MANUEL DE L'UTILISATEUR FR Traduction d'original PCR 280 Jauge capacitive/Pirani Cher client, Nous vous remercions d’avoir opté pour un produit Pfeiffer Vacuum. Votre nouvelle jauge a été conçue pour vous donner entière satisfaction pour votre application, de par sa conception rigoureuse et son parfait fonctionnement. La marque Pfeiffer Vacuum, synonyme de techniques du vide performantes, se décline en une gamme exhaustive et variée de produits de grande qualité, assortis d’un service client irréprochable. Forts de cette expérience pratique étendue, nous avons compilé une multitude d’informations qui peuvent contribuer à une implémentation efficace et à votre sécurité personnelle. Sachant que notre produit doit vous permettre d’éviter des arrêts de production coûteux, nous sommes confiants qu’il pourra vous offrir une solution pour une implémentation efficace et fiable de votre application individuelle. Veuillez lire ce manuel de l'utilisateur avant de mettre votre produit en service pour la première fois. Si vous avez des questions ou suggestions, n’hésitez pas à nous contacter par e-mail à l’adresse info@pfeiffer-vacuum.de. Vous trouverez d’autres manuels de l'utilisateur de Pfeiffer Vacuum dans le Centre de téléchargement sur notre site Internet. Exclusion de responsabilité Ce manuel d'instructions décrit tous les modèles et variantes de votre produit. Noter que votre produit peut ne pas être équipé de toutes les fonctionnalités décrites dans ce manuel. Pfeiffer Vacuum adapte constamment ses produits sans préavis. Veuillez noter que le manuel d'utilisation en ligne peut différer du document imprimé, fourni avec votre produit. D'autre part, Pfeiffer Vacuum n'assume aucune responsabilité pour les dommages résultant d'une utilisation contraire à l'usage prévu, ou d'une utilisation définie comme mauvaise utilisation prévisible. Droits d’auteur (Copyright) Ce document est la propriété intellectuelle de Pfeiffer Vacuum et tous les contenus de ce document sont protégés par le droit d'auteur. Ils ne peuvent être copiés, modifiés, reproduits ou publiés sans l'autorisation écrite préalable de Pfeiffer Vacuum. Nous nous réservons le droit de modifier les données techniques et les informations contenues dans ce document. 2/46 Table des matières Table des matières 1 A propos de ce manuel 1.1 Validité 1.1.1 Documents applicables 1.1.2 Variantes 1.2 Groupe cible 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte 1.3.2 Pictogrammes 1.3.3 Autocollants sur le produit 1.3.4 Abréviations 1.4 Justificatif de marque du produit 7 7 7 7 7 8 8 8 8 8 9 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité 2.2 Consignes de sécurité 2.3 Mesures de sécurité 2.4 Utilisation conforme 2.5 Utilisations incorrectes envisageables 2.6 Responsabilité et garantie 2.7 Conditions propriétaire 2.8 Qualification personnelle 2.8.1 Garantir la qualification du personnel 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum 2.9 Conditions opérateur 10 10 10 12 12 13 13 13 13 14 14 14 14 3 Description du produit 3.1 Fonction 3.2 Affichage de l’état 3.3 Identification du produit 3.4 Contenu de la livraison 16 16 16 16 16 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit 4.2 Stockage du produit 17 17 17 5 Installation 5.1 Raccordement du vide 5.2 Raccordement électrique 18 18 19 6 Fonctionnement 6.1 Conversion du signal de mesure et de la pression 6.2 Détermination d’une pression efficace avec des facteurs de calibrage 22 22 23 7 Démontage 25 8 Maintenance 8.1 Calibrage de la jauge 8.2 Nettoyage des composants 8.3 Démontage de la jauge 8.4 Assemblage de la jauge 27 27 28 29 30 9 Dysfonctionnements 9.1 Dépannage 9.2 Détection des erreurs sur le système de mesure 32 32 32 10 Expédition 34 3/46 Table des matières 4/46 11 Recyclage et mise au rebut 11.1 Informations générales sur la mise au rebut 11.2 Mise au rebut des jauges 35 35 35 12 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 36 13 Pièces de rechange 38 14 Accessoires 14.1 Informations sur les accessoires 14.2 Commande d'accessoires 39 39 39 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités 15.2 Fiche technique 15.3 Dimensions 40 40 40 42 Certification ETL 43 Déclaration de conformité 44 Liste des tableaux Liste des tableaux Tab. 1: Tab. 2: Tab. 3: Tab. 4: Tab. 5: Tab. 6: Tab. 7: Tab. 8: Tab. 9: Tab. 10: Tab. 11: Tab. 12: Tab. 13: Tab. 14: Tab. 15: Tab. 16: Tab. 17: Documents applicables Variantes Abréviations employées DEL « état » Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression Dépendance du type de gaz Facteurs de calibrage pour la plage de pression Pirani < 1 hPa Dysfonctionnements Mesure Tableau de conversion : unités de pression Tableau de conversion : unités de débit de gaz Valeurs de mesure et de pression Données électriques Volume interne et poids Conditions ambiantes Températures Matériaux en contact avec la substance à pomper 7 7 9 16 22 24 24 32 33 40 40 40 41 41 41 41 42 5/46 Liste des figures Liste des figures Fig. 1: Fig. 2: Fig. 3: Fig. 4: Fig. 5: Fig. 6: Fig. 7: Fig. 8: Fig. 9: Fig. 10: Fig. 11: Fig. 12: 6/46 Diode électroluminescente Raccordement du vide Schéma des connexions Câble de mesure et prise de câble Hirschmann Relation entre le signal de mesure et la pression Dépendance du type de gaz Démontage de la jauge Calibrage de la jauge Démontage de la jauge Assemblage de la jauge Broches de contact du système de mesure Dimensions 16 19 20 20 22 23 26 28 30 31 33 42 A propos de ce manuel 1 A propos de ce manuel IMPORTANT Bien lire avant d'utiliser le produit. Conserver ce manuel pour une future utilisation. 1.1 Validité Ce document décrit la fonction des produits de la liste suivante et contient les informations les plus importantes pour une utilisation sécurisée. La description est rédigée conformément aux directives en vigueur. Les informations contenues dans ce document correspondent à l'état de développement actuel des produits. Le document conserve sa validité à condition que le client n'apporte aucune modification au produit. 1.1.1 Documents applicables Désignation Document Manuel de l'utilisateur « Unité de contrôle et de mesure de la pression totale » TPG 361 | TPG 362 BG 5500 Manuel de l'utilisateur « Unité de contrôle et de mesure de la pression totale » TPG 366 BG 5501 Déclaration de conformité (Composante de ces instructions) Tab. 1: Documents applicables Vous trouverez ces documents dans le Centre de téléchargement Pfeiffer Vacuum. 1.1.2 Variantes Ce document est applicable à tous les produits avec les références suivantes : Référence Désignation PT R26 855 PCR 280 (DN 16 ISO-KF) PT R26 856 PKR 280 (DN 16 CF-F) Tab. 2: Variantes Vous trouverez le numéro de la pièce sur la plaque signalétique du produit. Pfeiffer Vacuum se réserve le droit d'apporter des modifications techniques sans préavis. Les informations concernant un seul des produits sont indiquées comme telles. Les figures de ce document ne sont pas à l’échelle. Les figures représentent le produit avec un raccord à vide DN 16 ISO-KF. Elles s'appliquent cependant aussi aux autres raccords à vide. Les dimensions sont indiquées en mm, sauf avis contraire. 1.2 Groupe cible Ce manuel d'utilisation s’adresse à toutes les personnes en charge ● ● ● ● ● ● du transport, de l'installation, de la commande et de l'utilisation, de la mise hors service, de la maintenance et du nettoyage, du stockage et du recyclage du produit. 7/46 A propos de ce manuel Les opérations décrites dans ce document doivent uniquement être effectuées par un personnel doté de la formation technique nécessaire (personnel qualifié), ou ayant suivi une formation correspondante de Pfeiffer Vacuum. 1.3 Conventions 1.3.1 Instructions dans le texte Les instructions figurant dans ce document sont présentées selon une structure précise. Les actions à réaliser sont soit uniques, soit en plusieurs étapes. Action unique Un symbole en forme de triangle signale une activité à effectuer en une seule étape. ► Il s'agit d’une étape unique. Action en plusieurs étapes Une liste numérotée indique une action comportant plusieurs étapes à effectuer dans l'ordre chronologique. 1. Étape 1 2. Étape 2 3. ... 1.3.2 Pictogrammes Les pictogrammes utilisés dans ce document indiquent des informations utiles. Remarque Conseil Portez des gants de laboratoire Contrôlez visuellement 1.3.3 Autocollants sur le produit Cette section décrit tous les autocollants sur le produit ainsi que leur signification. D-35614 Asslar Mod. P/N S/N Input 1.3.4 8/46 PCR 280 PT R26 85x 3103457 Made in Liechtenstein 2019/04 xxxxxxxxx 15...30 V DC 2.5 W Plaque signalétique La plaque signalétique se trouve à l'arrière de l'appareil. Abréviations Abréviation Explication ADJ Ajuster ATM Atmosphère c Constante de conversion du signal de mesure et de la pression A propos de ce manuel Abréviation Explication C Facteur de calibrage pour le calcul de la pression des gaz autres que l’air HV Vide élevé LPS Source de puissance limitée MSL Niveau moyen de la mer p Pression ST État WAF Largeur sur pans U Mesure des signaux [V] (tension de sortie) Tab. 3: 1.4 Abréviations employées Justificatif de marque du produit ● Hirschmann® est une marque de produit Hirschmann GmbH. 9/46 Sécurité 2 Sécurité 2.1 Consignes générales de sécurité Dans le présent document, 4 niveaux de risques et 1 niveau de consignes sont identifiés comme suit : DANGER Danger direct et imminent Caractérise un danger direct et imminent entraînant un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVERTISSEMENT Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner un accident grave voire mortel. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger ATTENTION Danger potentiellement imminent Caractérise un danger imminent qui peut entraîner des blessures légères. ► Instruction à suivre pour éviter la situation de danger AVIS Obligation ou signalement Signale une pratique qui peut occasionner des dégâts matériels sans risque potentiel de blessure physique. ► Instruction à suivre pour éviter les dégâts matériels Consignes, conseils ou exemples désignent des informations importantes concernant le produit ou le présent document. 2.2 Consignes de sécurité Consignes de sécurité selon les étapes de la vie du produit Toutes les consignes de sécurité de ce document sont basées sur les résultats d'une évaluation des risques. Pfeiffer Vacuum a pris en compte toutes les étapes pertinentes de la vie du produit. Risques lors de l’installation DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. 10/46 Sécurité DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. Risques pendant la maintenance DANGER Chocs électriques en raison de la pénétration d'humidité dans l'appareil L’humidité qui a pénétré dans l’appareil cause des blessures par électrisation. ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement sec. ► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité. ► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Service Pfeiffer Vacuum. ► Toujours déconnecter l'alimentation électrique avant de nettoyer l'appareil. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Risques liés à l'expédition AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement par produits contaminés L'expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une expédition en toute sécurité. 11/46 Sécurité Risques pendant la mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. 2.3 Mesures de sécurité Le produit est conçu sur la base des technologies les plus récentes et des règles techniques de sécurité reconnues. Cependant, une utilisation incorrecte peut présenter un risque de blessure ou un danger de mort pour l'opérateur et toute autre personne, ainsi qu'un risque de dommages matériels sur le produit et autres. Obligation de fournir des informations sur les dangers potentiels Le propriétaire du produit ou l’utilisateur est dans l’obligation d’informer l’ensemble du personnel opérateur des dangers inhérents à ce produit. Chaque personne en charge de l’installation, du fonctionnement ou de la maintenance du produit doit lire, comprendre et respecter les sections de sécurité de ce document. Violation de la conformité en cas de modifications sur le produit La déclaration de conformité du fabricant n'est plus valide si l'utilisateur modifie le produit d'origine ou installe un équipement supplémentaire ● Après l'installation dans un système, l'exploitant est tenu de vérifier et de réévaluer, le cas échéant, la conformité de l'ensemble du système dans le contexte des directives européennes applicables avant de mettre en service ce système. Mesures de sécurité générales lors de la manipulation du produit ► Respectez toutes les dispositions de sécurité et de prévention des accidents en vigueur. ► Contrôlez régulièrement que toutes les mesures de sécurité sont respectées. ► Les consignes de sécurité doivent être transmises aux autres utilisateurs. ► N'exposez aucune partie du corps au vide. ► Assurez toujours un raccordement sûr au conducteur de terre (PE). ► Ne débranchez jamais les fiches de raccordement en cours de fonctionnement. ► Respectez les procédures d’arrêt ci-dessus. ► Tenez les conduites et les câbles éloignés des surfaces chaudes (> 70 °C). ► N'effectuez pas vous-même de conversions ou de modifications de l'appareil. ► Consultez le degré de protection de l’unité avant son installation ou fonctionnement dans d’autres environnements. ► Mettez en place des équipements de protection adaptés contre tout contact physique si la température de surface dépasse 70 °C. ► Il convient de toujours s'informer d'éventuelles contaminations avant de commencer à travailler. 2.4 Utilisation conforme La jauge fournit une mesure du vide de gaz dans le domaine 5 × 10-5 jusqu’à 1500 hPa. Utilisation du produit conformément à son usage prévu ► Faites fonctionner la jauge avec une unité de mesure et de contrôle de la pression totale Pfeiffer Vacuum ou avec une unité d'évaluation fournie par le client. ► Installez, mettez en fonctionnement et entretenez la jauge conformément à ce manuel de l'utilisateur. 12/46 Sécurité ► Observez les limites d'application prescrites dans la fiche technique. ► Observez la fiche technique. 2.5 Utilisations incorrectes envisageables Toute utilisation incorrecte du produit invalide les réclamations de garantie et de responsabilité. Toute utilisation non conforme à l'objectif du produit, qu’elle soit intentionnelle ou non, est considérée comme abusive, en particulier : ● Utilisation hors des limites mécaniques et électriques d'application ● Utilisation avec des substances corrosives ou explosives (si cette utilisation n'est pas explicitement autorisée) ● Utilisation pour la mesure de gaz combustibles ou hautement inflammables lorsqu’ils sont mélangés à un agent oxydant (comme l’oxygène atmosphérique) dans les limites explosives ● Utilisation en extérieur ● Utilisation suite à des modifications techniques (à l'intérieur ou à l'extérieur du produit) ● Utilisation avec des accessoires ou pièces de rechange inappropriés ou non approuvés 2.6 Responsabilité et garantie Pfeiffer Vacuum décline toute responsabilité et garantie si la société exploitant le produit ou une partie tierce : ● ignore ce document ● n'utilise pas le produit pour l'usage prévu ● apporte des modifications au produit (conversions, changements, etc.) qui ne sont pas mentionnées dans la documentation produit correspondante ● utilise le produit avec des accessoires qui ne sont pas mentionnés dans la documentation produit correspondante L'opérateur est responsable du gaz de procédé employé. 2.7 Conditions propriétaire Travailler en toute sécurité 1. Le produit ne peut être utilisé que s'il est en parfait état technique. 2. Le produit doit être utilisé selon l'usage pour lequel il a été conçu, seulement conformément au mode d'emploi, dans le respect des consignes de sécurité et en restant conscient des dangers qu'il implique. 3. Suivez les instructions ci-dessous et assurez-vous que ces instructions soient suivies : – Utilisation conforme – Consignes de sécurité généralement applicables et règles de prévention des accidents – Normes et directives applicables au niveau local, national et international – Directives et régulations supplémentaires relatives au produit 4. Utiliser exclusivement des pièces d'origine et approuvées par Pfeiffer Vacuum. 5. Conserver le mode d'emploi accessible sur le lieu d'installation du produit. 6. Garantir la qualification du personnel. 2.8 Qualification personnelle L'utilisation décrite dans ce document doit être confiée à des personnes disposant des qualifications professionnelles adéquates et de l'expérience nécessaire ou qui ont suivi la formation requise dispensée par Pfeiffer Vacuum. Formation du personnel 1. Former le personnel technique sur le produit. 2. Ne laisser le personnel à former travailler avec et sur le produit que sous la supervision d'un personnel qualifié. 3. Seul un personnel technique formé est autorisé à travailler avec le produit. 4. Avant de commencer à travailler, s'assurer que le personnel engagé a lu et compris ce mode d'emploi et tous les documents pertinents, en particulier les informations relatives à la sécurité, à l'entretien et à la réparation. 13/46 Sécurité 2.8.1 Garantir la qualification du personnel Spécialistes des travaux mécaniques Seuls des spécialistes qualifiés peuvent effectuer des travaux mécaniques. Selon la définition de ce document, les spécialistes sont des personnes responsables de la construction, de l'installation mécanique, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine mécanique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation Spécialisation dans les travaux d'ingénierie électriques Seul un électricien qualifié peut effectuer des travaux d'ingénierie électriques. Selon la définition de ce document, les électriciens sont des personnes responsables de l'installation électrique, de la mise en service, de la recherche de pannes et de la maintenance du produit, et disposant des qualifications suivantes : ● Compétences dans le domaine de l'ingénierie électrique conformément aux régulations nationales en vigueur ● Connaissance de cette documentation De plus, ces personnes doivent être familiarisées avec les réglementations et la législation en matière de sécurité en vigueur, ainsi que les normes, directives et lois mentionnées dans cette documentation. Les personnes mentionnées ci-dessus doivent avoir obtenu expressément l'autorisation d'utilisation afin de mettre en service, de programmer, de configurer, de marquer et de mettre à la terre les appareils, systèmes et circuits conformément aux standards technologiques en matière de sécurité. Personnes qualifiées Seules les personnes spécialement formées peuvent effectuer toutes les opérations relatives au transport, à l'entreposage, à l'utilisation et à la mise au rebut. Ce type de formation doit garantir que ces personnes sont capables d'exécuter correctement les activités et opérations requises, et en toute sécurité. 2.8.2 Qualification du personnel pour la maintenance et la réparation Formations avancées Pfeiffer Vacuum propose des formations avancées pour les niveaux de maintenance 2 et 3. Les personnes adéquatement qualifiées sont : ● Maintenance de niveau 1 ─ Client (spécialiste formé) ● Maintenance de niveau 2 ─ Client avec formation technique ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum ● Maintenance de niveau 3 ─ Client avec formation à l'entretien Pfeiffer Vacuum ─ Technicien de maintenance Pfeiffer Vacuum 2.8.3 Formation avancée avec Pfeiffer Vacuum Pour une utilisation optimale et sans problème de ce produit, Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de cours et de formations techniques. Pour plus de précisions, contacter le service de formation technique Pfeiffer Vacuum. 2.9 Conditions opérateur Analyse des documents et données concernés 1. Lire, analyser et respecter le mode d'emploi ainsi que les instructions de travail préparées par la société d'exploitation, en particulier les consignes de sécurité et les avertissements. 2. L'installation, l'utilisation et l'entretien du produit doivent être exécutés exclusivement conformément au manuel de l'utilisateur. 3. Exécuter toutes les opérations uniquement sur la base du manuel de l'utilisateur et des documents pertinents. 14/46 Sécurité 4. Conforme aux limites d'application. 5. Respecter les données techniques. 6. Si ce manuel de l'utilisateur ne permet pas de répondre à toutes les questions posées lors de l'utilisation ou de l'entretien du produit, contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum. – Des informations sont disponibles dans la zone de service Pfeiffer Vacuum. 15/46 Description du produit 3 Description du produit 3.1 Fonction La jauge dispose d'un capteur Pirani et d’un capteur à membrane capacitif. Les deux capteurs sont toujours actifs. Pour les basses pressions, l’unité utilise uniquement le signal du capteur Pirani pour la mesure de la pression. Pour les hautes pressions, l’unité utilise uniquement le signal du capteur à membrane capacitif. Dans une plage mixte, l’unité pèse les deux signaux proportionnellement à la pression et détermine le signal de sortie sur cette base. 3.2 Affichage de l’état 1 ST 2 ADJ Fig. 1: Diode électroluminescente 1 Pour réglage usine seulement DEL « état » (ST) Aspect Signification Éteinte Pas d'alimentation électrique Allumée en vert Mode Mesure S’allume ou clignote en rouge Erreur Tab. 4: 3.3 2 DEL « état » Identification du produit Toutes les données de la plaque signalétique sont nécessaires pour identifier assurément le produit pour toute communication avec Pfeiffer Vacuum. 1. Relever les données sur la plaque signalétique produit. 2. Enregistrer ces données. 3. Toutes les caractéristiques de la plaque signalétique doivent toujours être disponibles. 3.4 Contenu de la livraison Pièces incluses dans la fourniture : ● Jauge ● Stylet (Ø 1,1 mm) ● Manuel de l’utilisateur Déballage du produit et contrôle du contenu de la livraison 1. Déballer le produit. 2. Déposez les sécurités et les protections pour le transport, etc. 3. Rangez les sécurités et les protections pour le transport dans un endroit sûr. 4. Vérifier que toutes les pièces sont présentes. 5. Contrôler qu'aucune pièce n'a été endommagée. 16/46 Transport et stockage 4 Transport et stockage 4.1 Transport du produit AVIS Dégâts causés par un transport incorrect Un transport dans un emballage incorrect ou la non-installation de tous les verrous de transport peut endommager le produit. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de conserver l’emballage de transport et de protection d’origine. Informations générales sur le transport en toute sécurité ► Observez le poids spécifié sur l'emballage de transport. ► Dans la mesure du possible, transportez ou expédiez toujours le produit dans son emballage d'origine de transport. ► Utilisez toujours un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Retirer le cache de protection et les dispositifs protecteurs de transport seulement juste avant l'installation. ► Avant chaque transport, les blocages et les protections correspondants doivent être remontés. 4.2 Stockage du produit AVIS Risque de détériorations causées par un entreposage incorrect Un entreposage incorrect provoquera des dégâts sur le produit. Les charges statiques, l'humidité, etc., provoquent des dégâts sur les composants électroniques. ► Conforme aux instructions pour un entreposage en toute sécurité. Emballage Nous recommandons de stocker le produit dans son emballage d'origine. Informations générales sur le stockage en toute sécurité ► Conserver le produit dans un endroit frais, sec et sans poussière, où il n’est pas soumis à des chocs ni à des vibrations mécaniques. ► Toujours utiliser un emballage compact qui protège le produit des chocs. ► Dans la mesure du possible, stockez le produit dans son emballage d'origine. ► Stocker les composants électroniques dans un emballage antistatique. ► Maintenir la température d’entreposage admissible. ► Éviter les fortes variations de températures ambiantes. ► Éviter un taux d'humidité élevé dans l'air. ► Fermer les raccords avec les bouchons de protection d'origine. ► Protégez le produit avec les protections de transport d'origine (si disponibles). 17/46 Installation 5 Installation 5.1 Raccordement du vide DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. AVIS Dégâts causés par les vibrations Les vibrations et les impacts détruisent le capteur céramique qui est sensible aux chocs. ► Manipulez la jauge avec précaution. ► Évitez les vibrations et les impacts. ► Ne faites pas tomber la jauge. Conditions préalables ● Conditions ambiantes appropriées ● Température de fonctionnement dans la plage permissible ● Espace disponible suffisant pour le raccordement électrique (p. ex., rayon de courbure permissible des câbles) 18/46 Installation 2 1 3 5 Fig. 2: 4 Raccordement du vide 1 Pièce de tensionnement 2 Joint avec anneau de centrage 3 Unité électronique 4 5 Obturateur de protection Joint avec anneau de centrage et filtre Procédure 1. Dans la mesure du possible, vérifiez que la jauge n’est pas soumise à des vibrations pendant le fonctionnement. Ces vibrations entraînent généralement des déviations dans les valeurs mesurées. 2. Recommandation : Assemblez la jauge dans une position allant de l’horizontale à la verticale (bride au fond) pour éviter toute pénétration de condensat ou de particules dans la chambre de mesure. 3. Une fois le bouton de la jauge monté, vérifiez qu’il soit aisément accessible avec le stylet. 4. Recommandation : montez un joint avec un anneau de centrage et un filtre pour protéger les applications et le système de mesure contre tout risque de contamination. 5. Enlevez le capuchon de protection et rangez-le dans un endroit sûr. 6. Assemblez sur le système de vide la jauge avec les composants de vide de la boutique des composants Pfeiffer Vacuum. 5.2 Raccordement électrique DANGER Danger de mort en raison des tensions de contact dangereuses Les tensions supérieures à 30 V (CA) ou 60 V (CC) sont considérées comme dangereuses selon la norme EN 61010. Un contact avec une tension de contact dangereuse entraîne un risque de blessures ou un danger de mort par choc électrique. ► Raccordez le produit seulement aux appareils qui remplissent les critères suivants : ● Conditions de tension extra-basse de protection de terre (PELV) ● Source de puissance limitée (LPS) classe 2 ► Fixez la ligne sur le produit. – Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. AVIS Risque d’endommagement lié à un raccordement incorrect Un raccordement incorrect ou une polarité incorrecte, une tension d'alimentation non autorisée va endommager la jauge. ► Raccordez toujours la terre d'alimentation (broche 5) à la terre de l’unité d'alimentation. ► Raccordez toujours le blindage (broche 6) à la terre de l’unité d'alimentation. 19/46 Installation Outils nécessaires ● Tournevis cruciforme ● Clé dynamométrique (≤ 0,2 Nm) Équipement nécessaire ● Câble de mesure pour une unité de mesure et de contrôle de la pression totale Pfeiffer Vacuum de la gamme des accessoires ActiveLine ● Câble de mesure de fabrication propre pour une unité d'évaluation par le client ● Prise de câble Hirschmann Raccordement électrique 1. Raccordez le câble de mesure au jauge. 2. Resserrez la vis d'arrêt sur la prise de câble Hirschmann. – Couple de serrage : ≤ 0,2 Nm 3. Raccordez la jauge à une unité de mesure et de contrôle de la pression totale Pfeiffer Vacuum ou à une unité d'évaluation fournie par le client. 1 Ident 4.7Ω 2 + 4.7Ω 3 – 4 + 5 – A B 10kΩ +24V Fig. 3: A B 1 2 6 18V Schéma des connexions Masse de l’alimentation Signal de mesure Identification Signal de mesure 3 4 5 6 Signal de masse Alimentation Masse de l’alimentation (masse) Protection, blindage 3 2 1 6 4 Fig. 4: 20/46 5 Câble de mesure et prise de câble Hirschmann Installation Fabrication d’un câble de mesure Vous trouverez de plus amples informations sur les coupes transversales du conducteur et le type de câble de mesure dans la fiche technique. 1. Respectez les étapes suivantes pour une qualité optimale de signal dans la mesure où les circuits de terre, les différences de potentiel ou la CEM ont un effet sur le signal de mesure. 2. Utilisez un câble avec un blindage tressé. 3. Raccordez la terre d’alimentation directement à la terre de protection pour le bloc d’alimentation. 4. Utilisez une entrée de mesure différentielle et une prise de terre séparée pour les signaux et l'alimentation. 5. Vérifiez que la différence de potentiel pour la protection anti-surtension entre la prise de terre d'alimentation et le boîtier est ≤ 6 V. 6. Assemblez la prise de câble Hirschmann. Assemblage de la prise de câble Hirschmann 1. Préparez la prise de câble Hirschmann conformément au diagramme « Câble de mesure et prise de câble Hirschmann ». 2. Soudez le câble de raccordement conformément au diagramme de raccordement de la borne de connexion. 3. Assemblez la prise de câble Hirschmann. 21/46 Fonctionnement 6 Fonctionnement Dès que la tension d’alimentation a été établie, le signal de mesure est disponible sur le raccordement électrique entre les broches 2 et 3. Recommandations ► Respectez la période de stabilisation minimum de 10 minutes. ► Observez la relation entre le signal de mesure et la pression. ► La jauge doit toujours rester enclenchée, quelle que soit la pression. 6.1 Conversion du signal de mesure et de la pression p 1E+05 1E+04 Pa 1E+03 hPa 1E+00 1E–01 overrange 1E+01 Torr sensor error underrange 1E+02 1E–02 1E–03 1E–04 1E–05 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 8.68 1.2 U [V] Fig. 5: Relation entre le signal de mesure et la pression p Pression U Mesure des signaux [V] (tension de sortie) Signal de mesure (U) Pression (p) Constante (c) 1) [V] [hPa] 5,5 [mbar] Tab. 5: 1) 22/46 [Torr] 5,625 [micron] 2,625 [Pa] 3,5 Constantes de conversion du signal de mesure et de la pression En fonction de l’unité de pression Fonctionnement Conversion du signal de mesure et de la pression Gamme de validité : 5 × 10-5 hPa < p < 1 500 hPa ► Observez les constantes de conversion du signal de mesure et de pression. ► Conversion du signal de mesure en pression : p = 10(U-c) ► Conversion de la pression en signal de mesure : U = c + log10 p 6.2 Détermination d’une pression efficace avec des facteurs de calibrage p [hPa] 4 2 103 A 8 6 4 B C 2 102 8 6 4 2 101 8 6 4 2 100 8 6 4 2 1 2 3 10–1 8 6 4 2 10–2 8 6 4 2 10–3 8 6 4 2 10–4 10–4 2 4 6 10–3 2 4 6 10–2 2 4 6 10–1 2 4 6 100 2 4 6 101 2 4 6 102 2 4 6 103 2 peff [hPa] Fig. 6: Dépendance du type de gaz A Capteur Pirani B Gamme mixte C Capteur à membrane capacitif 1 2 3 Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2) Hélium (He) Argon (Ar) 23/46 Fonctionnement Plage de pression Principe de mesure Dépendance du type de gaz 10 à 1500 hPa Capteur à membrane capacitif indépendant du type de gaz, aucune correction requise 1 à 10 hPa Capteur à membrane capacitif et Capteur Pirani Gamme mixte 5 × 10-5 jusqu’à 1 hPa Capteur Pirani proportionnel à la pression 2) Tab. 6: Dépendance du type de gaz Facteurs de calibrage Type de gaz Facteur de calibrage (C) Air, oxygène (O2), monoxyde de carbone, (CO), azote (N2) 1,0 Hydrogène (H2) 0,5 Dioxyde de carbone (CO2) 0,9 Vapeur d'eau 0,5 Hélium (He) 0,8 Néon (Ne) 1,4 Argon (Ar) 1,7 Krypton (Kr) 2,4 Xénon (Xe) 3,0 Fréon 12 0,7 Les facteurs de calibrage fournis ici sont des valeurs moyennes. Tab. 7: Facteurs de calibrage pour la plage de pression Pirani < 1 hPa Saisie du facteur de calibrage dans une unité de mesure et de contrôle de la pression totale ► Saisissez le facteur de calibrage pour corriger la valeur de mesure affichée. Calcul de la pression de gaz autres que l'air ► Calculez la pression efficace avec la formule suivante : Peff = C × p ● Peff = Pression efficace ● C = Facteur de calibrage ● p = Pression affichée (jauge calibrée pour l’air) 2) 24/46 La valeur mesurée affichée s’applique à l’air sec, à l’oxygène (O2), au monoxyde de carbone (CO) et à l’azote (N2). Pour les autres gaz, vous avez besoin des facteurs de calibrage pour convertir la valeur mesurée. Démontage 7 Démontage DANGER Danger de mort par électrocution Un produit incorrectement mis à la terre constitue un danger de mort potentiel en cas d'anomalie. ► Le raccordement du produit à l’enceinte à vide mise à la terre doit être galvanisé. ► Vérifiez que le raccordement est conforme aux conditions d’une liaison de protection conformément à EN 61010. (Les raccordement CF et VCR remplissent ces conditions.) ► Utilisez des anneaux de centrage et des circlips à couche conductrice pour les raccordements KF. AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. AVERTISSEMENT Risque de blessure lié à la surpression dans le système de vide L’ouverture de pièces de tensionnement avec une surpression > 1000 hPa dans le système de vide peut causer des blessures liées à l’éjection de pièces à grande vitesse, le fluide de process pouvant être également toxique. Les joints élastomères dans les raccordements KF (comme les joints toriques) ne résistent pas à des pressions > 2 500 hPa. Le fluide de processus peut être toxique. ► Les pièces de tensionnement ne doivent pas être ouvertes en cas de surpression dans le système de vide. ► Utilisez des pièces de tensionnement appropriées pour la surpression. ► Utilisez seulement des pièces de tensionnement dont l'ouverture nécessite un outil (comme un anneau de serrage). ► Utilisez des joints annulaires avec un anneau de centrage extérieur. AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. 25/46 Démontage AVIS Dégâts causés par les vibrations Les vibrations et les impacts détruisent le capteur céramique qui est sensible aux chocs. ► Manipulez la jauge avec précaution. ► Évitez les vibrations et les impacts. ► Ne faites pas tomber la jauge. Conditions préalables ● Système de vide mis à l’air à la pression atmosphérique ● Tension d’alimentation mise hors circuit Outil nécessaire ● Tournevis cruciforme 3 2a 1 2b Fig. 7: 4 Démontage de la jauge 1 Pièce de tensionnement 2a Joint avec anneau de centrage 2b Joint avec anneau de centrage et filtre 3 4 Câble de mesure Obturateur de protection Démontage de la jauge 1. Desserrez la vis d'arrêt sur la prise de câble Hirschmann de la jauge. 2. Déconnectez le câble de mesure de la jauge. 3. Démontez la jauge du système de vide. 4. Mettez l’obturateur de protection sur la bride de connexion. 26/46 Maintenance 8 Maintenance AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum propose une gamme complète de services de maintenance pour tous les produits. Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter un Centre de service Pfeiffer Vacuum pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Maintenance dans le Centre de service Pfeiffer Vacuum Pfeiffer Vacuum recommande : Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum local pour organiser la maintenance de produits et de composants défectueux. Annulation de la garantie Les conditions suivantes entraînent une annulation de la garantie : ● Dégâts ou suppression du sceau de fermeture ● Ouverture de l'appareil pendant la période de garantie Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum en cas d'intervalle de maintenance raccourcis lié au processus. Commencer par lire intégralement les sections Lire intégralement la section consacrée aux instructions de travail avant de commencer à travailler. L’utilisation dans d'autres conditions climatiques, le fonctionnement sur le long terme, des températures extrêmes, une orientation différente de montage, le vieillissement ou la contamination peuvent entraîner une fluctuation du point zéro dans le circuit de mesure Pirani. Un décalage du zéro va nécessiter un nouveau calibrage ou un nettoyage. 8.1 Calibrage de la jauge Pfeiffer Vacuum a calibré la jauge à l’usine sur les valeurs standards. Réglage de la jauge sur d'autres valeurs de pression Vous pouvez régler la jauge sur d'autres valeurs de pression. Cependant, pour cela, vous avez besoin d’une valeur de pression précise (mesure de référence). La jauge exécute toujours le calibrage automatiquement sur le capteur du diaphragme si vous utilisez la jauge pendant au moins 15 minutes à des pressions < 1 × 10-2 hPa. Outil nécessaire ● Stylet (max. Ø 1,1 mm) 27/46 Maintenance Fig. 8: Calibrage de la jauge Préparation du calibrage 1. Vérifiez que l’installation et les conditions ambiantes sont les mêmes que celles d’une utilisation normale. 2. Vérifiez l'absence de toute contamination du filtre. 3. Remplacez le filtre s’il est très contaminé ou endommagé. 4. Mettez la jauge en fonctionnement. Calibrage HV 1. Réalisez la mise en service de la jauge. 2. Évacuez le système de vide jusqu’à p << 10-5 hPa. 3. Attendez au moins 2 minutes. 4. Appuyez sur le bouton « ADJ » avec un stylet. – La jauge se calibre sur 5 × 10-5 hPa (standard). 5. Répétez le calibrage si la jauge n’affiche pas une pression de 4,99 x 10-5 hPa à la sortie de signal de mesure. – Le calibrage a échoué cette fois-ci. Calibrage ATM 1. Réalisez la mise en service de la jauge. 2. Laissez la jauge fonctionner à la pression atmosphérique pendant au moins 10 minutes. 3. Appuyez brièvement sur le bouton « ADJ » avec un stylet. – La jauge se calibre sur 1 000 hPa (standard). 8.2 Nettoyage des composants DANGER Chocs électriques en raison de la pénétration d'humidité dans l'appareil L’humidité qui a pénétré dans l’appareil cause des blessures par électrisation. ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement sec. ► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité. ► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Service Pfeiffer Vacuum. ► Toujours déconnecter l'alimentation électrique avant de nettoyer l'appareil. AVERTISSEMENT Risques pour la santé dus aux agents nettoyants Les agents nettoyants utilisés constituent des risques pour la santé. ► Respecter les réglementations en vigueur pour la manipulation des agents nettoyants. ► Respecter les mesures de sécurité concernant la manipulation et la mise au rebut des agents nettoyants. ► Attention aux réactions potentielles avec les matériaux du produit. 28/46 Maintenance AVIS Dégâts causés par la pénétration d'humidité La pénétration d'humidité, sous la forme de condensation ou d'égouttement, endommage l'appareil. ► Protéger l'appareil contre la pénétration de l'humidité. ► L'appareil ne peut être utilisé que dans un environnement propre et sec. ► L'appareil doit être utilisé à distance de tout liquide et source d'humidité. ► Des précautions spécifiques doivent être prises en cas de risque d'égouttement d'eau. ► Ne pas allumer l'appareil si un liquide y a pénétré. Contacter le Centre de service Pfeiffer Vacuum. AVIS Dégâts provoqués par des agents nettoyants inadaptés L'usage d'agents nettoyants inadaptés endommage le produit. ► Ne pas utiliser de solvants qui endommageraient sa surface. ► Ne pas utiliser d'agents nettoyants agressifs ou abrasifs. Produits consommables requis ● Alcool industriel ● Chiffon (doux, non pelucheux) Nettoyage externe de l’appareil 1. Utilisez toujours un chiffon imbibé d'alcool industriel pour le nettoyage externe. 2. Laissez sécher les surfaces complètement après le nettoyage. 8.3 Démontage de la jauge AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Outil nécessaire ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2 29/46 Maintenance 1 2 3 Fig. 9: Démontage de la jauge 1 Unité électronique 2 Système de mesure 3 Vis hexagonale (2×) Procédure 1. Démontez la jauge du système de vide. 2. Dévissez les vis à six pans creux intérieures de l’unité électronique. 3. Retirez le système de mesure de l’unité électronique sans mouvement rotatif. 8.4 Assemblage de la jauge AVIS Défaillance due à la contamination et à la détérioration Tout contact à mains nues avec les appareils ou les composants augmente le taux de désorption et entraîne des mesures incorrectes. La saleté (p. ex. poussières, traces de doigts, etc.) et les dégâts nuisent au fonctionnement. ► Portez toujours des gants de laboratoire propres, non pelucheux et sans poudre pour les travaux sur les installations ultra-vide ou à vide élevé. ► Utilisez uniquement des outils propres. ► Vérifiez que les brides de raccordement sont sans graisse. ► Retirez les obturateurs de protection et les couvercles de protection des brides et des raccordements uniquement lorsque cela est nécessaire. ► Effectuez toutes les opérations dans un espace bien éclairé. Outil nécessaire ● Clé mâle coudée pour vis à six pans creux, WAF 2 30/46 Maintenance 1 2 3 Fig. 10: Assemblage de la jauge 1 Unité électronique 2 Système de mesure 3 Vis hexagonale (2×) Procédure 1. Insérez le système de mesure dans l’unité électronique sans mouvement rotatif. 2. Serrez les vis à six pans creux intérieures. 3. Raccordez la jauge au système de vide. 31/46 Dysfonctionnements 9 Dysfonctionnements Garantie Tout dysfonctionnement de l’équipement résultant directement d’une contamination et de l’usure n’est pas couvert par la garantie. Rectification des dysfonctionnements (Reset) En cas de dysfonctionnement, Pfeiffer Vacuum recommande de débrancher la tension d'alimentation et de la rebrancher après 5 secondes. 9.1 Dépannage Anomalie Cause possible Remède Signal de mesure continu env. 0 V Câble de mesure défectueux ou mal raccordé Vérifiez le câble de mesure. Pas d'alimentation Mettez en circuit l’alimentation. Jauge dans un état non défini Désactivez la jauge, attendez 5 secondes puis réactivez-la (reset). Unité électronique pas fixée correctement au système de mesure Contrôlez le raccordement. Unité électronique et système de mesure incompatible Remplacez le système de mesure. Capteur Pirani défectueux Remplacez la jauge. Capteur à diaphragme défectueux Remplacez la jauge. Erreur EEPROM Désactivez la jauge, attendez 5 secondes puis réactivez-la (reset). La DEL « ST » s’allume en rouge La DEL « ST » clignote en rouge Remplacez la jauge. Tab. 8: 9.2 Dysfonctionnements Détection des erreurs sur le système de mesure Si vous êtes presque certain de la cause du dysfonctionnement du système de mesure, utilisez un ohmmètre pour un diagnostic approximatif. Il est inutile de remettre à l'air le système de vide. Condition préalable ● Unité électronique retirée Équipement requis ● Ohmmètre 32/46 Dysfonctionnements Ω Fig. 11: Broches de contact du système de mesure Gamme de point de consigne Raisons pour lesquelles les valeurs sont en dehors de la gamme de point de consigne 40 ±1 Ω >> 40 Ω : Pollution << 40 Ω : Pollution ∞: Filament défectueux Tab. 9: Mesure Test de résistance 1. Effectuez un test de résistance sur les broches de contact du système de mesure avec un ohmmètre. 2. Remplacez le système de mesure complet si la valeur mesurée est en dehors de la plage du point de consigne. 33/46 Expédition 10 Expédition AVERTISSEMENT Risque d'empoisonnement par produits contaminés L'expédition de produits contenant des substances dangereuses pour leur maintenance ou réparation implique un risque pour la sécurité du personnel de maintenance. ► Conforme aux instructions pour une expédition en toute sécurité. Décontamination payante Pfeiffer Vacuum décontamine les produits qui ne sont pas clairement déclarés comme « Sans contaminants », à votre charge. Consignes pour une expédition sécurisée ► L’expédition de produits microbiologiques, explosibles ou ayant subi une contamination radioactive est interdite. ► Respecter les consignes d'expédition des pays et des sociétés de transport impliqués. ► Les risques potentiels doivent être mis en évidence sur la face extérieure de l'emballage. ► Téléchargez les explications sur la contamination en vous connectant à Pfeiffer Vacuum Service. ► Toujours joindre une déclaration de contamination dûment remplie. 34/46 Recyclage et mise au rebut 11 Recyclage et mise au rebut AVERTISSEMENT Risque d’intoxication dû à des composants ou appareils contaminés par des substances toxiques Les substances de procédé toxiques contaminent certaines pièces matérielles. Pendant les opérations de maintenance, tout contact avec ces substances toxiques présente un risque pour la santé. L’élimination illégale de substances toxiques nuit à l’environnement. ► Respecter les précautions de sécurité adéquates et éviter les risques sanitaires ou environnementaux dus aux substances de procédé toxiques. ► Décontaminer les pièces concernées avant d’exécuter des opérations de maintenance. ► Porter des équipements de protection individuelle. Protection de l’environnement Vous devez mettre au rebut le produit et ses composants conformément aux directives applicables pour la protection des personnes, de l’environnement et de la nature. ● Contribuez à la réduction du gaspillage des ressources naturelles. ● Évitez toute contamination. Protection de l'environnement La mise au rebut du produit ou de ses composants doit être réalisée conformément aux réglementations en vigueur pour ce qui concerne la protection de l’environnement et la santé des personnes, ceci afin de réduire le gaspillage des ressources naturelles et prévenir de la pollution. 11.1 Informations générales sur la mise au rebut Les produits Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux recyclables. ► Mettez au rebut nos produits en séparant : – Fer – Aluminium – Cuivre – Matière synthétique – Composants électroniques – Huiles et graisses, sans solvant ► Observez les mesures de sécurité spéciales pour la mise au rebut de : – Fluoroélastomères (FKM) – Composants potentiellement contaminés en contact avec le fluide de procédé 11.2 Mise au rebut des jauges Les jauges Pfeiffer Vacuum contiennent des matériaux que vous devez recycler. 1. Démantelez l’unité électronique. 2. Décontaminez les composants qui entrent en contact avec les gaz de procédé. 3. Séparez les composants en matériaux recyclables. 4. Recyclez les composants non contaminés. 5. Mettez au rebut le produit ou les composants de façon sûre en conformité avec toutes les directives applicables. 35/46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 12 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum Nous offrons un service de première classe Une longue durée de vie des composants du vide, associée à des temps d’arrêt réduits, sont ce que vous attendez clairement de nous. Nous répondons à vos besoins par des produits efficaces et un service d’exception. Nous nous efforçons de perfectionner en permanence notre compétence clé, à savoir le service liés aux composants du vide. Et notre service est loin d’être terminé une fois que vous avez acheté votre produit Pfeiffer Vacuum. Il ne démarre souvent qu’à partir de là. Dans la qualité Pfeiffer Vacuum reconnue, bien évidemment. Nos ingénieurs commerciaux et techniciens de service professionnels sont à votre disposition pour vous assurer un soutien pratique dans le monde entier. Pfeiffer Vacuum offre une gamme complète de services, allant des pièces de rechange d’origine aux accords de service. Profitez du service Pfeiffer Vacuum Qu'il s’agisse du service préventif sur place de notre service sur site, du remplacement rapide par des produits de rechange comme neufs ou de la réparation dans un centre de service proche de chez vous ; vous disposez d'une variété d’options pour maintenir la disponibilité de votre équipement. Vous trouverez des informations détaillées ainsi que les adresses sur notre site web dans la section Pfeiffer Vacuum Service. Des conseils sur la solution optimale sont disponibles auprès de votre interlocuteur Pfeiffer Vacuum. Pour un déroulement rapide et efficace de la procédure de service, nous recommandons de suivre les étapes suivantes : 1. Télécharger les modèles de formulaire actuels. ─ Déclaration de demande de service ─ Demande de service ─ Déclaration de contamination a) Démonter tous les accessoires et les conserver (toutes les pièces externes montées telles que la vanne, le filtre d’arrivée, etc.). b) Vidanger le fluide d'exploitation / lubrifiant si nécessaire. c) Vidanger le fluide de refroidissement si nécessaire. 2. Remplir la demande de service et la déclaration de contamination. ANFORDERUNG SERVICE ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 3. Envoyer les formulaires par e-mail, fax ou par courrier à votre centre de service local. 4. Vous recevrez une réponse de Pfeiffer Vacuum. Envoi de produits contaminés Aucune unité ne sera acceptée si elle est contaminée par des substances micro-biologiques, explosives ou radioactives. Si les produits sont contaminés ou si la déclaration de contamination est manquante, Pfeiffer Vacuum contactera le client avant de démarrer la maintenance. Par ailleurs, selon le produit et le niveau de contamination, des frais de décontamination supplémentaires peuvent être facturés. 36/46 Solutions de service de Pfeiffer Vacuum 5. Préparer le produit pour le transport conformément aux détails contenus dans la déclaration de contamination. a) Neutraliser le produit avec de l’azote ou de l’air sec. b) Fermer toutes les ouvertures avec des obturateurs étanches à l’air. c) Sceller le produit dans un film de protection approprié. d) Emballer le produit dans des conteneurs de transport stables appropriés uniquement. e) Respecter les conditions de transport en vigueur. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 6. Joindre la déclaration de contamination sur l’extérieur de l’emballage. 7. Envoyer ensuite le produit à votre centre de service local. 8. Vous recevrez un message de confirmation / un devis de la part de Pfeiffer Vacuum. Pour toutes les demandes de service, nos Conditions générales de vente et de livraison ainsi que nos Conditions générales de réparation et de maintenance sont appliquées aux équipements et composants du vide. 37/46 Pièces de rechange 13 Pièces de rechange Commande de pièces de rechange ► Vous devez vous munir du numéro de pièce ainsi que des informations complémentaires sur la plaque signalétique. ► Installez uniquement des pièces détachées d'origine. 38/46 Description Numéro de commande Système de mesure de remplacement DN 16 ISO-KF PT 120 041 -T Accessoires 14 Accessoires Vous trouverez sur notre site Internet la gamme des accessoires ActiveLine. 14.1 Informations sur les accessoires Câble de mesure Câbles de mesure de différentes longueurs pour le raccordement à une unité de mesure et de contrôle de la pression totale Pfeiffer Vacuum Raccordement de ligne (connecteur Hirschmann) Douille de câble pour la fabrication d’un câble de raccordement spécifique pour l’application Joints avec anneau de centrage et filtre Filtres disponibles avec différentes grandeurs de pores pour la protection du système de mesure contre toute contamination lorsque les applications représentent un risque de contamination 14.2 Commande d'accessoires Description Numéro de commande Câble de raccordement, 3 m PT 448 250 -T Câble de raccordement, 6 m PT 448 251 -T Câble de raccordement, 10 m PT 448 252 -T Prise de raccordement B4707283MA Bague de centrage avec filtre fin à mailles métalliques, taille de pore 4 μm, FPM/acier inoxydable PT 120 132 -T 39/46 Caractéristiques techniques et dimensions 15 Caractéristiques techniques et dimensions 15.1 Généralités mbar bar Pa hPa kPa Torr | mm Hg 100 1 0,1 0,75 1 · 10 1,000 100 1 · 10 1 0,01 1 · 10 7.5 · 10-3 1 1 · 10-3 100 1 0,1 0,75 kPa 10 0,01 1,000 10 1 7,5 Torr | mm Hg 1,33 1,33 · 10-3 133,32 1,33 0,133 1 mbar 1 1 · 10 bar 1,000 1 Pa 0,01 hPa -3 5 -5 1 Pa = 1 N/m Tab. 10: 2 Tableau de conversion : unités de pression mbar l/s mbar l/s Pa m3/s sccm Torr l/s atm cm3/s 1 0,1 59,2 0,75 0,987 592 7,5 10 3 Pa m /s sccm 1 3 atm cm /s 9,87 1.69 · 10 1 1,27 · 10 1.67 · 10-2 1,33 0,133 78,9 1 1,32 1,01 0,101 59,8 0,76 1 1.69 · 10 Torr l/s Tab. 11: 750 -3 -2 -3 -2 Tableau de conversion : unités de débit de gaz 15.2 Fiche technique Paramètre Valeur Gamme de mesure 5 × 10-5 jusqu’à 1 500 hPa Pression maximum (absolue) ≤ 500 kPa Pression de rupture (absolue) 1 000 kPa Principe de mesure 10 hPa à 1 500 hPa Capteur à diaphragme capacitif 1 à 10 hPa Gamme mixte 5 × 10-5 jusqu’à 1 hPa Précision (N2) Répétabilité (N2) -4 -3 5 × 10 à 1 × 10 hPa Amenée de chaleur conformément au Pirani ±50 % de la valeur mesurée -3 1 × 10 jusqu’à 100 hPa ±15 % de la valeur mesurée 100 à 950 hPa ±5 % de la valeur mesurée 950 à 1 050 hPa ±2,5 % de la valeur mesurée 1 × 10-3 jusqu’à 1 100 hPa ±2 % de la valeur mesurée Calibrage de la jauge (HV) à < 10-5 hPa Calibrage de la jauge (ATM) à > 100 hPa Tab. 12: Valeurs de mesure et de pression Paramètre Signal de sortie (signal de mesure) Impédance de sortie 40/46 Valeur Gamme de tension 0 à +8,68 V CC Gamme de mesure +1,2 à +8,68 V CC Signal d'erreur 0 V (en départ d'usine) Rapport tension-pression 1 V/décade, logarithmique 2 × 4,7 Ω, résistant aux courtscircuits Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Impédance de charge (charge minimum) > 10 kΩ Temps de réponse < 30 ms Identification de la jauge 3,01 kΩ Tension d’alimentation Classe 2/LPS sur la jauge +15 à +30 V CC Ondulation ≤ 1 Vpp Puissance d’entrée ≤ 2,5 W Fusible (à raccorder en série) 3) 1 AT Raccordement (électrique) Hirschmann GO 6 UM (6 broches, pins) Câble de mesure blindé, 0,14 mm2/conducteur Longueur de câble ≤ 100 m Concept de mise à la terre (voir chapitre « Raccordement électrique », page 19) Raccord vide et signal de masse Tab. 13: connecté avec 10 kΩ Données électriques Paramètre Valeur Volume interne DN 16 ISO-KF 4,7 cm3 DN 16 CF-F 8 cm3 Poids Tab. 14: 120 g Volume interne et poids Paramètre Humidité relative Valeur Moyenne annuelle ≤ 65 % (sans condensation) à 60 jours ≤ 85 % (sans condensation) Orientation de montage Arbitraire Utilisation En intérieur uniquement Altitude maximum de l’installation 2 000 m MSL Catégorie de protection IP40 Tab. 15: Conditions ambiantes Paramètre Valeur Fonctionnement +10 à +50 °C Raccord à vide 4) ≤ 80 °C Filament chauffé 5) ≤ 160 °C Stockage -20 à +65 °C Tab. 16: Températures Paramètre Valeur Raccord à vide Acier surfin 1.4435 Filament chauffé Tungstène (W) 3) Les équipements de contrôle et de mesure Pfeiffer Vacuum remplissent ces conditions. 4) Pour installation horizontale. La gamme de mesure, la précision et la répétabilité pour la mise sous contrainte thermique peuvent diverger sur la fiche technique. 5) Ne peut pas être influencé par l’opérateur 41/46 Caractéristiques techniques et dimensions Paramètre Valeur Passage du vide Verre Écran Acier surfin Diaphragme Céramique Autres substances Ni, NiFe, acier surfin 1.4301, SnAg Tab. 17: Matériaux en contact avec la substance à pomper 15.3 Dimensions Dimensions en mm. 30 22.5 16.5 30.9 14.5 79.5 20 45 DN 16 ISO-KF DN 16 CF-F Fig. 12: 42/46 Dimensions ETL LISTED The product PCR 280 - conforms to the UL standard UL 61010-1. 3103457 - is certified to the CAN/CSA standard CAN/CSA C22.2 No. 61010-1-12. Déclaration de conformité Déclaration pour produit(s) du type : Jauge capacitive/Pirani PCR 280 Par la présente, nous déclarons que le produit cité est conforme aux Directives européennes suivantes. Compatibilité électromagnétique 2014/30/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses 2011/65/UE Limitation de l’utilisation de certaines matières dangereuses, directive déléguée 2015/863/UE Normes harmonisées et normes et spécifications nationales appliquées : DIN EN 61000-6-2:2006-03 DIN EN 61000-6-3:2011-09 DIN EN 61010-1:2011-07 DIN EN 61326-1:2013-07 Signature: Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 35614 Asslar Allemagne (Daniel Sälzer) Directeur général Asslar, le 27-01-2020 45/46 *BG5181* ed. B - Date 2005 - P/N:BG5181BFR ">
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