MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original PRISMAPRO® QMG 250 Spectromètre de masse compact Cher client, Nous vous remercions d’avoir choisi un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouveau spectromètre de masse devrait vous aider dans votre application individuelle avec des performances optimales et sans dysfonctionnement. Le nom Pfeiffer Vacuum représente une technique du vide de haute qualité, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l’utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par courriel à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de. Vous trouverez d’autres manuels de l’utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/92 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque du produit 8 8 8 8 9 10 10 10 10 11 12 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Précautions de sécurité 2.4 Utilisation conforme 2.5 Utilisations non conformes prévisibles 2.6 Responsabilité et garantie 2.7 Conditions propriétaire 2.8 Qualification personnelle 2.8.1 Garantir la qualification du personnel 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 2.9 Conditions opérateur 13 13 13 16 17 17 17 17 18 18 18 19 19 3 Description du produit 3.1 Fournitures 3.2 Vue d’ensemble du système 3.2.1 Structure du système 3.2.2 Analyseur QMA 250 3.2.3 Unité électronique QME 250 3.2.4 Logiciel PV MassSpec 3.3 Interfaces 3.3.1 ALIMENTATION ÉLECTRIQUE 3.3.2 Ethernet (LAN) 3.3.3 AUX I/O 3.3.4 EXT I/O 3.3.5 TP GAUGE 3.3.6 USB 3.4 Identification du produit 3.5 Principe de fonctionnement 20 20 20 20 22 23 24 24 24 25 25 26 28 28 28 29 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 30 30 30 5 Installation 5.1 Installation de PrismaPro 5.2 Installation de l’analyseur 5.3 Assembler l’unité électronique 5.4 Établir une connexion électrique par connecteur mâle/femelle 5.4.1 Établissement de la connexion Ethernet 5.4.2 Raccordement de l’alimentation en courant 5.5 Raccordement des jauges 5.6 Établissement d’une connexion au réseau 31 31 32 35 36 36 36 36 37 3/92 Table des matières 5.7 5.8 37 38 39 39 39 39 40 40 6 Mise en service 6.1 Mise en service de l’appareil 6.2 Mettre sous tension d’appareil 42 42 42 7 Utilisation 7.1 Utilisation de PrismaPro Web UI 7.2 Utiliser PV MassSpec 44 44 44 8 Mise hors service 45 9 Maintenance 9.1 Exécution du travail de maintenance 9.2 Rapport de test 9.3 Entretien de l’analyseur QMA 250 9.3.1 Inspecter visuellement l’analyseur QMA 250 9.3.2 Étuvage de l’analyseur 9.4 Remplacer l’unité filament 9.4.1 Remplacement du filament chauffé de la source d’ions ouverte 9.4.2 Remplacement de l’unité à filament chauffé de la source d’ions croisés 9.4.3 Remplacement de l’unité à filament chauffé de la source d’ions à grille 9.4.4 Remplacement de l’unité à filament chauffé de la source d’ions étanche au gaz 9.5 Calibrage du rapport haute fréquence et masse 9.5.1 Calibrage d'usine 9.5.2 Atteindre une température de fonctionnement stable pour PrismaPro 9.5.3 Sélection du mélange de gaz pour le calibrage des masses 9.5.4 Réglage de la haute fréquence pour les deux polarités 9.5.5 Effectuer le calibrage des masses (AJUSTAGE) 9.5.6 Calibrage avec un mélange de gaz de test 9.5.7 Calibrage avec des gaz de procédé 9.5.8 Calibrage de la détection de fuites d’hélium 46 46 47 47 48 50 51 51 53 Dysfonctionnements 10.1 Dépanner 10.1.1Résolution des erreurs de communication et système 10.1.2Résolution des erreurs matérielles 10.1.3Résolution des erreurs de mesure et de fonctionnement 10.1.4Interrogation des messages d’erreur du logiciel à partir de PV MassSpec 10.2 Contacts sur QMA 250 et QME 250 10.3 Contrôle de l’analyseur QMA 250 63 63 63 64 67 69 11 Expédition 71 12 Recyclage et mise au rebut 12.1 Informations générales sur la mise au rebut 12.2 Élimination d’un spectromètre de masse compact 72 72 72 13 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 73 10 4/92 5.6.1 Adresses IP 5.6.2 Sous-réseaux 5.6.3 Changement de l’adresse IP PrismaPro 5.6.4 Modification de l’adresse IP de l’ordinateur hôte Connexion du PrismaPro 5.7.1 Connexion de chaque PrismaPro individuel 5.7.2 Raccordement de plusieurs appareils PrismaPro Installation de PV MassSpec 55 56 58 59 59 59 59 61 61 61 61 69 70 Table des matières 14 Informations de commande 14.1 Commande de pièces 14.2 Pièces détachées de maintenance niveau 1 14.2.1Unité électronique QME 250 14.2.2Analyseur QMA 250 14.2.3Unités filaments 14.3 Pièces de rechange et lots de petites pièces 14.3.1Pièces de rechange 14.3.2Lot de petites pièces PT 163 544 pour source d’ions ouverte 14.3.3Lot de petites pièces PT 163 543 pour source d’ions croisés 14.3.4Lot de petites pièces PT 163 534 pour source d’ions à grille 14.3.5Lot de petites pièces PT 163 550 pour source d’ions étanche au gaz 75 75 75 75 75 76 76 76 77 77 77 78 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités 15.2 Fiche technique PrismaPro QMG 250 F 15.3 Fiche technique PrismaPro QMG 250 M 15.4 Dimensions 15.4.1QMG 250 avec source d’ions ouverte 15.4.2QMG 250 avec source d’ions croisés 15.4.3QMG 250 avec source d’ions à grille 15.4.4QMG 250 avec source d’ions étanche au gaz 79 79 79 81 82 83 85 86 87 Certification NRTL 88 Déclaration de conformité CE 89 Déclaration de Conformité UK 90 5/92 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Tab. 18: Tab. 19: Tab. 20: Tab. 21: Tab. 22: Tab. 23: Tab. 24: Tab. 25: Tab. 26: Tab. 27: Tab. 28: Tab. 29: Tab. 30: Tab. 31: 6/92 Documents applicables QMG 250 PrismaPro Analyseur QMA 250 Unité électronique QME 250 Abréviations employées Sources d’ions pour analyseur QMA 250 M Éléments de la face avant État de la connexion Ethernet Couples de serrage requis Jauges Exemples de sous-réseaux Connexions du filament avec la source d’ions Températures d'étuvage maximum Calibrage de masse Erreurs de communication et du système Erreurs liées au matériel Erreurs de mesure et de fonctionnement Messages d’erreur du logiciel PV MassSpec Mesures de contrôle de l’analyseur Unité électronique QME 250 Analyseur QMA 250 Unités à filaments chauffés Pièces de rechange Lot de petites pièces PT 163 544 pour source d'ions à ouverture Lot de petites pièces PT 163 543 pour source d'ions croisés Lot de petites pièces PT 163 534 pour source d'ions à grille Lot de petites pièces PT 163 550 pour source d’ions étanche au gaz Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Fiche technique PrismaPro QMG 250 F Fiche technique PrismaPro QMG 250 M 8 8 9 9 12 23 24 25 32 37 38 49 50 59 64 67 69 69 70 75 76 76 77 77 77 77 78 79 79 80 82 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: Fig. 13: Fig. 14: Fig. 15: Fig. 16: Fig. 17: Fig. 18: Fig. 19: Fig. 20: Fig. 21: Fig. 22: Fig. 23: Fig. 24: Fig. 25: Fig. 26: Fig. 27: Fig. 28: Fig. 29: Fig. 30: Fig. 31: Fig. 32: Fig. 33: Fig. 34: Fig. 35: Fig. 36: Fig. 37: Fig. 38: Fig. 39: Fig. 40: Fig. 41: Fig. 42: Position des autocollants sur le produit Composants principaux du PrismaPro Vue d’ensemble du système Analyseurs avec protection pour le transport Composants de l’analyseur QMA 250 avec source d’ions ouverte Face avant du QME 250 : côté gauche standard, côté droit avec IO 250 PV MassSpec Vue du connecteur de réseau Connexion Ethernet AUX I/O, prise Sub-D à 15 broches EXT I/O, prise Sub-D HD à 62 broches Exemple de connexion : Sortie numérique EXT I/O Exemple de connexion : entrée numérique AUX I/O et EXT I/O TP GAUGE, prise amphénol 6 broches C 091 A Principe du système de spectromètre de masse quadripole Fixation et mise à la terre de l’analyseur Auxiliaire d’assemblage et protection pour le transport Raccourci sur le bureau Extrait d’un exemple de rapport de test Source d’ions avec source d’ions à ouverture comme exemple Connexions du filament et de la source d’ions avec les étriers de fixation Connexions haute fréquence du filtre de masse quadripolaire Démontage de l’unité à filament chauffé de la source d’ions ouverte Insertion de l’unité à filament chauffé de la source d’ions ouverte Unité à filament chauffé de la source d’ions croisés Ressort de support sur analyseur avec source d’ions croisés Unité à filament chauffé de la source d’ions à grille Démontage de l’unité à filament chauffé de la source d’ions étanche au gaz Insertion de l’unité à filament chauffé de la source d’ions étanche au gaz Message d'alerte avec invite de sécurité Nouvelle polarité inverse/haute fréquence Contacts sur QMA 250 et QME 250 Dimensions QMG 250 F / SI ouverte / QME 250 rectiligne Dimensions QMG 250 F / SI ouverte / QME 250 90° Dimensions QMG 250 M / SI ouverte / QME 250 rectiligne Dimensions QMG 250 M / SI ouverte / QME 250 90° Dimensions QMG 250 M / SI croisés / QME 250 rectiligne Dimensions QMG 250 M / SI croisés / QME 250 90° Dimensions QMG 250 M / SI à grille / QME 250 rectiligne Dimensions QMG 250 M / SI à grille / QME 250 90° Dimensions QMG 250 M / SI étanche au gaz / QME 250 rectiligne Dimensions QMG 250 M / SI étanche au gaz / QME 250 90° 11 21 22 22 23 24 24 25 25 25 26 27 28 28 29 34 34 40 47 48 49 49 52 52 54 54 55 57 58 60 60 69 83 83 84 84 85 85 86 86 87 87 7/92 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Manuel de l’utilisateur QMG 250 « PrismaPro Web UI » BG 6002 Guide de démarrage rapide QMG 250 « PrismaPro » BG 6003 Documentation du logiciel PV MassSpec Partie du logiciel Déclaration de conformité Partie de ces instructions Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document est applicable à tous les produits avec les références des pièces suivantes : Référence de pièce Désignation PT M15 ... PrismaPro QMG 250 (Faraday) PT M16 ... PrismaPro QMG 250 (multiplicateur d'électrons/Faraday) Tab. 2: QMG 250 PrismaPro Référence Description abrégée Domaine de masse [u] Détecteur Source d’ions Filament chauffé Câblage PT M25 411 QMA 250 F1 1 à 100 Faraday ouvert W Nickel PT M25 412 PT M25 413 Ir-Y2O3 QMA 250 M1 Faraday/EM W PT M25 414 PT M25 415 Ir-Y2O3 CB PT M25 416 W Ir-Y2O3 PT M25 419 Grille W PT M25 417 Étanche au gaz W PT M25 418 8/92 Ir-Y2O3 Cuivre, plaqué argent Nickel A propos de ce manuel Référence Description abrégée Domaine de masse [u] Détecteur Source d’ions Filament chauffé Câblage PT M25 421 QMA 250 F2 1 à 200 Faraday ouvert W Nickel PT M25 422 PT M25 423 Ir-Y2O3 QMA 250 M2 Faraday/EM W PT M25 424 Ir-Y2O3 PT M25 425 CB PT M25 426 W Ir-Y2O3 PT M25 429 Grille W PT M25 427 Étanche au gaz W PT M25 428 PT M25 431 Nickel Ir-Y2O3 QMA 250 F3 1 à 300 Faraday ouvert PT M25 432 PT M25 433 Cuivre, plaqué argent W Nickel Ir-Y2O3 QMA 250 M3 Faraday/EM W PT M25 434 Ir-Y2O3 PT M25 435 CB PT M25 436 W Ir-Y2O3 PT M25 439 Grille W PT M25 437 Étanche au gaz W PT M25 438 Cuivre, plaqué argent Nickel Ir-Y2O3 Tab. 3: Analyseur QMA 250 Référence de pièce Description abrégée Domaine de masse [u] Entrée/sortie Version PT M28 641 QME 250 M1 1-100 QME 250 M2 1-200 Standard (sans IO 250) droit PT M28 642 PT M28 643 QME 250 M3 1-300 PT M28 651 QME 250 M1 1-100 PT M28 652 QME 250 M2 1-200 PT M28 653 QME 250 M3 1-300 PT M28 661 QME 250 M1 1-100 PT M28 662 QME 250 M2 1-200 PT M28 663 QME 250 M3 1-300 PT M28 671 QME 250 M1 1-100 PT M28 672 QME 250 M2 1-200 PT M28 673 QME 250 M3 1-300 Tab. 4: étendu (avec IO 250) Standard (sans IO 250) angulaire, 90° étendu (avec IO 250) Unité électronique QME 250 Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire. 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, 9/92 A propos de ce manuel ● de la maintenance et du nettoyage, ● du stockage et du recyclage du produit. Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles. Remarque Conseil Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification. Plaque signalétique (exemple) Plaque signalétique pour PrismaPro D-35614 Asslar Mod. QMG 250 P/N PT M16 312 210 S/N 4452.... Input 24 V DC 1.25 A 30 W Made in United States 2020/02 10/92 A propos de ce manuel 1 2 3 3 Fig. 1: Position des autocollants sur le produit 1 Plaque signalétique pour système QMG 250 entier 2 Plaque signalétique pour unité électronique QME 250 1.3.4 3 Plaque signalétique pour analyseur QMA 250 Abréviations Abréviation Explication AI Entrée analogique AO Sortie analogique BHCS Vis bouton C/B Croisement (type de source d'ions) DEC Régleur d'émission numérique DHCP Protocole de communication pour l'attribution de la configuration du réseau (Dynamic Host Communication Protocol) DI Entrée numérique DO Sortie numérique DSP Traitement de signal numérique EE Énergie d’électrons EM Multiplicateur d'électrons ESD Décharge électrostatique FC Seau de Faraday FC-5311 Mélange d’isomères perfluoro (tétradéecahydrophénantrène) pour le calibrage de masse dans le domaine de masse jusqu’à 624 u. GND Masse HD Haute densité, avec connexions Sub-D à faible espacement de broches HF Haute fréquence HV Haute tension IP Protocole internet IQ Source d’ions Ir-Y2O3 Iridium recouvert d’oxyde d’yttrium (Y2O3) (Ir) LAN Réseau local M Filetage ISO métrique MAC Adresse du matériel d’un adaptateur réseau fournissant un identifiant univoque pour l'appareil dans un réseau d’ordinateurs (commande accès médias) ME Unité de quantité MSL Niveau moyen de la mer 11/92 A propos de ce manuel Abréviation Explication PP Pression partielle PV Pfeiffer Vacuum RF Fréquence radio RGA Analyse de gaz résiduels TCP/IP Famille de protocoles internet (protocole de commande de transmission/protocole internet) TP Pression totale UHV Ultra vide UTP Paire torsadée non blindée (de fils dans un câble) W Tungstène Web UI Interface utilisateur via connexion web Tab. 5: 1.4 Abréviations employées Justificatif de marque du produit ● PrismaPro ® est une marque du produit déposée par Pfeiffer Vacuum GmbH. ● Windows® est une marque du produit de Microsoft Corporation. 12/92 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d’une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’unité électronique QME Vous devez seulement raccorder l’unité électronique à un analyseur QMA correctement installé (prise de terre). La conduite d’alimentation 24 V de l’alimentation en courant SP ne sera connectée que si la connexion de l’analyseur QMA n’est pas vissée à bloc sur l’unité électronique QME. Seul du personnel qualifié peut ouvrir l’unité électronique QME. Aucun composant de l’unité électronique QME ne nécessite d’entretien par l’utilisateur. ► Installez l’analyseur QMA correctement avant d’installer l’unité électronique QME. ► Établissez une connexion de terre correcte entre les composants. ► L’unité électronique QME ne peut être ouverte que par du personnel de maintenance qualifié. ► N’utilisez jamais l’unité électronique QME quand elle est ouverte. 13/92 Sécurité DANGER Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dangereux au toucher. La tension électrique représente un danger mortel. ► Protégez les pièces installées, les unités raccordées et les lignes contre les connexions galvaniques, les éclats ou le flux porteur de charge. ► Assurez-vous que l’enceinte à vide, le QMA et l’appareillage complet ont toujours une connexion correcte à la terre protectrice. ► Fournissez une protection supplémentaire si l’utilisateur risque de toucher l’analyseur quand le système de vide est ouvert. ► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés. ► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système (par exemple, en utilisant un contact de porte). DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en service du dispositif. ► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié. ► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique. – Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier). ► N’ouvrez jamais le dispositif lorsqu’il est connecté à une alimentation en courant. ► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée. ► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération. ► N’ouvrez jamais une unité de courant externe. ► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux. ► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux. ► Protégez le dispositif contre l’humidité. DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc électrique potentiellement mortel. ► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension. ► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur. ► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique. ► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010 et CEI 60950. ► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre). ► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre. ► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres. 14/92 Sécurité Risques pendant le fonctionnement ATTENTION Risques sanitaires et environnementaux dus aux de gaz de procédé utilisés Les gaz utilisés (gaz de procédé) constituent un risque sanitaire et environnemental. ► Contrôler l'étanchéité des branchements avant de laisser le gaz de procédé pénétrer dans le système. ► Veiller à ce que le système des gaz d'échappement soit compatible avec les gaz injectés. ► Tenir compte des interactions potentielles entre les matériaux et les gaz de procédé. ► Respecter les directives en vigueur lors de la manipulation de gaz utilisés. ► Respecter les mesures de protection. Risques pendant la maintenance DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en service du dispositif. ► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié. ► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique. – Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier). ► N’ouvrez jamais le dispositif lorsqu’il est connecté à une alimentation en courant. ► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée. ► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération. ► N’ouvrez jamais une unité de courant externe. ► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux. ► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux. ► Protégez le dispositif contre l’humidité. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque de brûlures pendant l'étuvage Pendant et immédiatement après l'étuvage, la chemise chauffante et les surfaces métalliques à côté de la chemise chauffante sont extrêmement chaudes. Les surfaces métalliques peuvent atteindre des températures supérieures à 100 °C. Vous allez vous brûler si vous ne portez pas d'équipement de protection individuel approprié. ► Lors de l'étuvage, portez toujours l'équipement de protection individuel (par exemple, des gants protecteurs). ► Ne touchez jamais les surfaces sans porter de gants protecteurs, pendant ou immédiatement après l'étuvage. 15/92 Sécurité Risques liés à l’expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Précautions de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Aspects liés à la sécurité ● ● ● ● ● Une utilisation conforme va garantir une protection du personnel par l’appareil. Il n’y a pas de risques électriques liés à l'appareil tant que l’appareil est utilisé de façon conforme. Dans l’état actuel des connaissances, l’appareil ne génère pas de radiations dangereuses. L'analyseur ne contient pas de substances nocives. L’utilisation de l’analyseur dans des applications avec des substances de procédé toxiques va entraîner un dépôt des substances toxiques à la surface de l’analyseur. ● Des précautions de sécurité appropriées doivent être observées par le personnel de maintenant quand il travaille avec des analyseurs contaminés. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. 16/92 Sécurité ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 2.4 Utilisation conforme Le spectromètre de masse compact est utilisé pour l’analyse de pressions partielles. Les applications typiques sont la mesure, la surveillance et le contrôle de procédé dans les systèmes de vide. Utilisation du produit conformément à son usage prévu ► L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur. ► Se conformer aux limites d’utilisation. ► Observer la fiche technique. 2.5 Utilisations non conformes prévisibles Toute utilisation non conforme du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l’objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme non réglementaire, en particulier : ● ● ● ● ● ● 2.6 Utilisation en dehors des limites prescrites dans la fiche technique Utilisation pour des mesures déterminant la sécurité de personnes ou de grandes valeurs Utilisation avec des substances corrosives ou explosives Utilisation en extérieur Utilisation suite à des modifications techniques (à l’intérieur ou à l’extérieur du produit) Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu ● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante ● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit correspondante L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé. 2.7 Conditions propriétaire Travailler en toute sécurité 1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique. 2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers qu'il implique. 3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies : – Utilisation conforme – Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents – Normes et directives applicables au niveau local, national et international – Directives et régulations supplémentaires relatives au produit 4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum. 5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit. 6. Garantir la qualification du personnel. 17/92 Sécurité 2.8 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 2.8.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 18/92 Sécurité 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 2.9 Conditions opérateur Analyse des documents et données concernés 1. Lire, analyser et respecter le mode d’emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la société d’exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements. 2. L’installation, l’utilisation et l’entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l’utilisateur. 3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l’utilisateur et des documents pertinents. 4. Se conformer aux limites d’utilisation. 5. Observer la fiche technique. 6. Si ce manuel de l’utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l’utilisation ou de l’entretien du produit, contacter le Pfeiffer Vacuum Service Center. – Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum. 19/92 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fournitures Pièces incluses dans la livraison : ● QMG 250 PrismaPro ─ Analyseur QMA 250 avec protection pour le transport et pièce intermédiaire (variante EM uniquement) ─ Unité électronique QME 250 ─ Unité d'alimentation SP 250 ─ Joint cuivre DN 40 CF ● Matériel d’installation et petites pièces ─ Lot d’ensemble analyseur (écrou de fixation, joint torique, 6× boulons six pans avec écrous (M6) et disques de freinage) ─ Clé à douille pour le remplacement des filaments ─ Outil de montage pour analyseur QMA 250 ● Connecteurs multiples et câbles ─ Câble Ethernet (câble de mise à jour UTP, rouge, longueur 3 m, connexion croisée) ─ Prise Sub D (15 broches, mâle, avec carter et dispositif de soulagement de tension) ─ Prise Sub D HD 1) (62 broches, mâle, avec carter et dispositif de soulagement de tension) ─ Bouchon de câble 2) (Amphénol, 6 broches, mâle, pour connexion du tube de mesure) ● Documentation ─ Manuel de l’utilisateur (multilingue) ─ Guide de démarrage rapide (multilingue) ● Divers ─ Rapport de test (accessible sur l’appareil) ─ Web UI (accessible sur l’appareil) ─ Logiciel PV MassSpec (téléchargeable via PV Cloud) Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée. 3.2 Vue d’ensemble du système 3.2.1 Structure du système Le PrismaPro comprend 4 composants principaux : ● ● ● ● 20/92 Analyseur Unité électronique Unité de courant SP 250 avec câble de secteur Logiciel PV MassSpec 1) Uniquement en relation avec le module optionnel IO 250 I/O 2) Uniquement en relation avec le module optionnel IO 250 I/O Description du produit 1 2 8 3 9 4 6 7 5 Fig. 2: Composants principaux du PrismaPro 1 Analyseur QMA 250 F (avec seau de Faraday) 2 Écrou de fixation 6 7 3 Unité électronique QME 250 (construction droite) 4 Boîtier de connexion 8 5 Unité électronique QME 250 (construction angulaire) 9 Logiciel PV MassSpec Unité de courant SP 250 avec câble de secteur Analyseur QMA 250 M (avec EM) Pièce intermédiaire (seulement sur la version EM) L’utilisation du module optionnel IO 250 I/O permet d’utiliser des interfaces additionnelles. L’unité électronique QME 250 est disponible avec l’IO 250 déjà installé. Pfeiffer Vacuum peut, cependant, aussi reconditionner l’unité électronique QME 250 avec un IO 250. PrismaPro Web UI Vous trouverez des informations détaillées sur l’utilisation du PrismaPro Web UI dans le manuel de l’utilisateur correspondant. Le PrismaPro peut fonctionner via l’interface utilisateur Web UI ou avec le logiciel extrêmement complet PV MassSpec. Les données de mesure et l’évaluation des résultats de mesure ne peuvent être stockées qu’avec le logiciel PV MassSpec. Pour le fonctionnement de PV MassSpec, un PC avec le système d’exploitation Windows (Windows 7 ou supérieur) est nécessaire. 21/92 Description du produit 5 3 2 1 QME 250 IO 250 4 QMA 250 SP 250 DI AI DO AO 7 6 8 Fig. 3: 3.2.2 Vue d’ensemble du système 1 Source d’ions 2 Filtre quadripolaire 3 Détecteur Faraday 5 6 7 4 Multiplicateur d’électrons secondaire (EM) 8 Connexion au PC (Ethernet) avec PV MassSpec Jauges Entrées et sorties additionnelles (analogiques/numériques) Tension d’alimentation Analyseur QMA 250 L’analyseur est composé des composants suivants : ● Source d’ions ● Filtre quadripolaire ● Détecteur d’ions Il existe 2 variantes de détecteur d’ions : ● Analyseur QMA 250 F avec seau de Faraday ● Analyseur QMA 250 M en combinaison avec le seau de Faraday et un multiplicateur d’électrons secondaire (EM) et une pièce intermédiaire DN 40 CF-F (longueur 116 mm) 5 2 Fig. 4: 4 3 1 Analyseurs avec protection pour le transport 1 Analyseur QMA 250 F 2 Protection pour le transport 3 Analyseur QMA 250 M 4 5 Pièce intermédiaire Protection pour le transport Le multiplicateur d’électrons secondaire (EM) est un amplificateur de courant fonctionnant dans des conditions de vide élevé. Les analyseurs avec EM sont utilisés pour l’analyse de gaz résiduel et de trace à une pression totale très faible et des applications dans lesquelles une vitesse élevée de mesure est nécessaire. 22/92 Description du produit Les analyseurs avec détecteur Faraday fournissent une analyse de gaz résiduels dans un domaine de pression totale > 10-7 hPa. Pfeiffer Vacuum fournit seulement la version à source d’ions ouverte pour l’analyseur QMA 250 F avec seau de Faraday. L’analyseur QMA 250 M est disponible en option avec une source d’ions ouverte, une source d’ions croisés, une source d’ions à grille ou une source d’ions étanche au gaz (fermée). Type Description Source d’ions ouverte Source d’ions standard avec la sensibilité maximum Source d’ions croisés Source d’ions pour applications de faisceau moléculaire Source d’ions à grille Source d’ions pour l’analyse de gaz résiduelle dans l’UHV (< 10-8 hPa) Source d’ions étanche au gaz Source d’ions pour analyses de gaz quantitatives Tab. 6: 1 Sources d’ions pour analyseur QMA 250 M 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 19 18 17 16 15 14 13 12 Fig. 5: Composants de l’analyseur QMA 250 avec source d’ions ouverte 1 Unité à filament chauffé de la source d’ions 11 2 Source d’ions 12 3 Vis de fixation (3×) de la source d’ions 13 4 14 5 Écrou et vis de réglage pour l’alignement et la sécurisation du système à tige quadripolaire dans le tube d’enveloppe Vis (2×) du filtre quadripolaire 6 Tube d’enveloppe 16 7 Connexion HF pour système à tige quadripole 8 Vis de fixation (2×) de la bride de connexion dans le tube d’enveloppe 9 Connexion HF pour système à tige quadripole 10 Passage 3.2.3 15 Vis de fixation (2×) du multiplicateur d’électrons dans le tube d’enveloppe Vis de fixation et rondelle d’arrêt (3×) de l’analyseur au niveau du passage Vis de fixation (2×) des connexions HF du système à tige quadripole Vis (2×) du filtre quadripolaire 17 Isolateurs en céramique du câblage de la source d’ions Isolateurs en céramique du câblage des filaments chauffés 3) Connexions de la source d’ions (3×) 18 Connexions de l’unité à filament chauffé (3×) 19 Contacts sur l’analyseur (voir page 69) Unité électronique QME 250 L’unité électronique est située sur l’analyseur et communique avec l’ordinateur de pilotage. 3) Les isolateurs en céramique du câblage des filaments chauffés sont plus longs que les isolateurs en céramique du câblage de la source d’ions. 23/92 Description du produit Fig. 6: Désignation Explication Prise <AUX I/O> Interface I/O (standard) Prise <LAN> Connexion Ethernet (PC) Prise <24 V = 30 W> Prise de raccordement pour SP 250 Prise <USB> Connexion USB pour IO 250 Prise <EXT I/O> Interface I/O (étendue) pour IO 250 Prise <TP GAUGE> Raccordement pour la mesure pour IO 250 LED <STAT> État marche/arrêt de l’émission LED <POWER> Alimentation électrique marche/arrêt Tab. 7: 3.2.4 Face avant du QME 250 : côté gauche standard, côté droit avec IO 250 Éléments de la face avant Logiciel PV MassSpec Le système de spectromètre de masse PrismaPro peut être configuré et exploité avec le logiciel PV MassSpec. Le logiciel permet d'afficher, d'évaluer, de comparer et de sauvegarder les données de mesure. Fig. 7: PV MassSpec 3.3 Interfaces 3.3.1 ALIMENTATION ÉLECTRIQUE La connexion <24V = 30W> comprend un connecteur réseau verrouillable à 4 broches qui est isolé en interne de la mise à la terre secteur. 24/92 Description du produit 2 1 4 3 Fig. 8: Vue du connecteur de réseau 1 V2 V- 3.3.2 3 4 V+ V+ Ethernet (LAN) La connexion <LAN> comprend une prise RJ-45 à 8 broches. RJ-45 1 8 green yellow Fig. 9: Connexion Ethernet 1 Transmission de données (TD+) 2 Transmission de données (TD-) 3 Réception de données (RD+) 4, 5, 7, 8 6 LED État Signification Verte (lien) allumée Connexion de l'équipement présente éteinte Connexion de l'équipement absente allumée (clignotement) Transmission de données en cours éteinte Aucune transmission de données/absence de connexion Jaune (activité) Tab. 8: État de la connexion Ethernet AUX I/O La connexion <AUX I/O> comprend une prise Sub-D à 15 broches. L’unité électronique QME 250 PrismaPro prend en charge les fonctions I/O via la connexion <AUX I/O> sur la plaque frontale. 15 Fig. 10: 1 2 3 7 8 9 1 → 8 → 3.3.3 Non utilisé Réception de données (RD-) 9 AUX I/O, prise Sub-D à 15 broches Relais (COM) Relais (NO) Relais (NC) 0 V (GND pour sortie 24 V) + 24 V (sortie, max. 1 A) Entrée analogique 1 (+) 10 13 14 15 4, 5, 6, 11, 12 Entrée analogique 1 (-) Entrée numérique 1 (pré-réglage : Émission OFF) Entrée numérique 0 (pré-réglage : Émission ON) GND non attribué Types de contacts ● COM : Contact à permutation (commun) ● NC : Contact de repos ● NO : Contact de travail 25/92 Description du produit Relais L’état de la sortie relais est actif (fermé) quand l’émission est activée. ● Émission ON : broche 1 + broche 2 connectées = relais fermé. ● Émission OFF : broche 1 + broche 2 non connectées = relais ouvert. ● Charge de contact : 24 V (DC) à 0,5 A Le pré-réglage de la sortie relais détermine l’état de l’émission. Vous pouvez attribuer d’autres fonctions de commutation au relais via le logiciel PV MassSpec. Entrée analogique L’entrée analogique (broches 9 et 10) est différente et traite les entrées entre 0 et +10 V. PV MassSpec prend en charge l’entrée analogique. Entrées numériques Les entrées DI 0 et DI 1 (broches 13 et 14) sont réglées par défaut pour la télécommande de l’état d’émission. Vous pouvez utiliser les entrées numériques via le logiciel PV MassSpec pour d’autres fonctions. ● Émission ON : broche 14 + broche 15 connectées. ● Émission OFF : broche 13 + broche 15 connectées. Utilisation des entrées numériques pour contrôler les émissions La commande de l’émission via les entrées numériques prend le pas sur tous les verrouillages logiciels et matériels. Dans ce cas, un interverrouillage est nécessaire pour éviter l’activation de l’émission quand la pression de fonctionnement du PrismaPro est trop élevée. 3.3.4 EXT I/O La connexion <EXT I/O> comprend une prise Sub-D HD à 62 broches. L’unité électronique QME 250 PrismaPro prend en charge les fonctions I/O étendues via la connexion <EXT I/O> sur la face avant avec l’IO 250 installé. 21 1 42 22 62 43 Fig. 11: 1 2 3 4 5 7 8 9 10 12 14 16 18 22 23 24 25 26 27 28 29 31 26/92 EXT I/O, prise Sub-D HD à 62 broches Entrée numérique 13 Entrée numérique 14 Entrée numérique 15 Entrée numérique 16 Entrée numérique 17 Sortie numérique 2 Sortie numérique 3 Sortie numérique 4 Sortie numérique 5 Sortie analogique 3 Sortie analogique 2 Sortie analogique 1 Sortie analogique 0 Entrée analogique 2 (+) Entrée analogique 2 (-) Entrée analogique 3 (+) Entrée analogique 3 (-) Entrée analogique 4 (+) Entrée analogique 4 (-) Entrée analogique 5 (+) Entrée analogique 5 (-) Sortie numérique 8 32 33 34 35 36 37 38 21, 39, 40, 60 20, 41, 42, 62 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 6, 19, 30, 53, 54, 61 11, 13, 15, 17, 55, 56, 57, 58, 59 Sortie numérique 9 Sortie numérique 10 Sortie numérique 11 Sortie analogique 4 Sortie analogique 5 Sortie analogique 6 Sortie analogique 7 +24 V 4) 0 V 5) Entrée analogique 6 (+) Entrée analogique 6 (-) Entrée analogique 7 (+) Entrée analogique 7 (-) Entrée analogique 8 (+) Entrée analogique 8 (-) Entrée analogique 9 (+) Entrée analogique 9 (-) Sortie numérique 6 Sortie numérique 7 GND_Signal Terre analogique 4) * La tension d’alimentation 24 V est disponible sur les broches +24 V/0 V pour la commutation des entrées et des sorties numériques. Ensemble, le courant maximum pouvant passer est de 1 A. 5) * La tension d’alimentation 24 V est disponible sur les broches +24 V/0 V pour la commutation des entrées et des sorties numériques. Ensemble, le courant maximum pouvant passer est de 1 A. Description du produit Sortie analogique ● 8 canaux de sorties analogiques 16 bit (sortie analogique 0 à 7) ● Gamme de tension : 0 à 10 V Entrées analogiques ● 8 canaux d’entrées analogiques 16 bit (sortie analogique 2 à 9) ● Gamme de tension : +/- 10 V Sorties numériques ● 10 canaux de sorties numériques (sortie numérique 2 à 11), collecteur ouvert Fig. 12: Exemple de connexion : Sortie numérique EXT I/O Entrées numériques ● 5 canaux de sorties numériques (sorties numériques 13 à 17), faible activité 27/92 Description du produit Fig. 13: 3.3.5 Exemple de connexion : entrée numérique AUX I/O et EXT I/O TP GAUGE La connexion <TP GAUGE> comprend une prise amphénol 6 broches C 091 A pour la connexion des jauges Pfeiffer Vacuum ActiveLine ou DigiLine avec l’option de relais analogique Analog Relay (AR), par exemple comme protection du spectromètre de masse contre les augmentations imprévues de pression. 3 2 4 6 1 Fig. 14: 5 TP GAUGE, prise amphénol 6 broches C 091 A 1 Identification 2 Masse (GND) 3 Entrée de signal (signal de mesure 0 à +10 V CC) 3.3.6 4 5 6 Masse analogique (signal de mesure -) Protection, blindage Alimentation électrique (+24 V CC) USB L’utilisation de la connexion mini USB <USB> est réservée au personnel de maintenance Pfeiffer Vacuum, pour la maintenance. 3.4 Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. ► Pour identifier clairement le produit lors d’une communication avec Pfeiffer Vacuum, conservez toujours à portée de main les informations figurant sur la plaque signalétique. 28/92 Description du produit 3.5 Principe de fonctionnement Le spectromètre de masse compact PrismaPro est un système de spectromètre de masse quadripole pour l’analyse de gaz qualitative et quantitative dans une gamme de vide élevé et d’ultra vide pour la détection de fuites et l’identification de contaminations. Une source d’ions à faisceau d’électrons ionise les particules de gaz neutre. Un champ quadripolaire électrique à haute fréquence sépare les ions générés les uns des autres conformément au rapport entre la masse et la charge. La détection des ions filtrés est effectuée à l’aide d’un seau de Faraday ou d’un multiplicateur d’électrons secondaire (EM). Ce faisant, le flux d’ions détecté est proportionnel à la pression partielle des composants de gaz respectifs. Le système de spectromètre de masse quadripole est un instrument de mesure relative nécessitant un calibrage avec des gaz de calibrage correspondants afin d’obtenir une analyse de gaz quantitative précise. L’électronique du système de spectromètre de masse quadripole génère et contrôle les tensions directes, haute et HF nécessaires pour les sources d’ions, le filtre quadripolaire et le détecteur. Le système de spectromètre de masse quadripole permet la configuration et le fonctionnement via l’interface utilisateur basée sur le web (web UI) ou à l’aide du logiciel quadripole PV MassSpec. PV MassSpec permet l’évaluation, le stockage et la comparaison des données de mesure. A B C 1 3 2 U + V · cos ω · t Fig. 15: Principe du système de spectromètre de masse quadripole A Formation d’ions dans la source d’ions à partir de l’ionisation par impact des électrons 1 Optique des ions 2 Zone de formation 3 Filament chauffé B Séparation des ions selon le rapport entre la masse et la charge C Détection des ions dans le détecteur d’ions 29/92 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un transport en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Transporter le produit en toute sécurité ► Observez le poids spécifié sur l’emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d’origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirez le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant l’installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l’humidité, etc., provoquent des défauts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Stocker le produit en toute sécurité ► Conservez le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d’origine. ► Stockez les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenez la température d’entreposage admissible. ► Évitez les fortes variations de températures ambiantes. ► Évitez un taux d’humidité élevé dans l’air. ► Fermez les raccords avec les bouchons de protection d’origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d’origine (si disponibles). 30/92 Installation 5 Installation 5.1 Installation de PrismaPro DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en service du dispositif. ► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié. ► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique. – Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier). ► N’ouvrez jamais le dispositif lorsqu’il est connecté à une alimentation en courant. ► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée. ► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération. ► N’ouvrez jamais une unité de courant externe. ► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux. ► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux. ► Protégez le dispositif contre l’humidité. DANGER Danger de mort en cas d’électrocution Une mise à la terre inappropriée ou incorrecte de l’unité entraîne une tension sensible aux contacts au niveau du boîtier. Lors de la connexion, des courants de fuite plus élevés vont déclencher un choc électrique potentiellement mortel. ► Avant l’installation, contrôlez que les conducteurs d’alimentation ne sont pas sous tension. ► Acheminez le câble électrique conformément aux dispositions locales en vigueur. ► Assurez-vous que les valeurs de tension et de fréquence locales correspondent aux spécifications de la plaque signalétique. ► Veillez à ce que le câble d’alimentation et la rallonge soient conformes aux exigences de double isolation entre la tension d’entrée et la tension de sortie, conformément aux normes CEI 61010 et CEI 60950. ► N'utilisez qu’un câble d'alimentation à 3 broches et une rallonge disposant d'une mise à la terre correcte (conducteur mis à la terre). ► Ne branchez la fiche électrique que dans une prise disposant d'un contact de mise à la terre. ► Afin de garantir la protection de la mise à la terre, il convient de toujours brancher le câble électrique avant tous les autres. AVIS Défaillance liée à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. 31/92 Installation AVIS Dommages matériels causés par des conditions spatiales inadéquates En cas de conditions spatiales inadéquates, des courts-circuits entre l'analyseur et le mur vont causer des dommages matériels. ► Respectez les conditions spatiales requises pour le PrismaPro. ► Installez toujours l’analyseur dans des brides ou des tubes d’un diamètre interne ≥ 37 mm, et > 39 mm quand c’est possible. ► Observez la profondeur d’installation de l’analyseur. ► Observez le rayon de courbure du câble. ► Le câble ne doit pas avoir de nœuds. Accès aisé Lors de l'installation, vérifiez que l’unité est aisément accessible pour faciliter l’installation subséquente et les travaux de maintenance. Outils nécessaires ● Jeu de douilles ● Cié à douille PT 163 508 pour écrous M 1.6 ● Clé dynamométrique Filetage Couple de serrage M 1.6 0,15 Nm M 2.0 0,40 Nm M 2.5 0,85 Nm Tab. 9: Couples de serrage requis Procédure 1. Serrez toutes les vis et les écrous au couple de serrage nécessaire. 2. Installez l’analyseur. 3. Installez l’unité électronique. 4. Raccordez le câble de communication. 5. Raccordez l’alimentation électrique. 5.2 Installation de l’analyseur DANGER Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’analyseur Pendant le fonctionnement, une tension dangereuse est présente sur le système d’électrodes de l’analyseur QMA. Dans certaines conditions, les composants dans le système de vide sont dangereux au toucher. La tension électrique représente un danger mortel. ► Protégez les pièces installées, les unités raccordées et les lignes contre les connexions galvaniques, les éclats ou le flux porteur de charge. ► Assurez-vous que l’enceinte à vide, le QMA et l’appareillage complet ont toujours une connexion correcte à la terre protectrice. ► Fournissez une protection supplémentaire si l’utilisateur risque de toucher l’analyseur quand le système de vide est ouvert. ► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés. ► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système (par exemple, en utilisant un contact de porte). 32/92 Installation AVIS Endommagement de l'analyseur causé par des tensions et des champs magnétiques externes N’exposez jamais le système d'électrodes de l'analyseur à des tensions externes dangereuses en cas de contact, provenant de connexions galvaniques, d'un contact, d’un éclat, de faisceau d'électrons ou d'ions, etc. Si des sources dangereuses de ce type existent dans l’enceinte à vide, vous devez fournir des mesures protectrices qui éliminent en toute sécurité ces influences. Des tensions externes, même faibles, sur l'analyseur vont endommager l'électronique et entraîner des résultats de mesure inexacts. ► Prenez des mesures protectrices efficaces contre les tensions externes (par exemple, meilleure disposition, blindage, prise de terre, etc.). ► Ne montez pas l’analyseur à côté de champs magnétiques de > 0,2 mT. ► Assurez une protection mécanique contre le contact de l’analyseur et les composants installés. ► Assurez une séparation obligatoire de l’alimentation en courant lors de l’ouverture du système (par exemple, en utilisant un contact de porte). ► Observez les standards applicables au système de vide. AVIS Dysfonctionnement causé par une installation incorrecte Vous devez installer correctement l’analyseur QMA en termes de technique du vide, afin que les gaz à tester puissent accéder sans encombre à l’analyseur. C’est la seule façon de déterminer correctement la composition du gaz dans l’enceinte à vide. Quand des matières se sont vaporisées ou des revêtements de vide se sont déposés dans l’enceinte à vide, vous devez protéger l'analyseur contre la séparation de ces matières sur ses surfaces, à l’aide d’un écran ou d’un baffle. ► Installez toujours de façon correcte. ► Vérifiez que l’échange de gaz entre l'analyseur et l’enceinte à vide n’est pas gêné. ► Installez un écran ou un baffle pour éviter la formation d’un revêtement de vide de l'analyseur. ► L’analyseur doit être inclus dans la zone d'étuvage si vous chauffez le système. – Vous pouvez aussi monter l'analyseur avec un chauffage séparé. Positionnement horizontal de l’analyseur L'analyseur est approprié pour une installation dans une position arbitraire sur le système de vide. Pfeiffer Vacuum recommande une position de montage à l’horizontale. Ceci offre les avantages suivants : ● Protection optimale de l'unité électronique contre la chute d’articles ● Installation plus aisée ● Accès aisé à la face avant de l’unité électronique Outils requis ● 2 clés à fourche, WAF 10 Équipement nécessaire ● 1 joint cuivre (490DFL040-ID39-S-S5) ● Fils de cuivre dénudés ou jaune-vert avec une surface de section de 2,5 mm2 ou 4,0 mm2 33/92 Installation 1 2 Fig. 16: 3 Fixation et mise à la terre de l’analyseur 1 Marquage de la connexion de terre avec le symbole de prise de terre 2 Connexion de mise à la terre (M4) QMA 250 F 3 Position des têtes de vis QMA 250 M 1 2 3 Fig. 17: Auxiliaire d’assemblage et protection pour le transport 1 Protection pour le transport 2 Analyseur 3 Outillage d’installation Procédure 1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage fourni. 2. Avec précaution, retirez la protection pour le transport. 3. Stockez la protection pour le transport dans un endroit sûr pour une utilisation ultérieure. 4. Sécurisez l'analyseur avec un nouveau joint cuivre de façon à assurer la conductivité électrique sur l’enceinte à vide (bride CF DN 40) pour garantir la mise à la terre de l’analyseur comme prescrit. 5. Fixez les vis avec les têtes de vis sur le même côté que l’unité électronique pour éviter les détériorations entre l’écrou de fixation noir et les matières d'installation de l’analyseur. 34/92 Installation 6. Pour un système de vide sans mise à la terre : préparez un connecteur de mise à la terre à partir d’un fil de cuivre dénudé ou jaune-vert (2,5 mm2 si mécaniquement protégé 4,0 mm2 si non protégé). 7. Raccordez la connexion de mise à la terre marquée spécifiquement (M4) à la terre de fonction à l’aide d’un conducteur de mise à la terre séparé. 5.3 Assembler l’unité électronique DANGER Danger de mort à cause de la tension électrique sur l’unité électronique QME Vous devez seulement raccorder l’unité électronique à un analyseur QMA correctement installé (prise de terre). La conduite d’alimentation 24 V de l’alimentation en courant SP ne sera connectée que si la connexion de l’analyseur QMA n’est pas vissée à bloc sur l’unité électronique QME. Seul du personnel qualifié peut ouvrir l’unité électronique QME. Aucun composant de l’unité électronique QME ne nécessite d’entretien par l’utilisateur. ► Installez l’analyseur QMA correctement avant d’installer l’unité électronique QME. ► Établissez une connexion de terre correcte entre les composants. ► L’unité électronique QME ne peut être ouverte que par du personnel de maintenance qualifié. ► N’utilisez jamais l’unité électronique QME quand elle est ouverte. AVIS Dommage causé par la surchauffe de l’unité électronique QME La température ambiante ne doit pas excéder la température de service admissible du dispositif. La meilleure performance est atteinte quand l’unité électronique QME n’est pas à côté de sources de chaleur où elle est exposée à de fortes variations de température. ► Veiller à ce que l’air puisse circuler sans entrave. ► Assurez-vous que le ventilateur est installé sur la face avant et qu’il est activé pendant le fonctionnement. ► Assurez-vous que l’air puisse entrer par les ouvertures sur la face avant de la QME et sortir sans obstruction par l’arrière du dispositif. ► Observez les températures de fonctionnement admissibles. AVIS Dommages liés à la torsion des contacts Vous risquez de plier les contacts si vous appliquez une force exagérée lors du montage du boîtier électronique angulaire. Cela endommagerait et déformerait les contacts. ► Appliquez une force seulement sur le boîtier de connexion angulaire de l’unité électronique. Condition préalable ● Analyseur QMA 250 installé correctement sur l’enceinte à vide. Équipement nécessaire ● Kit d’installation de l’analyseur avec écrous de fixation et joint torique Procédure 1. Faites glisser l’écrou de fixation sur l’extrémité de l’analyseur. 2. Placez le joint torique sur l’extrémité de l’analyseur. 3. Roulez le joint torique vers le bas de l’analyseur jusqu’à ce qu’il repose dans la rainure. 4. Avec précaution, insérez l’unité électronique jusqu’à la marque entaillée sur l’analyseur installé précédemment. 5. Vérifiez que la languette de mise à la terre et la rainure de guidage sont bien positionnées. 6. Assurez-vous que l’unité électronique est montée correctement. 7. Serrez manuellement l’écrou de fixation sur l’unité électronique. L’écrou de serrage comprime le joint torique et assure un bon serrage de l’unité électronique sur le boîtier de l’analyseur. 35/92 Installation 5.4 Établir une connexion électrique par connecteur mâle/femelle 5.4.1 Établissement de la connexion Ethernet Le PrismaPro n'a pas de commandes propres. Un PC (ordinateur de pilotage) ou un réseau est requis pour le fonctionnement. 2 LED dans la prise RJ-45 indiquent l'état de l’interface. Raccordement du câble Ethernet ► Raccordez le câble Ethernet fourni à l’unité électronique QME 250 et au PC. 5.4.2 Raccordement de l’alimentation en courant AVIS Dommages dûs au débranchement ou au raccordement du câble d’alimentation électrique sous tension Débrancher ou brancher le câble d’alimentation électrique quand il est sous tension sur l’unité électronique QME va endommager celle-ci. ► Avant de débrancher le câble d’alimentation électrique, vérifiez qu’il n’est pas sous tension. ► Avant de brancher le câble d’alimentation électrique, vérifiez qu’il n’est pas sous tension. AVIS Défaillance des branchements électriques causée par des influences perturbatrices externes Pour des raisons de compatibilité électromagnétique (CEM) (effets d'interférence externe), nous recommandons fortement un point de prise de terre central pour tous les appareils accouplés ensemble (par exemple, le groupe de pompage, l’unité de commande, le PC, l’enregistreur, etc.). Une prise multiple, ou mieux, un distributeur de puissance avec un interrupteur secteur remplit la fonction de façon simple. Sauf : pour les ordinateurs installés éloignés les uns des autres ou dans un environnement fortement perturbé. ► Utilisez une prise multiple ou un distributeur de puissance avec un interrupteur secteur. ► Acheminez séparément le câble de commande par rapport à la source d'interférence. AVIS Dommage causé par une charge mécanique des connexions électriques Des charges mécaniques, des mouvements violents, etc. entraînent des contraintes et des dommages sur les connexions électriques. ► Vérifiez que les connexions électriques ne sont pas soumises à des contraintes. Conditions préalables ● Conditions ambiantes appropriées ● Une ventilation adéquate est garantie ● Tension secteur 100 à 240 V (AC) / 50 à 60 Hz / 80 W max. Procédure 1. Coulissez en arrière le blocage sur le connecteur de câble 24 V de l'alimentation en courant. 2. Raccordez le câble à la prise 24 V sur l’unité électronique QME 250. 3. Libérez le blocage pour engager le connecteur sur l’unité électronique QME 250. 4. Raccordez le câble de secteur d'alimentation en courant sur l’unité de courant. 5. Connectez le connecteur AC du câble de secteur dans une prise adéquate. 6. Vérifiez que la LED <POWER> s'allume sur la face avant. 7. Contrôlez le raccordement de puissance si la LED <POWER> ne s'allume pas. 5.5 Raccordement des jauges Condition préalable ● IO 250 installé 36/92 Installation Type de jauge Conn. Dégazage <TP GAUGE> non Pfeiffer Vacuum ActiveLine PCR 280 PKR 251 / PKR 261 / PKR 360 / PKR 361 non PBR 260 / PBR 360 oui TPR 270 / TPR 271 / TPR 280 / TPR 281 non Pfeiffer Vacuum DigiLine HPT 200 AR <TP GAUGE> non PPT 200 AR non RPT 200 AR non MPT 200 AR non Tab. 10: Jauges Raccordement des jauges ► Raccordez la jauge sur le raccordement <TP GAUGE> du PrismaPro. – L’unité électronique détecte le type de jauge automatiquement quand elle est activée. ► Après le remplacement d’une jauge, déconnectez le connecteur de l’alimentation électrique de l’unité électronique pendant 10 secondes, puis reconnectez-le. – L’unité électronique lit le nouveau type de jauge. Mise en circuit et hors circuit de la jauge dans PV MassSpec La mise hors circuit de la jauge a un effet positif sur la mesure dans certaines applications. Par défaut, la jauge est mise en circuit dans PV MassSpec. 1. Démarrez le logiciel PV MassSpec. 2. Dans la fenêtre « Principal », sélectionnez : Configuration > Capteur : Configuration du matériel 3. Commutez la jauge dans « Matériel » : Manomètre Externe ON ou OFF (Oui/Non). – Cette sélection est conservée au redémarrage du PrismaPro. 4. Remettez en circuit une jauge hors circuit dans « Matériel » : Manomètre Externe On. 5.6 Établissement d’une connexion au réseau Le PrismaPro utilise Ethernet comme méthode de communication standard et a une adresse IP et une adresse MAC. ● Adresses IP Un réseau utilise des adresses IP comme moyen d’identification des unités individuelles. Les adresses IP sont uniques dans un réseau mais ne sont pas universelles ce qui signifie qu’un seul appareil dans un réseau peut disposer d'une certaine adresse IP, mais deux appareils dans un réseau séparé peuvent avoir la même adresse IP. ● Adresses MAC Les adresses MAC sont une autre identification unique pour chaque appareil. Les adresses MAC sont singulières. PV MassSpec utilise des adresses IP pour localiser et identifier les systèmes PrismaPro dans un réseau. Vous pouvez trouver des informations sur certaines variables de réseau affectant la connexion PrismaPro dans les sections suivantes. 5.6.1 Adresses IP AVIS Conflit des adresses IP lors de l’utilisation de plusieurs appareils PrismaPro Pfeiffer Vacuum fournit à chaque appareil PrismaPro la même adresse IP par défaut. La connexion simultanée de plusieurs PrismaPro avec une adresse IP identique entraîne des conflits d'adresse IP dans le réseau. 1. Changez les adresses IP des appareils PrismaPro connectés. 2. Raccordez les appareils PrismaPro à un réseau. 37/92 Installation Utilisation des adresses IP Pfeiffer Vacuum recommande l'utilisation d’adresses IP statiques. Réservez un bloc d'adresses IP statiques et vérifiez que ces adresses IP réservées sont interdites sur le serveur DHCP (hôte). Cela évitera tout conflit avec des doublons d'adresses IP. Si vous connectez le PrismaPro à un réseau local existant, une adresse IP statique est nécessaire pour chaque PrismaPro installé. Consultez votre administrateur réseau pour qu’il attribue les différentes adresses IP. Les adresses IP statiques protègent contre la perte de données. Le logiciel PV MassSpec utilise l’adresse IP du PrismaPro pour identifier chaque PrismaPro connecté. L’adresse IP du PrismaPro ne doit pas changer pendant le fonctionnement. Avec DHCP, l’hôte peut générer une nouvelle adresse IP à chaque connexion et reconnexion du PrismaPro. DHCP peut également modifier automatiquement l’adresse IP en cas de conflit d’adresse IP sur le réseau. Si l'adresse du PrismaPro change de façon aléatoire pendant l’acquisition de données, PV MassSpec ne sera pas automatiquement reconnecté au PrismaPro, car PV MassSpec ne prend pas en charge la nouvelle adresse IP qui a été attribuée. Il en résulte une rupture de communication et de données. Les adresses IP statiques changent seulement si l’adresse IP est modifiée manuellement, ce qui contribue à protéger le PrismaPro contre toute perte de communication et de données. Adresse IP standard du PrismaPro ● Préfixe réseau : 192.168.x.xxx ● Adresse IP : 192.168.1.100 Le PrismaPro utilise des adresses IP IPv4. Les adresses IP IPv4 sont composées de 32 bit en notation décimale pointée. Elles sont constituées de quatre numéros décimaux, séparés chacun de 0 à 255 par des points, par exemple : 192.168.1.100. Chaque numéro représente un octet. En principe, les adresses IP contiennent un préfixe réseau et un protocole hôte. Réglage des adresses IP ► Recommandation : Utilisez des adresses IP statiques. – Vous pouvez régler et modifier manuellement les adresses IP statiques. ► N’utilisez pas d’adresses IP dynamiques. – Un hôte (DHCP) règle automatiquement ces adresses IP. ► Une alternative au changement d’adresse IP du dispositif consiste à modifier l’adresse IP de l’ordinateur de pilotage, afin de permettre la communication entre l’ordinateur de pilotage et le dispositif. 5.6.2 Sous-réseaux Masque de sous-réseau standard du PrismaPro ● Masque de sous-réseau : 255.255.0.0 Un sous-réseau est une sous-division logique visuelle d’un réseau IP. Le fait de diviser un réseau IP en plusieurs sous-réseaux est désigné par sous-réseautage. Le sous-réseautage définit la partie de l’adresse IP qui est utilisée comme préfixe de réseau pour toutes les adresses IP au sein d’un sousréseau. Cette opération est effectuée par le masque de sous-réseau. Exemple 1 Exemple 2 Exemple 3 Adresse IP 192.168.1.104 192.168.1.105 192.168.1.150 Masque de sous-réseau 255.255.255.0 255.255.0.0 255 255 255 192 Préfixe réseau 192.168.1.0 192.168.0.0 192.168.1.128 Protocole hôte 0.0.0.104 0.0.1.105 0.0.0.22 Tab. 11: Exemples de sous-réseaux Le masque de sous-réseau définit quel octet doit être utilisé par l’adresse IP comme préfixe réseau. Pour que 2 appareils réseaux puissent communiquer, ils doivent être situés dans le même sous-réseau. 38/92 Installation Cela implique que non seulement, ils doivent être connectés au même réseau internet, mais également qu’ils doivent avoir le même préfixe réseau. Quand 2 appareils sont identifiés par 2 préfixes réseau différents, cela signifie qu'ils sont localisés sur des sous-réseaux différents. 5.6.3 Changement de l’adresse IP PrismaPro Manuel de l’utilisateur pour Web UI et PV MassSpec Les informations sur le fonctionnement de PrismaPro via Web UI et PV MassSpec sont disponibles dans le manuel de l'utilisateur séparé pour Web UI et dans la documentation du logiciel PV MassSpec. Procédure ► Changez l’adresse IP du dispositif en utilisant Web UI. ► Changez l’adresse IP du dispositif à l’aide de PV MassSpec Search. 5.6.4 Modification de l’adresse IP de l’ordinateur hôte Droits d’administrateur Les étapes suivantes sont valables pour le système d’exploitation Windows 7. Toute modification de l’adresse IP de l’ordinateur hôte nécessite des droits d’administrateur. Contactez votre administrateur système le cas échéant. Adresse IP par défaut 192.168.1.100 Par défaut, l'adresse IP de l’unité est 192.168.1.100. Vous ne pouvez pas l’utiliser ici. Rétablissement de la valeur par défaut de l’adresse IP Effectuez toutes les étapes depuis le début et remplacez à nouveau les propriétés IPv4 par les valeurs standards pour régler l’adresse IP sur la valeur standard. Procédure 1. Dans la barre des tâches, cliquez sur Démarrer. 2. Cliquez sur Panneau de contrôle. 3. Dans « Réseau et Internet », cliquez sur État du réseau et tâches. 4. Cliquez sur Modifier les réglages de l’adaptateur. 5. Cliquez sur le bouton droit de la souris sur la connexion existante (p. ex. RÉSEAU LOCAL). 6. Sélectionnez Propriétés. 7. Sélectionnez Internet Protocol Version 4 (TCP/IPv4). 8. Sélectionnez Propriétés. 9. Dans le menu Propriétés, sous la rubrique Utiliser l'adresse IP suivante, entrez l’adresse IP 192.168.1.xxx et le masque de sous-réseau 255.255.0.0. – « xxx » ne doit pas correspondre à 100 dans l’adresse IP. 10. Confirmez les entrées avec OK pour valider l’adresse IP sélectionnée manuellement. 11. Quittez toutes les fenêtres Panneau de contrôle ouvertes. 5.7 Connexion du PrismaPro 5.7.1 Connexion de chaque PrismaPro individuel Installation d’un PrismaPro unique dans un réseau privé ► Changez seulement l’adresse IP du PrismaPro si l’ordinateur de pilotage utilisé a un préfixe réseau différent de celui du PrismaPro. ► Changez l'adresse IP de l’ordinateur de pilotage si l’ordinateur de pilotage n’a pas le même préfixe de réseau et le même masque de sous-réseau que le PrismaPro. 39/92 Installation Connexion d’un PrismaPro unique directement à l’ordinateur de pilotage ► Changez seulement l’adresse IP du PrismaPro si l’ordinateur de pilotage utilisé a un préfixe réseau différent de celui du PrismaPro. ► Changez l'adresse IP de l’ordinateur de pilotage si l’ordinateur de pilotage n’a pas le même préfixe de réseau et le même masque de sous-réseau que le PrismaPro. Installation d’un PrismaPro unique dans un réseau local existant ► Changez l’adresse IP standard du PrismaPro si celle-ci est incompatible avec le réseau. 5.7.2 Raccordement de plusieurs appareils PrismaPro AVIS Conflit des adresses IP lors de l’utilisation de plusieurs appareils PrismaPro Pfeiffer Vacuum fournit à chaque appareil PrismaPro la même adresse IP par défaut. La connexion simultanée de plusieurs PrismaPro avec une adresse IP identique entraîne des conflits d'adresse IP dans le réseau. 1. Changez les adresses IP des appareils PrismaPro connectés. 2. Raccordez les appareils PrismaPro à un réseau. Conflits avec les réseaux locaux Les routeurs peuvent causer des conflits avec les réseaux locaux quand le routeur tente de régler les adresses IP de tous les appareils connectés au réseau. Les appareils PrismaPro sont connectés au réseau et nécessitent des adresses IP individuelles. Les adresses IP sont attribuées par un administrateur du réseau. Connexion de plusieurs appareils PrismaPro à l’ordinateur de pilotage 1. Configurez un réseau local privé pour connecter plusieurs PrismaPro à un seul ordinateur de pilotage. 2. Changez les adresses IP de tous les PrismaPro manuellement. 3. Installez les PrismaPro sur un routeur ou un commutateur Ethernet. 4. Connectez le routeur ou le commutateur Ethernet à l’ordinateur de pilotage via le port RÉSEAU LOCAL du routeur/commutateur Ethernet. Installation de plusieurs PrismaPro dans un réseau local existant 1. Utilisez un commutateur Ethernet plutôt qu’un routeur pour installer plusieurs PrismaPro dans un réseau local existant. 2. Connectez tous les PrismaPro au commutateur Ethernet. 3. Connectez le commutateur Ethernet au réseau local. 5.8 Installation de PV MassSpec Données d’accès Scannez le code QR ou cliquez ici pour télécharger la dernière version du logiciel PV MassSpec. Mot de passe : PrismaPro. Fig. 18: 40/92 Raccourci sur le bureau Installation Procédure 1. Ouvrez la table des menus dans le Cloud Pfeiffer Vacuum. 2. Téléchargez le logiciel. 3. Démarrez l’installation du logiciel en double-cliquant sur « PVMassSpec_Installer.exe ». 4. Si nécessaire, accusez réception de l’invite de commande de compte d'utilisateur en cliquant sur « Oui ». 5. Continuez l'installation à l’aide de l’assistant. 6. Acceptez la licence en cliquant sur « Oui ». 7. Entrez votre nom et le nom de votre entreprise dans la fenêtre des informations client. 8. Confirmez les entrées avec « Suivant ». – Le logiciel effectue et termine l’installation, stocke les données du programme sur le disque C dans le nouveau dossier « Pfeiffer Vacuum ». À la fin de l’installation, un lien PV MassSpec est créé sur votre bureau. 41/92 Mise en service 6 Mise en service 6.1 Mise en service de l’appareil Paramètres d’usine Pfeiffer Vacuum configure de façon optimale les systèmes complets à l’usine. Vous ne devez donc pas effectuer de changements sans une bonne raison. Conditions préalables ● ● ● ● ● Composants du système correctement installés Conditions pertinentes remplies pour le vide ou le système Fiche technique respectée Connecteur de réseau retiré Vide requis disponible ─ < 10-4 hPa pour QMA 250 F ─ < 10-5 hPa pour QMA 250 M Procédure 1. Raccordez le câblage des composants du système. 2. Établissez une connexion LAN avec le PC (directe ou via un réseau). 3. Configurez le PC selon les instructions dans la documentation du logiciel. 4. Consultez le manuel de l'utilisateur correspondante pour les autres composants du système. 6.2 Mettre sous tension d’appareil DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en service du dispositif. ► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié. ► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique. – Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier). ► N’ouvrez jamais le dispositif lorsqu’il est connecté à une alimentation en courant. ► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée. ► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération. ► N’ouvrez jamais une unité de courant externe. ► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux. ► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux. ► Protégez le dispositif contre l’humidité. PrismaPro Web UI n’autorise pas de stockage de données PrismaPro Web UI est un outil de surveillance et de diagnostic à distance, conçu pour la surveillance des données et des diagnostics simples du vide. Le stockage ou l’affichage de données dans un graphique de tendance est impossible avec PrismaPro Web UI. Utilisezun programme logiciel complet comme PV MassSpec pour stocker des données, le mode crête sélectionné ou des graphiques de tendance. Activer ou désactiver le QME sur le connecteur de réseau seulement Activez ou désactivez le QME en insérant ou en débranchant le connecteur de réseau seulement. Le connecteur 24 V doit toujours rester branché. 42/92 Mise en service Transmission de données Si la DEL jaune de la connexion Ethernet reste éteinte, un problème est apparu pendant la transmission des données. Contrôlez le câble et les composants dans le chemin de connexion, ainsi que la configuration correcte du PC (logiciel, état du pare-feu, etc.). Procédure Comme alternative au fonctionnement avec le logiciel PV MassSpec, vous pouvez aussi piloter PrismaPro via Web UI. Web UI permet d’effectuer des mesures simples ainsi qu’une détection de fuites. De plus, vous pouvez aussi ajuster et régler différents paramètres de l’appareil. 1. Insérez le connecteur de réseau de l’unité de courant SP 250. – La LED <POWER> sur la face avant de l'unité électronique s'allume et le PrismaPro QMG 250 est prêt pour l’utilisation. 2. Activez le PC. 3. Démarrez le logiciel PV MassSpec. – La LED jaune de la connexion Ethernet du QME 250 s'allume par intermittence pour indiquer que des données sont échangées. 4. Continuez la mise en service dans PV MassSpec. 43/92 Utilisation 7 Utilisation 7.1 Utilisation de PrismaPro Web UI Vous trouverez des informations détaillées sur l’utilisation de PrismaPro Web UI dans le manuel de l'utilisateur correspondant. 7.2 Utiliser PV MassSpec Vous trouverez des informations détaillées sur l’utilisation de PV MassSpec dans le fichier d’aide du logiciel et dans ce mode d’emploi. 44/92 Mise hors service 8 Mise hors service DANGER Danger de mort en cas de contact avec la haute tension De hautes tensions existent dans le dispositif. Danger de mort en cas de contact avec des éléments sous tension. En cas de dommage visible, il y a un risque de blessure mortelle lors de la mise en service du dispositif. ► Toute intervention sur le dispositif ouvert doit être confiée à un personnel spécialisé et qualifié. ► Avant d’exécuter une installation ou une opération de maintenance, arrêtez le dispositif et déconnectez-le de l’alimentation électrique. – Une fois mis hors circuit, attendez environ 60 secondes avant de déconnecter tous les câbles (câble pour courant fort en dernier). ► N’ouvrez jamais le dispositif lorsqu’il est connecté à une alimentation en courant. ► Sécurisez l’alimentation en tension contre toute réactivation involontaire ou non autorisée. ► N’insérez pas d’objets dans les ouvertures d’aération. ► N’ouvrez jamais une unité de courant externe. ► Ne faites jamais fonctionner un dispositif ouvert ou défectueux. ► Prenez les mesures nécessaires pour empêcher l’utilisation accidentelle d’un dispositif défectueux. ► Protégez le dispositif contre l’humidité. AVIS Défaillance liée à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Activer ou désactiver le QME sur le connecteur de réseau seulement Activez ou désactivez le QME en insérant ou en débranchant le connecteur de réseau seulement. Le connecteur 24 V doit toujours rester branché. Condition préalable ● PrismaPro refroidi à la température ambiante Mise hors service du PrismaPro 1. Déconnectez l’alimentation électrique. – La LED <POWER> sur la platine de l’unité électronique est éteinte. 2. Déconnectez le câblage des composants du système. 3. Déconnectez le câble de communication. 4. Quittez le logiciel PV MassSpec. 5. Déconnectez l’unité de commande électronique de l’analyseur. 6. Retirez l’analyseur du système de vide. 7. Montez la protection pour le transport sur l’analyseur. 45/92 Maintenance 9 Maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Demande de garantie Ouvrir l’appareil pendant la période de garantie ou endommager/supprimer le sceau de garantie annulera la garantie. Contactez le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d’intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. Commencer par lire intégralement les sections Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à travailler. 9.1 Exécution du travail de maintenance Entretien de l’analyseur QMA 250 L’analyseur vieillit en fonctionnant normalement et ne nécessite par de maintenance préventive ou régulière. ► Contrôlez visuellement l’analyseur. ► Éliminez les dysfonctionnements et les défauts qui résultent d’une source d'ions contaminée ou d’un analyseur contaminé à l’aide de la fonction d'étuvage de la source d'ions ou par étuvage de l’analyseur. ► Vérifiez si vous obtenez de meilleurs résultats avec les réglages du rapport de test avant d’effectuer une maintenance de grande ampleur. – Une sensibilité inappropriée, des dysfonctionnements et des défauts peuvent aussi résulter d'un réglage incorrect des paramètres de la source d'ions. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Entretien de l’unité électronique QME 250 L’unité électronique QME 250 ne nécessite normalement pas de maintenance ou de réparations. ► Contactez Pfeiffer Vacuum Service. 46/92 Maintenance 9.2 Rapport de test Le rapport de test énumère les paramètres de la source d’ions qui ont obtenu de bons résultats pendant l’inspection finale à l’usine. Fig. 19: Extrait d’un exemple de rapport de test Visualiser le rapport de test 1. Ouvrez votre navigateur web. 2. Dans la barre d'adresse, entrez : http://<IP ADDRESS>//testreport.pdf – À la place de <IP ADDRESS>, entrez l’adresse IP du PrismaPro. Le fichier PDF du rapport de test va s’ouvrir. 9.3 Entretien de l’analyseur QMA 250 AVIS Endommagement des filaments à cause d’une manutention incorrecte Les filaments sont des unités pré-assemblées extrêmement sensibles. Les filaments sont aisément endommagés en cas de manutention incorrecte. ► Seul du personnel qualifié doit être autorisé à remplacer les filaments. ► Ne touchez jamais un filament, même avec des gants. ► Ne pliez jamais l’unité filament. ► N’inclinez jamais l’unité filament, car cela déformerait le compartiment de formation. 47/92 Maintenance AVIS Défaillance liée à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Inspection visuelle avant le remplacement de l’unité filament Inspectez et évaluez la source d'ions complète avant le remplacement de l’unité filament. Pfeiffer Vacuum recommande de remplacer toute la source d'ions en cas de dommages, de dépôts significatifs, d’encrassement ou de signes de contamination (p. ex., décoloration). 9.3.1 Inspecter visuellement l’analyseur QMA 250 Condition préalable ● PrismaPro désactivé 1 1 5 1 4 2 4 3 Fig. 20: 6) 48/92 Source d’ions avec source d’ions à ouverture comme exemple 1 Connexions de l’unité filament (3×) 4 2 Cage de déflecteur 3 Isolateurs en céramique du câblage des filaments et du câblage de la source d’ions 6) 5 Connexions de la source d’ions (3×) Cage de l’anode (interne) Les isolateurs en céramique du câblage des filaments sont plus longs que les isolateurs en céramique du câblage de la source d’ions. Maintenance 1 2 6 Fig. 21: 5 4 3 Connexions du filament et de la source d’ions avec les étriers de fixation 1 Contrefiche en U 2 Vis 3 Contrefiche non parallèle à la contrefiche en U 4 5 6 Connexion bien montée Contrefiche parallèle à la contrefiche en U Connexion mal montée Bonne connexion Mauvaise connexion ● Fil dans le coin de la contrefiche en U ● Contrefiche en U non parallèle à la contrefiche ● Fil trop près de la vis ● Contrefiche en U parallèle à la contrefiche. Ceci pourrait entraîner une mauvaise connexion et une augmentation de la résistance. Le fil peut se desserrer à cause des cycles de température, causant ainsi une connexion intermittente. Tab. 12: Connexions du filament avec la source d’ions 1 1 2 2 Fig. 22: Connexions haute fréquence du filtre de masse quadripolaire 1 Vis du filtre de masse quadripolaire 2 Connexions haute fréquence Procédure 1. Inspectez la fixation sécurisée des étriers des connexions du filament (court-circuit). 2. Inspectez les zones oxydées des connexions du filament. 3. Inspectez la fixation sécurisée des étriers des connexions de la source d'ions (court-circuit). 4. Inspectez les zones oxydées des connexions de la source d'ions. 5. Inspectez les dommages sur les isolateurs en céramique des connexions du filament et de la source d’ions. – Les isolateurs en céramique isolent les câbles du tube d’enveloppe de l’analyseur. 6. Contrôlez la déformation ou la contamination de la cage de l’anode. – La contamination peut ne pas être immédiatement évidente et peut seulement être identifiée en cas de mauvaise performance. 49/92 Maintenance 7. Contrôlez la déformation ou la contamination des connexions de la cage du déflecteur. – La contamination peut ne pas être immédiatement évidente et peut seulement être identifiée en cas de mauvaise performance. 8. Contrôlez que le filtre de masse quadripolaire est connecté correctement. 9. Contrôlez que les hautes fréquences sont connectées correctement. 9.3.2 Étuvage de l’analyseur AVERTISSEMENT Risque de brûlures pendant l'étuvage Pendant et immédiatement après l'étuvage, la chemise chauffante et les surfaces métalliques à côté de la chemise chauffante sont extrêmement chaudes. Les surfaces métalliques peuvent atteindre des températures supérieures à 100 °C. Vous allez vous brûler si vous ne portez pas d'équipement de protection individuel approprié. ► Lors de l'étuvage, portez toujours l'équipement de protection individuel (par exemple, des gants protecteurs). ► Ne touchez jamais les surfaces sans porter de gants protecteurs, pendant ou immédiatement après l'étuvage. AVIS Endommagement de l’unité électronique (QME) causé par l'étuvage Des températures trop élevées endommagent l’unité électronique. ► Démontez l’unité électronique de l’analyseur (Q&R) avant l'étuvage à une température > 200 °C. AVIS Endommagement du multiplicateur d'électrons (EM) causé par des températures excessives L'activation du multiplicateur d'électrons à des températures élevées va entraîner des dommages permanents. ► N'activez pas le multiplicateur d'électrons quand la température de l’analyseur > 150 °C. Conditions préalables ● Système de vide avec chauffage pour l'étuvage de l’analyseur ● Température pouvant être atteinte avec le chauffage > 120 °C. ● Vide élevé > 1 × 10-5 hPa Type de détecteur Faraday Combinaison EM/Faraday Tab. 13: En fonctionnement QME retiré 200 °C 300 °C Mode EM 150 °C 300 °C Mode Faraday 200 °C 300 °C Températures d'étuvage maximum Étuvage de l’analyseur 1. Essayez de restaurer les performances normales en étuvant l’analyseur sous vide élevé pendant plusieurs heures, idéalement pendant toute la nuit. 2. Vérifiez les filaments et la source d'ions si le résultat désiré n’est pas obtenu par étuvage de l’analyseur. 3. Contactez Pfeiffer Vacuum Service si vous ne pouvez pas éliminer le problème de cette façon. 50/92 Maintenance 9.4 Remplacer l’unité filament Inspection visuelle avant le remplacement de l’unité filament Inspectez et évaluez la source d'ions complète avant le remplacement de l’unité filament. Pfeiffer Vacuum recommande de remplacer toute la source d'ions en cas de dommages, de dépôts significatifs, d’encrassement ou de signes de contamination (p. ex., décoloration). AVIS Défaillance liée à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Lors de l’assemblage et de la maintenance sur les systèmes à vide élevé ou à ultra-vide, veiller à toujours porter des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Enlevez les obturateurs de protection et les couvercles protecteurs des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Enlevez la protection pour le transport de l’analyseur seulement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. AVIS Endommagement des filaments à cause d’une manutention incorrecte Les filaments sont des unités pré-assemblées extrêmement sensibles. Les filaments sont aisément endommagés en cas de manutention incorrecte. ► Seul du personnel qualifié doit être autorisé à remplacer les filaments. ► Ne touchez jamais un filament, même avec des gants. ► Ne pliez jamais l’unité filament. ► N’inclinez jamais l’unité filament, car cela déformerait le compartiment de formation. 9.4.1 Remplacement du filament chauffé de la source d’ions ouverte AVIS Endommagement de l’anode du filament de la source d'ions à ouverture causé par le mouvement horizontal Un mouvement horizontal excessif va endommager l'anode. ► Placez l'unité filament sur la source d'ions avec précaution et soin. ► Vérifiez que l’anode et le contre-alésage sont alignés. Condition préalable ● PrismaPro désactivé Outils requis ● ● ● ● Clé à douille, WAF 3,2 Tournevis plat, 3 mm Clé dynamométrique Pince plate Aides requises ● Auxiliaire de montage pour l’analyseur Pièces de rechange requises ● Unité à filament chauffé pour source d’ions à ouverture avec filaments chauffés en tungstène ou filaments chauffés iridium recouverts Y2O3 ● Si nécessaire, lot de pièces PT 163 544 pour le remplacement des vis, écrous ou étriers 51/92 Maintenance Logiciel requis ● PV MassSpec Rondelle ressort sur unité filament La rondelle ressort sur l’unité filament assure un contact flexible entre la cage du déflecteur et la masse (GND) du QMA. La rondelle ressort doit toucher la vis de fixation sans que les deux parties soient boulonnées ensemble. 6 1 4 7 2 5 3 Fig. 23: 8 Démontage de l’unité à filament chauffé de la source d’ions ouverte 1 Écrou (3×) (M1.6, à encoche, acier inoxydable, plaquée or) 2 Disques de blocage (3×) 3 Contrefiche (3×) 4 Vis (3×) (M1.6× 4, tête plate) 5 6 7 8 Étrier (3×) (M1.6, pour filament chauffé) Unité à filaments chauffés Rondelle-ressort Vis de fixation Démontage de l'unité à filaments 1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage. 2. Retirez les écrous et les disques de serrage des contrefiches. 3. Tenez les étriers avec la pince plate. 4. Desserrez les vis des étriers sans trop dévisser les vis. – La pince arrière va tomber si les vis sont trop desserrées. 5. Avec précaution, tirez sur les connexions du filament pour les enlever de l’unité filament. 6. Avec précaution, tirez sur l’unité filament pour l’enlever de la source d'ions. 1 3 6 4 2 Fig. 24: 52/92 7 8 9 5 Insertion de l’unité à filament chauffé de la source d’ions ouverte 1 Unité à filaments chauffés 6 2 Contre-alésage 7 3 Écrou (3×) (M1.6, à encoche, acier inoxydable, plaquée or) 4 Disques de blocage (3×) 5 Contrefiche (3×) 8 Vis (3×) (M1.6× 4, tête plate) Étrier (3×) (M1.6, pour filament chauffé) Rondelle-ressort 9 Vis de fixation Maintenance Installation de l’unité filament 1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage. 2. Avec précaution, retirez l’unité filament du verrou de transport. 3. Montez la nouvelle unité filament sur les anneaux d’écartement afin que l’anode de l’unité filament soit alignée avec le contre-alésage. 4. Sécurisez l’unité filament sur les anneaux d’écartement à l’aide d’écrous et de disques de serrage neufs. 5. Serrez les écrous. – Couple de serrage : 0,15 Nm 6. Insérez les connexions des filaments dans les contrefiches. 7. Serrez les vis. – Couple de serrage : 0,15 Nm 8. Assurez-vous du bon contact de la rondelle ressort avec la vis de fixation. – Ne boulonnez pas la rondelle ressort avec la vis de fixation. 9. Mesurez la résistance de chaque filament. Réglage sur 0 (zéro) des paramètres dans le logiciel d’exploitation 1. Démarrez le logiciel PV MassSpec. 2. Dans la fenêtre « Principal », sélectionnez : Configuration > Capteur : Configuration du matériel 3. Réglez le temps de fonctionnement sur 0 (zéro) en utilisant la case à cocher « Régler le temps de vie sur 0 heure ». 4. Entrez le temps désiré jusqu’à la prochaine maintenance dans le champ « Nombre d’heures avant que la maintenance doive être effectuée ». – Une fois que le temps configuré s’est écoulé, une alarme de rappel est émise toutes les 8 heures. – Entrez la période de temps max. de 277,777 heures pour éviter l’alarme. 9.4.2 Remplacement de l’unité à filament chauffé de la source d’ions croisés Renouveler les filaments des deux supports de filaments Pfeiffer Vacuum recommande de toujours renouveler les filaments des deux supports de filaments. Condition préalable ● PrismaPro désactivé Outils requis ● ● ● ● Clé à douille, WAF 3,2 Tournevis plat, 3 mm Clé dynamométrique Pince plate Aides requises ● Auxiliaire de montage pour l’analyseur Pièces de rechange requises ● Unité à filament chauffé pour source d’ions croisés avec filaments chauffés en tungstène ou filaments chauffés iridium recouverts Y2O3 ● Si nécessaire, lot de pièces PT 163 543 pour le remplacement des vis, écrous ou étriers Logiciel requis ● PV MassSpec 53/92 Maintenance 11 1 2 3 4 5 6 10 9 8 7 Fig. 25: Unité à filament chauffé de la source d’ions croisés 1 Étrier (4×) 2 Écrou (4×) (rectangulaire) 3 Vis (4×) (M1.6×5, à encoche, acier inoxydable, plaquée or) 4 Support de filament chauffé avec filament chauffé (2×) 5 Zone de formation 6 Ouvertures latérales de la zone de formation 7 8 Axe fileté (2×) Plaque Wehnelt (2x) 9 Filament chauffé (2×) 10 11 Isolateur en céramique (2×) Écrou (2×) (M1.6, hexagonal, acier inoxydable) 1 Fig. 26: Ressort de support sur analyseur avec source d’ions croisés 1 Ressort de support Démontage de l'unité à filaments 1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage. 2. Enlevez le ressort du crochet. 3. Tenez les étriers avec la pince plate. 4. Desserrez les vis et les écrous des étriers sans trop dévisser les vis. – La pince arrière va tomber si les vis sont trop desserrées. 5. Avec précaution, retirez les connexions à filament du support de filament. 6. Desserrez et retirez les écrous. 7. Avec précaution, tirez sur les deux supports de filaments et les isolateurs en céramique pour les enlever de la source d'ions. Installation de l’unité filament 1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage. 2. Retirez avec précaution le nouveau support de filaments de l’emballage de transport. 3. Placez le nouveau support de filaments sur les boulons de la source d’ions. 4. Insérez les isolateurs en céramique, le côté avec l’épaulement orienté en bas vers le support de filaments, dans le trou de montage. 5. Serrez les écrous. – Couple de serrage : 0,15 Nm 6. Assurez-vous que les plaques Wehnelt et les filaments sont positionnés correctement. – Quand ils sont correctement installés, les plaques Wehnelt et les filaments sont parallèles et à la même hauteur que les ouvertures latérales de la zone de formation. 7. Insérez les connexions des filaments dans les contrefiches. 54/92 Maintenance 8. Tenez les étriers avec la pince plate. 9. Serrez les vis et les écrous. – Couple de serrage : 0,15 Nm 10. Sécurisez le ressort du crochet. 11. Mesurez la résistance de chaque filament. Réglage sur 0 (zéro) des paramètres dans le logiciel d’exploitation 1. Démarrez le logiciel PV MassSpec. 2. Dans la fenêtre « Principal », sélectionnez : Configuration > Capteur : Configuration du matériel 3. Réglez le temps de fonctionnement sur 0 (zéro) en utilisant la case à cocher « Régler le temps de vie sur 0 heure ». 4. Entrez le temps désiré jusqu’à la prochaine maintenance dans le champ « Nombre d’heures avant que la maintenance doive être effectuée ». – Une fois que le temps configuré s’est écoulé, une alarme de rappel est émise toutes les 8 heures. – Entrez la période de temps max. de 277,777 heures pour éviter l’alarme. 9.4.3 Remplacement de l’unité à filament chauffé de la source d’ions à grille Condition préalable ● PrismaPro désactivé Outils requis ● ● ● ● Clé à douille, WAF 3,2 Tournevis plat, 3 mm Clé dynamométrique Pince plate Aides requises ● Auxiliaire de montage pour l’analyseur Pièces de rechange requises ● Unité à filament chauffé pour source d’ions à grille avec filaments chauffés en tungstène ● Si nécessaire, lot de pièces PT 163 534 pour le remplacement des vis, écrous ou étriers Logiciel requis ● PV MassSpec 4 5 1 2 3 Fig. 27: 6 7 8 10 9 11 Unité à filament chauffé de la source d’ions à grille 1 Unité à filaments chauffés 2 Raccordement de l’unité à filament chauffé (3×) 3 Vis (3×) (M1.6, tête plate) 4 Écrou (3×) (M1.6, hexagonal, acier inoxydable) 5 Circlip (3×) 6 Rondelles (3×) 7 8 9 Capot (3×) Isolateur en céramique (3×) Axe fileté (3×) 10 Anneau-support 11 Vis de l’anneau-support (3×) Démontage de l'unité à filaments 1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage. 2. Avec la pince plate, tenez le support des connexions de l’unité filament. 3. Desserrez les vis sur l’unité filament. 4. Avec précaution, retirez la source d'ions du système à tige quadripolaire. 55/92 Maintenance 5. Desserrez les écrous. 6. Retirez les écrous, les circlips, les disques, les capots et les isolateurs en céramique. 7. Avec précaution, tirez sur l’unité filament pour l’enlever de la source d'ions. Installation de l’unité filament 1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage. 2. Retirez avec précaution le nouvel anneau de support de l’emballage de transport. 3. Placez la nouvelle unité filament sur les boulons de la source d’ions. 4. Installez les isolateurs en céramique, les capots, les disques de serrage et les circlips. 5. Serrez les écrous. – Couple de serrage : 0,15 Nm 6. Desserrez les boulons de l’anneau de support et retirez l'anneau de support. 7. Avec précaution, installez la source d'ions sur le système à tige quadripolaire. 8. Introduisez les vis par les œillets du câblage. 9. Avec la pince plate, tenez les connexions de l'unité filament. 10. Serrez les vis dans les connecteurs de l’unité filament. – Couple de serrage : 0,15 Nm 11. Mesurez la résistance de chaque filament. Réglage sur 0 (zéro) des paramètres dans le logiciel d’exploitation 1. Démarrez le logiciel PV MassSpec. 2. Dans la fenêtre « Principal », sélectionnez : Configuration > Capteur : Configuration du matériel 3. Réglez le temps de fonctionnement sur 0 (zéro) en utilisant la case à cocher « Régler le temps de vie sur 0 heure ». 4. Entrez le temps désiré jusqu’à la prochaine maintenance dans le champ « Nombre d’heures avant que la maintenance doive être effectuée ». – Une fois que le temps configuré s’est écoulé, une alarme de rappel est émise toutes les 8 heures. – Entrez la période de temps max. de 277,777 heures pour éviter l’alarme. 9.4.4 Remplacement de l’unité à filament chauffé de la source d’ions étanche au gaz AVIS Dommage sur l’anode du filament chauffé de la source d’ions étanche au gaz lié au mouvement horizontal Un mouvement horizontal excessif va endommager l’anode. ► Placez l’unité à filament chauffé sur la source d’ions avec précaution et soin. ► Vérifiez que l’anode et le contre-alésage sont alignés. Condition préalable ● PrismaPro désactivé Outils requis ● ● ● ● Clé à douille, WAF 3,2 Tournevis plat, 3 mm Clé dynamométrique Pince plate Aides requises ● Auxiliaire de montage pour l’analyseur Pièces de rechange requises ● Unité à filament chauffé pour source d’ions étanche au gaz avec filaments chauffés en tungstène ou filaments chauffés iridium recouverts Y2O3 ● Si nécessaire, PT 163 551 pour remplacer le joint céramique et le ressort ● Si nécessaire, lot de pièces PT 163 550 pour le remplacement des vis, écrous ou étriers Logiciel requis ● PV MassSpec 56/92 Maintenance Rondelle ressort sur unité filament La rondelle ressort sur l’unité filament assure un contact flexible entre la cage du déflecteur et la masse (GND) du QMA. La rondelle ressort doit toucher la vis de fixation sans que les deux parties soient boulonnées ensemble. 1 7 2 5 8 3 6 4 Fig. 28: 9 Démontage de l’unité à filament chauffé de la source d’ions étanche au gaz 1 Joint céramique avec ressort 6 2 Écrou (3×) (M1.6, à encoche, acier inoxydable, plaquée or) 3 Disques de blocage (3×) 4 Contrefiche (3×) 5 Vis (3×) (M1.6× 4, tête plate) 7 Étrier (3×) (M1.6, pour filament chauffé) Unité à filaments chauffés 8 9 Rondelle-ressort Vis de fixation Démontage de l’unité à filament chauffé 1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage. 2. Tirez avec précaution le joint céramique vers le haut et tournez le joint céramique dans le sens horaire jusqu’à ce que le ressort se détache du capteur. 3. Retirez les écrous et les rondelles des contrefiches. 4. Tenez les étriers avec la pince plate. 5. Desserrez les vis des étriers sans trop dévisser les vis. – La pince arrière va tomber si les vis sont trop desserrées. 6. Avec précaution, tirez sur les connexions du filament chauffé pour les enlever de l’unité à filament chauffé. 7. Avec précaution, tirez sur l’unité à filament chauffé pour l’enlever de la source d’ions. 57/92 Maintenance 1 2 4 7 5 8 3 6 9 10 Fig. 29: Insertion de l’unité à filament chauffé de la source d’ions étanche au gaz 1 Joint céramique avec ressort 2 Unité à filaments chauffés 6 7 3 Contre-alésage 8 4 Écrou (3×) (M1.6, à encoche, acier inoxydable, plaquée or) 5 Disques de blocage (3×) 9 Contrefiche (3×) Vis (3×) (M1.6× 4, tête plate) Étrier (3×) (M1.6, pour filament chauffé) Rondelle-ressort 10 Vis de fixation Installation de l’unité à filament chauffé 1. Placez l’analyseur dans l’auxiliaire de montage. 2. Avec précaution, retirez l’unité à filament chauffé du blocage de transport. 3. Montez la nouvelle unité à filament chauffé sur les anneaux d’écartement afin que l’anode de l’unité à filament chauffé soit alignée avec le contre-alésage. 4. Sécurisez l’unité à filament chauffé sur les anneaux d’écartement à l’aide de nouveaux écrous et disques de blocage. 5. Serrez les écrous. – Couple de serrage : 0,15 Nm 6. Insérez les raccordements de filament chauffé dans les pinces de serrage. 7. Serrez les vis. – Couple de serrage : 0,15 Nm 8. Assurez-vous du bon contact entre la rondelle ressort et la vis de fixation. – Ne boulonnez pas la rondelle ressort ensemble avec la vis de fixation. 9. Installez le ressort. 10. Tournez avec précaution le joint céramique dans le sens horaire jusqu’à ce que le ressort siège correctement sur le capteur. 11. Mesurez la résistance de chaque filament chauffé. Réglage sur 0 (zéro) des paramètres dans le logiciel d’exploitation 1. Démarrez le logiciel PV MassSpec. 2. Dans la fenêtre « Principal », sélectionnez : Configuration > Capteur : Configuration du matériel 3. Réglez le temps de fonctionnement sur 0 (zéro) en utilisant la case à cocher « Régler le temps de vie sur 0 heure ». 4. Entrez le temps désiré jusqu’à la prochaine maintenance dans le champ « Nombre d’heures avant que la maintenance doive être effectuée ». – Une fois que le temps configuré s’est écoulé, une alarme de rappel est émise toutes les 8 heures. – Entrez la période de temps max. de 277,777 heures pour éviter l’alarme. 9.5 Calibrage du rapport haute fréquence et masse Pfeiffer Vacuum calibre le rapport HF/DC d’un PrismaPro de façon à ce qu'une seule masse puisse passer le filtre de masse quadripolaire à un rapport HF/DC donné. Le rapport HF/DC de chaque masse sélectionné est précisément déterminé par le calibrage fin. 58/92 Maintenance Copie de sauvegarde du fichier de configuration du matériel Avant d’effectuer les réglages, créez une copie de sauvegarde du fichier de configuration du matériel pour l'analyseur sur l’ordinateur de test en utilisant la configuration du matériel PV MassSpec. Si nécessaire, la copie de sauvegarde permet de restaurer les réglages d’origine. 9.5.1 Calibrage d'usine À l’usine, Pfeiffer Vacuum aligne le PrismaPro sur différentes masses de son domaine de masse. 9.5.2 Masse [u] Gaz utilisé 1 H 2 H 4 He 28 N 86 Kr Tolérance de position de masse [u] 100 u ±0,05 0,5 ±0,15 0,5 ±0,15 0,5 ±0,15 0,9 ±0,05 0,9 ±0,05 0,9 ±0,05 134 Xe 293 FC-5311 Tab. 14: Calibrage de masse 200 u 300 u Largeur maximale à 10 % de la hauteur maximale (résolution) - Atteindre une température de fonctionnement stable pour PrismaPro Conditions préalables ● ● ● ● ● ● Dispositif de chauffage à l’arrêt EM7) désactivé Émission activée Paramètre de balayage : 0 – Max. u Paramètre de stabilisation : 32 ms Paramètre ppAMU : ─ 10 (QMA avec domaine de masse jusqu’à 100 u) ─ 5 (QMA avec domaine de masse jusqu’à 200 u) ─ 1 (QMA avec domaine de masse jusqu’à 300 u) Logiciel requis ● Web UI Procédure ► Laissez le PrismaPro fonctionner pendant au moins 1 heure avant d’effectuer les réglages ou les calibrages. 9.5.3 Sélection du mélange de gaz pour le calibrage des masses Procédure 1. Utilisez plusieurs mélanges de gaz pour le calibrage de masse en fonction des exigences de domaine de masse et de précision. 2. Pour le calibrage, définissez au moins 3 masses, une respectivement dans le domaine de masse inférieur, médian et supérieur. – Si vous déterminez plus de 3 masses, la qualité du calibrage sera accrue. 9.5.4 Réglage de la haute fréquence pour les deux polarités À la mise en service initiale du PrismaPro, après le changement de l'analyseur ou de l’unité électronique, ou en cas de vieillissement ou de changement des conditions d’installation, l'étage HF du PrismaPro doit être réajusté. La fonction « Remise à zéro de la fréquence RF » effectue automatiquement le 7) pour QMA 250 M seulement 59/92 Maintenance balayage de la gamme de haute fréquence et syntonise la gamme des hautes fréquences sur la haute fréquence optimale pour l’analyseur. Le logiciel effectue l’ajustage HF pendant la période spécifique avant de retourner dans le mode normal. Pendant l'ajustage HF, le logiciel ne nécessite pas de données. Une alerte HF « Information matériel : alerte matériel = carte RF » peut s'afficher. Ceci est normal avant le réglage HF. Perte de puissance de l’étage HF Si l'appareil génère une perte excessive de puissance liée à un mauvais ajustage de l’étage HF, vous ne pourrez pas activer l’émission. L'étage HF est pré-ajusté avec un balayage en continu sur tout le domaine de masse de 0 u à u max. pendant le temps de démarrage. L’ajustage HF final s’effectue ensuite après le temps de démarrage. Fig. 30: Message d'alerte avec invite de sécurité Fig. 31: Nouvelle polarité inverse/haute fréquence Condition préalable ● PrismaPro est à une température de fonctionnement stable Logiciel requis ● PV MassSpec Procédure 1. Démarrez PV MassSpec. 2. Dans la fenêtre « Principal », sélectionner : Configuration > Sonde : Configuration du matériel 3. Réglez la polarité sur « Normal ». 4. Dans le menu, sélectionner : Maintenance > Maintenance de la sonde > Remettre à zéro la fréquence RF – Si l'analyseur n'a pas été actif pendant au moins 15 minutes, un message d'alerte apparaît avec une invite de sécurité. 5. Confirmez l’invite de sécurité avec « Oui ». 6. Cliquez sur « Réglage RF ». 7. Dans la fenêtre « Principal », sélectionner : Configuration > Sonde : Configuration du matériel – La nouvelle valeur de la haute fréquence apparaît, mais n’a pas encore été sauvegardée. 8. Cliquez sur « OK » pour sauvegarder la nouvelle valeur de la haute fréquence pour la polarité de réglage dans le fichier de configuration du matériel de l’analyseur. – Si vous ne sauvegardez pas la haute fréquence, l'alerte HF « Information matériel : alerte matériel = carte RF » apparaît toujours quand vous désactivez et réactivez l’unité électronique. 9. Répétez cette procédure pour la polarité « Inverse », car, dans le cas contraire, vous utiliseriez l'analyseur avec 2 fréquences différentes. 10. Remettez à zéro les positions de masse et la résolution pour les deux polarités après la sauvegarde de la haute fréquence. Quand l'ajustage est terminé, l'état dans la fenêtre « Principal » indique « STOPPÉ ». 60/92 Maintenance 9.5.5 Effectuer le calibrage des masses (AJUSTAGE) Un calibrage des masses du PrismaPro peut s'avérer nécessaire après une période indéterminée ou pour certaines tâches de mesure. Exécuter la fonction « Ajustage » dans PV MassSpec 1. Ouvrez le menu « Maintenance ». 2. Sélectionnez le PrismaPro désiré. 3. Dans le menu « Maintenance », cliquez sur « Ajuster ». Ajouter ou supprimer des masses dans ou à partir du tableau de calibrage Pfeiffer Vacuum a préréglé les masses 1, 2, 4, 28, et 86 dans les réglages par défaut. ► Ajustez les masses du mélange de gaz avec lequel vous voulez réaliser un calibrage de masse en ajoutant et en supprimant des masses. ► Ne supprimez pas les masses 1 et 2. 9.5.6 Calibrage avec un mélange de gaz de test Le mélange idéal inclut les masses du calibrage d’usine pour le domaine de masse correspondant du PrismaPro à calibrer. Procédure ► S’il y a lieu, utilisez un mélange de gaz de test fourni par un fournisseur de gaz. 9.5.7 Calibrage avec des gaz de procédé Utiliser le gaz de procédé pour le calibrage de masse 1. S’il y a lieu, utilisez le gaz de procédé à analyser pour le calibrage de masse. 2. Définissez les masses typiques importantes pour l’analyse du procédé pour le calibrage. Calibrage avec une faible masse 1. Ne calibrez pas les masses 1 u et 2u (H) si le procédé ne contient pas d’hydrogène. 2. Ne supprimez pas l’hydrogène du tableau de calibrage. 3. Calibrez la masse 4 u (He) si vous utilisez le PrismaPro pour le test des fuites. 4. Pulvérisez de l’hélium dans une fuite que vous avez créée. – Ceci fournit le calibrage pour la faible masse requise. Calibrage avec une masse moyenne ► Si possible, utilisez de l’azote (N) ou une autre masse dans ce domaine, par exemple de l’eau (H2O), oxygène (O), etc. comme masse moyenne. Calibrage avec une masse plus élevée 1. Calibrez avec de l'argon (Ar) si le procédé ne contient pas de gaz avec des masses > 40 u. 2. Si le procédé contient des masses plus élevées, calibrez une masse entre la masse moyenne et 100 u pour les analyseurs avec un domaine de masse de 100 u. 3. Si le procédé contient des masses plus élevées, calibrez une masse entre 100 u et 200 u pour les analyseurs avec un domaine de masse de 200 u. 4. Si le procédé contient des masses plus élevées, calibrez une masse > 200 u pour les analyseurs avec un domaine de masse de 300 u. 9.5.8 Calibrage de la détection de fuites d’hélium Calibrage à l’hélium 1. Fournissez l’hélium nécessaire pour le calibrage. 2. Acheminez l’hélium dans l’enceinte à vide. 3. Calibrez la masse 4 u (He) pour une détection de fuites correcte. 4. Calibrez la masse 4 u (He) si vous utilisez le PrismaPro que pour le test des fuites. Calibrage avec des gaz souterrains ou de l’air 1. Si vous ne disposez pas de mélanges de gaz de test ou de gaz de procédé pour le calibrage des masses, utilisez le gaz résiduel dans l’enceinte à vide ou alimentez avec de petites quantités d'air ambiant pour effectuer le calibrage des masses. 2. Réglez le paramètre de réglage sur le réglage par défaut. 3. Supprimez toutes les masses 1, 2 et 4 u du tableau de calibrage. 4. Ajoutez les masses 28, 40 ou 44 u au tableau de calibrage. 5. Calibrez les masses que vous avez ajoutées. 61/92 Maintenance 6. Supprimez la masse 4 u du tableau de calibrage. 7. Calibrez la masse la plus élevée dans le système. – Dans certains cas, cela peut être la masse 40 ou 44 u. 62/92 Dysfonctionnements 10 Dysfonctionnements 10.1 Dépanner Procédure 1. Vérifiez que l’isolation est intacte sur tous les câbles et que le matériau isolant n’est pas endommagé. 2. Contrôlez les symptômes sur la carte des défauts pour voir si le problème figure dans la liste et comment il peut être rectifié. 3. Contrôlez les points suivants pour rectifier les problèmes de communication. – Le câble Ethernet est connecté au PrismaPro et à l’ordinateur de pilotage (soit directement ou via le routeur/commutateur Ethernet). – L’adresse IP du PrismaPro a le même préfixe réseau que l’ordinateur de pilotage. – Le port 80 est ouvert sur l’ordinateur de pilotage. – Il n’y a pas de conflit d'adresse IP entre le PrismaPro et un autre appareil réseau. 4. Contrôlez les messages spécifiques de l’erreur PV MassSpec dans le fichier d'aide du logiciel. 5. Contactez Pfeiffer Vacuum Service si vous ne pouvez pas éliminer le problème existant. 10.1.1 Résolution des erreurs de communication et système Symptômes/messages de dysfonctionnement Causes possibles Action corrective La LED <POWER> ne s'allume pas. Pas d'alimentation en courant externe (24 V) ● Vérifiez que la tension secteur sur l’entrée de l’unité de courant externe SP 250 est entre 100 et 240 V (AC). ● Vérifiez que la tension de sortie de l’unité de courant externe SP 250 est entre 20 et 30 V (DC). ● Remplacez l’unité de courant externe SP 250. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. La LED <STAT> ne s'allume pas. Émission désactivée - Filament défectueux ● Contrôlez le filament. Pas de connexion entre le QME et l’analyseur ● Contrôlez la connexion entre le QME et l’analyseur. ● Vérifiez que les contacts sont rectilignes et ne sont ni courbés ni endommagés. Conditions de vide non remplies ● Contrôlez les conditions de vide. ● Vérifier que la pression est inférieure à la pression de fonctionnement maximum : < 5 × 10-4 hPa. Émission empêchée par le verrouillage ● Contrôlez les conditions de verrouillage pour l’émission. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. La LED < STAT > clignote. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. La LED jaune sur la connexion <LAN> n’est pas allumée/ne clignote pas. Câble Ethernet manquant ou incorrect ● Contrôlez la connexion PC. ● Contrôlez les connexions du commutateur Ethernet (s’il y lieu). Câble Ethernet défectueux ● Remplacez le câble Ethernet. Prise Ethernet défectueuse sur l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Le logiciel PV MassSpec n’est pas configuré correctement ● Contrôlez les réglages dans PV MassSpec. Le logiciel PV MassSpec ne fonctionne pas correctement. ● Réinstallez PV MassSpec. 63/92 Dysfonctionnements Symptômes/messages de dysfonctionnement Causes possibles Action corrective Pas de communication avec l’ordinateur de pilotage L'adresse IP du PrismaPro n’est pas compatible avec le réseau ● Changez l’adresse IP du PrismaPro. La connexion (port 80) de communication PrismaPro n’est pas ouverte sur l’ordinateur de pilotage ● Ouvrez le port 80 sur l’ordinateur de pilotage. ● Changez le port de communication du PrismaPro. Connexion du câble défectueuse ● Vérifiez que tous les câbles sont connectés aux connexions correctes. La carte Ethernet de l’ordinateur de pilotage est défectueuse ● Remplacez la carte Ethernet de l’ordinateur de pilotage. L’interface Ethernet de l’unité électronique (QME) est défectueuse ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Réponse DSP incorrecte détectée ● Désactivez l’unité électronique (QME) pour la remettre à zéro. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Réponse DEC incorrecte détectée ● Désactivez l’unité électronique (QME) pour la remettre à zéro. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Erreur de communication (DSP) (erreur de communication DSP) Erreur de communication (DEC) (erreur de communication DEC) Erreur DDS Tab. 15: 10.1.2 Erreurs de communication et du système Résolution des erreurs matérielles Symptômes/messages de dysfonctionnement Causes possibles Action corrective Erreur d'émission au démarrage à chaud/froid Il est impossible de démarrer/maintenir le courant d'émission spécifié (erreur d'émission) Vide insuffisant ● Vérifier que la pression est inférieure à la pression de fonctionnement maximum : < 5 × 10-4 hPa. Filament défectueux de l’analyseur (ouvert ou court-circuité) ● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de l’analyseur. ● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée. ● Remplacez l’unité filament, la source d'ions ou l’analyseur. Fixation incorrecte de l’unité électronique (QME) sur l’analyseur ● Vérifiez que l’unité électronique (QME) a été complètement poussée sur l’analyseur. ● Vérifiez que les contacts sont rectilignes et ne sont ni courbés ni endommagés. Tension de fonctionnement incorrecte de l’analyseur ● Contrôlez que tous les réglages sont corrects. ● Utilisez le réglage du rapport de test comme orientation. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Analyseur défectueux, anode court-circuitée ● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de l’analyseur. ● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée. ● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de préférence > 39 mm. ● Remplacez l’analyseur. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Erreur de tension sur l’anode Il est impossible de démarrer/maintenir la tension spécifiée sur l’anode (erreur sur l’anode) 64/92 Dysfonctionnements Symptômes/messages de dysfonctionnement Causes possibles Action corrective Erreur de tension de cathode Il est impossible de démarrer/maintenir la tension de cathode spécifiée (Erreur EE/cathode) Analyseur défectueux, filament court-circuité ● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de l’analyseur. ● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de préférence > 39 mm. ● Réparez ou remplacez l’analyseur. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Ajustage incorrect de l’unité électronique (QME) sur l’analyseur ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Analyseur défectueux, connexions HF ouvertes ou court-circuitées ● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des connexions HF. ● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de préférence > 39 mm. ● Remplacez l’analyseur. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Erreur de multiplicateur d'électrons secondaire Il est impossible de démarrer/maintenir la tension EM spécifiée (erreur de multiplicateur d'électrons) Analyseur défectueux, multiplicateur d'électrons court-circuité ● Contrôlez les courts-circuits des connexions de l'analyseur. ● Contrôlez le contact HV du multiplicateur d'électrons HV sur le passage de l'analyseur. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Température de l’unité électronique (QME) Température ambiante du PrismaPro > 50 °C ● Contrôlez les conditions ambiantes. ● Vérifiez que l'appareil est correctement installé. ● Vérifiez qu’il n’y a pas de source de chaleur à proximité. ● Vérifiez que le ventilateur installé est en marche. ● Contrôler la configuration du matériel : ventilateur activé/désactivé. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Pression totale trop haute ● Réduisez la pression. Plaque de pression totale court-circuitée ou contaminée ● Remplacez la source d’ions. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Source d’ions contaminée ● Remplacez la source d’ions. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Courant trop haut (< -1 × 10-6 A ou > 1 × 10-6 A) ● ● ● ● ● Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Mauvais calibrage/erreur survenue pendant le calibrage ● Recalibrez l'appareil (ajustage). ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Position maximum et/ou résolution hors de la gamme admissible ● Recalibrez l'appareil (ajustage). ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Filtre quadripolaire contaminé ● Étuvez l’analyseur. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Filtre quadripolaire défectueux ou endommagé ● Étuvez l’analyseur. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Erreur de haute fréquence (erreur RF) Surpression (Erreur de pression totale) Erreur d'électromètre (erreur d'électromètre) Erreur de filtre quadripolaire (erreur de filtre quadripolaire) Réduisez la pression. Réduisez la tension EM. Contrôlez le passage de l’analyseur. Remplacez l’analyseur. Contactez Pfeiffer Vacuum Service. 65/92 Dysfonctionnements Symptômes/messages de dysfonctionnement Causes possibles Action corrective Erreur de la source d’ions (erreur de la source d'ions) Réglages erronés de la source d'ions ● Chargez les réglages du rapport de test. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Source d’ions contaminée ● Remplacez l’unité filament. ● Remplacez la source d’ions. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. La tension du multiplicateur d'électrons est réglée trop haut ● Réduisez la tension EM. Détecteur ne fonctionnant pas correctement ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Vide insuffisant ● Vérifier que la pression est inférieure à la pression de fonctionnement maximum : < 5 × 10-4 hPa. Filament de l’analyseur défectueux (cassé ou court-circuité) ● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de l’analyseur. ● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée. ● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de préférence > 39 mm. ● Remplacez l’unité filament, la source d'ions ou l’analyseur. Mauvais contact du câblage ● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de l’analyseur. ● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée. ● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de préférence > 39 mm. ● Remplacez l’unité filament, la source d'ions ou l’analyseur. Vide insuffisant ● Vérifier que la pression est inférieure à la pression de fonctionnement maximum : < 5 × 10-4 hPa. Filament de l’analyseur défectueux (cassé ou court-circuité) ● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de l’analyseur. ● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée. ● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de préférence > 39 mm. ● Remplacez l’unité filament, la source d'ions ou l’analyseur. Mauvais contact du câblage ● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de l’analyseur. ● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée. ● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de préférence > 39 mm. ● Remplacez l’unité filament, la source d'ions ou l’analyseur. Erreur de détecteur (erreur de détecteur) Erreur de potentiel du filament Tension trop haute du filament (filament ouvert) Tension trop basse du filament (filament court-circuité) (erreur de potentiel du filament) Erreur de courant du filament Courant du filament trop haut (filament court-circuité) Courant du filament trop bas (filament ouvert) (erreur de courant du filament) 66/92 Dysfonctionnements Symptômes/messages de dysfonctionnement Causes possibles Action corrective Erreur de mise au point Il est impossible de démarrer/maintenir la tension de mise au point. (erreur de mise au point) Court-circuit de la plaque de mise au point ● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de l’analyseur. ● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée. ● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de préférence > 39 mm. ● Remplacez l’IS 250. Tension de mise au point hors de la gamme prévue ● Contrôlez les courts-circuits et l’isolation des éléments de la source d’ions et des éléments de l’analyseur. ● Vérifiez que les vis du câblage sont serrées de façon sécurisée. ● Vérifiez que la bride ou le carneau tubulaire a un diamètre intérieur caractéristique ≥ 37 mm, de préférence > 39 mm. ● Remplacez l’IS 250. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Défaillance de l’alimentation électrique interne Tab. 16: 10.1.3 Erreurs liées au matériel Résolution des erreurs de mesure et de fonctionnement Symptômes/messages de dysfonctionnement Causes possibles Action corrective Erreur de détection maximum (erreur de détection maximum) Pas de maximum pour la masse cible ● Chargez les réglages du rapport de test. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Maximum pour la masse cible trop étroit/large ● Chargez les réglages du rapport de test. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Maximum hors de détection ● Chargez les réglages du rapport de test. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Gamme de masse cible (p. ex., décalage maximum > +/- 0,40 u de la valeur nominale) ● Chargez les réglages du rapport de test. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Émission désactivée ● Activez l'émission. le multiplicateur d'électrons est activé bien que le mode Faraday soit sélectionné ● Mettez le EM hors circuit. Pression ou signal trop bas pour le détecteur Faraday ● Activez l’EM. Tension du multiplicateur d'électrons trop basse ● Augmentez la tension EM. Pas de sensibilité, analyseur contaminé ● Consultez l’erreur de mesure et de fonctionnement « Basse sensibilité ». Fixation incorrecte de l’unité électronique (QME) sur l’analyseur ● Vérifiez que l’unité électronique (QME) a été complètement poussée sur l’analyseur. ● Vérifiez que les contacts sont rectilignes et ne sont ni courbés ni endommagés. Calibrage de masse erroné ● Définissez de nouvelles positions de masse et une nouvelle résolution (ajustage). Erreur de haute fréquence ● Consultez l’erreur de matériel « Erreur HF ». Erreur de filtre quadripolaire ● Consultez l’erreur de matériel « Erreur de filtre quadripolaire ». EM défectueux ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Erreur de communication DSP ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Pas de spectre (Pas de spectre) 67/92 Dysfonctionnements Symptômes/messages de dysfonctionnement Causes possibles Action corrective Basse sensibilité (Basse sensibilité) Analyseur contaminé ● Dégazez la source d’ions. ● Étuvez l’analyseur. ● Remplacez l’unité filament et/ou la source d'ions. ● Remplacez l’analyseur. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Calibrage de masse (résolution) erroné ● Recalibrez l'appareil (ajustage). ● Augmentez la largeur du maximum. Les paramètres de travail de l’analyseur sont réglés incorrectement ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Filtre quadripolaire défectueux ou contaminé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Source d'ions ou analyseur aimanté ● Rectifiez la cause des champs magnétiques. Source d’ions ou analyseur à proximité immédiate de champs magnétiques ● Rectifiez la cause des champs magnétiques. Mesure de pression totale incorrecte avec les jauges externes ● Vérifiez que le calibrage de la sensibilité de la jauge utilisée est correct. Pression du système trop basse ● Augmentez la pression d'échantillon, si possible. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Gain trop bas du multiplicateur d'électrons ● Étuvez l’analyseur. ● Remplacez l’analyseur. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Analyseur contaminé ● Dégazez la source d’ions. ● Étuvez l’analyseur. ● Remplacez l’unité filament et/ou la source d'ions. ● Remplacez l’analyseur. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Pression du système trop haute ● Vérifier que la pression est inférieure à la pression de fonctionnement maximum : < 5 × 10-4 hPa. Paramètres erronés de la source d'ions. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Filtre quadripolaire défectueux ou contaminé ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Source d'ions ou analyseur aimanté ● Rectifiez la cause des champs magnétiques. Source d’ions ou analyseur à proximité immédiate de champs magnétiques ● Rectifiez la cause des champs magnétiques. Calibrage de masse nécessaire ● Effectuez le calibrage de masse. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Mauvaise forme du maximum (Mauvaise forme du maximum) 68/92 Dysfonctionnements Symptômes/messages de dysfonctionnement Causes possibles Action corrective Niveau de bruit élevé (Niveau de bruit élevé) Mise à la terre du système ● Vérifiez que le système de vide est mis à la masse. Vitesse de balayage trop rapide pour le réglage de l’amplification ● Augmentez le temps de stabilisation (stabilisation). ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Fixation incorrecte de l’unité électronique (QME) sur l’analyseur ● Vérifiez que l’unité électronique (QME) a été complètement poussée sur l’analyseur. ● Vérifiez que les contacts sont rectilignes et ne sont ni courbés ni endommagés. Multiplicateur d'électrons défectueux ou usé ● Contrôlez le gain du multiplicateur d'électrons. ● Remplacez l’analyseur. ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Erreur dans l’unité électronique (QME) ● Contactez Pfeiffer Vacuum Service. Basse sensibilité ● Consultez l’erreur de mesure et de fonctionnement « Basse sensibilité ». Tab. 17: 10.1.4 Erreurs de mesure et de fonctionnement Interrogation des messages d’erreur du logiciel à partir de PV MassSpec Symptômes/messages de dysfonctionnement Causes possibles Erreur PV MassSpec Vous trouverez les messages d’erreur et les actions correctives dans les fichiers d'aide de PV MassSpec. Tab. 18: 10.2 Action corrective Messages d’erreur du logiciel PV MassSpec Contacts sur QMA 250 et QME 250 8 7 7 6 9 8 6 9 5 10 10 5 1 1 11 11 4 4 12 3 2 12 3 2 13 13 Fig. 32: 1 2 3 4 5 6 7 Contacts sur QMA 250 et QME 250 PP (pression partielle) EM HV Filament 1 Filament 2 Anode RFGND 8 9 10 11 12 13 GND RF+ Filament commun Réservé Mise au point TP (pression totale) 69/92 Dysfonctionnements 10.3 Contrôle de l’analyseur QMA 250 AVIS Endommagement des composants causé par le nettoyage Ne nettoyez pas le filament ou la source d'ions, car cela endommagerait ou détruirait les composants. ► Remplacez les pièces si celles-ci sont défectueuses ou contaminées. La source d'ions du PrismaPro a 2 filaments. En cas de filament défectueux, le PrismaPro peut encore être utilisé avec le deuxième filament intact. L’utilisation préalable du PrismaPro peut avoir affecté la performance du second filament. Conditions préalables ● PrismaPro désactivé ● Analyseur QMA 250 et unité électronique QME 250 déconnectée Accessoires requis ● Ohmmètre (< 0,2 à 30 MΩ) Procédure 1. Mesurez la résistance de chaque filament. – La mesure peut être effectué dans du vide. 2. Mesurez la résistance de chaque broche par rapport à la masse. 3. Mesurez la résistance de chaque broche respectivement entre elles. 4. Remplacez le filament ou la source d'ions si la résistance mesurée n’est pas dans la gamme acceptable. Mesure Broches Résistance mesurée Résultat Filament 1 3 à 10 0,2 à 0,8 Ω Filament intact > 0,8 Ω Filament défectueux 0,2 à 0,8 Ω Filament intact > 0,8 Ω Filament défectueux Source d’ions intacte Filament 2 4 à 10 Broche sur prise de terre toutes les broches sur GND (7 ou 8) > 30 MΩ 8) < 30 MΩ Source d’ions défectueuse Broche à broche Toutes les broches en face l’une de l’autre 9) > 30 MΩ Source d’ions intacte < 30 MΩ Source d’ions défectueuse (voir chapitre « Contacts sur QMA 250 et QME 250 », page 69) Tab. 19: 70/92 Mesures de contrôle de l’analyseur 8) Bien que les mesures avec le filament installé et le blindage en céramique de l’EM peuvent être < 30 MΩ, elles doivent être supérieures > 30 MΩ quand le filament et le blindage en céramique du multiplicateur d'électrons ont été retirés. 9) Sauf : résistance entre le filament 1 et 2 (broche 3 et 4) et filament commun (broche 10) Expédition 11 Expédition AVERTISSEMENT Risque d’empoisonnement par produits contaminés L’expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la santé et l’ sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une distribution en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Expédier le produit en toute sécurité ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d’expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l’emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 71/92 Recyclage et mise au rebut 12 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. 12.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 12.2 Élimination d’un spectromètre de masse compact Les spectromètres de masse compacts Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. 1. Démontez les éléments du boîtier. 2. Démontez tous les composants individuels et les platines. 3. Démontez les composants électroniques. 4. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 5. Séparez les composants en matériaux recyclables. 6. Recyclez les composants non contaminés. 7. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 72/92 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 13 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 73/92 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 74/92 Informations de commande 14 Informations de commande 14.1 Commande de pièces Commande de pièces détachées, d’accessoires ou de composants optionnels ► Toujours préciser les informations suivantes pour commander des pièces détachées, des accessoires ou des composants optionnels : ● Tous les détails de la plaque signalétique ● Description et référence de commande correspondant à la liste des pièces 14.2 Pièces détachées de maintenance niveau 1 Ajustage des composants Des composants système défectueux comme l’unité électronique QME 250 ou l’analyseur QMA 250 peuvent être remplacés individuellement. Les unités électroniques ou les analyseurs remplacés doivent être calibrés avec les composants existants. Pfeiffer Vacuum recommande de contacter un Pfeiffer Vacuum Service Center pour la réalisation de ce calibrage nécessaire. 14.2.1 Unité électronique QME 250 Référence de pièce Description abrégée Domaine de masse [u] Entrée/sortie Version PT M28 641 QME 250 M1 1-100 droit PT M28 642 QME 250 M2 1-200 Standard (sans IO 250) PT M28 643 QME 250 M3 1-300 PT M28 651 QME 250 M1 1-100 PT M28 652 QME 250 M2 1-200 PT M28 653 QME 250 M3 1-300 PT M28 661 QME 250 M1 1-100 PT M28 662 QME 250 M2 1-200 PT M28 663 QME 250 M3 1-300 PT M28 671 QME 250 M1 1-100 PT M28 672 QME 250 M2 1-200 PT M28 673 QME 250 M3 1-300 Tab. 20: 14.2.2 étendu (avec IO 250) Standard (sans IO 250) angulaire, 90° étendu (avec IO 250) Unité électronique QME 250 Analyseur QMA 250 Référence Description abrégée Domaine de masse [u] Détecteur Source d’ions Filament chauffé Câblage PT M25 411 QMA 250 F1 1 à 100 Faraday ouvert W Nickel PT M25 412 PT M25 413 Ir-Y2O3 QMA 250 M1 Faraday/EM W PT M25 414 PT M25 415 Ir-Y2O3 CB PT M25 416 W Ir-Y2O3 PT M25 419 Grille W PT M25 417 Étanche au gaz W PT M25 418 Cuivre, plaqué argent Nickel Ir-Y2O3 75/92 Informations de commande Référence Description abrégée Domaine de masse [u] Détecteur Source d’ions Filament chauffé Câblage PT M25 421 QMA 250 F2 1 à 200 Faraday ouvert W Nickel PT M25 422 PT M25 423 Ir-Y2O3 QMA 250 M2 Faraday/EM W PT M25 424 Ir-Y2O3 PT M25 425 CB PT M25 426 W Ir-Y2O3 PT M25 429 Grille W PT M25 427 Étanche au gaz W PT M25 428 PT M25 431 QMA 250 F3 1 à 300 Faraday ouvert W Nickel Ir-Y2O3 QMA 250 M3 Faraday/EM W PT M25 434 Ir-Y2O3 PT M25 435 CB PT M25 436 W Ir-Y2O3 PT M25 439 Grille W PT M25 437 Étanche au gaz W PT M25 438 Cuivre, plaqué argent Nickel Ir-Y2O3 Tab. 21: 14.2.3 Nickel Ir-Y2O3 PT M25 432 PT M25 433 Cuivre, plaqué argent Analyseur QMA 250 Unités filaments Référence Type IQ Matériau/pièce filament chauffé PT 163 311 ouvert W PT 163 312 PT 163 331 Ir-Y2O3 CB PT 163 332 W Ir-Y2O3 PT 163 341 Grille W PT 163 321 Étanche au gaz W 10) PT 163 322 Ir-Y2O3 11) PT 163 551 Joint céramique et ressort Tab. 22: Unités à filaments chauffés 14.3 Pièces de rechange et lots de petites pièces 14.3.1 Pièces de rechange Référence Quantité (pièces) Description Usage PT 163 501 1 Pièce intermédiaire (DN 40 CF, 116 mm de long) QMA 250 avec EM PT 163 502 1 Protection pour le transport (tube en plastique transparent) QMA 250 avec Faraday PT 163 503 1 76/92 10) Joint céramique et ressort inclus 11) Joint céramique et ressort inclus QMA 250 avec EM Informations de commande Référence Quantité (pièces) Description Usage PT 163 504 1 SP 250 (unité de courant externe avec câble de secteur 100 à 240 V(AC) / 24 V, 80 W (DC)) QMG 250 PT 163 508 1 Clé à douille Unité à filaments chauffés PT 163 510 1 Outillage d’installation QMA 250 PT 163 512 1 Câble de correctif UTP, rouge, longueur 3 m, connexion croisée QMG 250 490DFL040-ID39-S-S5 5 (paquet) Joint cuivre (DN 40 CF, plaqué argent) QMA 250 Tab. 23: 14.3.2 Lot de petites pièces PT 163 544 pour source d’ions ouverte Désignation Quantité (pièces) Vis (M2×3, à encoche, acier inoxydable, plaquée or) 3 Rondelle d’arrêt (mortaisée, acier inoxydable) 6 Écrou (M1.6, hexagonal, acier inoxydable, plaqué or) 9 Étrier (M1.6, pour filament) 3 Vis (M1.6× 4, tête plate) 3 Étrier (M1.6, pour source d'ions) 3 Vis (M1.6×5, à encoche, acier inoxydable, plaquée or) 3 Tab. 24: 14.3.3 Lot de petites pièces PT 163 544 pour source d'ions à ouverture Lot de petites pièces PT 163 543 pour source d’ions croisés Désignation Quantité (pièces) Vis (M2×3, à encoche, acier inoxydable, plaquée or) 3 Étrier (avec filetage M1.6, en forme de U, pour la source d'ions) 4 Vis (M1.6×5, à encoche, acier inoxydable, plaquée or) 4 Isolateur en céramique 2 Écrou (M1.6, hexagonal, acier inoxydable) 2 Écrou (carré, pour la connexion) 4 Vis (M1.6x3, tête plate, acier inoxydable, pour les connexions de la source d'ions) 3 Tab. 25: 14.3.4 Pièces de rechange Lot de petites pièces PT 163 543 pour source d'ions croisés Lot de petites pièces PT 163 534 pour source d’ions à grille Désignation Quantité (pièces) Circlip (mortaisé, acier inoxydable) 3 Disque de freinage (céramique) 3 Capot (céramique) 9 Isolateur en céramique 9 Vis (M1.6x3, tête plate, acier inoxydable) 4 Écrou (M1.6, hexagonal, acier inoxydable) 3 Vis (M2×3, à encoche, acier inoxydable, plaquée or) 3 Tab. 26: Lot de petites pièces PT 163 534 pour source d'ions à grille 77/92 Informations de commande 14.3.5 Lot de petites pièces PT 163 550 pour source d’ions étanche au gaz Désignation Quantité (pièces) Vis (M2×3, à encoche, acier inoxydable, plaquée or) 3 Rondelle d’arrêt (mortaisée, acier inoxydable) 6 Écrou (M1.6, hexagonal, acier inoxydable, plaqué or) 9 Étrier (M1.6, pour filament chauffé) 3 Vis (M1.6× 4, tête plate) 3 Étrier (M1.6, pour source d’ions) 3 Vis (M1.6×5, à encoche, acier inoxydable, plaquée or) 3 Tab. 27: 78/92 Lot de petites pièces PT 163 550 pour source d’ions étanche au gaz Caractéristiques techniques et dimensions 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 100 1 0,1 0,75 1 · 10 1,000 100 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 · 10-3 133,32 1,33 0,133 1 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 Pa 0,01 hPa -3 5 -5 1 Pa = 1 N/m Tab. 28: 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 592 7,5 10 3 Pa m /s sccm 1 3 atm cm /s 9,87 1.69 · 10 1.69 · 10 1 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 -2 Torr l/s Tab. 29: 750 -3 -3 -2 1,27 · 10 1.67 · 10-2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 15.2 Fiche technique PrismaPro QMG 250 F Conditions standard Sauf indication contraire, toutes les valeurs sont mesurées après une phase de chauffage de 30 minutes dans des conditions standard. Paramètre QMG 250 F1 Type de détecteur Faraday QMG 250 F2 QMG 250 F3 1 à 200 u 1 à 300 u Domaine de masse 1 à 100 u Bride de raccordement DN 40 CF-F Vide requis (pression de fonctionnement max.) < 5 × 10-4 hPa Sensibilité croisée de sous-sol maximum à 2 u < 5 ppm < 65 ppm < 100 ppm QME 250 (droit) 4 × 10-13 hPa 5 × 10-13 hPa 7 × 10-13 hPa QME 250 (angulaire) 1 × 10-12 hPa 2 × 10-12 hPa 4 × 10-12 hPa > 5 × 10-4 A/hPa > 4 × 10-4 A/hPa > 3 × 10-4 A/hPa Limite de détection Sensibilité Source d’ions ouverte Usage Lieu de mise en place Intérieur, étanche à l’eau Conditions ambiantes Degré de protection IP 30 Humidité relative de l’air ≤ 98 % à la température de fonctionnement, sans condensation Températures 79/92 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre QMG 250 F1 QMG 250 F2 Température de fonctionnement (analyseur) ≤ 200 °C Température de fonctionnement (QME) 5 à 50 °C Température de dégazage (analyseur) (QME démonté) ≤ 300 °C Température (transport/ stockage) -25 à +70 °C Coefficient de température (pendant 8 heures, après une durée d’échauffement de 30 minutes) < 1 % de la hauteur de pic par °C QMG 250 F3 Données électriques Tension d’alimentation (unité de courant) 100 à 240 V AC, 50/60 Hz Tension de raccordement (QME 250) 20 à 30 V DC, 24 V DC typiquement Courant nominal 1,25 A max. Interfaces Fonctionnement, en cours de fonctionnement Ethernet Connexion de commande standard (AUX I/O) Connecteur Sub D, 15 broches, femelle Sortie relais 1×, contacts deux voies, max. 24 V DC, 0,5 A Entrées analogiques 1 × 0 – +10 V, résistance de sortie 1 MΩ, résolution 12 bit Entrées numériques 2× ; faible < +2 V ; élevé > +3 V, nominal +24 V, max. +28 V Tension de sortie +24 V, max. 1 A Connexion de commande étendue (AUX I/O, en option) Connecteur Sub D HD, 62 broches, femelle Sorties analogiques 8× 0 – + 10 V, résistance de sortie 100 Ω, Imax. = 10 mA, résolution 16 bit Entrées analogiques 8× -10 – + 10 V, résistance d’entrée 50 MΩ, résolution 16 bit Sorties numériques 10× ; collecteur ouvert, nominal +24 V, max. +28 V, 200 mA Entrées numériques 5×, actif faible, faible < +2 V ; élevé > +3 V, ≤ +24 V Tension de sortie +24 V, max. 1 A (incluant le courant vers la sortie +24 V à la connexion de commande standard) Orientation de montage Exigences de ventilation min. 25 mm d’espace libre autour du QME 250 Orientation de montage Arbitraire Poids Analyseur QMG 250 F 0,8 kg Unité électronique QME 250 1,53 kg Unité d’alimentation SP 250 0,15 kg Substances en contact avec le fluide Filament chauffé Tungstène (W) ou iridium recouvert d’oxyde d’Yttrium (lr-Y2O3) Autres substances acier inoxydable, céramique (Al2O3), verre, or Tab. 30: 80/92 Fiche technique PrismaPro QMG 250 F Caractéristiques techniques et dimensions 15.3 Fiche technique PrismaPro QMG 250 M Conditions standard Sauf indication contraire, toutes les valeurs sont mesurées après une phase de chauffage de 30 minutes dans des conditions standard. Paramètre QMG 250 M1 Type de détecteur EM/Faraday Domaine de masse 1 à 100 u Bride de raccordement DN 40 CF-F Vide requis (pression de fonctionnement max.) < 5 × 10-4 hPa Sensibilité croisée de sous-sol maximum à 2 u < 5 ppm QMG 250 M2 QMG 250 M3 1 à 200 u 1 à 300 u < 65 ppm < 100 ppm 4,0 × 10-15 hPa 5,0 × 10-15 hPa Limite de détection (EM) Source d’ions ouverte 3,0 × 10-15 hPa Source d’ions (C/B) 3,0 × 10 Source d’ions à grille 1,2 × 10-14 hPa Source d’ions étanche au gaz En fonction du flux de gaz admise dans la source d’ions -13 hPa -13 hPa 1,0 × 10-12 hPa 3,0 × 10-14 hPa 5,3 × 10-14 hPa 6,0 × 10 Sensibilité 12) Source d’ions à ouverture (Faraday) > 5 × 10-4 A/hPa > 4 × 10-4 A/hPa > 3 × 10-4 A/hPa Source d’ions C/B (Faraday) > 2 × 10-5 A/hPa > 1 × 10-5 A/hPa > 5 × 10-6 A/hPa Source d’ions à grille (Faraday) > 1 × 10-4 A/hPa > 5 × 10-5 A/hPa > 3 × 10-5 A/hPa Source d’ions étanche au gaz En fonction du flux de gaz admise dans la source d’ions Usage Lieu de mise en place Intérieur, étanche à l’eau Conditions ambiantes Degré de protection IP 30 Humidité relative de l’air ≤ 98 % à la température de fonctionnement, sans condensation Températures Température de fonctionnement (analyseur) ≤ 150 °C Température de fonctionnement (QME) 5 à 50 °C Température de dégazage (analyseur) (QME démonté) ≤ 300 °C Température (transport/ stockage) -25 à +70 °C Coefficient de température (pendant 8 heures, après une durée d’échauffement de 30 minutes) < 1 % de la hauteur de pic par °C Données électriques Tension d’alimentation (unité de courant) 12) 100 à 240 V AC, 50/60 Hz Des sensibilités significativement plus élevées peuvent être obtenues en mode EM en fonction de la tension sur l’EM. 81/92 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre QMG 250 M1 QMG 250 M2 Tension de raccordement (QME 250) 20 à 30 V DC, 24 V DC typiquement Courant nominal 1,25 A max. QMG 250 M3 Interfaces Fonctionnement, en cours de fonctionnement Ethernet Connexion de commande standard (AUX I/O) Connecteur Sub D, 15 broches, femelle Sortie relais 1×, contacts deux voies, max. 24 V DC, 0,5 A Entrées analogiques 1 × 0 – +10 V, résistance de sortie 1 MΩ, résolution 12 bit Entrées numériques 2× ; faible < +2 V ; élevé > +3 V, nominal +24 V, max. +28 V Tension de sortie +24 V, max. 1 A Connexion de commande étendue (AUX I/O, en option) Connecteur Sub D HD, 62 broches, femelle Sorties analogiques 8× 0 – + 10 V, résistance de sortie 100 Ω, Imax. = 10 mA, résolution 16 bit Entrées analogiques 8× -10 – + 10 V, résistance d’entrée 50 MΩ, résolution 16 bit Sorties numériques 10× ; collecteur ouvert, nominal +24 V, max. +28 V, 200 mA Entrées numériques 5×, actif faible, faible < +2 V ; élevé > +3 V, ≤ +24 V Tension de sortie +24 V, max. 1 A (incluant le courant vers la sortie +24 V à la connexion de commande standard) Orientation de montage Exigences de ventilation min. 25 mm d’espace libre autour du QME 250 Orientation de montage Arbitraire Poids Analyseur QMA 250 M (avec pièce intermédiaire montée) 1,54 kg Unité électronique QME 250 1,53 kg Unité d’alimentation SP 250 0,15 kg Substances en contact avec le fluide Filament chauffé Tungstène (W) ou iridium recouvert d’oxyde d’Yttrium (lr-Y2O3) Autres substances acier inoxydable, céramique (Al2O3), verre, or Tab. 31: Fiche technique PrismaPro QMG 250 M 15.4 Dimensions Dimensions en mm 82/92 Caractéristiques techniques et dimensions 15.4.1 QMG 250 avec source d’ions ouverte 361.1 10.5 169.9 58 128 143 142 Fig. 33: Dimensions QMG 250 F / SI ouverte / QME 250 rectiligne 260.9 217.8 10.5 300 58 128 169.9 143 142 Fig. 34: Dimensions QMG 250 F / SI ouverte / QME 250 90° 83/92 Caractéristiques techniques et dimensions 417.1 10.5 169.9 116 58 128 83 142 Fig. 35: Dimensions QMG 250 M / SI ouverte / QME 250 rectiligne 260.9 217.8 10.5 58 128 169.9 83 116 356 142 Fig. 36: 84/92 Dimensions QMG 250 M / SI ouverte / QME 250 90° Caractéristiques techniques et dimensions 15.4.2 QMG 250 avec source d’ions croisés 417.1 10.5 169.9 A = Formation room orientation 83 116 58 128 A 66.5 142 Fig. 37: Dimensions QMG 250 M / SI croisés / QME 250 rectiligne A Orientation du compartiment de formation 260.9 217.8 10.5 58 128 169.9 356 142 A = Formation room orientation 66.5 83 116 A Fig. 38: Dimensions QMG 250 M / SI croisés / QME 250 90° A Orientation du compartiment de formation 85/92 Caractéristiques techniques et dimensions 15.4.3 QMG 250 avec source d’ions à grille 423.1 10.5 169.9 116 58 128 89 142 Fig. 39: Dimensions QMG 250 M / SI à grille / QME 250 rectiligne 260.9 217.8 10.5 58 128 169.9 89 116 362 142 Fig. 40: 86/92 Dimensions QMG 250 M / SI à grille / QME 250 90° Caractéristiques techniques et dimensions 15.4.4 QMG 250 avec source d’ions étanche au gaz 424 10.5 169.9 116 58 128 90 142 Fig. 41: Dimensions QMG 250 M / SI étanche au gaz / QME 250 rectiligne 260.9 217.8 10.5 58 128 169.9 90 116 363 142 Fig. 42: Dimensions QMG 250 M / SI étanche au gaz / QME 250 90° 87/92 The product QMG 250 PrismaPro - conforms to the UL standard UL 61010-1:2012. - is certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12. YJBA - conforms to the IEC standard IEC 61010-1:2010. Déclaration de conformité CE La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Spectromètre de masse compact PrismaPro® QMG 250 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Basse tension 2014/35/UE Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Standards harmonisés et standards et spécifications nationaux appliqués : DIN EN 61010-1:2020 DIN EN IEC 61326-1:2022 DIN EN 55011:2022 DIN EN IEC 63000:2019 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-01-30 Déclaration de Conformité UK La présente déclaration de conformité a été délivrée sous la seule responsabilité du fabricant. Déclaration pour produit(s) du type : Spectromètre de masse compact PrismaPro® QMG 250 Nous déclarons par la présente que le produit cité satisfait à toutes les exigences applicables des Directives Britanniques suivantes. Réglementation 2016 (Sécurité) sur les Equipements Electriques Réglementation 2016 sur la Compatibilité Electromagnétique Réglementation 2012 sur la Limitation de l'Utilisation de Certaines Substances Dangereuses dans les Equipements Electriques et Electroniques Standards harmonisés et standards et spécifications nationaux appliqués : EN 61010-1:2010 + A1:2019 + A1:2019/AC:2019 EN IEC 61326-1:2021 EN 55011:2016 + A1:2017 + A11:2020 + A2:2021 EN IEC 63000:2018 Le représentant autorisé du fabricant pour le Royaume-Uni et l'agent chargé de la constitution du dossier technique est Pfeiffer Vacuum Ltd, 16 Plover Close, Interchange Park, MK169PS Newport Pagnell. Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, 2023-01-30 91/92 *BG6001* ed. F - Date 2404 - P/N:BG6001BFR ">
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