filament Quand le réglage d’énergie d’ionisation est réduit (« Cathode », par exemple 40 eV), la température de filament requise pour l’émission augmente. Le filament se consume. ► Dans ce cas, réduisez l’émission à 0,1 mA, par exemple. ► Calibrez « Courant de protection » (protection filament). La tension de cathode détermine la tension d’accélération des électrons et donc l’énergie nominale d’ionisation. L’énergie d’ionisation recouvrable dévie légèrement de cette valeur, du fait du champ d’extraction. Les mesures de calibration sont nécessaires pour les applications dont il faut connaître l’énergie exacte d’ionisation. Les données de référence dans les bibliothèques spectres sont généralement référencées sur 70 eV. À des énergies électroniques plus faibles (par exemple, 40 V), la source d’ions forme moins d’ions à double charge. Ceci permet d’éviter, de ce fait, une contribution de 36Ar++ à la masse 18 ce qui compliquerait la détection de traces de vapeur d’eau dans l’argon. 7.9.7 Configuration du paramètre de source d’ions « V3 Focalisation » Procédé 1. Ajustez « Focalisation » sur la hauteur de pic maximum. 2. Si plusieurs maximums surviennent, sélectionnez celui qui correspond à la valeur de tension la plus basse, puis observez la section pertinente pour votre source d’ions. 3. Optimisez aussi le paramètre « Extraction » (le cas échéant) en changeant la « Focalisation ». 7.9.8 Configuration du paramètre de source d’ions « V4 Axe de champ » La tension d’axe de champ est la différence de potentiel entre la zone d’ionisation (Référence Ion) et le filtre de masse quadripolaire. La tension d’axe de champ définit ainsi l’énergie cinétique (vitesse) des ions dans le système à tiges. La valeur optimale pour le « Axe de champ » dépend, entre autres facteurs, de la fréquence (type QMH) et du type QMA. Des fréquences plus basses (domaines de masse plus élevés) ou des systèmes à tiges plus courtes nécessitent des énergies ioniques plus faibles, car les ions doivent rester plus longtemps dans le filtre de masse pour la résolution. Plus cette valeur est élevée, plus la hauteur de pic est élevée. Cependant, la résolution est plus basse et la forme du pic est potentiellement détériorée. Des valeurs « Axe de champ » excessivement élevées vont entraîner une « érosion » des pics. 44/58 Utilisation Fig. 21: Pics érodés Fig. 22: Réduction de la valeur « Axe de champ » Réduction de la valeur « Axe de champ » ► Réduisez la valeur « Axe de champ » quand l’ajustement du paramètre « Résolution » entraîne une diminution de la hauteur de pic au lieu d’une amélioration de la résolution. Le but de l’optimisation mutuelle de « l’axe de champ » et de la « résolution » est d’obtenir un niveau de pic maximum avec la résolution désirée et une forme de pic suffisamment bonne. Si la réduction de la valeur « Axe de champ » ne permet pas de corriger un défaut de forme de pic, cela peut être lié à une contamination ou un problème mécanique (par exemple, centrage incorrect de la sources d’ions ou assemblage dans une position inclinée). Dans le chapitre « Ions de surface », vous découvrirez comment différencier les ions normaux des ions EID à l’aide du paramètre « Axe de champ ». 7.9.9 Configuration du paramètre de source d’ions « V5 Extraction » La tension d’extraction (V5 Extraction) accélère les ions de la zone d’ionisation vers le système à tiges. Procédé 1. Ajustez « V5 Extraction » sur la hauteur de pic maximum. 2. Optimisez aussi la valeur « Focalisation » en cas de changement de la valeur « V5 Extraction ». 7.9.10 Configuration du paramètre de source d’ions « V6/ V7 Déviation interne » Les tensions de déviation (« Déviation », « DEFI » et « DEFO ») dirigent les ions à travers le condensateur de déviation 90°. Dans le QMG, en mode de fonctionnement Faraday, elles sont automatiquement commutées sur le potentiel de masse. Les deux plaques de déviation sont respectivement sur un potentiel positif pour les ions négatifs, et sur un potentiel négatif pour les ions positifs. Le filtre de masse accélère les ions vers l’unité de déviation et les dirige vers le SEM. Une tension de déviation La plaque de déviation interne est sur le potentiel « V6 Déviation interne », la plaque de déviation externe est directement raccordées au seau de Faraday et au pré-amplificateur électromètre EP1 et est donc sur le potentiel de terre. La valeur optimum est déterminée par le potentiel de formation d’ions « Référence Ion » et dans une certaine mesure par la tension SEM. Valeurs indicatives ● Référence Ion : 120 V | 40 V ● Déviation interne : 300 V | 200 V Procédé ► Ajustez la « Déviation interne » pour atteindre la hauteur de pic maximum. ► Optimisez à nouveau la « Déviation interne » à chaque fois que vous changez la valeur « Tension SEM ». 45/58 Utilisation 7.9.11 Configuration du paramètre de source d’ions « V8 Réserve » Le potentiel V8 est utilisé dans des cas spéciaux. 7.9.12 Configuration du paramètre de source d’ions « V9 Wehnelt » La tension Wehnelt est seulement utilisée avec la source d’ions axiale. 7.9.13 Réglage de la résolution Procédé ► Ne pas régler la « Résolution » à une valeur supérieure à celle requise pour les mesures. – Plus les pics sont espacés, plus la sensibilité et la stabilité sont améliorées. ► Faites attention à l’interdépendance entre les paramètres « Axe de terrain » et « Résolution ». ► Si la largeur au niveau des pics est irrégulière sur le domaine de masse, corrigez-la en ajustant le générateur haute fréquence QMH. 7.9.14 Adaptation de la polarité du câble HF Procédé ► Essayez d’améliorer la sensibilité ou la forme de pic en permutant les câbles HF sur l’analyseur. – Pour la permutation, réglez « Premier »sur 0 et « Mode domaine auto » sur « ÉCHANTILLON ». ► Optimisez avec les deux polarités, puis sélectionnez la meilleure variante. Si la permutation de la polarité change la sensibilité sur plus de 50 %, cela indique une contamination ou des erreurs mécaniques. 46/58 Expédition 8 Expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 47/58 Recyclage et mise au rebut 9 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 9.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 9.2 Élimination du système du spectromètre de masse Les systèmes de spectromètre de masse Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démontez les éléments du boîtier. 2. Démontez tous les composants individuels. 3. Démontez les composants électroniques. 4. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 5. Séparez les composants en matériaux recyclables. 6. Recyclez les composants non contaminés. 7. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 48/58 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 10 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 49/58 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 50/58 Informations de commande 11 Informations de commande 11.1 Commande de pièces Commande de pièces détachées, d’accessoires ou de composants optionnels ► Toujours préciser les informations suivantes pour commander des pièces détachées, des accessoires ou des composants optionnels : ● Tous les détails de la plaque signalétique ● Description et référence de commande correspondant à la liste des pièces 11.2 Commande de pièces de rechange Description Référence de commande Sources d’ions Source d’ions axiaux avec filament en tungstène BN845055 -T Source d’ions axiaux avec filament iridium, recouvert Y2O3 PT 160 040 -T Source d’ions croisés avec filament en tungstène BN846481 -T Source d’ions croisés avec filament iridium, recouvert Y2O3 PT 449 025 -T Source d’ions croisés, étanche au gaz, avec filament en tungstène BN846529 -T Source d’ions croisés, étanche au gaz, avec filament iridium, recouvert Y2O3 Sur demande Source d’ions à grille avec filament en tungstène BN845097 -T Filaments Filaments en tungstène, lot de 5 pièces, pour source d’ions axiaux BN845024 -T Filament iridium, recouvert Y2O3, pour source d’ions axiaux, 1 pièce BN845057 -T Unité filament avec 2 filaments en tungstène, pour source d’ions croisés, également étanche au gaz BN845088 -T Unité filament avec 2 filaments en tungstène, recouvert Y2O3, pour source d’ions croisés, également étanche au gaz BN845282 -T Unité filament avec 2 filaments en tungstène, pour source d’ions à grille BN845095 -T Tab. 6: Pièces de rechange pour QMA 4x0 51/58 Caractéristiques techniques et dimensions 12 Caractéristiques techniques et dimensions 12.1 Fiche technique Paramètre Valeur Surpression Surpression admissible ≤ 2000 hPa (absolue) Vide Pression de fonctionnement (Faraday) ≤1 × 10-4 hPa dans la source d’ions Pression de fonctionnement (SEM) ≤1 × 10-5 hPa dans la source d’ions Sensibilité 9) 10) Pression partielle détectable la plus petite (Faraday) <10-11 hPa Pression partielle détectable la plus petite (avec SEM 90° et compteur électronique) <10-15 hPa Sensibilité pour l’air (Faraday) >3 × 10-4 A/hPa Sensibilité pour l’air (SEM) >200 A/hPa Filtre de masse QMA 400 Diamètre de tige 8 mm Longueur de tige 200 mm Matière de tige Molybdène QMA 410 Diamètre de tige 16 mm Longueur de tige 300 mm Matière de tige Molybdène QMA 430 Diamètre de tige 8 mm Longueur de tige 200 mm Matière de tige Acier inoxydable SEV 217 Amplification (nouvelle) >108 at 3.5 kV Tension de service 1 – 3,5 kV Tension de biais ≤±3,2 kV sur SEM- Nombre d’étages 17 Diviseur de tension 18 MΩ Courant de sortie admissible ≤10-5 A Température de dégazage pour matière de dynode ≤400 °C CuBe SEV 218 Données comme pour SEV 217, cependant, avec une dynode de conversion séparée (CD) Tension CD ≤ -6,3 kV Bride de raccordement QMA 400 DN 63 CF QMA 410 DN 100 CF QMA 430 DN 63 CF Raccordements de gaz (sources d’ions CB) 52/58 9) Valide pour QMA 400 sans SEM, CB-IQ avec aimant, émission 1 mA, ΔM10 = 1 u 10) Pic avec = 1 u sur 10% de la hauteur de pic Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Faisceau croisé (étanche au gaz), avec un raccord axial Alésage dans la céramique de verre pour tube avec un diamètre extérieur de 3 mm Température de dégazage Sans câbles et plaques de raccord ≤400 °C Avec aimant de collimation électronique ≤300 °C Avec câbles et plaques de raccord ≤180 °C Avec pré-amplificateur ou électromètre ≤50 °C Matières dans le vide Acier inoxydable, Mo, Al2O3, CuBe, Ni, W, iridium yttrié Durée de vie du filament 11) Tungstène >10000 h Iridium yttrié >10000 h Poids QMA 400 (Faraday) 2,9 kg QMA 400 (SEM 90°) 10,7 kg QMA 410 (Faraday) 6,5 kg QMA 410 (SEM 90°) 17,2 kg QMA 430 (SEM 90°) 10,7 kg Tab. 7: Fiche technique 12.2 Dimensions 90° off-axis SEM Faraday C G A B E F B C G E A E 133 133 D Fig. 23: Dimensions Dimensions en mm. 11) Valide pour p < 10-5 hPa, émission 1 mA et énergie électronique ≥70 eV dans une atmosphère non-oxydante 53/58 Caractéristiques techniques et dimensions Dimension [mm] Faraday QMA 400 QMA 430 QMA 410 QMA 400 QMA 410 A 244 244 245 104 245 B 162 162 267,5 223 269,2 D 251 251 251 - - E DN 63 CF DN 63 CF DN 100 CF DN 63 CF DN 100 CF F DN 63 CF DN 63 CF DN 63 CF - - G Ø 63 Ø 63 Ø 100 Ø 63 Ø 100 Tab. 8: Dimensions Source d’ions C [mm] H [mm] 12) Axial 26 - Faisceau croisé 35,5 23,5 Faisceau croisé (étanche au gaz) 13) 48 14) 23,5 Grille 27 - Tab. 9: 54/58 Décalage SEM 90° Dimensions des sources d’ions 12) Distance par rapport au centre du volume sensible 13) Avec raccord de gaz axial 14) Sans conduite d’admission/alimentation de gaz : diamètre extérieur 3 mm Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Analyseur QMA 4x0 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Basse tension 2014/35/CE Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Restrictions d’utilisation de certaines substances dangereuses, 2011/65/UE (article 2, numéro 4 d, e, et j) Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN 61010-1:2011-07 DIN EN 61326-1:2013-07 DIN EN 55011:2009 + A1:2010 (Classe A) Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 01/11/2022 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Analyseur QMA 4x0 Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Standards et spécifications appliqués : EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 EN IEC 61326-1:2021 EN 55011:2016 + A1:2017 + A11:2020 + A2:2021 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 01/11/2022 57/58 *BG5983* ed. D - Date 2301 - P/N:BG5983BFR ">
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