Pfeiffer IKR 261 Manuel utilisateur

Caractéristiques techniques
Attention
Attention : composant à vide
Tout encrassement ou dommage porte atteinte
au fonctionnement du composant à vide.
En utilisant des composants à vide, prendre les
mesures appropriées pour assurer la propreté et
la prévention des dommages éventuels.
INSTRUCTIONS D'UTILISATION
10
5.1 k
DANGER : surpression dans le système à vide
>100 kPa
Si des éléments de serrage sont ouverts des
composants peuvent être projetés et causer des
blessures.
Utiliser des éléments de serrage pouvant
uniquement être ouverts et fermés à l'aide d'un
outil (p. ex. anneau de serrage muni d'un collier
de fixation).
La jauge doit être connectée directement à l'enceinte à vide mise à la masse. Le raccordement
doit répondre aux exigences d'une connexion de
protection selon la norme EN 61010 :
Traduction du manuel de l'utilisateur
IKR 261
Jauge compacte à cathode froide avec joint métallique
V
3
+
–
1
4
10k
Affectation des Contacts
Broche 1 Identification
Broche 2 Sortie de signal
(mesure)
Broche 3 Masse signal
Broche 4 Alimentation
Broche 5 Masse
alimentation
Broche 6 Blindage
3
4
2
5
1
Humidité relative
6
Utilisation
Prise,
côté soudures
Raccordez la jauge à l'appareil de mesure.
Fixez le connecteur au câble de raccordement sur la jauge
avec la vis (couple de serrage ≤0.2 Nm)..
PT R25 750
PT R25 751
PT R25 761
(Bride DN 40 ISO-KF
(Bride DN 40 CF-F
(Bride DN 40 CF-F
• Pour les brides KF il faudra utiliser un collier
de serrage conducteur.
version courte)
version courte)
version longue)
Nous nous réservons le droit de réaliser des modifications
techniques sans préavis.
AVERTISSEMENT
AVERTISSEMENT : amorçage électrique
L'hélium peut provoquer des amorçages
électriques à l'intérieur de l'électronique du
produit et détruire l'électronique.
Avant de réaliser un test d'étanchéité, mettre le
produit hors circuit et démonter l'unité électronique.
A propos de ce document
Le présent document décrit l'installation et le fonctionnement des jauges compactes à cathode froide susmentionnées. Pour de plus amples informations, veuillez consulter
le manuel de l'utilisateur distinct  [1].
Utilisation prévue
2
Les jauges compactes à cathode froide décrites dans ce
document servent à la mesure du vide dans la gamme des
pressions 2×10-9 … 1×10-2 hPa.
3
4
2
7
3
4
Mettez l'appareil de mesure en circuit. Le signal de mesure
est alors immédiatement disponible.
Le voyant vert sur la jauge
Tension
indique l'état de service
d'alimentation
disponible.
Tension
d'alimentation
indisponible.
1
• Considérer les réactions possibles entre les matériaux du
produit.
7
La responsabilité relative aux gaz utilisés dans les procédés
incombe au détenteur.
Le signal de mesure dépend du type de gaz. La valeur
mesurée correspond à l'air, à l'oxygène (O2), au monoxyde
de carbone (CO) et à l'azote (N2). Pour d'autres gaz, la
pression peut être déterminée par une conversion
(→ "Caractéristiques techniques").
Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum, cela peut être
réalisé en saisissant le facteur de calibrage correspondant.
DANGER
Observer une distance de sécurité de ≥10 cm
entre le stimulateur cardiaque et l'aimant ou
empêcher toute perturbation émanant de
champs magnétiques puissants en installant des
blindages adéquats.
Pfeiffer Vacuum est dégagée de toute responsabilité et la
garantie devient nulle et non avenue si le détenteur ou une
tierce personne
-9
-2
Identification de la jauge
Résistance 5.1 kΩ contre la
terre d'alimentation
Conception de la terre
Raccord à vide - masse
alimentation
→ Figure 1
Masse alimentation – masse
signal
2×10 ... 1×10 hPa
≈±30%
(mesure dans la gamme
1×10-8 …1×10-3 hPa)
≈±5 %
(mesure dans la gamme
1×10-8 … 1×10-3 hPa)
Matériaux au contact du vide
Isolation de traversée
Joints internes
Raccord à vide
Anode
Dispositifs d'allumage
Volume interne
Kr
Ar
H2
Ne
He
C
(moyenne)
1.0
0.4
0.5
0.8
2.4
4.1
5.9
Dimensions [mm]
reliés par 10 kΩ (différence
max. de tension
pour sécurité
±50 V
pour précision ±10 V)
conduites séparément; avec
les câbles de grande
longueur (≥10 m), nous
recommandons une mesure
différentielle
1E+00
Pa
1E–01
p = 10U-c
1E–02
1E–03
1E–06
hPa
Torr
Poids
700 g (Bride DN 40 ISO-KF
950 g (Bride DN 40 CF-F
1100 g (Bride DN 40 CF-F
version courte)
version longue)
version longue)
1E–07
1E–08
1E–09
1E–10
0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0 3.5 4.0 4.5 5.0 5.5 6.0 6.5 7.0 7.5 8.0 8.5 9.0 9.5 10.0 10.5
Signal de mesure U [V]
Alimentation
c
DANGER
hPa
Pa
Torr
10.5
8.5
10.625
2×10-9 mbar < p < 1×10-2 mbar
1.5×10-9 Torr < p < 7.5×10-3 Torr
2×10-7 Pa < p < 1 Pa
valable
pour
gamme
La jauge ne pourra être branchée qu'à des alimentations ou appareils de mesure répondant
aux exigences pour les basses tensions mises à
la masse (PELV). Il faudra protéger la ligne vers
la jauge2).
≤2 W
Puissance absorbée
≤1 AT
Fusible 2)
La tension minimale de l'appareil d'alimentation doit être augmentée proportionnellement à la longueur du câble de
mesure.
Tension d'alimentation à
16 … 30 V= (ondulation
≤1 Vpp)
longueur max. du câble
Xe
Pression p
≈ 20 cm³
15 … 30 V= (ondulation
≤1 Vpp)
Air
(N2, O2, CO)
Rapport signal de mesure – pression
1E–05
céramique (Al2O3)
Ag
acier inoxydable
(1.4306 / AISI 304L)
Mo
acier inoxydable
(1.4310 / AISI 301)
peff = C × pression affichée
Type de
gaz
Dépendance du type de gaz
p (hPa)
4
Xe Kr
2
Ar
Air
O
CO
N2 H2 Ne He
Gamme d'indication
10-7 ... 10-2 hPa
10-3
8
6
4
2
10-4
8
6
4
2
Délai d'amorçage
DANGER : champs magnétiques
Les champs magnétiques puissants peuvent
perturber ou gêner le fonctionnement des
appareils électroniques, p. ex. des stimulateurs
cardiaques.
250 °C 1) (sans électronique)
250 °C 1) dans la gamme
d'étuvage conformément au
plan coté
≤80% à température jusqu'à
+31 °C, diminuant à 50% à
+40 °C
en espaces clos, altitude
max. 2000 m
IP 40
1000 kPa (absolue)
limitée aux gaz inertes et aux
températures <100 °C
Tension à la jauge
Dépendance du type de gaz
+ 5 °C ... +55 °C
250 °C 1) dans la gamme
d'étuvage conformément au
plan coté
1E–04
Mettez la jauge uniquement en circuit en
présence de pressions <10-2 hPa afin d'éviter
tout encrassement excessif.
Avec les appareils de mesure Pfeiffer Vacuum
équipés d'au moins deux raccords pour jauges,
la jauge à cathode froide peut par exemple être
pilotée par une jauge Pirani.
1
Sécurité
• Observer les prescriptions essentielles et prendre les
précautions afférentes aux gaz utilisés.
Reproductibilité
Fonctionnement
Attention
En cas d'utilisation de raccords de vide CF, il peut s'avérer
avantageux de temporairement enlever l'unité électronique
(1) et l'unité magnétique (2) (→  [1]).
Gamme de mesure (air, N2)
Précision
Protection
Pression
• Les raccords à vide CF satisfont à ces exigences.
Validité
Etuvage
versions courtes
version longue
+
–
5
6
Figure 1 :
DANGER
BG 5113 BFR / C (2017-07)
10
2
- 40 °C ... +65 °C
overrange
Températures admissibles
Stockage
Service
toutes les versions
version longue
underrange
Assurez-vous que la jauge soit raccordée à la chambre à
vide (→ Section précédente).
Si vous ne disposez pas d'un câble de raccordement,
confectionnez en un selon le schéma en bas :
Raccordement au vide
Signal de sortie (mesure)
≈0 V … ≈+10.5 V
Gamme de mesure
Relation tension – pression logarithmique, 1 V/décade
Signal d'erreur
<0.5 V sans alimentation
Impédance de sortie
2×10 Ω
Impédance chargée minimale 10 kΩ, résistant aux courtscircuits
en fonction de la pression
Temps de réponse
<10 ms
p > 10-6 hPa
p = 10-8 hPa
≈1 s
sensor error
Raccordement électrique
Installation
La position d'installation n'est pas imposée, veiller cependant
à ce que les particules ne puissent pas pénétrer dans la
chambre de mesure.
À la mise en circuit de la jauge, le système de cathode froide
s'active avec temporisation. Celle-ci augmente à des
pressions plus basses et celle de jauges dégazées propres
atteint les valeurs typiques suivantes à :
…10-7 hPa
…10-8 hPa
2×10-9 hPa
≈0.1 minute
≈1 minute
≈5 minutes
L'allumage constitue un processus statistique pouvant être
fortement influencé dès la présence d'infimes dépôts sur les
surfaces intérieures.
Raccordement électrique
Connecteur compact
Hirschmann, type GO 6,
6 pôles, broches de contact
10-5
8
6
4
Couple de serrage
Câble jauge
Boîte de raccordement de
câble
Longueur du câble
≤0.2 Nm
5 pôles, blindé
Hirschmann GO 6 WF,
6 pôles, coudée, douilles
10-6
8
6
4
Tension de service
(dans la chambre de mesure)
Courant de service
(dans la chambre de mesure)
≤3.3 kV
≤100 m
≤150 m
≤500 m
(5×0.25 mm²)
(5×0.34 mm2)
(5×1.0 mm²)
2
2
10-7
10-7
2
4 6 10-6
2
4 6 10-5
2
4 6 10-4
2
4 6 10-3
2
4 6 10-2
peff (hPa)
Dans la gamme au-dessous de 10-5 hPa l'indication est
linéaire. Pour d'autres gaz que l'air, la pression peut être
déterminée par une simple conversion :
≤500 µA
• n'observe pas les indications figurant dans ce document
• utilise ce produit de manière non conforme à l'utilisation
prévue
• modifie ce produit d'une façon quelconque
• utilise le produit avec des accessoires non répertoriés
dans la documentation du produit correspondante.
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure,
ainsi que les pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la
garantie.
1)
2)
Un éventuel blindage magnétique (accessoire) doit être
démonté.
Les appareils de mesure et de commande Pfeiffer Vacuum
pour jauges compactes satisfont à cette exigence.
bg5113bf r / c
(2017-07)
Maintenance, résolution des problèmes
Table de conversion des unités de
pression
→  [1]
Si la jauge est utilisée à des pressions élevées ou dans des
conditions contaminatrices, elle doit régulièrement être
nettoyée.
Les pannes du produit dues à des impuretés ou à l'usure,
ainsi que les pièces d'usure (p. ex. joint), sont exclues de la
garantie.
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr
mm HG
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
1
1×103
0.01
1
10
1×10-3
1
1×10-5
1×10-3
0.01
100
1×105
1
100
1×103
1
0.1
0.75
1×103 100
750
-3
0.01 1×10 7.5×10-3
1
0.1
0.75
10
1
7.5
Par la présente, nous, Pfeiffer Vacuum,
déclarons que le produit ci-après est conforme
à la directive relative à la compatibilité
électromagnétique 2014/30/UE et de la
directive relative à la limitation de l’utilisation
de certaines substances dangereuses dans
les équipements électriques et électroniques
2011/65/UE.
Torr
mm HG
1.332 1.332×10-3 133.32 1.3332 0.1332
1
1 Pa = 1 N/m2
Produit
IKR 261
Normes
Recyclage
Pour l'élimination appropriée du produit, veuillez contact le
S.A.V. Pfeiffer Vacuum le plus proche.
Déclaration UE de conformité
Normes harmonisées, normes internationales et nationales
ainsi que spécifications :
Informations complémentaires
• EN 61000-6-2:2005 (Compatibilité électromagnétique :
 [1]
• EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (Compatibilité
www.pfeiffer-vacuum.com
Manuel de l'utilisateur IKR 261
BG 5153 BDE (allemand)
BG 5153 BEN (anglais)
BG 5153 BFR (français)
Pfeiffer Vacuum GmbH, D–35614 Asslar,
Allemagne
immunité)
électromagnétique : émission)
• EN 61010-1:2010 (Règles de sécurité pour appareils
électriques de mesurage, de régulation et de laboratoire)
• EN 61326-1:2013 (exigences CEM pour les équipements de
mesure et de commande)
Fabricant / Signature
Pfeiffer Vacuum GmbH, Berliner Straße 43, D-35614 Asslar
8 avril 2016
Certification ETL
RECOGNIZED
COMPONENT
ETL LISTED
The product IKR 261
Dr. Ulrich von Hülsen
Président
• conforms to the UL Standard UL 61010-1
• is certified to the CAN/CSA Standard
C22.2 No. 61010-1
3103457
Berliner Straße 43
D–35614 Asslar
Allemagne
Tel +49 (0) 6441 802-0
Fax +49 (0) 6441 802-1202
info@pfeiffer-vacuum.de
www.pfeiffer-vacuum.com
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