Caractéristiques techniques Attention Attention : composant à vide Tout encrassement ou dommage porte atteinte au fonctionnement du composant à vide. En utilisant des composants à vide, prendre les mesures appropriées pour assurer la propreté et la prévention des dommages éventuels. INSTRUCTIONS D'UTILISATION 10 5.1 k DANGER : surpression dans le système à vide >100 kPa Si des éléments de serrage sont ouverts des composants peuvent être projetés et causer des blessures. Utiliser des éléments de serrage pouvant uniquement être ouverts et fermés à l'aide d'un outil (p. ex. anneau de serrage muni d'un collier de fixation). La jauge doit être connectée directement à l'enceinte à vide mise à la masse. Le raccordement doit répondre aux exigences d'une connexion de protection selon la norme EN 61010 : Traduction du manuel de l'utilisateur IKR 261 Jauge compacte à cathode froide avec joint métallique V 3 + – 1 4 10k Affectation des Contacts Broche 1 Identification Broche 2 Sortie de signal (mesure) Broche 3 Masse signal Broche 4 Alimentation Broche 5 Masse alimentation Broche 6 Blindage 3 4 2 5 1 Humidité relative 6 Utilisation Prise, côté soudures Raccordez la jauge à l'appareil de mesure. Fixez le connecteur au câble de raccordement sur la jauge avec la vis (couple de serrage ≤0.2 Nm).. PT R25 750 PT R25 751 PT R25 761 (Bride DN 40 ISO-KF (Bride DN 40 CF-F (Bride DN 40 CF-F • Pour les brides KF il faudra utiliser un collier de serrage conducteur. version courte) version courte) version longue) Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications techniques sans préavis. AVERTISSEMENT AVERTISSEMENT : amorçage électrique L'hélium peut provoquer des amorçages électriques à l'intérieur de l'électronique du produit et détruire l'électronique. Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre le produit hors circuit et démonter l'unité électronique. A propos de ce document Le présent document décrit l'installation et le fonctionnement des jauges compactes à cathode froide susmentionnées. Pour de plus amples informations, veuillez consulter le manuel de l'utilisateur distinct [1]. Utilisation prévue 2 Les jauges compactes à cathode froide décrites dans ce document servent à la mesure du vide dans la gamme des pressions 2×10-9 … 1×10-2 hPa. 3 4 2 7 3 4 Mettez l'appareil de mesure en circuit. Le signal de mesure est alors immédiatement disponible. Le voyant vert sur la jauge Tension indique l'état de service d'alimentation disponible. Tension d'alimentation indisponible. 1 • Considérer les réactions possibles entre les matériaux du produit. 7 La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés incombe au détenteur. Le signal de mesure dépend du type de gaz. La valeur mesurée correspond à l'air, à l'oxygène (O2), au monoxyde de carbone (CO) et à l'azote (N2). Pour d'autres gaz, la pression peut être déterminée par une conversion (→ "Caractéristiques techniques"). Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum, cela peut être réalisé en saisissant le facteur de calibrage correspondant. DANGER Observer une distance de sécurité de ≥10 cm entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ou empêcher toute perturbation émanant de champs magnétiques puissants en installant des blindages adéquats. Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une tierce personne -9 -2 Identification de la jauge Résistance 5.1 kΩ contre la terre d'alimentation Conception de la terre Raccord à vide - masse alimentation → Figure 1 Masse alimentation – masse signal 2×10 ... 1×10 hPa ≈±30% (mesure dans la gamme 1×10-8 …1×10-3 hPa) ≈±5 % (mesure dans la gamme 1×10-8 … 1×10-3 hPa) Matériaux au contact du vide Isolation de traversée Joints internes Raccord à vide Anode Dispositifs d'allumage Volume interne Kr Ar H2 Ne He C (moyenne) 1.0 0.4 0.5 0.8 2.4 4.1 5.9 Dimensions [mm] reliés par 10 kΩ (différence max. de tension pour sécurité ±50 V pour précision ±10 V) conduites séparément; avec les câbles de grande longueur (≥10 m), nous recommandons une mesure différentielle 1E+00 Pa 1E–01 p = 10U-c 1E–02 1E–03 1E–06 hPa Torr Poids 700 g (Bride DN 40 ISO-KF 950 g (Bride DN 40 CF-F 1100 g (Bride DN 40 CF-F version courte) version longue) version longue) 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5 Signal de mesure U [V] Alimentation c DANGER hPa Pa Torr 10.5 8.5 10.625 2×10-9 mbar < p < 1×10-2 mbar 1.5×10-9 Torr < p < 7.5×10-3 Torr 2×10-7 Pa < p < 1 Pa valable pour gamme La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant aux exigences pour les basses tensions mises à la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers la jauge2). ≤2 W Puissance absorbée ≤1 AT Fusible 2) La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur du câble de mesure. Tension d'alimentation à 16 … 30 V= (ondulation ≤1 Vpp) longueur max. du câble Xe Pression p ≈ 20 cm³ 15 … 30 V= (ondulation ≤1 Vpp) Air (N2, O2, CO) Rapport signal de mesure – pression 1E–05 céramique (Al2O3) Ag acier inoxydable (1.4306 / AISI 304L) Mo acier inoxydable (1.4310 / AISI 301) peff = C × pression affichée Type de gaz Dépendance du type de gaz p (hPa) 4 Xe Kr 2 Ar Air O CO N2 H2 Ne He Gamme d'indication 10-7 ... 10-2 hPa 10-3 8 6 4 2 10-4 8 6 4 2 Délai d'amorçage DANGER : champs magnétiques Les champs magnétiques puissants peuvent perturber ou gêner le fonctionnement des appareils électroniques, p. ex. des stimulateurs cardiaques. 250 °C 1) (sans électronique) 250 °C 1) dans la gamme d'étuvage conformément au plan coté ≤80% à température jusqu'à +31 °C, diminuant à 50% à +40 °C en espaces clos, altitude max. 2000 m IP 40 1000 kPa (absolue) limitée aux gaz inertes et aux températures <100 °C Tension à la jauge Dépendance du type de gaz + 5 °C ... +55 °C 250 °C 1) dans la gamme d'étuvage conformément au plan coté 1E–04 Mettez la jauge uniquement en circuit en présence de pressions <10-2 hPa afin d'éviter tout encrassement excessif. Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum équipés d'au moins deux raccords pour jauges, la jauge à cathode froide peut par exemple être pilotée par une jauge Pirani. 1 Sécurité • Observer les prescriptions essentielles et prendre les précautions afférentes aux gaz utilisés. Reproductibilité Fonctionnement Attention En cas d'utilisation de raccords de vide CF, il peut s'avérer avantageux de temporairement enlever l'unité électronique (1) et l'unité magnétique (2) (→ [1]). Gamme de mesure (air, N2) Précision Protection Pression • Les raccords à vide CF satisfont à ces exigences. Validité Etuvage versions courtes version longue + – 5 6 Figure 1 : DANGER BG 5113 BFR / C (2017-07) 10 2 - 40 °C ... +65 °C overrange Températures admissibles Stockage Service toutes les versions version longue underrange Assurez-vous que la jauge soit raccordée à la chambre à vide (→ Section précédente). Si vous ne disposez pas d'un câble de raccordement, confectionnez en un selon le schéma en bas : Raccordement au vide Signal de sortie (mesure) ≈0 V … ≈+10.5 V Gamme de mesure Relation tension – pression logarithmique, 1 V/décade Signal d'erreur <0.5 V sans alimentation Impédance de sortie 2×10 Ω Impédance chargée minimale 10 kΩ, résistant aux courtscircuits en fonction de la pression Temps de réponse <10 ms p > 10-6 hPa p = 10-8 hPa ≈1 s sensor error Raccordement électrique Installation La position d'installation n'est pas imposée, veiller cependant à ce que les particules ne puissent pas pénétrer dans la chambre de mesure. À la mise en circuit de la jauge, le système de cathode froide s'active avec temporisation. Celle-ci augmente à des pressions plus basses et celle de jauges dégazées propres atteint les valeurs typiques suivantes à : …10-7 hPa …10-8 hPa 2×10-9 hPa ≈0.1 minute ≈1 minute ≈5 minutes L'allumage constitue un processus statistique pouvant être fortement influencé dès la présence d'infimes dépôts sur les surfaces intérieures. Raccordement électrique Connecteur compact Hirschmann, type GO 6, 6 pôles, broches de contact 10-5 8 6 4 Couple de serrage Câble jauge Boîte de raccordement de câble Longueur du câble ≤0.2 Nm 5 pôles, blindé Hirschmann GO 6 WF, 6 pôles, coudée, douilles 10-6 8 6 4 Tension de service (dans la chambre de mesure) Courant de service (dans la chambre de mesure) ≤3.3 kV ≤100 m ≤150 m ≤500 m (5×0.25 mm²) (5×0.34 mm2) (5×1.0 mm²) 2 2 10-7 10-7 2 4 6 10-6 2 4 6 10-5 2 4 6 10-4 2 4 6 10-3 2 4 6 10-2 peff (hPa) Dans la gamme au-dessous de 10-5 hPa l'indication est linéaire. Pour d'autres gaz que l'air, la pression peut être déterminée par une simple conversion : ≤500 µA • n'observe pas les indications figurant dans ce document • utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation prévue • modifie ce produit d'une façon quelconque • utilise le produit avec des accessoires non répertoriés dans la documentation du produit correspondante. Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la garantie. 1) 2) Un éventuel blindage magnétique (accessoire) doit être démonté. Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum pour jauges compactes satisfont à cette exigence. bg5113bf r / c (2017-07) Maintenance, résolution des problèmes Table de conversion des unités de pression → [1] Si la jauge est utilisée à des pressions élevées ou dans des conditions contaminatrices, elle doit régulièrement être nettoyée. Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure, ainsi que les pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la garantie. mbar bar Pa hPa kPa Torr mm HG mbar bar Pa hPa kPa 1 1×103 0.01 1 10 1×10-3 1 1×10-5 1×10-3 0.01 100 1×105 1 100 1×103 1 0.1 0.75 1×103 100 750 -3 0.01 1×10 7.5×10-3 1 0.1 0.75 10 1 7.5 Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum, déclarons que le produit ci-après est conforme à la directive relative à la compatibilité électromagnétique 2014/30/UE et de la directive relative à la limitation de l’utilisation de certaines substances dangereuses dans les équipements électriques et électroniques 2011/65/UE. Torr mm HG 1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332 1 1 Pa = 1 N/m2 Produit IKR 261 Normes Recyclage Pour l'élimination appropriée du produit, veuillez contact le S.A.V. Pfeiffer Vacuum le plus proche. Déclaration UE de conformité Normes harmonisées, normes internationales et nationales ainsi que spécifications : Informations complémentaires • EN 61000-6-2:2005 (Compatibilité électromagnétique : [1] • EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (Compatibilité www.pfeiffer-vacuum.com Manuel de l'utilisateur IKR 261 BG 5153 BDE (allemand) BG 5153 BEN (anglais) BG 5153 BFR (français) Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar, Allemagne immunité) électromagnétique : émission) • EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire) • EN 61326-1:2013 (exigences CEM pour les équipements de mesure et de commande) Fabricant / Signature Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar 8 avril 2016 Certification ETL RECOGNIZED COMPONENT ETL LISTED The product IKR 261 Dr. Ulrich von Hülsen Président • conforms to the UL Standard UL 61010-1 • is certified to the CAN/CSA Standard C22.2 No. 61010-1 3103457 Berliner Straße 43 D–35614 Asslar Allemagne Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-1202 info@pfeiffer-vacuum.de www.pfeiffer-vacuum.com ">

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